KR0134903Y1 - 중탕식 액체 화공약품 항온조 - Google Patents

Abstract

일정한 온도로 유지되어야 할 액체 화공약품을 수용하는 제1항온조(31)와, 상기 제1항온조(31)의 외측에 설치되고 상기 제1항온조(31)와의 사이에 소정의 공간을 형성하는 제2항온조(32)와, 상기 제1항온조(31)와 제2항온조(32)와의 사이에 채워지는 상온과 약 300℃ 사이에서 액체상태인 물질인 열전달매질(33)과, 상기 열전달매질(33)을 가열하는 가열수단(34) 및 상기 제2항온조(32)를 단열하는 단열수단(35)으로 구성된 중탕식 액체 화공약품 항온조.

Description

중탕식(中湯式)액체 화공약품 항온조(恒溫槽)

제1도는 종래의 조(槽) 내부에 히타(heater)가 장착된 구조로 된 액체 화공약품 항온조의 시스템도.

제2도는 종래의 조(槽) 외부에 히타가 장착된 구조로 된 액체 화공약품 항온조의 시스템도.

제3도는 본 고안에 의한 중탕식 액체 화공약품 항온조의 시스템도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 제1항온조 32 : 제2항온조

33 ; 열전달매질 34 : 가열수단

35 : 단열수단

본 고안은 반도체 장비 중의 하나인 습식-스테이션(wet-station) 장비의 액체 화공약품 항온조에 관한 것으로서, 특히 수은(Hg)을 이용한 중탕식 액체 화공약품 항온조에 관한 것이다.

제1도 및 제2도에는 종래의 액체 화공약품 항온조가 도시되어 있다.

제1도 및 제2도에 도시된 종래의 액체 화공약품 항온조는 내화학성이 뛰어난 석영으로 조(槽)(11)를 만들고, 그 내부에 석영으로 된 히터(12)를 장착하여 화공약품(13)에 히터가 잠긴 상태에서 히터에 의하여 액체 화공약품 항온조을 가열하는 구조로 되어 있거나(제1도 참조), 조(21)의 바깥쪽 표면에 얇은 판으로 된 히터(22)를 부착하고 그 위에 단열재(23) 및 방수재(24)를 덮어 놓은 구조로 된 것이 일반적이다.

그러나, 상기와 같은 종래의 액체 화공약품 항온조는,

조(11)의 내부에 히터(12)가 잠기는 구조로 된 액체 화공약품 항온조(제1도)의 경우에는, 히터(12)가 파손되는 경우에 조(11) 내에 들어 있던 생산품(14)이 오염되거나 또는 조(11) 내의 화공약품(13)의 종류에 따라서는 폭발의 위험성도 있으며,

또한 조(21)의 외부에 히터(22)가 장착된 구조로 된 액체 화공약품 항온조(제2도)의 경우에는, 방수재(24)가 화공약품에 침식되어 파손되기 쉽고, 한 번 파손되면 다시 고치기가 매우 어려우며, 장치가 매우 고가라는 등의 문제점이 있었다.

따라서, 본 고안의 목적은 종래의 액체 화공약품 항온조의 상기와 같은 문제점을 해결하고자 하는 것으로서, 히터가 파손되는 경우에도 조내에 들어 있는 생산품이 오염되거나 또는 액체 화공약품 항온조이 폭발할 위험성이 없으며, 또한 화공약품에 침식되어 파손되기 쉽고 또한 고가인 항온조를 사용하지 않는 액체 화공약품 항온조를 제공하는데 있다.

본 고안의 상기와 같은 목적은 일정한 온도로 유지되어야 할 액체 화공약품을 수용하는 제1항온조와, 상기 제1항온조의 외측에 설치되고 상기 제1항온조와의 사이에 소정의 공간을 형성하는 제2항온조와, 상기 제1항온조와 제2항온조와의 사이에 채워지는 상온과 약 300℃ 사이에서 액체상태인 물질인 열전달매질과, 상기 열전달매질을 가열하는 가열수단 및 상기 제2항온조를 단열하는 단열수단으로 구성된 중탕식 액체 화공약품 항온조를 제공함으로서 달성된다.

이하 본 고안에 의한 중탕식 액체 화공약품 항온조를 첨부도면에 의거하여 상세히 설명하면 다음과 같다.

제3도에는 본 고안에 따른 중탕식 액체 화공약품 항온조가 도시되어 있다.

제3도에 의하면 본 고안에 따른 액체 화공약품 항온조는 일정한 온도로 유지되어야 할 액체 화공약품을 수용하는 제1항온조(31)와, 상기 제1항온조(31)의 외측에 설치되고 상기 제1항온조(31)와의 사이에 소정의 공간을 형성하는 제2항온조(32)와, 상기 제1항온조(31)와 제2항온조(32)와의 사이에 채워지는 상온과 약 300℃ 사이에서 액체상태인 물질인 열전달매질(33)과, 상기 열전달매질(33)을 가열하는 가열수단(34) 및 상기 제2항온조(32)를 단열하는 단열수단(35)으로 구성된다.

상기 제1항온조(31) 및 제2항온조(32)는 내화학성이 뛰어나고 또한 고온에서도 잘 견디는 석영으로 이루어 지는 것이 바람직하며, 상기 열전달매질(33)은 상온과 300℃ 사이에서 액체상태이어야 하므로 수은(Hg)인 것이 바람직하다.

상기 가열수단(34) 및 상기 단열수단(35)은 히터나 단열재등과 같은 통상의 가열수단이나 단열수단을 나타낸다.

상기와 같이 구성된 본 고안에 의한 중탕식 액체 화공약품 항온조는, 제1항온조(31)의 내부에 화공약품(36)을 채우고 가열수단(34)을 작동시키면, 가열수단(34)에서 발생한 열이 일단 열전달매질(33)을 가열하게 되고, 열전달매질(33)의 온도가 상승됨에 따라 그 열이 제1항온조(31)의 벽면을 통하여 화공약품(36)에 전달되어 화공약품(36)의 가열이 진행된다.

이 경우, 제2항온조(32)의 외부는 단열수단(35)에 의하여 단열되어 있기 때문에 가열수단(34)에서 발생한 열은 대부분이 화공약품(36)에 전달되게 된다.

이상에서 설명한 바와 같이 본 고안에 의한 중탕식 액체 화공약품 항온조에 의하면 가열수단(34)이 파손되는 경우에도 생산품(37)이 제1석영조(31)에 의하여 가열수단(34)과 격리되어 있으므로 생산품(37)의 오염을 방지할 수 있으며, 이 경우에도 가열수단(34)만 교체하면 장치를 반 영구적으로 사용할 수 있으므로 장치 전체를 교환할 필요가 없을 뿐만 아니라, 가열수단(34)의 교체가 용 이하므로 수리가 용이하고 유지비가 저렴한 등의 장점이 있다.

또한 본 고안에 의한 액체 화공약품 항온조에 의하면 가열수단(34)이 파손되는 경우에도 생산품(37)이 제1석영조(31)에 의하여 가열수단(34)과 격리되어 있으므로 제1항온조(31) 내에 수용된 화공약품(36)의 종류에 관계없이 화공약품(36)의 폭발의 위험성을 방지할 수 있는 장점이 있다.

아울러 본 고안에 의한 중탕식 액체 화공약품 항온조에 의하면 화공약품에 침식되어 파손되기 쉽고 또한 고가인 항온조를 사용하지 않으므로 방수재의 파손으로 인하여 생산공정이 중단될 염려가 없으며 또한 염가의 장치를 제공할 수 있을 뿐만 아니라, 가열수단(34)이 열전달매질(33)에 의하여 둘러싸여 있기 때문에 가열수단(34)이 과열될 염려가 없고 따라서 가열수단(34)의 수명이 길어진다는 등의 장점이 있다.

이상에서 설명한 본 고안에 의한 중탕식 액체 화공약품 항온조는 반도체 장비에 적용되는 것에 한정되지 않으며, 반도체 장비를 포함한 액체 화공약품을 이용하는 산업분야 전반에 대하여도 적용할 수 있음은 물론이다.

이상에서 설명한 것은 본 고안에 의한 중탕식 액체 화공약품 항온조를 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로서 이하 청구범위에서 청구하는 본 고안의 요지를 벗어남이 없이 당해 고안이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진자라면 누구든지 다양한 변경실시가 가능할 것이다.

Claims (3)

1. 일정한 온도로 유지되어야 할 액체 화공약품을 수용하는 제1항온조와, 상기 제1항온조의 외측에 설치되고 상기 제1항온조와의 사이에 소정의 공간을 형성하는 제2항온조와, 상기 제1항온조와 제2항온조와의 사이에 채워지는 상온과 약 300℃ 사이에서 액체상태인 물질인 열전달매질과, 상기 열전달매질을 가열하는 가열수단, 및 상기 제2항온조를 단열하는 단열수단으로 구성된 것을 특징으로 하는 중탕식 액체 화공약품 항온조.
2. 제1항에 있어서, 상기 제1항온조 및 제2항온조는 석영으로 된 것을 특징으로 하는 중탕식 액체 화공약품 항온조.
3. 제1항에 있어서, 상기 열전달매질은 수은(Hg)인 것을 특징으로 하는 중탕식 액체 화공약품 항온조.