KR0129962Y1 - Variable cell plate for electron microscope - Google Patents
Variable cell plate for electron microscope Download PDFInfo
- Publication number
- KR0129962Y1 KR0129962Y1 KR2019940035645U KR19940035645U KR0129962Y1 KR 0129962 Y1 KR0129962 Y1 KR 0129962Y1 KR 2019940035645 U KR2019940035645 U KR 2019940035645U KR 19940035645 U KR19940035645 U KR 19940035645U KR 0129962 Y1 KR0129962 Y1 KR 0129962Y1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- sample
- pedestal
- general
- destructive
- fixing bolt
- Prior art date
Links
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 45
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 claims abstract description 32
- 230000006378 damage Effects 0.000 claims abstract description 25
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims abstract description 25
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims abstract description 25
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 139
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 8
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000538 analytical sample Substances 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000001493 electron microscopy Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000000615 nonconductor Substances 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/20—Means for supporting or positioning the object or the material; Means for adjusting diaphragms or lenses associated with the support
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/20—Positioning, supporting, modifying or maintaining the physical state of objects being observed or treated
- H01J2237/206—Modifying objects while observing
- H01J2237/2065—Temperature variations
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
본 고안은 전자현미경용 파괴시료의 분석시 시료의 길이에 관계없이 시료를 냉각시켜 파괴를 원활하게 할 수 있고, 단면시료의 관찰시 시료를 쉽게 고정할 수 있으며, 부도체성의 시료는 기울기를 조절하여 대전현상을 해지할 수 있도록 하기 위하여 시료받침대 본체의 시료받침대 체결공에는 외측둘레면에 나선부를 갖는 파괴시료받침대를 나사결합하되, 파괴시료받침대의 중앙에는 저부에 이르도록 파괴시료 삽입공을 형성하고 하단중앙에는 드라이버 삽입공을 형성하여 좌·우 양측에는 높낮이가 서로 다르게 각각의 파괴시료 고정볼트 가이드공을 천공하고 이에 파괴시료 고정볼트를 삽입하여 파괴시료를 고정하도록 된 것이고, 시료받침대 본체의 시료받침대 체결공에는 일반시료 받침대 받침구와 일반시료 받침대를 순차적으로 결합·고정시키되, 상기 일반시료 받침대 받침구의 상면중앙에는 돌출부안착홈을 형성하고 저부에는 드라이버 삽입홈을 형성하며 상부일측에는 일반시료 받침대 고정볼트 가이드공을 형성하여 이에 일반시료받침대의 돌출부를 안착시키고 일반시료 받침대 고정볼트로 고정시키도록 하는 한편 상기 일반시료 받침대의 상부에는 좌·우 양측에 일반시료 받침대 고정볼트 가이드공을 형성하여 일반시료 고정볼트로 일반시료를 고정하도록 된 것이다.The present invention can cool the sample smoothly regardless of the length of the sample when analyzing the destruction sample for electron microscope, and can easily fix the sample when observing the cross-section sample. In order to terminate the charging phenomenon, screw the destructive sample support having a spiral portion on the outer circumferential surface to the sample support fastening hole of the sample support body, and form a destructive sample insertion hole to reach the bottom in the center of the destructive sample support. The driver insert hole is formed at the bottom center to drill holes for each of the specimens for fixing specimens with different heights on the left and right sides, and to fix the specimens by inserting the specimen fixing bolts. Pedestal fasteners can be combined and fixed to the sample holder base and the sample holder in order To form a projection seating groove in the center of the upper surface of the general sample pedestal base, and the driver insertion groove in the bottom, and the upper side of the general sample pedestal fixing bolt guide hole to form a projection of the general sample pedestal and the general sample pedestal While fixing the fixing bolts on the upper side of the general sample pedestal formed on the left and right sides of the general sample pedestal fixing bolt guide ball is to fix the general sample with the fixing bolt.
Description
본 고안은 전자현미경으로 관찰하는 시료의 형태나 관찰조건에 관계없이 다기능, 다목적으로 사용할 수 있는 전자현미경용 다기능 시료받침대에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 파괴시료를 분석하기 위하여 전자현미경으로 관찰할 때 시료의 길이에 관게없이 시료를 냉각시켜 파괴를 원활하게 할 수 있고, 일반시료를 관찰할 때 시료를 쉽게 고정할 수 있으며, 부도체성시료의 기울기로 조절하여 대전현상을 해지할 수 있도록 한 것이다.The present invention relates to a multifunctional sample holder for an electron microscope that can be used for multifunction and multi-purpose regardless of the shape or observation conditions of the sample observed by an electron microscope, and more specifically, when observing with an electron microscope to analyze a destructive sample. Regardless of the length of the sample, the sample can be cooled to facilitate destruction, the sample can be easily fixed when observing a general sample, and the charge phenomenon can be terminated by adjusting the inclination of the non-conductive sample.
종래에는 파괴시료를 관찰할 때에는 제1도에서 도시된 바와 같이 파괴시료받침대(100)의 중앙을 관통하며 형성된 시료 삽입구멍(101)에 중간부위보다 약간 높은 위치(3/5)에 노치부(105)가 형성된 파괴시료(102)를 삽입하되, 상기 노치부(105)가 시료삽입구멍(101) 상부 표면과 평행하게 되도록 파괴시료(102)를 삽입시키고 파괴시료받침대(100) 사우 일측에 관통된 고정볼트 삽입공(104)에 고정볼트(103)를 체결하면 파괴시료(102)의 고정이 완료되는 것이다.Conventionally, when observing a destructive sample, as shown in FIG. 1, the notch part is positioned at a position (3/5) slightly higher than the middle part in the sample insertion hole 101 formed through the center of the destructive sample support 100. Inserting the destructive sample 102 formed 105, the insertion of the destructive sample 102 so that the notch 105 is parallel to the upper surface of the sample insertion hole 101 and penetrates to one side of the destructive sample support 100 When the fixing bolt 103 is fastened to the fixed bolt insertion hole 104, the fixing of the destructive sample 102 is completed.
이 상태에서 상기 파괴 시료받침대(100)를 전자현미경내로 장입시킨 후 파괴시료(102) 끝부분을 전자현미경 내부 파괴실의 액체질소가 들어있는 냉각봉에 접촉하여 파괴시료(102)를 냉각시킨 다음 파괴시료(102)의 상부에 충격을 가하면 파괴시료(102)의 노치부(105)가 파단되어 파괴시료(102)의 노치부(105) 상부는 절단되므로 나머지 노치부(105) 하부의 파단면을 오제 전자현미경을 이용하여 입계면의 관찰 및 분석을 하게 된다.After charging the destructive sample holder 100 into the electron microscope in this state, the end of the destructive sample 102 is contacted with a cooling rod containing liquid nitrogen in the destructive chamber of the electron microscope to cool the destructive sample 102. When an impact is applied to the upper portion of the destructive sample 102, the notch portion 105 of the destructive sample 102 is broken so that the upper portion of the notch portion 105 of the destructive sample 102 is cut, so that the fracture surface of the lower portion of the notched portion 105 is cut. The Auger electron microscope is used to observe and analyze grain boundaries.
그러나 이와 같은 종래의 파괴시료 받침대(100)는 길이를 변형할 수가 없으므로 파괴 시료(102)의 길이가 규격과 같지 않으면 전자현미경 내부 파괴실의 냉각봉과 접촉되지 않아 파괴시료(102)의 냉각시 냉각이 이루어지지 않으며 이로 인하여 파괴시료(102)가 파단되지 않는 원인이 되어 파괴시료로서 관찰 및 분석이 불가능하게 되는 등의 문제점이 있었다.However, since the conventional destruction sample pedestal 100 cannot be modified in length, if the length of the destruction specimen 102 is not the same as the standard, the specimen does not come into contact with the cooling rod of the internal destruction chamber of the electron microscope to cool the destruction specimen 102. This is not done and this causes the destruction sample 102 not to break, there is a problem such that it is impossible to observe and analyze as the destruction sample.
또한 제2a도 및 제2b도에 도시된 바와 같은 일반시료일 경우, 일반시료 받침대(200)을 이용한 것으로 상기 일반시료가 제2a도에서와 같이 판형시료(205a)일때에는 일반시료 받침대(200)표면에 위치시키고 시료고정클립(203)으로 판형시료(205a)의 끝부위 일측을 고정한 후 일반시료 받침대(200) 상부 양측에 관통 형성된 볼트 삽입공(201)에 클립고정볼트(204)를 결합하여 판형시료(205a)를 고정시킨다.In addition, in the case of the general sample as shown in Figures 2a and 2b, using the general sample pedestal 200, when the general sample is a plate-like sample (205a) as in Figure 2a general sample pedestal 200 After fixing the one end of the plate-shaped sample (205a) with the sample fixing clip (203) on the surface and combines the clip fixing bolt 204 to the bolt insertion hole 201 formed through the upper side of the general sample pedestal 200 The plate sample 205a is fixed.
또는 일반시료가 제2b도에 도시된 바와 같이 높이가 높은 돌출시료(205b)일 경우에는 일반시료 받침대(200)의 상면에 양면테이프(202)를 붙인 후 그 위에 돌출시료(205b)를 고정한 다음 상기 일반시료 받침대(200)를 전자현미경 내로 장입시킨 후 오제 전자현미경을 이용하여 시료의 표면을 관찰 및 분석하게 되는 것이다.Alternatively, if the general sample is a high-profile projecting sample 205b as shown in FIG. 2b, attach the double-sided tape 202 to the upper surface of the general sample pedestal 200, and then fix the projecting sample 205b thereon. After loading the general sample pedestal 200 into an electron microscope, the surface of the sample is observed and analyzed using an Auger electron microscope.
그러나 이와 같은 종래의 일반시료 받침대(200)는 시료고정클립(203)과 양면테이프(202) 등으로 고정하는 구성으로서 분석시료가 판상일 경우 시료의 형상이 굴곡이 있거나 휘어진 상태에서 시료고정클립(203)으로 고정하고 이를 클립고정볼트(204)로 고정시키게 되므로 평판시료(205a)가 견고히 고정이 되지 않아 고정상태 불량으로 전자현미경 내부의 진공속에서 이동중 평판시료(205a)가 시료받침대(200)에서 이탈되어 전자현미경 바닥으로 떨어져 분석이 불가능하게 되며, 단면관찰용 돌출시료(205b)는 일반시료 받침대(200)의 상부표면에 양면테이프(202)를 붙이고, 그 위에 돌출시료(205b)를 세워 고정하는 구성으로 견고한 고정이 불가능함은 물론, 양면테이프(202)에서 발생되는 가스에 의해 초고진공을 유지해야 하는 전자현미경 내부를 오염시켜 그 성능의 저하를 초래하는 원인이 되었다.However, such a conventional sample pedestal 200 is fixed to the sample fixing clip 203 and the double-sided tape 202, etc. If the analysis sample is plate-shaped, the shape of the sample is bent or curved sample holding clip ( 203) and fix it with a clip fixing bolt 204, so that the plate sample 205a is not firmly fixed and the plate sample 205a is moved in the vacuum under the electron microscope due to a poor fixation state. It is separated from the bottom of the electron microscope to be impossible to analyze, the protruding sample 205b for observing the cross-section tape 202 is attached to the upper surface of the general sample pedestal 200, and the protruding sample 205b is placed thereon It is not possible to fix it firmly, but it also contaminates the inside of the electron microscope to maintain ultra-high vacuum by the gas generated from the double-sided tape 202. This was the cause that leads to.
또한 분석시료가 부도체일 경우 대전현상이 발생하기 때문에 이를 해지하기 위하여 시료(205a)에 기울기를 주어야 하는데 전자현미경에 주어진 기울기는 한계가 있으므로 더 많은 기울기가 요구되는 시료의 분석이 불가능하게 되는 등의 문제점이 있었던 것이다.In addition, when the analytical sample is a nonconductor, since the charging phenomenon occurs, the sample 205a needs to be inclined in order to terminate it. However, since the inclination of the electron microscope is limited, analysis of a sample requiring more inclination becomes impossible. There was a problem.
따라서 본 고안은 상기와 같은 제반문제점을 감안하여 이를 해소하고자 고안한 것으로, 시료받침대 본체와 시료받침대 받침구로 구분하여 파괴시료와 일반시료중 어떠한 시료라도 관계없이 시료받침대에 장착할 수 있도록 하고, 시료의 기울기를 자유롭게 조절할 수 있도록 하여 원활하고 정밀한 분석을 할 수 있는 전자현미경용 다기능 시료받침대를 제공함에 그 목적이 있는 것이다.Therefore, the present invention was devised to solve the above problems in consideration of the above problems, and divided into a sample support body and a sample support base so that any sample of the destructive sample and the general sample can be mounted on the sample support, and the sample The purpose of the present invention is to provide a multi-functional sample holder for electron microscopy that enables smooth and precise analysis by allowing the tilt of the device to be freely adjusted.
상기 목적을 달성하기 위한 본 고안은 시료받침대 본체 중앙에는 파괴시료받침대 및 일반시료 받침대 받침구를 선택적으로 결합 사용할 수 있는 시료받침대 체결공을 천공하되 내측둘레에 나선부를 형성하여서 된 것이다.The present invention for achieving the above object is to form a spiral portion in the inner circumference while drilling a sample support fastening hole that can be selectively used in the center of the sample support body and the specimen support base and the specimen support base.
제1도는 종래의 파괴시료 받침대 단면구성도.1 is a cross-sectional view of a conventional destructive sample pedestal.
제2a도 및 제2b도는 종래의 일반시료 받침대 단면 구성도.2a and 2b is a cross-sectional view of a conventional general sample pedestal.
제3도는 본 고안의 파괴시료 받침대 분해사시도.Figure 3 is an exploded perspective view of the destruction sample pedestal of the present invention.
제4도는 본 고안의 파괴시료 받침대 결합단면도.4 is a cross-sectional view of the destruction sample pedestal coupling of the present invention.
제5도는 본 고안의 일반시료 받침대 분해사시도.5 is an exploded perspective view of the general sample pedestal of the present invention.
제6도는 본 고안의 일반시료 받침대 결합단면도.6 is a cross-sectional view of the general sample pedestal coupling of the present invention.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
10 : 시료받침대 본체 11 : 시료받침대 체결공10: sample support body 11: sample holder fastening hole
12,23,37 : 나선부 20 : 파괴시료 받침대12,23,37: spiral portion 20: destructive sample base
21 : 파괴시료 삽입공 22,28,38 : 드라이버 삽입홈21: Demolition sample insertion hole 22,28,38: screwdriver insertion groove
24 : 파괴시료 고정볼트 삽입공 25 : 파괴시료 고정볼트24: specimen fixing bolt insertion hole 25: specimen fixing bolt
30 : 일반시료 받침대 31 : 돌출부30: general sample support 31: protrusion
32 : 일반시료 고정볼트 삽입공 33 : 일반시료 고정볼트32: normal sample fixing bolt insertion hole 33: general sample fixing bolt
34 : 일반시료 받침대 받침구 35 : 일반시료 받치대 고정볼트 삽입공34: general sample support base 35: general support base fixing bolt insertion hole
36 : 일반시료 받침대 고정볼트 39 : 돌출부 안착홈36: general sample support fixing bolt 39: protrusion mounting groove
본 고안은, 전자 현미경용 다기능 시료받침대를 형성함에 있어서, 시료받침대 본체(10)의 중앙에는 파괴시료 받침대(20) 및 일반시료 받침구(34)를 선택적으로 결합사용할 수 있는 시료받침대 체결공(11)을 형성하되, 내측둘레면에 나선부(12)를 형성하고 상기 시료받침대 본체(10)의 시료받침구 체결공(11)에는 외측둘레에 나선부(23)를 갖는 파괴시료 받침대(20)가 나사결합되며, 상기 파괴시료 받침대(20)의 중앙에는 파괴시료 삽입공(21)이 형성되어 있다.The present invention, in forming a multi-functional sample support for the electron microscope, in the center of the sample support body 10, the sample support fastening hole which can selectively use the destructive sample pedestal 20 and the general sample support 34 ( 11) to form a spiral portion 12 on the inner circumferential surface and the specimen support fastening hole (11) of the sample support body (10) has a destructive sample pedestal 20 having a spiral portion 23 on the outer circumference ) Is screwed, and the destruction sample insertion hole 21 is formed in the center of the destruction sample pedestal 20.
한편 파괴시료 받침대(20)의 저면 중앙에는 드라이버삽입홈(22)이 형성되고, 좌·우 양측면에는 높낮이가 서로 다르게 파괴시료 고정볼트 삽입공(24)이 형성되며 이에 파괴시료 고정볼트(25)를 삽입하여 파괴시료(102)를 고정하도록 되어 있다.Meanwhile, the driver insertion groove 22 is formed in the center of the bottom surface of the destructive sample pedestal 20, and the destructive sample fixing bolt insertion hole 24 is formed on both left and right sides of the deformed sample fixing bolt 25. Is inserted to fix the destruction sample (102).
또한 상기 시료받침대 본체(10)의 시료받침대 체결공(11)에는 일반시료 받침대 받침구(34)와 일반시료 받침대(30)를 순차적으로 결합·고정시키되, 상기 일반시료 받침대 받침구(34)의 상면 중앙에는 돌출부 안착홈(39)이 형성되고 저부에는 드라이버 삽입홈(38)이 형성되어 있으며 일측면에는 일반시료 받침대 고정볼트 삽입공(35)이 형성되어 있다.In addition, the sample holder fastening hole (11) of the sample support body (10) is coupled to and fixed to the normal sample support base 34 and the general sample support 30 in sequence, but the A protrusion seating groove 39 is formed at the center of the upper surface, and a driver insertion groove 38 is formed at the bottom thereof, and a general sample pedestal fixing bolt insertion hole 35 is formed at one side thereof.
그리고 상기 일반시료 받침대(30)의 좌·우 양측에는 일반시료 고정볼트 삽입공(32)을 형성하여 일반시료 고정볼트(33)로 시료(102)를 고정하도록 하여서 된 것이다.And the left and right sides of the general sample pedestal 30 is to form a general sample fixing bolt insertion hole 32 to fix the sample 102 with the general sample fixing bolt 33.
이와 같이 구성된 본 고안의 작용효과를 설명하면 다음과 같다.Referring to the effect of the present invention configured as described above are as follows.
본 고안은 먼저 파괴시료(102)일 경우 드라이버를 이용하여 파괴시료 받침대(20) 하단의 드라이버홈(22)에 넣고 돌려서 시료받침대(20)를 시료받침대 본체(10)로부터 분리시킨 후 파괴시료(102)를 시료 받침대(20) 중앙에 관통형성된 파괴시료 삽입공(21)에 삽입시켜 파괴시료(102)의 노치부(105)가 시료받침대(20) 상면과 평행하게 위치하도록 한다.The present invention, in the case of the destructive sample 102, first, by using a screwdriver in the driver groove 22 at the bottom of the destructive sample pedestal 20 to rotate the sample support 20 from the sample support main body 10 and then the destructive sample ( 102 is inserted into the destruction sample insertion hole 21 formed in the center of the sample pedestal 20 so that the notch portion 105 of the destruction sample 102 is positioned in parallel with the upper surface of the sample support 20.
그리고 파괴시료 고정볼트(25)를 체결하여 파괴시료(102)를 양측에서 고정시킨 후 파괴시료 받침대(20)를 하부에서 상부로 삽입시킨 후 드라이버를 드라이버 삽입홈(22)에 넣고 돌리면서 파괴시료(102)의 길이에 따라 전자현미경 내부 파괴실의 냉각봉에 닿을 수 있도록 정확한 길이를 결정 체결하면 파괴시료(102)를 시료받침대 본체(10)에 고정하는 작업이 끝나는 것이다.Then, after fixing the destruction sample fixing bolt 25 to fix the destruction sample 102 on both sides, the destruction sample base 20 is inserted from the bottom to the top, and then the screw is inserted into the driver insertion groove 22 and the destruction sample is turned. According to the length of 102 to determine the correct length to reach the cooling rod of the electron microscope internal destruction chamber is to complete the operation of fixing the destruction sample 102 to the sample holder body (10).
이 상태에서 전자현미경에 시료받침대 본체(10)를 장입한 다음 액체질소로 냉각시킨 후 파괴시켜서 그 파단면의 성분을 관찰 및 분석하는 것이다.In this state, the sample holder main body 10 is charged to the electron microscope, cooled with liquid nitrogen, and then destroyed to observe and analyze the components of the fracture surface.
이때 본 고안의 시료받침대 본체(10)는 전자현미경 내부 파괴실 입구에 안착되어 파괴실 내부에 액체질소가 함유된 냉각봉과 파괴시료(102)가 접촉되면서 시료(102)를 원활하게 냉각시킬 수 있어 완전한 파괴가 이루어지도록 하였으며 일반 판상의 표면이나 단면을 관찰하는 일반시료(205)일 경우 일반시료 받침대(30)의 상면 중앙에 일반시료(205)를 안착하고 이의 양측에 필요에 따라 가공된 시료공정판을 함께 삽입한 다음 일반시료 고정볼트(33)로 견고히 고정한 후 상기 일반시료 받침대(30)에 고정된 일반시료(205)의 분석목적에 맞도록 각을 결정한 다음 고정볼트(33)를 이용하여 일반시료 받침대(30)를 고정시킨다.At this time, the sample support body 10 of the present invention is seated at the entrance of the inner chamber of the electron microscope to cool the sample 102 while the cooling rod containing the liquid nitrogen and the destruction sample 102 in contact with the interior of the chamber. In the case of the general sample 205 for observing the surface or the cross section of the general plate, the sample process was carried out as needed on both sides of the general sample 205 in the center of the upper surface of the general sample pedestal 30. Insert the plates together and fix them firmly with the general sample fixing bolts 33, and then determine the angles to meet the analysis purpose of the general sample 205 fixed to the general sample holder 30, and then use the fixing bolts 33. Fix the sample holder 30.
이와같이 일반시료 받침대(30)를 고정한 다음에는 일반시료 받침대 받침구(34)을 상부에서 하부로 삽입시킨 후 드라이버를 드라이버삽입홈(38)에 놓고 돌리면서 분석목적에 따라 적당한 위치에 체결하면 일반시료(205)를 일반시료 받침대 받침구(34)에 고정하는 작업이 끝나는 것이다.After fixing the general sample pedestal 30 in this manner, insert the general sample pedestal base 34 from the top to the bottom, and then turn the screwdriver into the screwdriver insertion groove 38 and turn the screw to an appropriate position according to the purpose of analysis. Fixing 205 to the general sample pedestal base 34 is finished.
이 상태에서 전자현미경에 시료받침대 본체(10)를 장입하여 표면의 관찰 및 성분분석을 하는 것이다.In this state, the sample receiving body 10 is loaded into the electron microscope to observe the surface and analyze the components.
이때 본 고안의 일반시료 받침대 받침구(34)는 양면테이프(202)를 사용하지 않고 시료고정판 또는 고정볼트(33)를 이용하여 일반시료(205)를 견고히 고정하면 고정볼트(36)를 해지한 후 일반시료 받침대(30)을 움직여 다 방향으로 각을 부여할 수 있도록 하였다.At this time, the general sample pedestal support hole 34 of the present invention is fixed by using the sample fixing plate or fixing bolt 33 to firmly fix the general sample 205 without using the double-sided tape 202 to release the fixing bolt 36. After moving the general sample pedestal (30) to give an angle in multiple directions.
본 고안의 전자현미경용 시료받침대에 의하여, 파괴시료의 분석시 파괴시료의 높이조절이 용이하므로 시료의 길이에 관계없이 원활한 냉각을 할 수 있어 시료의 미파괴 현상이 일어나지 않으므로 모든 시료의 파괴면 관찰 및 분석을 수행할 수 있다.With the electron microscope sample holder of the present invention, it is easy to adjust the height of the destructive sample when analyzing the destructive sample, so that it can be cooled smoothly regardless of the length of the sample. And analysis can be performed.
또한 일반시료 받침대 사용에 의하여 테이프의 접착 물질에서 발생되는 가스 등에 의하여 야기되는 제반문제점, 즉 전자현미경 내부의 오염 등으로 발생되는 전자현미경의 수명단축, 부품 손실 등의 문제점을 해결할 수 있게 되어 수명이 연장됨과 동시에, 전자현미경에 분석시료 받침대를 장입하기 전에 분석목적에 따라 다양한 기울기를 부여할 수 있어 고난이도의 분석에 적용할 수 있어 작업능률이 향상되는 등의 효과를 제공할 수 있는 매우 유용한 고안이다.In addition, it is possible to solve problems such as shortening of the life of the electron microscope caused by contamination of the inside of the electron microscope, parts loss, etc. caused by the gas generated from the adhesive material of the tape by using the general sample holder. At the same time, it is possible to give various inclinations according to the purpose of analysis before loading the analytical sample holder into the electron microscope, so it can be applied to the analysis of high difficulty. .
Claims (3)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019940035645U KR0129962Y1 (en) | 1994-12-24 | 1994-12-24 | Variable cell plate for electron microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019940035645U KR0129962Y1 (en) | 1994-12-24 | 1994-12-24 | Variable cell plate for electron microscope |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR960024326U KR960024326U (en) | 1996-07-22 |
| KR0129962Y1 true KR0129962Y1 (en) | 1998-12-01 |
Family
ID=19402693
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR2019940035645U KR0129962Y1 (en) | 1994-12-24 | 1994-12-24 | Variable cell plate for electron microscope |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0129962Y1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102095516B1 (en) * | 2018-11-28 | 2020-03-31 | 재단법인대구경북과학기술원 | Apparatus for holding sample of microscope |
-
1994
- 1994-12-24 KR KR2019940035645U patent/KR0129962Y1/en not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102095516B1 (en) * | 2018-11-28 | 2020-03-31 | 재단법인대구경북과학기술원 | Apparatus for holding sample of microscope |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR960024326U (en) | 1996-07-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7182328B2 (en) | Spring pin assembly | |
| KR970004868B1 (en) | Tool with clamped insert | |
| KR100408415B1 (en) | Sample holder, auxiliary apparatus for holding sample in the sample holder and Method of holding sample using the same | |
| ATE66069T1 (en) | SPECTROSCOPY DEVICE FOR SURFACE ANALYSIS. | |
| JPH02156658A (en) | Thermal conductive module | |
| KR0129962Y1 (en) | Variable cell plate for electron microscope | |
| US5033834A (en) | Microscope specimen mount converter | |
| JP3123826B2 (en) | Sample cooling holder for electron microscope etc. | |
| KR20100051902A (en) | A holder apparatus for specimen in scanning elctron microscope | |
| JPH0826721B2 (en) | Door hinge mounting device | |
| US4723771A (en) | Fixing and jamming tooling for round parts | |
| KR101009899B1 (en) | A holder apparatus for specimen in scanning elctron microscope | |
| US6190200B1 (en) | Lamp holder base and attachment method | |
| CN210863799U (en) | Test fixture | |
| JP2002231171A (en) | Sample holding device | |
| KR0129959Y1 (en) | Cell fixing apparatus of scan electron microscope | |
| US20060091114A1 (en) | Electrical discharge machine for improving the guide alignment base structure | |
| KR950003427Y1 (en) | Destruction sample prop for an auger electron microscope | |
| KR200158453Y1 (en) | Fixing device of drop test sample | |
| CN214350498U (en) | Welding auxiliary device | |
| CN217359684U (en) | Scanning electron microscope sample stage | |
| JP2004177268A (en) | Sample-fixing instrument | |
| US6929231B2 (en) | Automation alignment system and method | |
| KR960009752B1 (en) | Complex surface analysis device | |
| WO2023082080A1 (en) | Cassette and embedding method using same |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| REGI | Registration of establishment | ||
| FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20010721 Year of fee payment: 4 |
|
| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |