SU1208525A1 - Способ изготовлени интерференционного узкополосного фильтра - Google Patents
Способ изготовлени интерференционного узкополосного фильтра Download PDFInfo
- Publication number
- SU1208525A1 SU1208525A1 SU843748747A SU3748747A SU1208525A1 SU 1208525 A1 SU1208525 A1 SU 1208525A1 SU 843748747 A SU843748747 A SU 843748747A SU 3748747 A SU3748747 A SU 3748747A SU 1208525 A1 SU1208525 A1 SU 1208525A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- dielectric coating
- ion
- thickness
- band filter
- layers
- Prior art date
Links
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
Description
11
Изобретение относитс к интерференционным узкополосным фильтрам, используемым дл монохроматизации излучени ,
Целью изобретени вл етс увеличение коэффициента пропускани .
На чертеже показана зависимость коэффициента пропускани Т ионами пропускани фильтра от длины волны Ai Кривой 1 обозначена сцектральна характеристика фильтра до облучени , а кривой 2 - спектральна характер:; ристика после облучени , ионами Аг с энергией 100 кзВ и дозой 10 ион/см,
П р и м е р. На очищенную хими ческим cnocoSoM прозрачную в видимой части спектра подложку методом злекг- тронно-лучевого испарени наноситс интерференционное покрытие. Покрытие состоит их двух зеркал с равным числом слоев четвертьволновой оптической толщины, разделенных слоем, оптическа толщина которого кратна половине рабочей длины волны. Слои
Редактор Л.Веселовска
Составителв П.Яковлев
Техред Т.Тулик Корректор М.Максимишинец
283/56Тираж 502Подписное
ВНИИПИ Гобударственного комитета СССР
по делам изобретений и открытий 113035, Москва, Ж-35, Раушска наб., д. 4/5
Филиал ППП Патент, г.Ужгород, ул. Проектна , 4
085252
выполнены из. двуокиси титана и двуокиси кремни . После нанесени покрыти фильтр подвергаетс бомбардировке ионами аргона или кремни
5 дозами 10 -10 ион/см . При этом минимальна энерги ионов подбираетс таким образом, чтобы их проекционный пробег превьшал геометрическую толщину внешнего сло ,
10 а максимальна энерги , выбираетс так, чтобы проекционный пробег ионов не превышал толщину всего покрыти . В частности, при облучении покрытий ионами аргона энерги
15 составл ет 35-200 кэВ, а при облучении ионами кремни - 0,5-1,12 МэВ
Увеличение коэффициента пропускани достигаетс в результате изменени оптических параметров
20 слоев покрыти под воздействием облучени , в частности за счет изменени толщины переходных слоев между пленками двуокиси титана и , двуокиси кремни .
Claims (1)
- СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОГО УЗКОПОЛОСНОГО ФИЛЬТРА, включающий нанесение на прозрачную в видимой области спектра подпояску путем электронно-лучевого испарения диэлектрического покрытия, состоящего из чередующихся слоев двуокиси титана и двуокиси кремния, выполненного в виде двух зеркал с равным числом слоев четвертьволновой оптической толщины, разделенных слоем, оптическая толшина которого кратна половине рабочей длины волны, отличающийся тем, что, с целью увеличения коэффициента пропускания, интерференционный узкополосный фильтр после нанесения диэлектрического покрытия облучают иона?м аргона или кремния дозой 10 -10 м ион/см с энергией, при которой проекционный пробег ионов превышает геометрическую толщину внешнего слоя диэлектрического покрытия .4Z0 460 500 540 ХНП1 1208525
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU843748747A SU1208525A1 (ru) | 1984-06-04 | 1984-06-04 | Способ изготовлени интерференционного узкополосного фильтра |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU843748747A SU1208525A1 (ru) | 1984-06-04 | 1984-06-04 | Способ изготовлени интерференционного узкополосного фильтра |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1208525A1 true SU1208525A1 (ru) | 1986-01-30 |
Family
ID=21122080
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU843748747A SU1208525A1 (ru) | 1984-06-04 | 1984-06-04 | Способ изготовлени интерференционного узкополосного фильтра |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1208525A1 (ru) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4957371A (en) * | 1987-12-11 | 1990-09-18 | Santa Barbara Research Center | Wedge-filter spectrometer |
US5432638A (en) * | 1992-04-03 | 1995-07-11 | Hughes Aircraft Company | Spatially tunable rugate narrow reflection band filter and applications therefor |
US5488511A (en) * | 1992-04-03 | 1996-01-30 | Hughes Aircraft Company | Spatially tunable rugate narrow reflection band filter |
-
1984
- 1984-06-04 SU SU843748747A patent/SU1208525A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Фурман Ш.А. Тонкослойные оптические покрыти ,Л.: Машиностроение, 1977, с. 156. Крьшова Т.Н. Интерференционные покрыти . Л,: Машиностроение, 1973, с, 150. * |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4957371A (en) * | 1987-12-11 | 1990-09-18 | Santa Barbara Research Center | Wedge-filter spectrometer |
US5432638A (en) * | 1992-04-03 | 1995-07-11 | Hughes Aircraft Company | Spatially tunable rugate narrow reflection band filter and applications therefor |
US5488511A (en) * | 1992-04-03 | 1996-01-30 | Hughes Aircraft Company | Spatially tunable rugate narrow reflection band filter |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Canfield et al. | The optical properties of evaporated gold in the vacuum ultraviolet from 300 Å to 2 000 Å | |
Tubbs | MoO3 layers—optical properties, colour centres, and holographic recording | |
US4514479A (en) | Method of making near infrared polarizers | |
US6207536B1 (en) | Method for forming a thin film of a composite metal compound and apparatus for carrying out the method | |
EP0181770A2 (en) | A method of manufacturing an optical interference authenticating device | |
US4626445A (en) | Method of manufacturing an optical interference authenticating device | |
US5910256A (en) | Method for manufacturing a diffraction type optical element | |
SU1208525A1 (ru) | Способ изготовлени интерференционного узкополосного фильтра | |
US3695910A (en) | Method of applying a multilayer antireflection coating to a substrate | |
Kolbe et al. | Optical properties and damage thresholds of dielectric UV/VUV coatings deposited by conventional evaporation, IAD, and IBS | |
Koike et al. | VUV high resolution and high flux beamline for chemical dynamics studies at the Advanced Light Source | |
US4078164A (en) | Process for the accomplishment of deep microengraving by a laser beam | |
US5976717A (en) | Coating comprising a photochromic material, a method for its production as well as its use | |
US5204773A (en) | Ultraviolet light filter and filter system | |
JP2566003B2 (ja) | 赤外線グリッド偏光子の製造方法 | |
Kloidt et al. | Smoothing of interfaces in ultrathin Mo/Si multilayers by ion bombardment | |
Ekberg et al. | Transitions and energy levels in Al-like Ge XX, Se XXII, Sr XXVI, Y XXVII and Zr XXVIII | |
Murphy | Effects of surface and thin-film anomalies on miniature infrared filters | |
JPS5974279A (ja) | 金属薄膜の蒸着被覆装置 | |
US5102736A (en) | Process for the manufacture of reflecting glass and the product thereof | |
Kortright | Multilayer reflectors for the extreme ultraviolet spectral region | |
Valero et al. | The Spectra of Highly Ionized Aluminum (Al vi-x) in the Extreme-Ultraviolet and Soft X-Ray Regions | |
US20240035163A1 (en) | Method and apparatus for deposition of at least one layer, optical element and optical arrangement | |
SU1721033A1 (ru) | Материал дл электронно-лучевого формировани в нем рефракционных интегрально-оптических элементов | |
SU899714A1 (ru) | Способ изготовлени дифракционных решеток |