KR0124493B1 - 공간적으로 파장이 변하는 루게이트 광학 필터 및 그 운용 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명에서는 방사선 수용 표면과, 이 방사선 수용 표면의 축을 따라 변하는 반사 파장 특성을 갖는 루게이트 반사 포함하는 광학 필터(10)의 제공된다. 이 광학 필터는 다중의 연속적으로 배치된 루게이트 코팅(10b,10c)를 포함하고, 방사선 수용 표면 상의 위치에 함수로서 선행, 대수, 또는 멱함수를 나타내는 파장저지 그래디언트를 갖는다. 2개 이상의 루게이트 서브필림이 서로 중첩될 수 있고, 또 루게이트 서브필름의 어느 것도 중첩되지 않을 수 있다. 이 필터는 한 영역내에 서브필름들 중 제1서브필름에 관련된 제1흡광도, 서브필름들 중 제2서브필름에 관련된 제2흡광도, 중첩되는 스펙트럼 영역에 대해 제3흡광도를 갖고, 2개 이상의 서브필름이 서로 중첩된다. 제3흡광도는 제1 및 제2흡광도의 합이다.

Description

공간적으로 파장이 변하는 루게이트 광학 필터 및 그 운용 방법

제1도는 루게이트 코팅의 기계적인 두께의 함수로서 루게이트 프로파일의 굴절율을 도시한 그래프.

제2도는 연속적으로 배치된 루게이트 코팅(A, B 및 C)의 굴절율의 변화의 합(D)를 도시한 그래프.

제3도는 전형적인 협 대역 노치의 단일 또는 다중 라인 루게이트 필터의 투과성을 도시한 그래프.

제4도는 단일 또는 다중 루게이트 필터의 흡광도를 도시한 그래프.

제5a도는 저지 대역의 파장이 x축 방향을 따라 λ₁의 값에서 λ₂의 값으로 변하고 y축 방향을 따라 λ₃의 값에서 λ₄의 값으로 변하는 2개의 축 공간 루게이트 반사 필터를 도시한 평면도.

제5b도는 제5a도에 도시된 필터의 정면도.

제6a도는 공간 선형 가변 루게이트 필터를 도시한 도면.

제6b도는 가변 루게이트 층의 추가에 의해 접히는 제6a도의 선형 루게이트 필터를 도시한 도면.

제7도는 0.4 미크론 내지 12.0 미크론의 범위의 상이한 스펙트럼 리솔루션의 3개의 서브필름 루게이트 코팅을 갖는 루게이트 필터를 도시한 도면.

제8a도는 페브리 페로의 2개의 서브 필름 루게이트 필터에 대한 굴절율 프로파일을 도시한 그래프.

제8b도는 전반사 루게이트 필터의 2개의 서브 필름에 대한 굴절율 프로파일을 도시한 그래프.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

10 : 광학 필터, 10a : 기판,

10b,10c : 서프 필름.

본 발명은 일반적으로 광학 필터에 관한 것으로, 특히 광학 반사 필터에 관한 것이다.

다른 파장에 대한 높은 스펙트럼의 효율을 유지하면서 특정한 파장을 반사시키기 위한 파장 가변 광학 필터를 제공하는 것이 여러가지 응용면에 유리하다. 이산(discrete)반사 필터는 공간적으로 파장 가변으로 설계될 수 있다. 그러나, 요구된 반사 파장 대역이 좁으면서 또한 높은 스펙트럼 처리 효율을 가지는 이산 반사 필터를 얻기는 어렵다.

예를 들어, 코움(comb) 필터가 회전에 의해 조정가능하더라도 코움 필터 설계는 노치된 스펙트럼 처리효율 특성만이 나타난다.

또한, 필터 휠은 약한 스펙트럼 효율을 나타내고 넓은 스펙트럼 노치를 갖는 것이 일반적이다. 순환 가변 광 대역 대역 통과 간섭 필터의 예는 알.에프 일슬레이(R.F. Illsley)등에게 1969년 5월 6일자로 허용된 미합중국 특허 제3,442,572호에 설명되어 있다. 이 필터는 낮고 높은 굴절율의 코팅으로 이루어진 다수의 1/4파장 후막층을 사용한다.

V자형 필터(Wedged filters)는 당해 기술 분야에서 널리 공지되어 있다. 제이. 쉬웰츠(J. Schwartz)에게 1982년 8월 31일자로 허용된 미합중국 특허 제4,346,992호에는 피착된 간섭 층의 두께를 위치면에서 대칭적으로 변화시키는 V자형 간섭 필터를 포함하는 레이저 검출기 및 스펙트럼 분석기가 기재되어 있다. 이것은 필터의 좌우측을 따라 국부 대역 통과 필터의 중심 위치를 대칭적으로 변화시킬 수 있다. 에프. 더블유. 카반나프(F.W. Kavanagh)에게 1955년 5월 17일자로 허용된 미합중국 특허 제2,708,389호에는 추가 광 대역 통과 필터를 갖는 V자형 간섭 필터가 기재되어 있다. 아이. 워더(I. Wieder)에게 1980년 2월 5일자로 허용된 미합중국 특허 제4,187,475호에는 펄스 색조(pulsed dye) 레이저용 출력 미러로써 V자형 투과 필터가 기재되어 있다. SU 1208-525-A에는 전자 비임(E-bean) 발산에 의해 피착된 이산화 티타늄 미 이산화 실리콘으로 이루어진 교호 층을 이용하여 협 대역 간섭 필터가 기재되어 있다.

협 대역 파장의 반사파를 발생시키고, 1/4 파장의 고 및 저 굴절율 간섭 필름을 교대로 배열할 필요가 없는 반사 필터의 한 형태는 루게이트로 공지되어 있다.

이에 과련된 참고 문헌으로는 미합중국 광학회, 제5(9)권, 1558-1564(1988)에 더블유. 에이치. 소율스웰(W.H Southwell)저 결합파 이론을 이용한 루게이트 필터의 스펙트럼 응답 계산이라는 제목의 논문이다. 이 논문은 기판에 대해 법선 방향으로 계속해서 가변시키는 굴절율을 갖는 그래디언트-굴절율 간섭 필터 코팅에 대해 논재되어 있다. 협 대역폭 반사기는 루게이트 코팅으로 달성되는데, 이 루게이트 코팅의 대역폭은 루게이트 두께와 반비례 관계이다.

제1도에는 루게이트 코팅의 기계적 두께의 함수로서 루게이트 굴절율(n)의 전형적인 그래프가 도시되어 있다. 제1도에 있어서, 필터 기판은 우측을 나타내고 우측의 필터 기판은 좌측으로부터 반사파가 입사되고, n₀는 루게이트를 통과한 평균 굴절율이며, n₁은 전형적으로 n₀에 비해 작은 굴절율의 최대 가변치이다.

통용되는 워드(word) 루게이트는 프로파일의 굴절율이 필름 두께의 함수로써 주기적인 경우에 그래디언트-굴절율의 간섭 필터로 정의된다. 전형적인 예는 사인파이다. 부수적으로, 워드 루게이트는 코팅으로 이루어진 프로파일의 주기적인 그래디언트 굴절율을 설명하기 위한 것이다.

단, 파형에 대해서, 루게이트는 프로파일의 굴절율을 갖기 위하여,

n = n₀+n₁sin(Kx+Ф), K = 2(n₀)k, k = 2/λ

여기에서, n_0s는 평균 굴절율이고, n₁은 최대 가변 굴절율이며, K는 최대 반사를 발생시키기 위한 파장(λ)를 결정하고, Ф는 가변 굴절율의 개시 위상이며, x는 두께 범위(0xL)이다. 이 프로파일에 의해 제공되는 반사율(ν)는 근사적으로 다음과 같다.

r = tanh(u/4)exp(iФ)

u = KLn₁/n₀= 2Nn₁/n₀'

여기에서, △λ/λ=n₁/n₀은 마찰 대역폭이고, N은 코팅 사이클의 수, 정상적으로 반정수이고, L은 코팅의 실제 두께이다. λ에서의 최대 반사력은 사이클의 수와 마찰 변화율의 곱에 의해 결정된다는 것을 나타낸다.

△λ정도에 따라 분리되는 다중 파장에 대하여, 굴절율을 합함으로써 각 파장에 대한 루게이트 구해질 수 있다.

n = n₀+∑n₁sin(Kix+Фi)

제2도에는 루게이트(A,B 및 C)에 대해 도시되어 있고 코팅의 기계적 두께의 함수로서 가변 굴절율을 제공하는 합이 D로 나타난다. 이 기술에 있어서, 다중 반사 대역은 요구된 스펙트럼 라인의 주기의 합으로 선정되는 프로파일의 굴절율을 갖는 단일 코팅 층에 피착됨으로서 형성된다. 이 기술은 평행 피착 방법으로 공지되어 있다. 협 대역 다중 반사 노치 루게이트 필터는 프로파일의 상이한 굴절율을 각각 갖는 다수의 코팅을 연속적으로 피착함으로 얻을 수 있다. 즉, 한 코팅은 다른 코팅 위에 피착된다. 연속 및 평행 루게이트 코팅 피착 기술의 조합이 이용될 수 있다.

제3도는 전형적인 협 대역 노치의 다중 라인 루게이트 필터의 투과성을 나타내는 그래프이고 제4도는 제3도의 다중 라인 루게이트 필터의 흡광도를 나타내는 그래프이다. 흡광도(D)는 투과성(T)에 대해 기준 log 10으로 정의된다.

D = log₁₀(1/T), 또는 T = 10^-D

이들 특성의 결과로서, 루게이트 필터 설계는 루게이트의 응용에 크게 확장할 수 있는데, 루게이트 필터가 유효 조화 구조에 결여된 좁고 높은 흡광도 및 단일 또는 다중 반사 대역의 특성을 갖는 필터의 응용으로 크게 확대될 수 있다. 유효조화가 나타나지 않은 루게이트 특성은 스펙트럼 성능 면에서 연속적으로 배치된 서브 필름 또는 코팅의 상호 연결부를 제거한다. 이와 대조적으로, 장 파장 영역을 망라하도록 설계되는 이산 필터 서브필름에서의 조화 반사 대역은 단파장 영역에서 충격 흡수 성능일 수 있다.

그러므로, 본 발명의 목적은 협 대역 반사 대역의 파장이 필터에 의해 공간적으로 변화되는 루게이트 협 대역 반사 필터를 제공하기 위한 것이다.

상술한 문제점 및 다른 문제는 극복되고 본 발명의 목적은 협 대역 반사 필터가 축을 따라 연속적으로 변하는 특징을 나타내는 광학 간섭 코팅을 갖는 루게이트 협 대역 반사 필터에 의해 실현된다. 다중 광학 코팅은 필터의 상이한 공간 위치에서 단일 또는 다중 반사 대역 파장의 독립적 선택을 제공하기 위해 상이한 축을 따라 연속적으로 피착된다. 그 결과는 반사 파장이 광학 코팅 축을 따라 필터를 절단하거나 변형시키므로써 각각 파형 가변되는 단일 반사 대역 또는 다중 반사 대역 필터이다.

특히, 광학 필터는 방사선 수용 표면의 축을 따라 변화는 반사 파장 특성을 갖는 루게이트 반사 필터를 포함한다. 광학 필터는 다수의 연속 배치된 루게이트 코팅을 포함하고 방사선 표면 수용 표면 상의 위치의 함수로서 선형, 대수 및 멱함수로 나타나는 파장 저지 그래디언트를 갖는다. 그 이상의 루게이트 서브 필름은 서로 중첩되거나 중첩되지 않을 수 있다. 필터는 제1서브 필름에 관계되는 제1흡광도, 제2서브 필름 중 하나에 관계되는 제2흡광도, 및 중첩 서브 필름에 서로 중첩되는 서브 필름의 스펙트럼 영역 상에서 최소한 2개의 영역내에서 제3흡광도를 갖는다. 이 경우처럼 루게이트 굴절율 프로파일의 위상이 서브필름에서 서브필름으로 연속되는 경우, 제3흡광도는 제1흡광도 및 제2흡광도의 합이다. 일정 굴절율의 캐비티의 추가에 의해 야기되는 것과 같이, 위상이 서브 필름을 교차하여 불연속인 경우, 제3흡광도 영역은 대역 저지 필터(Fabry Perot)의 그것보다 협 대역 통과 필터이다.

공간적으로 파장 가변 루게이트 필터는 스펙트럼 범위를 양단의 반사 노치 위치에서 연속으로 변화하게 할 수 있다. 최종 필터는 전체 시야로부터 특정한 광파장의 반사에 의해 감쇄시키기 위한 광학 시스템에서 촛점에, 또는 이 촛점 근처에 위치될 수 있다. 필터는 회절 격자 및 프리즘과 같이 광 스펙트럼을 반사시키고, 종래의 스펙트럼의 분사 소자 대용으로 사용된다.

광학 코팅 피착을 상이한 축을 따라 변화시키면 다중 반사 대역의 파장이 독립적으로 조정되게 된다. 연속적으로 적용되는 코팅의 반사 대역은 공통 또는 중첩, 스펙트럼 범위를 가질 수 있거나, 연속적으로 적용되는 코팅은 교차하지 않는 스펙트럼 범위를 가질 수 있다.

중첩되는 스펙트럼 범위를 제공하는 장점은 필터의 흡광도가 연속적으로 배치된 루게이트 서브 필름의 흡광도의 합인 대각선으로 배치된 스트라이퍼와 같은 영역을 갖는다. 이것은 공간적 가변 서브필름의 수와 동일하게 레벨의 수를 갖는 흡광도의 규정된 레벨을 제공한다. 다중의 부분 중첩된 서브필름은 상이한 스펙트럼 범위를 갖을 수 있으므로, 동일 필터 내에서 상이한 축에 따른 상이한 파장 리솔루션을 제공한다.

중첩되지 않은 스펙트럼 영역이 제공하는 장점은 필터의 길이를 연장시키지 않고서도 필터의 반응 범위를 연장하기 위한 것이다. 즉, 필터는 n이 연속 서브필름의 수와 동일한 n크기로 효과적으로 접힌다. 더욱이, 중첩되지 않은 스펙트럼 영역의 선택은 상이한 스펙트럼 영역에 대해 반사 대역을 독립적으로 선택할 수 있다. 이것은 특히 필터가 상이한 기능을 형성하고 단지 일반 광학계에서 사용되는 다중의 광 감지기로 사용될 때 유용하다.

필터의 파장 그래디언트는 루게이트 코팅 피착 공정 중에 양호하게 재어된다. 파장(또는 파수), 선형, 또는 대수의 역함수 대 공간 위치가 얻어지므로, 파장 리솔루션 및 반사된 광의 세기를 조정할 수 있다. 이 특성은 고속 스펙트럼 장치에서 검출기 응답을 유익하게 도울 수 있는 프로세싱 시간을 감소시킬 수 있다. 필터가 광 분사 소자로서 이용되는 경우, 검출기가 덜 민감한 영역은 최고 반사 광의 발생에 따라 감소되는 리솔루션이 감소되는 이점이 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 대해 보다 상세하게 설명하고자 한다.

본 발명에 이용된 용어인 광학 코팅부분은 파장의 가스 스펙트럼 내에서의 방사선으로 이용되고 자외선(UV) 및 적외선(IR) 스펙트럼과 같이, 다른 파장 대역 내에서의 방사선에 이용되는 루게이트 코팅을 포함하기 위한 의도이다.

본 발명에 따르면, 다중 반사 대역 및 독립 대역폭의 루게이트 특징은 공간 가변 루게이트 반사 필터를 유리하게 제공하는데 이용된다. 이러한 필터는 반사 대역이 동일한 파장이고, 시야 또는 대역폭을 갖는 다중의 영역에 존재한다.

즉, 시야는 이산으로 파장 가변이다. 다중 반사 대역은 필름의 특정한 위치 이탈로 인해 필터의 기능적인 고정을 발생시킨다.

제5b도에 관련하여 제5a도를 참조하면, 공간적 가변 파장 루게이트 광학 필터(10)은 필터의 각 축을 따라 연속적으로 변하는 반사 노치 위치를 제공한다. 제5b도에서 알 수 있는 바와 같이, 필터(10)은 기판(10a) 상에 제공되는 중첩 루게이트 서브필름을 포함한다. 기판(10a)는 루게이트 서브필름 하부에 피착된다. 루게이트 서브필름 B는 서브 필름 A상에 피착된다. x축에 따른 서브필름 A는 루게이트 사이클에 대한 가변 광학 두께를 나타내고 x축에 따른 서브필름 B는 루게이트 사이클에 대한 일정한 광학 두께를 나타낸다.

y축의 이러한 관계는 역으로 되고, 서브필름 B가 루게이트 사이클에 대한 가변 광학 두께를 나타내고, 루게이트 사이클에 대한 일정한 광학 두께를 나타낸다.

이 효과를 달성하기 위하여, 필터(10)은 코팅 피착 중에 회전하고, 유사한 코팅은 각 축을 따라 피착된다. 이것은 각 축을 따라 필터(10)의 광학 성능을 독립적으로 변화시키기 위해 상이한 축을 따라 수회 반복된다.

특히, 본 발명에 따른 제5a도 및 제5b도에는 저지 대역의 파장이 x축 방향의 λ₁값에서 λ₂값까지 변하고, y축 방향의 λ₃값에서 λ₄값까지 변하는 2개의 축공간 루게이트 반사 필터(10)이 도시되어 있다. 2개의 축은 서로 수직으로 배치된다. 2개의 저지 대역은 x-y 스테이지(12)을 갖는 필터의 위치에 의해 각각 조정될 수 있다. 즉, 제1저지 대역 A의 파장은 y축을 따라 필터(10)의 절단에 의해 제어되고, 제2저지 대역 B의 파장은 x축을 따라 필터(10)의 절단에 의해 독립적으로 제어된다.

제5b도에 도시된 바와 같이, 필터(10)은 2개의 연속적으로 배치된 루게이트 서브층 또는 λ₁내지 λ₂및 λ₃내지 λ₁의 스펙트럼 범위가 서로 동일하게 정해진 서브 필름(10b 및 10c)를 포함한다. 이것은 필터의 대각선(d)에 따른 흡광도의 합으로 제공된다. 실시예를 설명하기를 위하여, 흡광도는 각 축에서 1.5이므로 필터(10)의 대각선의 흡광도는 3.0이다. 다중의 연속적으로 정렬된 루게이트 서브 필름의 설비는 다중 레벨의 흡광도를 제공한다. 따라서, 2개의 루게이트 서브 필름을 갖는 필터(10)은 2개 레벨의 흡광도 가변성을 나타낸다.

제8b도는 제5b도의 2개의 서브 필름(A 및 B)용 프로파일 굴절율을 나타낸다. 제8b도에 도시된 바와 같이, 서브 필름(B)의 루게이트 주기는 서브 필름의 루게이트 주기보다 짧다.

제8a도는 필터(10)의 2개의 서브필름, 즉 페브리 페로, 루게이트 필터 실시예에 대한 프로파일 굴절율을 나타내는 그래프이다. 제8a도에 도시된 바와 같이, 광학 캐비티는 4등분된 λ(lambda)의 n배와 동일한 광학 두께(OT)를 갖는다. 광학 캐비티는 서브필름 A 및 서브필름 B 사이에 삽입된다. 이러한 2개의 서브필름 필터의 대각선을 파장 λ의 방사용 대역 통과 기능을 제공한다. 필름의 배향은 굴절광학 캐비티의 일정한 굴절율로 피착하는 중에 변하고 전체 필터는 연속적인 코팅과정 중에 제공된다.

본 발명의 공간적으로 변하는 루레이트 필터는 단일 스펙트럼 라인의 반사 필터 또는 다중 스펙트럼 라인의 반사 필터로서 제조될 수 있다. 일반적으로, 본 발명의 공간적 가변 루게이트 필터는 공간적으로 불균일한 물질의 피착으로 생성되는 코팅 물질원으로 사용되는 루게이트 피착에 의해 제조된다. 코팅 물질의 불균일 피착은 필터의 방사선 수용 표면 양단의 파장 성능면에서 규정된 변화를 제공하기 위한 마스크를 사용하므로써 달성될 수 있다. 변화는 파장 또는 파수와 선형적으로 변하거나 파장 또는 파수에 대수적으로 변하거나 파장 또는 파수의 멱함수적으로 변하게 설계될 수 있다.

더욱이, 본 발명에 따르면, 선형 루게이트 필터는 가변 루게이트 서브필름의 추가에 의해 접힌다이에 관련하여, 제6a도는 선형 루게이트 필터(14)를 도시하고, 제6b도는 루게이트 층의 추가에 의해 라이트 앵글(14')내로 접히는 제6a도의 선형 루게이트 필터(14)를 도시한다. 도시된 바와 같이, 제6a도의 선형 루게이트 필터(14)는 0.4 내지 2.0 미크론의 스펙트럼 범위에 포함된다. 또한 제6b도의 필터(14')은 동일한 스펙트럼 범위 내에 포함되나, 1.0 미크론 위치에서 접힌다.

제7도는 0.4 미크론 내지 12.0 미크론의 범위를 포함하는 상이한 스펙트럼 리솔루션의 3개의 루게이트 서브필름 코팅을 갖는 루게이트 필터(16)을 도시한 것이다. 즉, 필터(16)은 UV에서 장파의 적외선(LWIR)까지의 스펙트럼 범위를 포함한다. 저지 파장 대역은 y축을 따라 0.4 미크론에서 5.0 미크론까지 계속되고, x축을 따라 0.4 미크론에서 0.7 미크론까지 계속되며, 대각선(d)를 따라 0.4 미크론에서 12.0 미크론까지 계속된다.

중첩 스펙트럼 범위를 제공하는 장점은 필터가 대각선으로 배치된 스트라이프와 같은 영역을 갖고 있다는 점이고, 여기에서 필터의 흡광도는 연속적으로 배치된 루게이트 서브필름의 흡광도의 합이다. 이것은 공간 가변 서브필름의 수와 동일한 레벨의 수를 갖는 규정된 레벨의 흡광도를 제공한다. 다수의 부분 중첩된 서브필름은 상이한 스펙트럼 범위를 가지므로, 동일한 필터내에서 상이한 축을 따라 상이한 파장 리솔루션을 제공할 수 있다.

비중첩 스펙트럼 영역을 제공하는 한가지 장점은 필터의 크기를 연장하지 않고도 필터의 응답 범위를 연장할 수 있다는 장점이 있다. 즉, 필터는 n 크기로 효과적으로 접히고, 여기에서 n은 연속 서브필름의 수와 동일하다. 비중첩 스펙트럼 영역을 선택하면 상이한 스펙트럼 영역에 대한 반사 영역을 독립적으로 선택할 수 있게 한다. 이것은 상이한 기능을 실행하지만 공통 광학계를 사용하는 다수의 광감지기에 사용되는 경우에 특히 유용하다.

가시 파장에 있어서, 예시적 필터 기판 재료는 BK-7 및 용융 실리카이고, 한 가지 에시적 루게이트 코팅 재료는 산화 티타늄과 이산화실리콘의 혼합물이다. IR 파장에 있어서, 예시적인 필터 기판 재료는 사파이어, 세륨화 아연 및 게르마늄이고, 한가지 예시적으로 루게이트 코팅 재료는 불환 토륨화 아연의 혼합물이다.

루게이트 코팅은 열 증발, E-비임 증발 및 스퍼터링을 포함하지만 이에 제한되지 않는 다중의 공지된 형태의 코팅 피착 방법으로 응용될 수 있다.

특히, 단일 서브필름 및 이중 서브필름 장치는 제조되어 왔다. 이들 필터들은 TiO₂와 SiO₂를 공동 피착함으로써 제조되었다. SiO₂는 일정한 비율로 유지되었고, TiO₂비율은 피착된 혼합 필름의 요구된 굴절율을 변화시키기 위해 변화되었다. 기판은 피착된 필름 내에 강한 비선형성을 유도하기 위해 과우언에 대한 일정한 각도로 배향된다. 단일 서브층 필름이 피착된 후, 기판은 90˚로 회전되어 피착이 계속된다. OD 첨가제 필터의 경우에 있어서, 필터는 굴절율의 조절이 방해받지 않고 회전된다. 2개의 서브필름 대역 통과 필터의 경우에 있어서, 1/4파 두께의 일정한 비율의 캐비티는 기판 회전 다음에 루게이트 굴절을 프로파일을 점유하기 전에 피착된다. 제2루게이트 프로파일의 위상은 제1서브필름 루게이트의 위상에 대해 180˚만 큼 오프셋된다.

본 발명은 양호한 실시예에 대해 설명하였지만, 본 분야에 숙련된 기술자라면 본 발명의 범위와 본질을 벗어나지 않고서 본 발명을 여러가지로 변경할 수 있다.

Claims (19)

1. 방사선 수용 표면을 갖고 있는 광학 필터에 있어서, 상기 방사 수용 표면의 축을 따라 변하는 반사 파장을 갖는 루게이트 반사필터를 포함하는 광학 필터.
2. 제1항에 있어서, 상기 필터는 다수의 연속적으로 배치된 루게이트 코팅을 포함하는 광학 필터.
3. 제1항에 있어서, 상기 반사 파장은 상기 축을 따라 선형 함수, 로그함수 또는 멱함수로 변하는 광학 필터.
4. 제1항에 있어서, 다수의 루게이트 서브필름을 포함하고, 상기 서브필름들 중의 2개 이상의 서브필름은 서로 중첩되는 광학 필터.
5. 제1항에 있어서, 다수의 루게이트 서브필름을 포함하고, 상기 서브필름중 어느 것도 서로 중첩되지 않는 광학 필터.
6. 제4항에 있어서, 상기 필터는 상기 2개 이상의 서브필름 중의 제1서브필름에 관련된 제1흡광도, 상기 2개 이상의 서브필름 중의 제2서브필름에 관련된 제2흡광도, 상기 2개 이상의 서브필름이 서로 중첩되는 영역내의 제3의 흡광도를 갖는 광학 필터.
7. 제6항에 있어서, 상기 제3흡광도는 상기 제1흡광도와 상기 제2흡광도의 합인 광학 필터.
8. 제2항에 있어서, 상기 다수의 연속적으로 배치된 루게이트 코팅된 중 2개의 코팅된 사이에 삽입된 광학 캐비티를 더 포함하는 광학 필터.
9. 제1모서리 및 제2모서리에 의해 적어도 부분적으로 한정된 방사선수용 표면을 갖고 있는 광학 필터에 있어서, 상기 제1연부와 상기 제2연부는 제1코너에서 만나고, 상기 광학 필터는 상기 제1코너로부터 상기 제1모서리를 따라 제1반사 파장, λ₁에서 제2반사파장 λ₂로 연속적으로 변하는 반사 파장 특성을 갖고 있는 루게이트 반사 필터를 포함하고, 상기 필터는 상기 제1코너로부터 상기 제2모서리를 따라 제3반사 파장 λ₃에서 제4반사 파장 λ₄로 연속적으로 변하는 반사 파장 특성을 더 갖는 광학 필터.
10. 제9항에 있어서, λ₁은 λ₃과 같고, λ₂은 λ₄과 같은 광학 필터.
11. 제9항에 있어서, λ₁은 λ₃과 같고, λ₂은 λ₄과 같지 않은 광학 필터.
12. 제11항에 있어서, 상기 광학 필터는 상기 제1코너의 대각선을 기준으로 반대측의 제2코너에서 λ₅의 반사파장을 갖고있는 λ₅는 λ₁, λ₂, λ₃및 λ₄보다 더 큰 광학 필터.
13. 제9항에 있어서, 상기 필터가 다수의 연속적으로 배치된 루게이트 코팅을 포함하는 광학 필터.
14. 제9항에 있어서, 상기 반사 파장은 상기 제1모서리 및 상기 제2모서리를 따라 선형 함수, 로그 함수, 또는 멱함수로 변하는 광학 필터.
15. 제9항에 있어서, 다수의 루게이트 서브필름을 포함하고, 상기 서브필름들 중의 2개 이상의 서브필름은 서로 중첩되는 광학 필터.
16. 제9항에 있어서, 다수의 루게이트 서브필름을 포함하고, 상기 서브필름의 어느 것도 서로 중첩되지 않는 광학 필터.
17. 제15항에 있어서, 상기 필터는 상기 2개 이상의 서브필름 중의 제1서브필름에 관련된 제1흡광도, 상기 2개 이상의 서브필름 중의 제2서브필름에 관련된 제2흡광도, 상기 2개 이상의 서브필름의 서로 중첩되는 영역내의 제3의 흡광도를 갖고, 상기 제3흡광도가, 상기 제1흡광도와 상기 제2흡광도의 합인 광학 필터.
18. 제13항에 있어서, 상기 다수의 연속적으로 배치된 루게이트 코팅된 중 2개의 코팅들 사이에 삽입된 광학 캐비티를 더 포함하는 광학 필터.
19. 제1모서리 및 제2모서리에 의해 적어도 부분적으로 한정된 방사선 수용 표면을 갖는 루게이트 반사 필터를 운용하는 방법에 있어서, 상기 필터를 조사하는 단계; 반사 파장 특성을 제1반사 파장 λ₁에서 제2반사 파장 λ₂까지 변화시키기 위해 상기 제1모서리를 따른 방향으로 상기 필터를 절단(Sheaaring)하는 단계; 및 반사 파장 특성을 제3반사 파장 λ₃에서 제4반사파장 λ₄까지 변화시키기 위해 상기 제2모서리를 따라 방향으로 상기 필터를 절단하는 단계를 포함하는 루게이트 반사 필터 운용 방법.