KR0127875Y1

KR0127875Y1 - Vibration damper

Info

Publication number: KR0127875Y1
Application number: KR2019920026981U
Authority: KR
Inventors: 김태훈; 이윤석; 김용희
Original assignee: 안재학; 삼성코닝주식회사
Priority date: 1992-12-28
Filing date: 1992-12-28
Publication date: 1998-12-01
Also published as: KR940017872U

Abstract

LCD용 매트릭스 전극 형성을 위해 세정된 유리기판(P)상에 정전기가 발생되어 흡착된 먼지 및 이물질을 공기중에 노출된 상태인 이온 노즐로 이온화된 공기를 분사시켜 분리시킴에 따른 먼지 및 이물질의 재흡착과 이로 인한 전극 형성 불량을 방지하기 위하여, 세정후 매트릭스 전극형성을 위해 이송되는 유리기판(P)을 다수 적재할 수 있는 카세트(4)에 각각 이격되게 적재하고 이를 이온 노즐(3)이 다수 설치되어 있을 뿐만 아니라 저면에 유리기판(P)에서 분리된 먼지 및 이물질을 흡착하는 배기팬(1)을 설치한 케이스(2)를 통과시킴으로써 먼지 및 이물질이 유리기판(P)에 재흡착되지 않게 된다.The dust generated by the static electricity generated on the cleaned glass substrate (P) to form the matrix electrode for LCD can be separated from the dust and foreign substances by spraying the ionized air with an ion nozzle exposed to the air. In order to prevent the adsorption and the resulting electrode formation failure, the glass substrate P, which is transported for the formation of the matrix electrode after cleaning, is stacked in the cassette 4 that can be stacked, and the ion nozzles 3 are separated. Not only is installed on the bottom, but also through the case (2) provided with an exhaust fan (1) that adsorbs the dust and foreign matter separated from the glass substrate (P) on the bottom so that dust and foreign matter is not re-adsorbed on the glass substrate (P) do.

Description

Vibration damper

제1도는 본 고안에 따른 제진 장치를 도시한 개략도.1 is a schematic view showing a vibration suppression apparatus according to the present invention.

제2도는 제1도의 케이스를 절단하여 도시한 평면도.FIG. 2 is a plan view cut out of the case of FIG.

제3도는 제1도에서 카세트에 유리기판의 안착 부위를 도시한 부분 확대 사시도.3 is a partially enlarged perspective view showing a mounting portion of a glass substrate on a cassette in FIG.

제4도는 제1도에서 노즐을 도시한 확대 단면도.4 is an enlarged cross-sectional view of the nozzle in FIG.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

1 : 배기팬 2 : 케이스1: exhaust fan 2: case

3 : 이온노즐 4 : 카세트3: ion nozzle 4: cassette

5 : 방진커버 6 : 컨베이어5: dust cover 6: conveyor

7 : 가이드 8 : 흡입공7: guide 8: suction hole

9 : 적재홈 10 : 압축공기 흡입공9: loading groove 10: compressed air suction hole

11 : 공기 유출공 12 : 커버11: air outlet hole 12: cover

13 : 노즐 14 : 감지마크13 nozzle 14 detection mark

15 : 감지센서15: detection sensor

본 고안은 제진장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 LCD등의 기판으로 사용되는 유리기판과 반도체 칩 제조에 사용되는 웨이퍼 가공후 정전기에 의해 흡착되는 먼지 및 이물질을 제거할 수 있는 제진 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a vibration suppression apparatus, and more particularly, to a vibration suppression apparatus capable of removing dust and foreign matter adsorbed by static electricity after processing a glass substrate used as a substrate such as an LCD and a wafer used in the manufacture of a semiconductor chip. .

일반적으로, LCD(Liquified Crystal Display)는 매트릭스 형상인 2개의 전극 사이에 소정의 트위스트 각을 갖는 다수 형태의 액정을 충진시킴과 아울러 밀봉시키고 상기한 매트릭스 전극에서 인출된 리이드 단자에 소정의 제어된 전압을 인가함으로써 각 매트릭스 전극에 해당되는 액정을 트위스트시켜 표시를 행하게 된다.In general, a liquid crystal display (LCD) fills and seals a plurality of types of liquid crystals having a predetermined twist angle between two electrodes having a matrix shape, and a predetermined controlled voltage at a lead terminal drawn from the matrix electrode. By applying, the liquid crystal corresponding to each matrix electrode is twisted to display.

상기한 매트릭스 전극은 통상 투명하게 형성됨과 아울러 소정 성분의 유리기판 상에 부착되게 되는 바, 상기한 매트릭스 전극은 통상 인듐옥사이드(ITO)코팅 필름등을 에칭시켜 형성하게 된다.The matrix electrode is usually transparent and attached to a glass substrate of a predetermined component. The matrix electrode is usually formed by etching an indium oxide (ITO) coated film or the like.

여기서, 상기한 바와 같이 매트릭스 전극의 형성전에 유리기판을 세정한 후 매트릭스 전극을 형성하게 되는 바, 상기한 유리기판에는 세정후 수분의 증발과정에서 정전기가 발생되어 먼저 및 이물질이 유리기판에 흡착되기 때문에 이를 제거해야 한다.Here, as described above, the glass substrate is cleaned before the formation of the matrix electrode and then the matrix electrode is formed. In the glass substrate, static electricity is generated during the evaporation of water after cleaning, so that foreign substances are first adsorbed onto the glass substrate. It must be removed.

그래서, 종래에는 유리기판의 세정과 매트릭스 전극의 형성과정 사이에 이온 노즐을 설치하여 이온화된 공기를 분사시킴으로써 유리 기판상의 정전기를 해소하여 먼지 및 이물질을 분리시키게 된다.Therefore, in the related art, an ion nozzle is installed between the process of cleaning the glass substrate and the formation of the matrix electrode to spray ionized air to solve static electricity on the glass substrate to separate dust and foreign matter.

그러나, 상기한 바와 같이 이온 노즐을 사용하여 이송중인 유리기판에 흡착된 먼지 및 이물질을 분리시킬 때 유리기판이 공기중에 노출된 상태이기 때문에 이온 노즐에 의해 분리되어 비산되는 먼지 및 이물질이 다시 유리기판에 흡착됨으로써 제진 효율이 저하됨과 아울러 유리기판에 매트릭스 전극 형성후 불량이 발생되는 문제점이 있었다.However, when the dust and foreign matter adsorbed on the glass substrate being transported using the ion nozzle as described above, since the glass substrate is exposed to air, the dust and foreign matter that is separated and scattered by the ion nozzle is scattered again. Adsorption to the glass substrate has a problem in that the vibration suppression efficiency is lowered and a defect occurs after the formation of the matrix electrode on the glass substrate.

따라서, 본 고안의 목적은 LCD용 매트릭스 전극 형성을 위해 세정된 유리기판 상에 정전기가 발생되어 흡착된 먼지 및 이물질을 공기중에 노출된 상태인 이온 노즐로 이온화된 공기를 분사시켜 분리시킴에 따른 먼지 및 이물질의 재흡착과 이로 인한 전극 형성 불량을 방지할 수 있는 제진 장치를 제공함에 있다.Therefore, an object of the present invention is to generate dust on the glass substrate cleaned to form matrix electrodes for LCD, and to remove the adsorbed dust and foreign substances by spraying ionized air with an ion nozzle exposed to the air. And to provide a vibration damping device that can prevent the re-adsorption of foreign matter and thereby the electrode formation failure.

상기한 목적을 실현하기 위하여 본 고안은 세정후 매트릭스 전극 형성을 위해 이송되는 유리기판을 다수 적재할 수 있는 카세트에 각각 이격되게 적재하고 이를 이온 노즐이 다수 설치되어 있을 뿐만 아니라 저면에 유리기판에서 분리된 먼지 및 이물질을 흡착하는 배기팬을 설치한 케이스를 통과시킴으로써 먼지 및 이물질이 유리기판에 재흡착되지 않게 구성함을 특징으로 한다.In order to realize the above object, the present invention loads the glass substrates, which are transported to form the matrix electrode after cleaning, in a cassette that can be stacked in a plurality of spaces, and separates them from the glass substrate on the bottom as well as the ion nozzles. By passing through the case provided with an exhaust fan for adsorbing the dust and foreign matters, it is characterized in that the dust and foreign matters are configured to prevent the adsorption on the glass substrate.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 고안의 바람직한 실시예를 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention with reference to the accompanying drawings.

제1도는 본 고안에 따른 제진 장치를 도시한 개략도로서, 저면에 배기팬(1)이 연결되어 있는 케이스(2) 상부에 다수의 이온 노즐(3)을 설치하고 양측에 유리기판(P)이 다수 적재된 카세트(4)가 원활하게 출입할 수 있을 뿐만 아니라 외부의 먼지 및 이물질이 유입되지 않도록 방진 커버(5)를 설치하며 상기한 방진 커버(5)의 측부에는 카세트(4)를 이동시키는 통상의 컨베이어(6)가 설치되어 있다.1 is a schematic view showing a vibration suppression apparatus according to the present invention, in which a plurality of ion nozzles 3 are installed on an upper surface of a case 2 to which an exhaust fan 1 is connected, and a glass substrate P is provided on both sides thereof. Not only can the cassette 4 stacked in and out smoothly enter and exit, but also installs a dustproof cover 5 to prevent dust and foreign matter from entering and moves the cassette 4 to the side of the dustproof cover 5. The normal conveyor 6 is provided.

세정이 완료된 다수의 유리기판(P)을 카세트(4)에 적재시켜 컨베이어(6)로 케이스(2)의 내부에서 이송시킨후 정지시키고 이온 노즐(3)이 작동하게 되는 바, 상기한 컨베이어(6)는 제2도에 도시된 바와 같이 케이스(2)의 저면을 통과하여 설치되어 있고 상기한 케이스(2)의 양측에는 카세트(4)의 원활한 입,출을 위해 가이드(7)가 설치되어 있으며 중앙부 저면에 배기팬(1)과 연결된 흡입공(8)이 형성되어 있다.A plurality of glass substrates P, which have been cleaned, are loaded on the cassette 4, transferred to the conveyor 6 from the inside of the case 2, and then stopped and the ion nozzle 3 is operated. 6) is installed through the bottom of the case 2 as shown in Figure 2 and the guide (7) is provided on both sides of the case (2) for smooth entry and exit of the cassette (4) The suction hole 8 is connected to the exhaust fan 1 at the bottom of the central portion.

또한, 카세트(4)에 적재되어 있는 유리기판(P)은 여기에 흡착된 먼지의 용이한 분리를 위해 제3도에 도시된 바와 같이 적재홈(9)이 다수 형성되어 있는 카세트(4)에 각각 소정간격 이격되도록 적재되어 있다.In addition, the glass substrate P loaded in the cassette 4 is placed in the cassette 4 in which a plurality of loading grooves 9 are formed as shown in FIG. 3 for easy separation of the dust adsorbed thereon. They are stacked so as to be spaced apart from each other by a predetermined interval.

카세트(4)가 케이스(2)의 내부에 정지하게 되면 이온 노즐(3)이 작동하여 이온화된 공기를 유리기판(P)에 분사시키게 되면 대전된 상태인 유리기판(P)을 중화시켜 흡착된 먼지가 유리기판(P)에서 분리되도록 한다.When the cassette 4 stops inside the case 2, the ion nozzle 3 operates to inject ionized air onto the glass substrate P, thereby neutralizing and adsorbing the glass substrate P in a charged state. Allow dust to separate from the glass substrate (P).

분리된 먼지는 케이스(2)의 저면에 형성된 흡입공(8)을 통해 배기팬(1)에 흡입됨으로써 외부로 방출되어 유리기판(P)에 먼지가 재흡착됨을 방지하였다.The separated dust is sucked into the exhaust fan 1 through the suction hole 8 formed in the bottom surface of the case 2 to be discharged to the outside to prevent the dust is re-adsorbed on the glass substrate (P).

여기서, 상기한 이온 노즐(3)은 제4도에 도시된 바와 같이 압축 공기 흡입공(10)이 일측에 형성되어 있을 뿐만 아니라 유리기판(P) 방향으로 다수의 이온화된 공기 유출공(11)이 형성되어 있는 커버(12)에 노즐(13)이 내재되어 이온화된 공기를 압축 공기를 통해 급속 분사시키게 되어 있다.Here, the ion nozzle 3 has a compressed air suction hole 10 formed at one side as shown in FIG. 4, and a plurality of ionized air outlet holes 11 in the glass substrate P direction. The nozzle 13 is inherent in the formed cover 12 to rapidly inject ionized air through the compressed air.

이때, 상기한 카세트(4)에는 감지마크(14)가 형성되어 케이스(2)의 내부에 설치되어 있는 감지센서(15)에 의해 감지마크(14)가 감지되면 컨베이어(6)가 정지하게 됨으로써 제진 공정을 시작하게 된다.At this time, the detection mark 14 is formed on the cassette 4, and the conveyor 6 is stopped when the detection mark 14 is detected by the detection sensor 15 installed in the case 2. The dust removal process starts.

물론, 상기한 바와 같이 감지마크(14)와 감지센서(15)를 사용하지 않고 컨베이어(6)를 제진에 적합한 느린 속도로 연속 동작시켜 제진 공정을 행하여도 그 효과는 동일하게 된다.Of course, as described above, even when the conveyor 6 is continuously operated at a slow speed suitable for vibration suppression without using the detection mark 14 and the sensor 15, the effect is the same.

이상과 같이 본 고안은 저면에 배기 팬이 연결되어 있는 케이스에 다수의 이온 노즐을 설치하고 컨베이어가 그 상부를 통과하도록 설치하여 카세트에 분리 적재되어 이동되는 유리기판에서 분리된 먼지가 배기팬으로 흡입됨으로서 유리기판에 재흡착되지 않게 됨으로써 유리기판으로 제진 효율을 향상시킬 수 있는 잇점이 있는 것이다.As described above, the present invention installs a plurality of ion nozzles in a case where an exhaust fan is connected to the bottom, and installs the conveyor to pass through the upper portion, and the dust separated from the glass substrate that is separated and stacked and moved to the cassette is sucked into the exhaust fan. As a result, the glass substrate is not resorbed to the glass substrate, thereby improving the dust removal efficiency of the glass substrate.

Claims

An exhaust fan having a suction hole 8 formed at a bottom surface thereof, and a case 2 having a dustproof cover 5 attached to both sides thereof, and an exhaust fan connected to the suction hole 8 formed at the bottom of the case 2. 1), the conveyor 6 passing through the case 2, and the upper portion of the case 2, the compressed air suction hole 10 and a plurality of air outlet 11 is a glass substrate A plurality of ion nozzles 3 in which the nozzles 13 are embedded in the cover 12 formed in the (P) direction, and the loading groove 9 so as to be transported to the conveyor 6 and the glass substrate P is separated and stacked. Vibration damper characterized in that consisting of the formed cassette (4).