KR0134502B1 - Manufacture method of a mirror for projection ststem - Google Patents
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- H04N9/31—Projection devices for colour picture display, e.g. using electronic spatial light modulators [ESLM]
Abstract
본 발명은 투사형 화상표시장치용 거울의 제조방법에 관한 것으로, 유리기판상에 분리층과 거울의 크기로 한정된 금속층을 형성하고 그 상부에 접착층을 형성한 후 액츄에이터를 접착시키며, 분리층을 제거하여 기판을 분리시킨 다음 금속층들 사이의 접착층을 제거하여 거울을 만든다. 따라서, 접착층에 의해 거울의 두께를 조절할 수 있어 반사막으로 이용되는 한 개의 금속층을 형성하므로 제조가 간단하며, 또한 분리층과 금속층의 전표면에 접착층을 형성한 후 액츄에이터의 상부들을 동시에 부착하므로 접착이 쉽다.The present invention relates to a method of manufacturing a mirror for a projection type image display device, comprising: forming a separation layer and a metal layer limited to the size of a mirror on a glass substrate, forming an adhesive layer thereon, adhering an actuator, and removing the separation layer After the separation, the adhesive layer between the metal layers is removed to make a mirror. Therefore, the thickness of the mirror can be controlled by the adhesive layer to form a single metal layer used as a reflective film, thus simplifying the manufacturing process. easy.
Description
제1a도 내지 d도는 종래의 기술에 따른 투사형 화상표시 장치용 거울의 제조 공정도.1A to D are manufacturing process diagrams of a mirror for a projection type image display device according to the prior art.
제2a도 내지 c도는 본 발명에 따른 투사형 화상표장치용 거울의 제조공정도.2a to c are manufacturing process diagrams of the projection image display apparatus mirror according to the present invention.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
21 : 유리기판 23 : 분리층21: glass substrate 23: separation layer
25 : 금속층 27 : 접착층25 metal layer 27 adhesive layer
29 : 액츄에이터 31 : 거울29: Actuator 31: Mirror
본 발명은 투사형 화상표시장치용 거울의 제조방법에 관한 것으로서, 특히, 액츄에이터와 거울의 접착을 쉽게 할 수 있고 공정이 간단한 투사형 화상표시 장치용 거울의 제조방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing a mirror for a projection image display device, and more particularly, to a method for manufacturing a mirror for a projection image display device that can easily adhere an actuator to a mirror and has a simple process.
화상표시장치는 표시방식에 따라 직시형 화상표지장치와 투사형 화상표시장치로 구분된다. 직시형 화상표시장치는 CRT(Cathod Ray Tube)등이 있는데, 이러한 CRT 화상표시장치는 화질이 좋으나 화면이 커짐에 따라 중량 및 두께의 증가와, 가격이 비싸지는 등의 문제점이 있어 대화면을 구현하는데 한계가 있다. 투사형 화상표시장치는 대화면 액정표시장치(Liquid Crystal Display : 이하 'LCD'라 칭함)등이 있는데, 이러한 대화면 LCD는 박형화가 가능하여 중량을 작게 할 수 있다. 그러나, 이러한 LCD는 편광판에 의한 광의 손실이 크고, LCD를 구동하기 위한 박막 트랜지스터가 화소마다 형성되어 있어 개구율(광의 투과면적)을 높이는데 한계가 있으므로 광의 효율이 매우 낮다.An image display apparatus is classified into a direct image display apparatus and a projection image display apparatus according to a display method. The direct view type image display device includes a CRT (Cathod Ray Tube). The CRT image display device has a good image quality, but there are problems such as an increase in weight and thickness and a high price as the screen is enlarged. There is. Projection type image display apparatuses include a large crystal display (Liquid Crystal Display: hereinafter referred to as 'LCD'), and such a large-screen LCD can be thinned to reduce weight. However, such LCDs have a high loss of light due to the polarizing plate, and thin film transistors for driving the LCD are formed for each pixel, so that there is a limit in increasing the aperture ratio (light transmission area).
따라서, 미합중국 Aura사에서 액츄에이티드 미러 어레이(Actuated Mirror Arrays : 이하 'AMA'라 칭함)을 이용한 투사형 화상표시장치가 개발되었다. 상기 AMA는 미합중국 특허출원 제429,987호 및 제448,748호에 개시된 바와 같이 램프로부터 입사된 광이 각각의 거울로부터 반사되어 슬릿(slit)의 틈을 통과하는 광량을 조절한다. 상기 거울은 슬릿의 틈과 관련하여 광의 경로들을 제어하는데, 인가하는 전압에 비례하여 변하는 액츄에이터에 의해 구동된다.Accordingly, a projection type image display apparatus using Actuated Mirror Arrays (hereinafter referred to as 'AMA') has been developed by Aura, USA. The AMA adjusts the amount of light that is incident from the lamp and reflected through each mirror to pass through the slit, as disclosed in US Pat. Nos. 429,987 and 448,748. The mirror controls the paths of light in relation to the gap of the slit, which is driven by an actuator that changes in proportion to the voltage applied.
상기 거울은 백색광으로부터 분리된 적, 녹, 청색의 광을 전반사시켜야 하므로 각 액츄에이터의 상부에 각각 한 개씩 장치하며 표면이 매우 평탄하여야 하며, AMA의 소형화를 위하여 각 액츄에이터위에 부착되는 거울의 크기는 매우 작고 가벼워야 한다.Since the mirrors must totally reflect red, green, and blue light separated from white light, the mirrors should be installed at the top of each actuator, and the surface should be very flat. The size of the mirror attached to each actuator is very large for miniaturization of AMA. It should be small and light.
제1a도 내지 d도는 종래 기술에 따른 투사형 화상표시장치용 거울의 제조공정도이다.1A to 1D are manufacturing process diagrams of a mirror for a projection type image display apparatus according to the prior art.
제1a도를 참조하면, 유리기판(1)상에 분리층(3), 제1금속층(5), 제2금속층(6) 및 제3금속층(7)을 순차적으로 형성한다. 분리층(3)은 포토레지스트(photoresist)등으로 형성하며 유리기판(1)과 제1금속층(5)의 분리를 쉽게 한다. 제1금속층(5)은 거울의 반사면이 되는 것으로 반사율이 높은 알루미늄(Al)등으로 스퍼터링(sputtering) 또는 진공증착 등에 의해 형성된다. 또한, 제2 및 제3금속층(6)(7)은 제1금속층(5)과 동일한 방법에 의해 형성된다. 상기에서, 제2금속층(6)은 구리(Cu)등으로 이루어져 제1금속층(5)과 제3금속층(7)의 결합력을 좋게 한다. 그리고, 제3금속층(7)은 니켈(Ni)등으로 이루어진다.Referring to FIG. 1A, a separation layer 3, a first metal layer 5, a second metal layer 6, and a third metal layer 7 are sequentially formed on the glass substrate 1. The separation layer 3 is formed of a photoresist or the like to facilitate separation of the glass substrate 1 and the first metal layer 5. The first metal layer 5 serves as a reflecting surface of the mirror and is formed by sputtering or vacuum deposition with aluminum (Al) having a high reflectance. In addition, the second and third metal layers 6 and 7 are formed by the same method as the first metal layer 5. In the above, the second metal layer 6 is made of copper (Cu) or the like to improve the bonding force between the first metal layer 5 and the third metal layer 7. The third metal layer 7 is made of nickel (Ni) or the like.
제1b도를 참조하면, 통상의 포토리쏘그래피(photolithography) 방법에 의해 소정 부분의 분리층(3)을 노출하여 거울의 크기를 한정하고, 제3금속층(7)의 상부를 제외한 부분에 포토레지스트 패턴(11)을 형성한다. 상기에서 포토레지스트 패턴(11)은 분리층(3)과 동일한 물질로 제3금속층(7) 표면의 소정 부분이 겹치도록 형성된다.Referring to FIG. 1B, the size of the mirror is limited by exposing the separation layer 3 of a predetermined portion by a conventional photolithography method, and photoresist is formed on the portions except the upper portion of the third metal layer 7. The pattern 11 is formed. The photoresist pattern 11 is formed of the same material as the separation layer 3 so that a predetermined portion of the surface of the third metal layer 7 overlaps.
제1c도를 참조하면, 포토레지스트 패턴(11)을 마스크로 하여 제3금속층(7)의 노출된 표면에 제4금속층(13)을 형성하고, 이 제4금속층(13)의 상부에 액츄에이터(15)를 부착한다. 상기에서, 제4금속층(13)은 거울의 두께를 조절하기 위한 것으로 제3금속층(7)과 동일한 물질을 전해도금하여 형성된다. 그리고, 제4금속층(13)과 액츄에이터(15)는 접착제에 의해 부착된다.Referring to FIG. 1C, the fourth metal layer 13 is formed on the exposed surface of the third metal layer 7 using the photoresist pattern 11 as a mask, and an actuator (above the upper portion of the fourth metal layer 13). 15) Attach. In the above, the fourth metal layer 13 is to adjust the thickness of the mirror and is formed by electroplating the same material as the third metal layer 7. The fourth metal layer 13 and the actuator 15 are attached by an adhesive.
제1d도를 참조하면, 포토레지스트 패턴(11)과 분리층(3)을 제거하여 기판(1)과 제1금속층(3)을 분리한다. 상기에서 포토레지스트 패턴(11)과 분리층(3)은 동일한 물질로 형성되므로 동일한 유기용제에 의해 제거된다.Referring to FIG. 1D, the substrate 1 and the first metal layer 3 are separated by removing the photoresist pattern 11 and the separation layer 3. Since the photoresist pattern 11 and the separation layer 3 are formed of the same material, they are removed by the same organic solvent.
상술한 바와 같이, 종래의 투사형 화상표시장치용 거울은 유리 거울의 표면상에 분리층을 도포하고, 이 분리층의 상부에 제1, 제2 및 제3금속층을 순차적으로 적층하고 포토리쏘그래피 방법에 의해 이 분리층의 소정 부분을 노출시킨 후, 이 제3금속층의 상부에 제4금속층을 형성하고, 이 제4금속층의 상부표면에 액츄에이터를 부착시키고 분리층을 제거하여 제1금속층으로부터 유리기판을 분리하여 제조된다.As described above, conventional mirrors for projection type image display devices apply a separation layer on the surface of a glass mirror, and sequentially stack the first, second and third metal layers on top of the separation layer, and then use a photolithography method. After exposing a predetermined portion of the separation layer by means of forming a fourth metal layer on top of the third metal layer, attaching an actuator to the upper surface of the fourth metal layer and removing the separation layer to remove the glass substrate from the first metal layer. It is prepared by separating.
그러나, 상술한 종래의 투사형 화상표시장치용 거울은 두께를 조절하기 위해 다수의 금속층을 형성하며, 포토레지스트 공정이 2번 필요하므로 제조공정이 복잡한 문제점이 있었다. 또한, 제4금속층에 일일이 접착제를 바르고 거울과 액츄에이터를 접착해야 하는 문제점이 있었다.However, the above-described conventional mirror for a projection type image display apparatus forms a plurality of metal layers to adjust the thickness, and the manufacturing process is complicated because the photoresist process is required twice. In addition, there was a problem in that an adhesive is applied to the fourth metal layer and the mirror and the actuator are adhered to each other.
따라서, 본 발명의 목적은 공정이 간단한 투사형 화상표시장치용 거울의 제조방법을 제공함에 있다.Accordingly, it is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a mirror for a projection type image display device, in which the process is simple.
본 발명의 다른 목적은 거울과 액츄에이터의 접착이 용이한 투사형 화상표시장치용 거울의 제조방법을 제공함에 있다.Another object of the present invention is to provide a method of manufacturing a mirror for a projection type image display device in which the mirror and the actuator are easily adhered.
상술한 목적들을 달성하기 위한 본 발명에 따른 투사형 화상표시장치용 거울의 제조방법은 유리기판의 상부표면에 분리층을 도포하는 공정과; 상기 분리층의 소정 부분상에 금속층을 형성하는 공정과; 상기 분리층과 금속층의 상부에 접착층을 형성하고, 상기 접착층의 상부에 액츄에이터를 부착하는 공정과; 상기 분리층을 제거하여 상기 유리기판을 분리하는 공정과; 상기 금속층이 형성되지 않은 부분의 접착층을 제거하는 공정을 구비한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing a mirror for a projection image display device, the method including: applying a separation layer to an upper surface of a glass substrate; Forming a metal layer on a predetermined portion of the separation layer; Forming an adhesive layer on the separation layer and the metal layer, and attaching an actuator on the adhesive layer; Separating the glass substrate by removing the separation layer; The process of removing the contact bonding layer of the part in which the said metal layer is not formed is provided.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
제2a도 내지 c도는 본 발명의 일실시예에 따른 투사형 화상표시장치용 거울의 제조공정도이다.2A to 2C are manufacturing process diagrams of a mirror for a projection type image display device according to an embodiment of the present invention.
제2a도를 참조하면, 유리기판(21)상에 분리층(23)과 금속층(25)을 형성한다. 유리기판(21)은 형성될 거울의 난반사를 방지하기 위해 표면이 평탄하며, 또한 여러번에 걸쳐 재사용되기 위해서는 내화학성을 갖는다. 분리층(23)은 거울을 완성한 후 유리기판(21)과 분리를 쉽게 하는 것으로, 포토레지스트 등을 회전도포법(spin coating method)등으로 평탄하게 도포하여 형성한다. 또한, 분리층(23)을 물에 잘 용해되는 NaCl과 같은 이온화합물이나 수용성 폴리머로 형성할 수 있다. 금속층(25)은 거울의 반사면을 형성하기 위한 것으로 알루미늄등과 같이 반사율이 높은 금속을 스퍼터링 또는 진공증착하여 형성한다.Referring to FIG. 2A, a separation layer 23 and a metal layer 25 are formed on the glass substrate 21. The glass substrate 21 has a flat surface to prevent diffuse reflection of the mirror to be formed, and also has chemical resistance to be reused several times. The separation layer 23 is easy to separate from the glass substrate 21 after completing the mirror, and is formed by applying a photoresist or the like flatly by a spin coating method or the like. In addition, the separation layer 23 may be formed of an ionic compound such as NaCl or a water-soluble polymer that is well dissolved in water. The metal layer 25 is for forming a reflective surface of the mirror and is formed by sputtering or vacuum depositing a metal having high reflectance such as aluminum.
제2b도를 참조하면, 금속층(25)을 거울의 크기로 한정하고, 그 위에 접착층(27)을 형성한 후 액츄에이터(29)를 부착시킨다. 상기에서, 금속층(25)을 통상의 포토리쏘그래피 공정에 의해 거울의 크기로 한정한다. 또한, 접착층(27)은 플라스틱 등을 사용하며 거울의 두께를 조절할 수 있다. 그리고, 액츄에이터(29)는 구동시 변형되는 상부의 표면이 금속층(25)의 중간과 일치되도록 접착층(27)과 부착된다.Referring to FIG. 2B, the metal layer 25 is limited to the size of the mirror, and the actuator 29 is attached after the adhesive layer 27 is formed thereon. In the above, the metal layer 25 is limited to the size of the mirror by a conventional photolithography process. In addition, the adhesive layer 27 may be made of plastic, and the thickness of the mirror may be adjusted. The actuator 29 is attached to the adhesive layer 27 such that the upper surface of the actuator 29 deforms during driving coincides with the middle of the metal layer 25.
제2c도를 참조하면, 분리층(23)을 제거하여 금속층(25)과 접착층(27)에서 유리기판(21)을 분리하고, 금속층(25)이 형성되어 있지 않은 부분의 접착층(27)을 제거하여 거울(31)을 완성한다. 상기에서, 분리층(23)은 유기용매로 제거될 수 있으므로 금속층(25)과 접착층(27)으로부터 유리기판(21)이 분리된다. 접착층(27)은 레이저(laser)로 제거하거나, 또는 플라즈마 에칭(plasma etching) 또는 반응성이온에칭(reactive ion etching) 등의 물리적 에칭 방법으로 제거한다.Referring to FIG. 2C, the separation layer 23 is removed to separate the glass substrate 21 from the metal layer 25 and the adhesive layer 27, and the adhesive layer 27 in the portion where the metal layer 25 is not formed is removed. Remove to complete the mirror (31). In the above, since the separation layer 23 can be removed with an organic solvent, the glass substrate 21 is separated from the metal layer 25 and the adhesive layer 27. The adhesive layer 27 is removed by a laser, or by a physical etching method such as plasma etching or reactive ion etching.
상술한 바와 같이, 유리기판상에 분리층과 거울의 크기로 한정된 금속층을 형성하고 그 상부에 접착층을 형성한 후 액츄에이터를 접착시키며, 분리층을 제거하여 기판을 분리시킨 다음 금속층들 사이의 접착층을 제거하여 거울을 만든다.As described above, a metal layer defined by the size of the separation layer and the mirror is formed on the glass substrate, and an adhesive layer is formed on the upper portion thereof, and then the actuators are adhered to each other. Make a mirror.
따라서, 본 발명은 접착층에 의해 거울의 두께를 조절할 수 있어 반사면으로 이용되는 한 개의 금속층을 형성하므로 제조가 간단한 잇점이 있다. 또한, 분리층과 금속층상의 전표면에 접착층을 형성한 후 액츄에이터의 상부들을 동시에 부착하므로 접착이 쉬운 잇점이 있다.Therefore, the present invention has a simple advantage of manufacturing because it can control the thickness of the mirror by the adhesive layer to form one metal layer to be used as the reflective surface. In addition, since the adhesive layer is formed on the entire surface on the separation layer and the metal layer, the upper parts of the actuator are attached at the same time.
Claims (4)
Priority Applications (3)
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|---|---|---|---|
| KR1019930004519A KR0134502B1 (en) | 1993-03-23 | 1993-03-23 | Manufacture method of a mirror for projection ststem |
| US08/216,755 US5581393A (en) | 1993-03-23 | 1994-03-23 | Mirror array and method for the manufacture thereof |
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Family Applications (1)
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| KR1019930004519A KR0134502B1 (en) | 1993-03-23 | 1993-03-23 | Manufacture method of a mirror for projection ststem |
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| KR940022131A (en) | 1994-10-20 |
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