SU1208525A1 - Способ изготовлени интерференционного узкополосного фильтра - Google Patents

Способ изготовлени интерференционного узкополосного фильтра Download PDF

Info

Publication number
SU1208525A1
SU1208525A1 SU843748747A SU3748747A SU1208525A1 SU 1208525 A1 SU1208525 A1 SU 1208525A1 SU 843748747 A SU843748747 A SU 843748747A SU 3748747 A SU3748747 A SU 3748747A SU 1208525 A1 SU1208525 A1 SU 1208525A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
dielectric coating
ion
thickness
band filter
layers
Prior art date
Application number
SU843748747A
Other languages
English (en)
Inventor
Юозас Владович Каменецкас
Пальмира Альфонсовна Каменецкене
Гедиминас Бронеслович Пятраускас
Генрикас Болеслович Скоробогатас
Original Assignee
Предприятие П/Я В-8574
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я В-8574 filed Critical Предприятие П/Я В-8574
Priority to SU843748747A priority Critical patent/SU1208525A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1208525A1 publication Critical patent/SU1208525A1/ru

Links

Landscapes

  • Optical Filters (AREA)

Description

11
Изобретение относитс  к интерференционным узкополосным фильтрам, используемым дл  монохроматизации излучени ,
Целью изобретени   вл етс  увеличение коэффициента пропускани .
На чертеже показана зависимость коэффициента пропускани  Т ионами пропускани  фильтра от длины волны Ai Кривой 1 обозначена сцектральна  характеристика фильтра до облучени , а кривой 2 - спектральна  характер:; ристика после облучени , ионами Аг с энергией 100 кзВ и дозой 10 ион/см,
П р и м е р. На очищенную хими ческим cnocoSoM прозрачную в видимой части спектра подложку методом злекг- тронно-лучевого испарени  наноситс  интерференционное покрытие. Покрытие состоит их двух зеркал с равным числом слоев четвертьволновой оптической толщины, разделенных слоем, оптическа  толщина которого кратна половине рабочей длины волны. Слои
Редактор Л.Веселовска 
Составителв П.Яковлев
Техред Т.Тулик Корректор М.Максимишинец
283/56Тираж 502Подписное
ВНИИПИ Гобударственного комитета СССР
по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушска  наб., д. 4/5
Филиал ППП Патент, г.Ужгород, ул. Проектна , 4
085252
выполнены из. двуокиси титана и двуокиси кремни . После нанесени  покрыти  фильтр подвергаетс  бомбардировке ионами аргона или кремни 
5 дозами 10 -10 ион/см . При этом минимальна  энерги  ионов подбираетс  таким образом, чтобы их проекционный пробег превьшал геометрическую толщину внешнего сло ,
10 а максимальна  энерги , выбираетс  так, чтобы проекционный пробег ионов не превышал толщину всего покрыти . В частности, при облучении покрытий ионами аргона энерги 
15 составл ет 35-200 кэВ, а при облучении ионами кремни  - 0,5-1,12 МэВ
Увеличение коэффициента пропускани  достигаетс  в результате изменени  оптических параметров
20 слоев покрыти  под воздействием облучени , в частности за счет изменени  толщины переходных слоев между пленками двуокиси титана и , двуокиси кремни .

Claims (1)

  1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОГО УЗКОПОЛОСНОГО ФИЛЬТРА, включающий нанесение на прозрачную в видимой области спектра подпояску путем электронно-лучевого испарения диэлектрического покрытия, состоящего из чередующихся слоев двуокиси титана и двуокиси кремния, выполненного в виде двух зеркал с равным числом слоев четвертьволновой оптической толщины, разделенных слоем, оптическая толшина которого кратна половине рабочей длины волны, отличающийся тем, что, с целью увеличения коэффициента пропускания, интерференционный узкополосный фильтр после нанесения диэлектрического покрытия облучают иона?м аргона или кремния дозой 10 -10 м ион/см с энергией, при которой проекционный пробег ионов превышает геометрическую толщину внешнего слоя диэлектрического покрытия .
    4Z0 460 500 540 ХНП
    1 1208525
SU843748747A 1984-06-04 1984-06-04 Способ изготовлени интерференционного узкополосного фильтра SU1208525A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU843748747A SU1208525A1 (ru) 1984-06-04 1984-06-04 Способ изготовлени интерференционного узкополосного фильтра

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU843748747A SU1208525A1 (ru) 1984-06-04 1984-06-04 Способ изготовлени интерференционного узкополосного фильтра

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1208525A1 true SU1208525A1 (ru) 1986-01-30

Family

ID=21122080

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU843748747A SU1208525A1 (ru) 1984-06-04 1984-06-04 Способ изготовлени интерференционного узкополосного фильтра

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1208525A1 (ru)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4957371A (en) * 1987-12-11 1990-09-18 Santa Barbara Research Center Wedge-filter spectrometer
US5432638A (en) * 1992-04-03 1995-07-11 Hughes Aircraft Company Spatially tunable rugate narrow reflection band filter and applications therefor
US5488511A (en) * 1992-04-03 1996-01-30 Hughes Aircraft Company Spatially tunable rugate narrow reflection band filter

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Фурман Ш.А. Тонкослойные оптические покрыти ,Л.: Машиностроение, 1977, с. 156. Крьшова Т.Н. Интерференционные покрыти . Л,: Машиностроение, 1973, с, 150. *

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4957371A (en) * 1987-12-11 1990-09-18 Santa Barbara Research Center Wedge-filter spectrometer
US5432638A (en) * 1992-04-03 1995-07-11 Hughes Aircraft Company Spatially tunable rugate narrow reflection band filter and applications therefor
US5488511A (en) * 1992-04-03 1996-01-30 Hughes Aircraft Company Spatially tunable rugate narrow reflection band filter

Similar Documents

Publication Publication Date Title
Canfield et al. The optical properties of evaporated gold in the vacuum ultraviolet from 300 Å to 2 000 Å
Tubbs MoO3 layers—optical properties, colour centres, and holographic recording
US4514479A (en) Method of making near infrared polarizers
US6207536B1 (en) Method for forming a thin film of a composite metal compound and apparatus for carrying out the method
EP0181770A2 (en) A method of manufacturing an optical interference authenticating device
US4626445A (en) Method of manufacturing an optical interference authenticating device
US5910256A (en) Method for manufacturing a diffraction type optical element
SU1208525A1 (ru) Способ изготовлени интерференционного узкополосного фильтра
US3695910A (en) Method of applying a multilayer antireflection coating to a substrate
Kolbe et al. Optical properties and damage thresholds of dielectric UV/VUV coatings deposited by conventional evaporation, IAD, and IBS
Koike et al. VUV high resolution and high flux beamline for chemical dynamics studies at the Advanced Light Source
US4078164A (en) Process for the accomplishment of deep microengraving by a laser beam
US5976717A (en) Coating comprising a photochromic material, a method for its production as well as its use
US5204773A (en) Ultraviolet light filter and filter system
JP2566003B2 (ja) 赤外線グリッド偏光子の製造方法
Kloidt et al. Smoothing of interfaces in ultrathin Mo/Si multilayers by ion bombardment
Ekberg et al. Transitions and energy levels in Al-like Ge XX, Se XXII, Sr XXVI, Y XXVII and Zr XXVIII
Murphy Effects of surface and thin-film anomalies on miniature infrared filters
JPS5974279A (ja) 金属薄膜の蒸着被覆装置
US5102736A (en) Process for the manufacture of reflecting glass and the product thereof
Kortright Multilayer reflectors for the extreme ultraviolet spectral region
Valero et al. The Spectra of Highly Ionized Aluminum (Al vi-x) in the Extreme-Ultraviolet and Soft X-Ray Regions
US20240035163A1 (en) Method and apparatus for deposition of at least one layer, optical element and optical arrangement
SU1721033A1 (ru) Материал дл электронно-лучевого формировани в нем рефракционных интегрально-оптических элементов
SU899714A1 (ru) Способ изготовлени дифракционных решеток