KR0127804Y1 - 인쇄회로기판 검사시스템의 구동테이블 장치 - Google Patents
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Abstract
본 고안은 두 대의 카메라를 채용한 인쇄회로기판 검사시스템의 구동테이블 장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는 검사시스템의 공간을 줄이고, 검사시간을 줄일 수 있도록 구성한 인쇄회로기판 검사시스템의 구동테이블 장치에 관한 것이다. 이를 위한 본 고안은, 소정의 검사대상물을 검사하기 위해 2대의 카메라 및 상기 검사대상물을 적재하는 적재수단을 구비하여 된 검사시스템에서 상기 2대의 카메라 및 상기 적재수단이 각각 설치되고 개별적으로 움직일 수 있도록 하는 구동테이블 장치에 있어서, 상기 적재수단이 이동가능하게 결합되며, 결합된 상기 적재수단을 일직선상에서 이동시키는 상기 적재수단 이송부와, 상기 2대의 카메라가 설치되어 상기 적재수단 이송부의 이동방향과 직교하는 방향으로 이동하는 카메라 이송부를 구비하고 있어, 전체적인 검사시스템의 공간 및 검사시간을 줄일 수 있으며, 검사효율을 향상시킬 수 있는 이점을 제공한다.
Description
제1도는 종래 인쇄회로기판 검사시스템의 구동테이블 장치를 개략적으로 도시한 구성도.
제2도는 본 고안에 따른 인쇄회로기판 검사시스템의 구동테이블 장치를 도시한 구성도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
20 : 카메라 이송부 21,41 :서보모터
23,32,43 : 커플러 24,38,46 : 볼스크류
26,33,46 : 가이드레일 40 : 적재판 이송부
48 : 적재판 50 : 파렛트
60 : 인쇄회로기판
본 고안은 두대의 카메라를 채용한 인쇄회로기판 검사시스템의 구동테이블 장치에 관한 것으로서, 더 상세하게는 검사시스템의 공간을 줄이고, 검사시간을 줄일 수 있도록 구성한 인쇄회로기판 검사시스템의 구동테이블 장치에 관한 것이다.
일반적으로 인쇄회로기판(이하 기판이라 약칭한다)은 생산공정라인에서 생산된 후, 불량의 유.무, 예를 들면 기판의 긁힘(scratch), 패턴(pattern)의 불균일, 패턴간의 단락, 패턴의 단선 또는 패턴의 누락등에 대한 검사를 받게 된다.
상기와 같은 기판검사의 발전단계는, 검사자가 육안으로 하는 육안 검사 단계를 거쳐 CCD(charge coupled device) 카메라를 이용하는 시각(vision) 인식장치를 이용하는 단계에 이르고 있다. 상기 시각인식장치는 기판 양품에 대한 기준 화상 데이터를 저장하고 있는 컴퓨터와 기판을 촬상하여 화상 데이터를 생성할 수 있는 CCD 카메라와 같은 촬상장치를 구비하여 되어 있다. 이와 같은 구성의 시각인식장치는 먼저 CCD 카메라로 기판을 촬상하여 화상데이터로 변환하고, 이 화상 데이터를 컴퓨터에 저장된 기준 화상데이터와 비교하여 기판의 양.부를 판정하는 것이다. 현재의 기판 검사시스템은 통상적으로 상기의 시각인식장치를 채용하고 있다.
그리고, 상기와 같은 기판 검사시스템은 검사대상물, 즉 기판을 고정하고 소정의 검사위치로 이동시키기 위한 구동 테이블, 예를 들면 상기 기판을 고정하고, 고정된 기판을 X축 또는 Y축으로 이동시킬 수 있는 X-Y 구동테이블을 구비하고 있다.
상술한 바와 같이 카메라 및 X-Y 구동테이블을 구비하여 기판이 검사되도록 하는 종래의 기판 검사시스템의 구동테이블 장치를 제1도에 나타내 보였다.
제1도를 참조하면, 종래의 기판 검사시스템의 구동테이블 장치는, X축 테이블(8x)과 Y축 테이블(8y)로 구성된 테이블 몸체부(8)와, X축 테이블(8x)을 구동시키는 X축 구동모터(6x), Y축 테이블(8y)을 구동시키는 Y축 구동모터(6y), 및 검사대상물, 즉 기판(2)을 탑재하여 상기 테이블 몸체부(8)상에서 위치정렬되는 파렛트(4)를 구비하여 되어 있다.
상기와 같이 구성된 종래 기판 검사시스템의 구동테이블 장치의 작용 및 동작을 제1도를 참조하면서 살펴보면 다음과 같다.
상기 기판 검사시스템의 구동테이블과 독립적으로 구성된 켄베이어(1)에 의해 기판(2)이 검사시스템으로 이송된다. 상기 기판(2)이 이송되어 검사시스템의 적절한 장소에 다달으면, 미도시된 스톱퍼에 의해 컨베이어(1)가 멈추게 되고, 이 때 미도시된 푸셔(pusher)에 의해 상기 기판(2)이 파렛트(4)에 옮겨진다. 기판(2)이 파렛트(4)에 정위치하게 되면, 구동모터(6x,6y)의 회전에 의해 테이블 몸체부(8)가 움직이게 되고, 이로써 상기 기판(2)이 고정되어 있는 카메라(9)에 의해 최적으로 검사받을 수 있는 위치에 자리잡을 수 있게 된다. 여기서, 상기 파렛트(4)를 받치고 있는 테이블 몸체부(8)는 구동모터(6x,6y)에 의해 볼스크류(ball screw;11)로 작동된다. 따라서, 기구부의 정밀도, 구동모터(6x,6y)의 제어정밀도가 테이블(8x,8y)의 전체 정밀도를 좌우하게 된다. 또한, 상기와 같은 종래의 구동테이블 장치에 있어서, 기판(2)의 검사면적에 따라 또는 검사속도에 따라 테이블(8x,8y)의 이송거리가 결정된다.
그런데, 상기와 같은 종래의 기판 검사시스템의 구동테이블 장치는, 기판을 이송시키는 컨베이어와 완전히 독립적으로 구성되어 있어 상기 검사시스템의 부피를 크게 하는 문제점이 있었다.
또한, 상기 종래의 기판 검사시스템의 구동테이블 장치는 1대의 카메라를 위한 구조이기 때문에 검사효율을 저하시키는 문제점이 있었다. 더욱이, 기구적인 구조가 복잡하게 되어 있어 제작단가가 높은 문제점이 있었다.
본 고안은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 전체적인 기판 검사시스템의 부피를 줄일 수 있으며, 검사시간을 줄일 수 있는 기판 검사시스템의 구동테이블 장치를 제공함에 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여 본 고안에 따른 기판 검사시스템의 구동테이블 장치는,
소정의 검사대상물을 검사하기 위해 2대의 카메라 및 상기 검사대상물을 적재하는 적재수단을 구비하여 된 검사시스템에서 상기 2대의 카메라 및 상기 적재수단이 각각 설치되고 개별적으로 움직일 수 있도록 하는 구동테이블 장치에 있어서,
상기 적재수단이 이동가능하게 결합되며, 결합된 상기 적재수단을 일직선상에서 이동시키는 상기 적재수단 이송부와,
상기 2대의 카메라가 설치되어 상기 적재수단 이송부의 이동방향과 직교하는 방향으로 이동하는 카메라 이송부를 구비하여 된 점에 그 특징이 있다.
그리고, 본 고안 구동테이블 장치에 있어서, 상기 적재수단 이송부는, 상기 적재수단이 이동되도록 구동력을 제공하는 모터수단과, 상기 모터수단에서 제공되는 구동력을 상기 적재수단에 전달하는 전달수단, 및 상기 적재수단의 이동을 안내하는 안내수단을 구비하여 된 점에서도 그 특징이 있다.
또한, 본 고안 구동 테이블 장치에 있어서, 상기 카메라 이송부는, 상기 카메라 두 대가 설치되는 이송판과, 이 이송판이 이동되도록 구동력을 제공하는 모터수단과, 이 모터수단에서 제공되는 구동력을 상기 이송판에 전달하는 전달수단과, 및 상기 이송판의 이동을 안내하는 안내수단을 구비하여 된 점에도 그 특징이 있다.
더욱이, 본 고안 구동테이블 장치에 있어서, 상기 이송판은, 상기 이동가능한 카메라가 상기 이송판상에서 이동되도록 구동력을 제공하는 모터수단과, 이 모터수단에서 제공되는 구동력을 상기 이동가능한 카메라에 전달하는 전달수단, 및 상기 이동가능한 카메라의 이동을 안내하는 안내수단을 구비하여 된 점에서도 그 특징이 있다.
이하 첨부된 도면을 참조하면서 본 고안에 따른 구동테이블 장치의 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.
본 고안에 따른 구동테이블 장치는, 소정의 검사대상물, 예를 들면 인쇄회로기판(60)을 검사하기 위해 2대의 카메라(35,37) 및 상기 기판(50)이 탑재된 파렛트(50)가 적재되는 적재판(48)를 구비하여 된 검사시스템에서 상기 2대의 카메라(35,37) 및 상기 적재판(48)이 각각 설치되고 개별적으로 움직일 수 있도록 하는 것으로써, 상기 적재판(48)이 이동가능하게 결합되어 일직선상에서 이동하는 상기 적재판 이송부(40)의 이동방향(예를 들면, y축방향)과 직교하는 방향(예를 들면, x축방향)으로 이동하는 카메라 이송부(20)를 구비하여 구성되어 있다. 여기서, 상기 적재판 이송부(40)는, 상기 적재판(48)이 이동되도록 구동력을 제공하는 서보모터(41)와, 이 서보모터(41)에서 제공되는 구동력을 적재판(48)에 전달하는 볼스크류(ball screw;44), 및 적재판(48)의 이동을 상기 볼스크류(44)와 함께 안내하는 가이드레일(guide rail;46)을 구비하여 되어 있다. 여기서, 상기 볼스크류(44)와 상기 가이드레일(46)은 등간격을 유지하고 있으며, 상기 서보모터(41)와 상기 볼스크류(44)는 소정의 커플러(coupler;43)에 의해 결합되어 있다.
그리고, 상기 카메라 이송부(20)는, 상기 카메라 두대(35,37)가 설치되는 이송판(30)과, 이 이송판(30)이 이동되도록 구동력을 제공하는 서보모터(21)와, 이 서보모터(21)에서 제공되는 구동력을 상기 이송판(30)에 전달하는 볼스크류(24), 및 상기 이송판(30)의 이동을 상기 볼스크류(24)와 함께 안내하는 가이드레일(26)을 구비하여 되어 있다. 여기서, 상기 볼스크류(24)와 상기 가이드레일(26)은 등간격을 유지하고 있으며, 상기 서보모터(21)와 상기 볼스크류(24)는 소정의 커플러(23)에 의해 결합되어 있으며, 상기 이송판(30)에 설치된 상기 두 대의 카메라(35,37)중에서 한 대(37)는 고정되어 있고, 또 다른 한 대(35)는 상기 이송판(30)상에서 이동가능하게 설치되어 있다.
더욱이, 상기 이송판(30)은, 상기 이동가능한 카메라(35)가 상기 이송판(30)상에서 이동되도록 구동력을 제공하는 스텝핑모터(31)와, 이 스텝핑모터(31)에서 제공되는 구동력을 상기 이동가능한 카메라(35)에 전달하는 볼스크류(38), 및 상기 이동가능한 카메라(35)의 이동을 상기 볼스크류(38)와 함께 안내하는 가이드레일(33)을 구비하여 되어 있다. 여기서, 상기 볼스크류(38)와 상기 가이드레일(33)은 등간격을 유지하고 있으며, 상기 스텝핑모터(31)와 상기 볼스크류(38)는 소정의 커플러(32)에 의해 결합되어 있다.
상기와 같이 구성된 본 고안에 따른 구동테이블 장치의 작용을 제2도를 참조하면서 상세하게 살펴보면 다음과 같다.
먼저, 본 고안에서는 종래 기술의 문제점을 개선하기 위하여 검사시스템으로 기판, 즉 기판이 탑재된 파렛트를 이송하는 컨베이어를 직접적으로 y축으로 사용하였다. x축으로는 카메라(35,37)를 이송하는 방식을 채택하였다. 도시된 제2도를 통해 알 수 있는 바와 같이 본 고안은 검사대상 기판(60)이 탑재된 파렛트(50)가 적재판(48)에 적재되어 이송되는 파렛트 이송부(40)를 종래 기술의 컨베이어(1;제1도)역할까지 하게 함으로써 공간을 약 1/2를 축소하였다. 또한, 두대의 카메라(35,37)는 기판(60)의 검사 패턴의 간격에 대해 임의 조정이 가능하도록 스텝핑모터(31)를 채용하였다. 적재판 이송부(40)와 카메라 이송부(20)가 상대적으로 운동할 수 있음으로 검사시스템의 공간을 대폭 줄였으며, 검사시간도 대폭 줄였다.
검사대상 기판(60)이 탑재된 파렛트(50)를 적재하고 있는 적재판(48)을 y축으로 구동하고, 두대의 카메라(35,37)가 설치된 이송판(30)을 x축으로 구동하는 것은 각각 교류 서보모터(41,21)에 의해 이루어지도록 하였다. 따라서, 상기 서보모터(21,41)가 동작하면, 각 볼스크류(24,44)가 회전하게 되고, 이에 따라 이송판(30)과 적재판(48)이 각각 가이드레일(26,46)에 의해 왕복운동하게 된다. 두 대의 카메라(35,37)의 간격조정을 위해서는 가격이 저렴한 스텝핑모터(31)가 담당하도록 하였다.
전술한 바와 같이 구성된 본 고안에 따른 구동테이블의 동작을 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.
제2도를 참조하면, 기판(60)이 탑재된 파렛트(50)가 적재판(48)에 적재되면, 서보모터(41)는 모터 샤프트(미도시)를 회전시킨다. 상기 서보모터(41)의 샤프트와 볼스크류(44)는 커플러(43)에 의해 연결되어 있음으로 서보모터(41)가 회전하면, 볼스크류(44)도 회전하게 되고, 이에 따라 적재판(48)이 y축방향으로 이송된다. 이때, 상기 서보모터(41)는 미도시된 소정의 컨트롤러에 의해 정밀하게 제어될 수 있다. 상기 적재판(48)은 실질적으로 볼스크류(44)에 의해서 이동되지만, 가이드레일(46)에 의해 평행도 및 이동의 원활성이 달성된다.
이하 카메라 이송부(20)의 동작을 살펴본다.
먼저, 서보모터(21)은 미도시된 컨트롤러에 의해 구동될 수 있다. 이는 기판(60)의 검사영역을 정확하게 찾기 위해서이다. 서보모터(21)가 구동되면, 상기 적재판(48)이 이동되는 경우와 마찬가지로 이송판(30)이 이동된다. 즉, 상기 서보모터(21)의 샤프트와 볼스크류(24)는 커플러(23)에 의해 연결되어 있음으로 서보모터(21)가 회전하면, 볼스크류(24)도 회전하게 되고, 이에 따라 카메라 이송판(48)이 x축방향으로 이송된다. 여기서, 상기 이송판(30)은 실질적으로 볼스크류(24)에 의해서 이동되지만, 가이드레일(26)에 의해 평행도 및 이동의 원활성이 달성된다.
그리고, 카메라 이송판(30)에 설치된 두 대의 카메라(35,37)중에서 이동가능한 카메라(35)는 기판(60)의 검사패턴의 크기에 따라 고정된 카메라(37)와 적절한 간격을 유지하기 위해 이동될 수 있는데, 이는 소정의 펄스수에 따라 구동되는 스텝핑모터(31)에 의해 이루어진다. 즉, 미도시된 컨트롤러에서 원하는 간격을 계산하여 소정의 펄스수를 상기 스텝핑모터(31)에 보내주게 되면, 스텝핑모터(31)가 구동하게 되고, 이에 따라 상기 모터(31)와 커플러(32)에 의해 결합된 볼스크류(38)가 회전된다. 볼스크류(38)가 회전되면, 볼스크류(38)에 결합된 이동가능한 카메라(35)가 가이드레일(33)을 따라 상기 고정된 카메라(37)와 소정의 간격을 유지하게 된다. 여기서, 상기 가이드레일(33) 및 볼스크류(38)는 이송판(30) 두 대의 카메라(35,37)등의 하중과 모멘트를 고려하여 충분한 강도를 갖도록 하는 것이 바람직하다.
상술한 바와 같이 본 고안에 따른 기판 검사시스템의 구동테이블 장치는, 기판이 적재되는 적재판 이송부와 검사를 위한 카메라가 설치되어 이송되는 카메라 이송부를 독립적으로 직교되어 이동될 수 있게 함으로써 전체적인 공간을 줄일 수 있는 이점을 제공할 수 있다. 또한, 본 고안은 상기 적재판 이송부와 카메라 이송부를 상대적으로 이동시킴으로써 검사효율을 향상시킬 수 있으며, 검사시간을 단축시킬 수 있다. 더욱이, 본 고안은 검사시스템의 제작비용도 줄일 수 있는 이점을 제공할 수 있다.
비록 본 고안이 인쇄회로기판을 검사하는 검사시스템에서의 구동테이블 장치를 예로 하여 설명되었으나, 인쇄회로기판 이외의 대상물을 검사하는 검사시스템의 구동테이블 장치에도 적용가능하다는 것은 해당기술분야에서 통상적인 지식을 가진자에게는 자명한 것이다. 따라서, 본 명세서에서 개시된 실시예는 모든 측면에서 예시적이며, 한정적이 아니다. 본 고안의 범위는 전술한 명세서에 의해서라기 보다는 첨부되는 청구의 범위에 의해 정해지고, 본 고안의 의미, 범위 및 균등물에 해당되는 모든 변화물은 본 고안에 포함되는 것이다.
Claims (11)
- 소정의 검사대상물을 검사하기 위해 2대의 카메라 및 상기 검사대상물을 적재하는 적재수단을 구비하여 된 검사시스템에서 상기 2대의 카메라 및 상기 적재수단이 각각 설치되고 개별적으로 움직일 수 있도록 하는 구동테이블 장치에 있어서, 상기 적재수단이 이동되도록 구동력을 제공하는 제1모터수단; 상기 모터수단에서 제공되는 구동력을 상기 적재수단에 전달하는 제1전달수단; 상기 적재수단의 이동을 안내하며 상기 제1전달수단과 등간격을 유지하는 제1가이드레일; 카메라 두대가 설치되며, 한대는 고정되어 있고, 또 다른 한대는 이동가능하게 설치되어 상기 적재수단의 이동방향과 직교하는 방향으로 이동하는 이송판; 상기 이송판이 이동되도록 구동력을 제공하는 제2모터수단; 상기 모터수단에서 제공되는 구동력을 상기 이송판에 전달하는 제2전달수단; 및 상기 이송판의 이동을 안내하며 상기 제2전달수단과 등간격을 유지하는 제2가이드레일을 구비하여 된 것을 특징으로 하는 구동테이블 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 제1모터수단은 서보모터인 것을 특징으로 하는 구동테이블장치.
- 제1항에 있어서, 상기 제1모터수단과 상기 제1전달수단은 소정의 커플링수단에 의해 결합되는 것을 특징으로 하는 구동테이블 장치.
- 제1항 또는 제3항에 있어서, 상기 제1전달수단은 볼스크류인 것을 특징으로 하는 구동테이블 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 제2모터수단은 서보모터인 것을 특징으로 하는 구동테이블 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 제2모터수단과 상기 제2전달수단은 소정의 커플링수단에 의해 결합되는 것을 특징으로 하는 구동테이블 장치.
- 제1항 또는 제6항에 있어서, 상기 제2전달수단은 볼스크류인 것을 특징으로 하는 구동테이블 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 이송판은, 상기 이동가능한 카메라가 상기 이송판상에서 이동되도록 구동력을 제공하는 제3모터수단과, 상기 제3모터수단에서 제공되는 구동력을 상기 이동가능한 카메라에 전달하는 제3전달수단, 및 상기 이동가능한 카메라의 이동을 안내하며 상기 제3전달수단과 등간격을 유지하는 제3가이드레일을 구비하여 된 것을 특징으로 하는 구동테이블 장치.
- 제8항에 있어서, 상기 제3모터수단은 스텝핑모터인 것을 특징으로 하는 구동테이블 장치.
- 제8항에 있어서, 상기 제3모터수단과 상기 제3전달수단은 소정의 커플링수단에 의해 결합되는 것을 특징으로 하는 구동테이블 장치.
- 제8항에 있어서, 상기 제3전달수단은 볼스크류인 것을 특징으로 하는 구동테이블 장치.
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| KR2019940039018U KR0127804Y1 (ko) | 1994-12-30 | 1994-12-30 | 인쇄회로기판 검사시스템의 구동테이블 장치 |
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| KR2019940039018U KR0127804Y1 (ko) | 1994-12-30 | 1994-12-30 | 인쇄회로기판 검사시스템의 구동테이블 장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR960024304U KR960024304U (ko) | 1996-07-22 |
| KR0127804Y1 true KR0127804Y1 (ko) | 1999-03-20 |
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Family Applications (1)
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| KR2019940039018U KR0127804Y1 (ko) | 1994-12-30 | 1994-12-30 | 인쇄회로기판 검사시스템의 구동테이블 장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0127804Y1 (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100702945B1 (ko) * | 2000-11-07 | 2007-04-03 | 삼성테크윈 주식회사 | 테이프 피이더용 인식 장치 |
-
1994
- 1994-12-30 KR KR2019940039018U patent/KR0127804Y1/ko not_active IP Right Cessation
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100702945B1 (ko) * | 2000-11-07 | 2007-04-03 | 삼성테크윈 주식회사 | 테이프 피이더용 인식 장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR960024304U (ko) | 1996-07-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A201 | Request for examination | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E902 | Notification of reason for refusal | ||
| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
| REGI | Registration of establishment | ||
| LAPS | Lapse due to unpaid annual fee |