KR0125093Y1 - Strip device guide of semiconductor packaging equipment - Google Patents
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Abstract
본 고안은 반도체 제조장비의 스트립자재 가이드에 관한 것으로서, 스트립자재 가이드의 각 블럭을 두부분으로 분리구성하면서 이것을 폭방향으로 슬라이드 안내할 수 있는 수단과 실린더 구동매체를 포함하는 수단을 구비하여 좌우의 블럭간의 폭 간격을 조절 가능하게 함으로써, 스트립자재의 사양에 따른 폭넓은 적용범위를 갖게 한 반도체 제조장비의 스트립자재 가이드를 제공하고자 한 것이다.The present invention relates to a strip material guide of a semiconductor manufacturing equipment, and each block of the strip material guide is composed of two parts, and having a means for sliding and guiding it in the width direction and a means including a cylinder drive medium to the left and right blocks It is intended to provide a strip material guide of the semiconductor manufacturing equipment that has a wide range of application according to the specification of the strip material by making it possible to adjust the width gap between the.
Description
제1도는 스트립자재 가이드의 설치위치를 나타내는 개략적인 평면도.1 is a schematic plan view showing the installation position of the strip material guide.
제2도 (a),(b)는 본 고안에 따른 스트립자재 가이드의 구성을 나타내는 사시도.Figure 2 (a), (b) is a perspective view showing the configuration of the strip material guide according to the present invention.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
10a,10b : 블럭 11 : 업다운 실린더10a, 10b: block 11: up-down cylinder
12 : 가이드 샤프트 13a,13b : 지지플레이트12: guide shaft 13a, 13b: support plate
14 : 가이드바 15 : 확장실린더14: guide bar 15: expansion cylinder
16 : 받침블럭 17 : 스톱퍼16: support block 17: stopper
18 : 가이드 부시 100 : 스트립자재 공급부18: guide bush 100: strip material supply unit
110 : 상승 및 이송계 120 : 가공부110: lift and feed system 120: machining
130 : 패키지 배출부 140 : 베이스 플레이트130: package outlet 140: base plate
150 : 관통구멍 S, S' : 스트립 자재150: through hole S, S ': strip material
M, M' : 매거진M, M ': Magazine
본 고안은 반도체 제조장비의 스트립자재 가이드에 관한 것으로서, 특히 종전과 같이 한정된 가이드 폭을 갖는 스트립자재 가이드를 구동수단과 연계구성하여 이것에 의해 스트립자재 가이드 폭을 조절 가능하게 함으로써, 다양한 크기를 갖는 여러종류의 스트립자재에 적용시킬 수 있는 반도체 제조장비의 스트립자재 가이드에 관한 것이다.The present invention relates to a strip material guide of a semiconductor manufacturing equipment. In particular, the strip material guide having a limited guide width as in the past, in conjunction with the drive means to adjust the strip material guide width thereby, having various sizes The present invention relates to a strip material guide for semiconductor manufacturing equipment applicable to various strip materials.
일반적으로 반도체를 제조하기 위해서는 여러 공정들을 필요로 하고 있고, 특히 조립공정시에는 금형에 의한 여러가지 작업 예를들면, 댐바의 절단과 리드의 구부림을 위한 트리밍/포밍공정을 실시하고 있다. 이러한 트리밍/포밍공정을 수행하기 위해서는 전(前) 공정인 스트립자재 공급부(ON LOADER)로부터 이곳으로 스트립 자재공급이 선행되어야 하고, 스트립자재 공급부에서는 별도의 이송수단을 이용하여 수개의 스트립자재를 탑재한 매거진(MAGAZINE)으로부터 하나씩 스트립자재를 순차 공급하게 된다.In general, in order to manufacture a semiconductor, various processes are required, and in particular, during the assembly process, various operations such as a mold are performed, for example, a trimming / forming process for cutting a dam bar and bending a lead. In order to perform this trimming / forming process, the strip material supply must be preceded by the strip material supply unit, which is a previous process, and the strip material supply unit mounts several strip materials by using a separate transfer means. The strip material is supplied one by one from MAGAZINE.
한편, 첨부도면 제1도에서는 상기한 각각의 공정들의 배치상태를 나타내고 있다. 즉, 도면의 우측과 상부측에는 스트립자재 공급부(100; ON LOADER)와 상승 및 이송계(110; FLOATER FEEDING SYSTEM), 중앙에는 트리밍/포밍공정을 포함하는 가공부(120; TOOL SET), 좌측 및 하부측에는 가공이 끝난 스트립자재를 배출하고 튜브에 삽입하기 위한 패키지 배출부(130; OFF LOADER)가 각각 배치되어 있다.On the other hand, Figure 1 shows the arrangement of the respective processes described above. That is, the right and upper sides of the drawings, the strip material supply unit 100 (ON LOADER) and the lifting and feed system 110 (FLOATER FEEDING SYSTEM) 110, the center of the processing unit 120 including a trimming / forming process (TOOL SET), the left and On the lower side, a package discharge part 130 (off loader) for discharging the processed strip material and inserting the tube into the tube is disposed.
여기서, 상기 스트립자재 공급부(100)에는 적층된 스트립자재의 승강운동을 안내하는 스트립자재 가이드가 구비되어 있다.Here, the strip material supply unit 100 is provided with a strip material guide for guiding the lifting movement of the stacked strip material.
이때의 스트립자재 가이드는 서로 마주보는 2개의 블럭(10)으로 구성되어 있으며, 각각의 블럭(10)은 설정길이와 폭에 맞도록 세팅된 상태로 베이스 플레이트(140)상에 고정 설치된다.At this time, the strip material guide is composed of two blocks 10 facing each other, each block 10 is fixedly installed on the base plate 140 in a state set to match the set length and width.
그러나, 이와 같은 기존의 스트립자재 가이드는 한 종류의 스트립자재 폭에 맞도록 세팅된 상태로 고정 설치되기 때문에 다양한 종류의 스트립자재에 모두 적용 불가능한 취약점을 갖고 있었고, 이에 따라 적용되는 스트립자재가 바뀔 때마다 거기에 맞는 해당 스트립자재 가이드를 교체해야 하는 불편함이 있었다.However, since the existing strip material guide is fixedly set to fit the width of one type of strip material, it has a weakness that is not applicable to all kinds of strip materials, and when the applied strip material is changed. Every time there was an inconvenience to replace the corresponding strip material guide.
따라서, 본 고안은 이와 같은 점을 감안하여 안출한 것으로서, 스트립자재 가이드의 각 블럭을 두부분으로 분리구성하면서 이것을 폭방향으로 슬라이드 안내할 수 있는 수단과 실린더 구동매체를 포함하는 수단을 구비하여 좌우의 블럭간의 폭 간격을 조절 가능하게 함으로써, 스트립자재의 사양에 따른 폭넓은 적용범위를 갖게 한 반도체 제조장비의 스트립자재 가이드를 제공하는데 그 목적이 있는 것이다.Therefore, the present invention has been devised in view of the above, and comprises a block including a cylinder drive medium and a means for guiding slides in the width direction while separating each block of the strip material guide into two parts. It is an object of the present invention to provide a strip material guide of semiconductor manufacturing equipment which has a wide range of application according to the specification of strip material by allowing the width gap between blocks to be adjustable.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 고안을 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 고안은 서로 마주보는 2개의 블럭(10)과, 이 블럭(10)을 간헐적으로 상하운동시켜주는 업다운 실린더(11) 및 상하운동을 안내해주는 가이드 샤프트(12)를 포함하는 반도체 제조장비의 스트립자재 가이드에 있어서, 상기 각각의 블럭(10)은 폭중심을 기준하여 좌우 대칭 형상을 갖도록 분리구성되게 하는 동시에 상호 소정의 간격을 유지하게 하고, 각 블럭(10a),(10b)의 상단 후면부에는 각각 지지플레이트(13a),(13b)를 뒷쪽으로 수평연장형성하여 이것들(13a),(13b)이 상하 2개의 가이드 바(14)에 의해 폭방향으로 동시 관통되면서 슬라이드 유동안내를 받을 수 있게 하며, 각각의 지지플레이트(13a),(13b)의 안쪽면에 확장실린더(15)를 폭방향을 따라 가로걸쳐서 연결설치하여 이것(15)과 각 블럭(10a),(10b)이 서로 연동 가능하게 한 것을 특징으로 한다.The present invention is a strip of semiconductor manufacturing equipment comprising two blocks 10 facing each other, an up-down cylinder 11 intermittently moving up and down the block 10, and a guide shaft 12 for guiding the up and down movement. In the material guide, each block 10 is separated so as to have a left-right symmetrical shape with respect to the center of the width, while maintaining a predetermined distance from each other, the upper rear portion of each block (10a), (10b) The support plates 13a and 13b are horizontally extended to the rear, respectively, so that they 13a and 13b are simultaneously penetrated in the width direction by the upper and lower guide bars 14 to receive the slide flow guide. On the inner surface of each of the supporting plates 13a and 13b, the expansion cylinder 15 is installed across the width direction so as to connect the 15 and each of the blocks 10a and 10b to each other. It is characterized by one.
이를 좀더 상세히 설명하면, 첨부도면 제2도는 본 고안의 스트립자재 가이드에 대한 구성을 나타내는 사시도이다.To explain this in more detail, Figure 2 is a perspective view showing the configuration of the strip material guide of the present invention.
여기서, 도면부호 140은 스트립자재 가이드의 구성요소들이 설치되는 베이스플레이트를 나타내고 있으며, 이 베이스플레이트(140)에는 스트립자재의 상하 진행통로 역할을 하는 관통구멍(150)이 소정의 면적에 걸쳐서 형성되어 있다.Here, reference numeral 140 denotes a base plate on which the components of the strip material guide are installed, and the base plate 140 is formed with a through hole 150 serving as a vertical movement path of the strip material over a predetermined area. have.
또한, 도면부호 10a, 10b는 스트립자재의 상하진행을 안내하는 각각의 블럭을 나타낸다.Also, reference numerals 10a and 10b denote respective blocks for guiding the up and down progress of the strip material.
상기 블럭(10a),(10b)은 폭중심선에 대해 좌우대칭형상으로 조합되어 있으며, 이렇게 조합된 상태에서 안쪽으로는 하나의 온전한 요홈부가 형성되고, 여기에 스트립자재의 한쪽 끝단부위가 자리할 수 있게 된다. 특히, 상기 브럭(10a),(10b)의 하단부는 상기 관통구멍(150)을 통하여 베이스플레이트(140)의 밑면보다 더욱 아래쪽으로 돌출되어 있으며, 이 하단부의 안쪽 테두리부 예컨대, 요홈부의 테두리부는 소정의 폭을 갖는 경사면으로 이루어져 있다. 이때의 경사면은 매거진의 상단부가 블록요홈부에 연접될 때 그 진입을 용이하게 해주는 역할을 하게 된다.The blocks 10a and 10b are combined in a symmetrical shape with respect to the width center line, and in this state, an intact groove is formed therein, and one end portion of the strip material may be located therein. Will be. In particular, the lower ends of the blocks 10a and 10b protrude further downward than the bottom surface of the base plate 140 through the through holes 150, and the inner edges of the lower ends, for example, the edges of the recesses, are predetermined. It consists of a slope with a width of. The inclined surface at this time serves to facilitate the entry when the upper end of the magazine is connected to the block recess.
또한, 각 블럭(10a),(10b)의 상단 후면부에는 뒷쪽으로 일정길이 수평연장되는 지지플레이트(13a),(13b)가 각각 형성되어 있으며, 이 지지플레이트(13a),(13b)는 적어도 2개 이상의 관통구멍을 갖게 된다.In addition, support plates 13a and 13b are formed on the upper rear surface of each block 10a and 10b to extend horizontally to the rear, respectively, and the support plates 13a and 13b are at least two. It has more than two through holes.
이러한 관통구멍은 상기 지지플레이트(13a),(13b)가 후술하는 가이드바(14)에 삽입 결합될 때 이용되며, 그 형성위치는 지지플레이트(13a),(13b)의 안쪽 예컨대, 블럭 몸체와 접하는 쪽에서 이루어지게 된다.This through hole is used when the support plates 13a and 13b are inserted into and coupled to the guide bar 14 to be described later, and the forming positions thereof are formed inside the support plates 13a and 13b, for example, with a block body. It will be done on the side of contact.
또한, 도면부호 14는 가이드바이고, 15는 확장실린더이다.Reference numeral 14 denotes a guide-by and 15 denotes an expansion cylinder.
상기 가이드바(14)는 블럭(10a),(10b)의 지지플레이트(13a),(13b)에 형성되는 관통구멍에 끼워지면서 이것(10a),(10b)의 슬라이드 유동을 안내하는 역할을 하게 되며, 후술하는 받침블럭(16)의 좌우측 스톱퍼(17) 사이에 가로걸쳐지면서 여기에 관통지지된다.The guide bar 14 is inserted into the through holes formed in the support plates 13a and 13b of the blocks 10a and 10b to guide the slide flow of the 10a and 10b. It is interposed between the left and right stopper 17 of the support block 16 to be described later, and is supported therethrough.
상기 확장실린더(15)는 블럭(10a),(10b)을 실질적으로 움직여주는 구동수단을 의미한다.The expansion cylinder 15 means driving means for substantially moving the blocks 10a and 10b.
이 확장실린더(15)는 좌우측 지지플레이트(13a),(13b) 사이에서 그 길이방향이 블럭(10a),(10b)의 폭방향으로 놓이도록 배치되고, 각각의 지지플레이트(13a),(13b)의 안쪽면에 후부와 로드가 일체 연결된다. 이에 따라 확장실린더(15)의 작동에 의한 블럭(10a),(10b)의 폭방향 유동이 가능하게 된다.The expansion cylinder 15 is disposed between the left and right support plates 13a and 13b such that its longitudinal direction is placed in the width direction of the blocks 10a and 10b, and each of the support plates 13a and 13b is provided. The rear part and the rod are integrally connected to the inner side of the Accordingly, the flow in the width direction of the blocks 10a and 10b by the operation of the expansion cylinder 15 is possible.
이때의 상기 확장실린더(15)는 자체적으로 다단계의 스트로크를 갖추고 있으며, 각각의 스트로크를 단계별로 선정하게 되면 선정스트로크에 맞는 스트립자재를 적용시킬 수가 있게 된다. 예를 들면, 공정에 적용되는 해당 스트립자재의 종류 특히, 폭에 따라 선택된 어느 하나의 스트로크 단계로 세팅되어 그때의 스트립자재에 대한 안내역할을 수행할 수 있게 된다.At this time, the expansion cylinder 15 itself has a multi-stage stroke, and when selecting each stroke step by step it is possible to apply the strip material suitable for the selected stroke. For example, the type of strip material applied to the process may be set to any one stroke step selected according to the type, in particular, the width, so as to guide the strip material at that time.
또한, 도면부호 16은 받침블럭이다.Reference numeral 16 denotes a support block.
상기 받침블럭(16)은 확장실린더(15)를 포함하여 블럭(10a),(10b) 전체를 2개의 가이드바(14)를 이용하여 받쳐주는 역할을 하게 된다.The support block 16 supports the entire blocks 10a and 10b including the expansion cylinder 15 by using two guide bars 14.
이를 위하여 받침블럭(16)의 양측 테두리부에는 소정의 면적을 가지면서 서로 마주대하는 2개의 스톱퍼(17)가 각각 직립형성되어 있으며, 이러한 양편의 스톱퍼(17) 사이에 위아래로 2개의 가이드바(14)가 관통설치되어 여기에 블럭(10a),(10b)의 지지플레이트(13a),(13b)가 끼워져 지지될 수 있게 된다.To this end, two stoppers 17 facing each other, having a predetermined area, are formed upright on both side edge portions of the support block 16, and two guide bars up and down between the stoppers 17 on both sides thereof. 14 is penetrated so that the support plates 13a and 13b of the blocks 10a and 10b can be inserted and supported therein.
여기서, 상기 스톱퍼(17)는 확장실린더(15)의 최대 스트로크를 제한해주는 역할을 하게 된다.Here, the stopper 17 serves to limit the maximum stroke of the expansion cylinder 15.
이때의 가이드바(14)는 스톱퍼(17)의 안쪽 끝단 위치에 편중되어 있으며, 이는 블럭(10a),(10b)을 무게중심이 가까운 쪽에서 지지해 주게 되므로 블럭유동시의 떨림 등을 최소화 해주는 효과를 도모할 수 있게 된다.At this time, the guide bar 14 is biased at the inner end position of the stopper 17, which supports the blocks 10a and 10b from the close side of the center of gravity, thereby minimizing shaking during block flow. It can be planned.
이와 같은 상기 받침블럭(16)은 후술하는 업다운 실린더(11)와 가이드 샤프트(12)에 의해 지지된다.The support block 16 is supported by the up-down cylinder 11 and the guide shaft 12 described later.
한편, 도면부호 11은 업다운 실린더, 12는 가이드 샤프트를 나타낸다.11 denotes an up-down cylinder, and 12 denotes a guide shaft.
상기 업다운 실린더(11)는 베이스 프레이트(140)의 윗면에 세워진 상태로 고정설치되며, 그 양편으로는 각각의 가이드 샤프트(12)가 배치 고정된다.The up-down cylinder 11 is fixedly installed in a standing state on the upper surface of the base plate 140, and each guide shaft 12 is disposed and fixed on both sides thereof.
이렇게 설치되는 업다운 실린더(11)의 로드와 가이드 샤프트(12)의 상단부에는 상기 받침블럭(16)이 얹혀져 지지되고, 이에 따라 업다운 실린더(11)의 작동과 함께 블럭(10a),(10b)의 상하운동이 가능해지게 된다.The supporting block 16 is mounted on and supported by the rod of the up-down cylinder 11 and the upper end of the guide shaft 12 installed as described above. Thus, the blocks 10a and 10b are operated together with the operation of the up-down cylinder 11. Up and down movement becomes possible.
즉, 상기 받침블럭(16)의 저부에는 2개의 가이드 샤프트(12)가 양편에서 나란히 수직배치되면서 그 상단부가 받침블럭(16)의 저면에 체결 고정되고, 이 각각의 가이드 샤프트(12)가 가이드 부시(18)내에 삽입되는 동시에 업다운 실린더(11)의 로드가 그 사이에서 체결되므로서, 상하 운동가능하도록 된 블럭(10a),(10b)의 지지구조가 이루어지게 된다.That is, two guide shafts 12 are vertically arranged side by side on both sides of the support block 16, and the upper end thereof is fastened and fixed to the bottom of the support block 16, and each guide shaft 12 is guided. As the rod of the up-down cylinder 11 is inserted in the bush 18 and the rod of the up-down cylinder 11 is fastened therebetween, the supporting structure of the blocks 10a and 10b is made to be movable up and down.
여기서, 상기 업다운 실린더(11)의 작동 초기시에는 상기 블럭(10a),(10b)의 밑면은 베이스플레이트(140)의 저면보다 아래쪽으로 다소 돌출되어 있게 된다.Here, at the initial stage of operation of the up-down cylinder 11, the bottom surfaces of the blocks 10a and 10b are protruded somewhat downward from the bottom surface of the base plate 140.
이와 같은 상기 한쌍의 블럭(10a),(10b)은 관통구멍(150)의 저부에 위치되는 매거진(M)이 정확하게 관통구멍(150)의 상부에 위치될 수 있게 해준다.Such a pair of blocks (10a, 10b) allows the magazine (M) located at the bottom of the through hole 150 can be accurately positioned on the top of the through hole 150.
예를 들면, 관통구멍(150)의 저부에 다수의 스트립자재(S)가 탑재되어 있는 매거진(M)을 정확히 안착시키기 위하여 업다운 실린더(11)의 작동을 통해 블럭을 소정의 높이로 상승시킨 후 매거진(M)을 정위치시키고 재차 하강시키게 되면, 상기 블럭(10a),(10b)의 바닥면이 매거진(M)의 상단부를 양측에서 동시에 눌러주게 된다.For example, after raising the block to a predetermined height through the operation of the up-down cylinder 11 to accurately seat the magazine M on which the plurality of strip materials S are mounted at the bottom of the through hole 150. When the magazine M is placed in position and lowered again, the bottom surfaces of the blocks 10a and 10b simultaneously press the upper ends of the magazine M from both sides.
이때, 상기 매거진(M)의 상단부는 블럭(10a),(10b)의 바닥면에 형성된 경사면의 안쪽에 견고히 밀착되게 되어 매거진(M)과 블럭(10a),(10b)의 각 스트립자재 안내면이 정확히 일치하게 되므로 스트립자재(S)의 승강안내가 보다 매끄럽게 진행될 수 있게 된다.At this time, the upper end of the magazine (M) is firmly in close contact with the inside of the inclined surface formed on the bottom surface of the block (10a), (10b) so that each strip material guide surface of the magazine (M) and the block (10a), (10b) Since it exactly matches the lifting guide of the strip material (S) can be carried out more smoothly.
또한, 상기 가이드부시(18)는 볼부시(BALL BUSH) 형태를 취하고 있으며, 승하강 구동수단을 의미하는 업다운 실린더를 사이에 두고 그 양편으로 배치되면서 여기에 수납되는 상기 가이드 샤프트(12)는 미끄럼지지할 수 있게 된다.In addition, the guide bush 18 is in the form of a ball bush (BALL BUSH), and the guide shaft 12 accommodated therein while being disposed on both sides with an up-down cylinder, which means an up and down driving means, is slipped. I can support it.
따라서, 이와 같이 구성된 본 고안의 작용효과를 설명하면 다음과 같다.Therefore, the operational effects of the present invention configured as described above are as follows.
첨부도면 제2도의 (a)는 설정된 어느 하나의 스트립자재(S) 및 매거진(M)에 적용 가능한 블럭(10a),(10b)의 세팅상태를 나타내고 있다.2A shows a setting state of blocks 10a and 10b applicable to any one strip material S and magazine M set.
이때에는 양편 블럭(10a),(10b)간의 간격에 상응하는 폭을 갖는 스트립자재(S)가 여기에 위치되면서 이것으로부터의 승강안내를 받을 수 있게 된다.At this time, the strip material (S) having a width corresponding to the interval between the two blocks (10a, 10b) is located here and can receive the lifting guide from it.
한편, 첨부도면 제2도의 (b)는 블럭(10a),(10b)의 위치 이동상태를 나타내고 있다.On the other hand, (b) of FIG. 2 of the accompanying drawings shows the position movement state of the blocks 10a and 10b.
별도의 제어신호에 따라 확장실린더(15)의 로드가 도면에 표시된 화살표 방향으로 전진작동 되면, 이 로드에 연결된 일측 지지 플레이트(13a)가 로드전진량의 ½거리에 비례하는 거리만큼 바깥쪽으로 위치 이동된다.When the rod of the expansion cylinder 15 is moved forward in the direction of the arrow shown in the drawing according to a separate control signal, the one side support plate 13a connected to the rod is moved outward by a distance proportional to the ½ distance of the rod forward amount. do.
즉, 첨부도면 제2도의 (a)와 같은 위치에서 (b)와 같은 위치로 블럭(10a),(10b)의 세팅위치가 가변될 수 있게 된다.That is, the setting positions of the blocks 10a and 10b may be changed from the same position as (a) of FIG. 2 to the same position as (b).
이때에는 더욱 넓은 폭을 갖는 스트립자재(S')의 승강안내가 가능하게 된다.At this time, the lifting guide of the strip material (S ') having a wider width is possible.
또한, 본 고안의 확장실린더(15)가 갖는 스트로크는 조절 가능한 몇개의 단계로 이루어져 있기 때문에 첨부도면 제2도의 (b)에서와 같은 상태의 블럭 간격보다 더욱 좁히거나 넓히는 것도 용이함을 쉽게 알 수 있다.In addition, since the stroke of the expansion cylinder 15 of the present invention consists of several adjustable steps, it can be easily seen that it is easier to narrow or widen than the block interval in the state as shown in (b) of FIG. .
이상에서와 같이 본 고안은 스트립자재를 승강 안내하는 블럭의 간격을 조절가능하게 하여 다양한 크기 예컨대, 다양한 폭을 갖는 스트립자재를 모두 수용할 수 있게 함으로서, 적용 스트립자재 변경시 블럭 교체에 따른 불필요한 작업 소요시간을 완전히 배재할 수 있고, 이로 인해 공정의 효율화를 도모할 수 있는 장점이 있는 것이다.As described above, the present invention makes it possible to accommodate all the strip materials having various sizes, for example, various widths, by adjusting the spacing of the blocks for guiding the lifting and lowering of the strip material. The time required can be completely eliminated, and thus, there is an advantage that the efficiency of the process can be achieved.
Claims (4)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019950013949U KR0125093Y1 (en) | 1995-06-20 | 1995-06-20 | Strip device guide of semiconductor packaging equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019950013949U KR0125093Y1 (en) | 1995-06-20 | 1995-06-20 | Strip device guide of semiconductor packaging equipment |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970003217U KR970003217U (en) | 1997-01-24 |
| KR0125093Y1 true KR0125093Y1 (en) | 1999-02-18 |
Family
ID=19415931
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR2019950013949U KR0125093Y1 (en) | 1995-06-20 | 1995-06-20 | Strip device guide of semiconductor packaging equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0125093Y1 (en) |
-
1995
- 1995-06-20 KR KR2019950013949U patent/KR0125093Y1/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR970003217U (en) | 1997-01-24 |
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