KR0121862Y1 - 액적 형성용 오토마이저 - Google Patents

액적 형성용 오토마이저

Info

Publication number
KR0121862Y1
KR0121862Y1 KR92011278U KR920011278U KR0121862Y1 KR 0121862 Y1 KR0121862 Y1 KR 0121862Y1 KR 92011278 U KR92011278 U KR 92011278U KR 920011278 U KR920011278 U KR 920011278U KR 0121862 Y1 KR0121862 Y1 KR 0121862Y1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
wheel
slurry
center
hopper
atomizer
Prior art date
Application number
KR92011278U
Other languages
English (en)
Other versions
KR940001980U (ko
Inventor
이상협
Original Assignee
안재학
삼성코닝주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 안재학, 삼성코닝주식회사 filed Critical 안재학
Priority to KR92011278U priority Critical patent/KR0121862Y1/ko
Publication of KR940001980U publication Critical patent/KR940001980U/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR0121862Y1 publication Critical patent/KR0121862Y1/ko

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/6715Apparatus for applying a liquid, a resin, an ink or the like

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Nozzles (AREA)

Abstract

호퍼(10)의 중앙에 위치하는 회전축(13)의 중앙으로 슬러리를 공급하는 관로(15)가 설치되어 호퍼(10)의 아래측에 배치되는 휘일(11)의 중앙으로 슬러리의 공급이 이루어지도록 한 액적 형성용 오토마이저.

Description

액적 형성용 오토마이저(Automizer)
제1도는 본 고안에 의한 액적 형성용 오토마이저의 측단면도,
제2도는 종래의 오토마이저의 개략도이다.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10:호퍼 11:휘일
13:회전축 15:관로
16:통로
본 고안은 액적 형성용 오토마이저에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 균일한 두께의 액적을 형성할 수 있는 오토마이저에 관한 것이다.
오토마이저는 액상 또는 분말상의 물질을 소정의 입도로 분무하는 일종의 분무기로서 입자를 분리하여 분무시키는 휘일을 구비하고 있다.
이 휘일의 구조는 입자의 형상을 이루는데 영향을 미치게 되므로 작업의 용도에 적합한 형상을 얻기 위해서는 휘일의 설계를 그것에 적합하게 해야한다.
이러한 오토마이저는 반도체 패키지를 제조하는 공정에서 금형에 투입하는 작은 입자의 흐름을 양호하게 하는 구형상의 물체를 얻기 위해 사용되고 있다. 제 2도는 종래의 오토마이저를 나타내는 도면으로서, 슬러리 공급장치(도시생략) 및 휘일 회전용 임펠러 설치를 위한 오토마이저 본체(1)로 구성되어 있다.
이 오토마이저 본체(1)는 아래측으로 연장되는 부위가 위쪽보다 좁게 형성되어 있으며, 그 내측에는 슬러리 공급통로(2)와 휘일 회전축이 마련되어 있다.
또한 호퍼(1)의 아래측단에는 휘일(3)이 회전가능하게 설치되어 호퍼(1)의 상측 공기 유입구(8)를 통하여 들어오는 압축공기에 의해 회전토록 되어 있으며, 공급통로(2)의 아래단은 휘일(3)의 중앙으로 연통하는 구성으로 이루어져 있다.
휘일(3)을 회전시키는 구성은 휘일(3)의 상측으로 연장되는 회전축의 상단부에 임펠러가 설치되어 공기 유입구(8)를 통하여 들어오는 공기에 의해 회전을 하도록 된다.
상기한 휘일(3)은 상부 플레이트(4)와 하부 플레이트(5)가 일정한 거리를 두고 평행하게 배치되어 있으며, 그 사이에는 분리부재(6)가 위치하여 있다.
이 휘일(3)의 주위에는 건조수단이 배치되어 있는데, 이 건조수단(7)은 속이 빈 원통체의 케이싱을 포함하여 이루어진다.
이와같이 이루어지는 종래의 오토마이저는, 슬러리를 공급하는 통로(2)가 호퍼(1)의 일측에 위치하여 있기 때문에 슬러리 공급이 휘일(3)의 중심에서 치우친 위치에 이루어지게 되므로 슬러리가 공급되는 시점과 공급이 완료된 시점에서의 액막의 두께가 불균일하게 된다.
이러한 현상은 휘일(3)의 직경이 클수록 더욱 심하게 되므로 이를 방지하기 위하여 휘일의 직경이 커질수록 슬러리 공급을 2위치 이상으로 하고 있다.
즉 멀티 포인트(Multi Point)방식으로 슬러리를 공급하게 되는데, 이 경우 균일한 두께의 액막을 얻을 수 있으나, 다수개의 공급 위치중 어느 하나의 공급위치가 막히게 되는 경우에는 더욱 불균일한 두께의 액막이 형성된다.
또한 휘일이 커질수록 멀티 포인트 방식을 채용함에 의해 오토마이저의 가공에 많은 시간이 소요되고 있다.
본 고안은 상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해소하기 위하여 안출된 것으로서, 본 고안의 목적은 1포인트로도 균일한 두께의 액막을 얻을 수 있는 액적 형성용 오토마이저를 제공한다.
이를 실현하기 위하여 본 고안은 호퍼의 중앙에 위치하는 회전축의 중앙으로 슬러리를 공급하는 관로가 설치되어 호퍼의 아래측에 배치되는 휘일의 중앙으로 슬러리의 공급이 이루어지도록 한 액적 형성용 오토마이저를 제공한다.
이하 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부한 도면에 따라 더욱 상세히 설명한다.
제1도는 본 고안에 의한 오토마이저의 측단면도로서, 호퍼(10)의 아래측에 휘일(11)이 위치하여 있으며, 이 휘일(11)의 주위에는 건조수단(12)이 설치되고 있다.
상기한 호퍼(10)의 수직 중심축 선상에는 회전축(13)이 위치하여 구동수단(14)에 의해 회전가능하게 되어 있다.
본 실시예에서 구동수단(14)은 모터를 사용하고 있으며 동력전달 수단으로는 벨트전동을 이용하고 있는데, 이것에 한정되는 것은 아니고 다른 회전수단을 사용하는 것도 가능하다.
상기한 회전축(13)에는 휘일(11)로 연통하는 관로(15)가 형성되어 이곳을 통하여 슬러리를 공급할 수 있도록 되어 있느데, 이러한 구성은 관로(15)가 휘일(11)의 중앙에 형성됨에 의해 슬러리의 균일한 분포를 가능하게 한다.
이와 같이 이루어지는 본 고안의 오토마이저는 슬러리가 휘일(11)의 중앙으로 공급되기 때문에 휘일(11)이 회전함에 의해 원심력으로 분사되는 슬러리들이 균일한 두께로 분포된다.
따라서 균일한 두께의 액적을 형성할 수 있으며, 최종적으로 균일한 입경의 그래뉼 파우더(Granuel Powder)의 제조가 가능한 이점이 있다.

Claims (1)

  1. 호퍼(10)의 중앙에 위치하는 회전축(13)의 중앙으로 슬러리를 공급하는 관로(15)가 설치되어 호퍼(10)의 아래측에 배치되는 휘일(11)의 중앙으로 슬러리의 공급이 이루어지도록 한 액적 형성용 오토마이저.
KR92011278U 1992-06-23 1992-06-23 액적 형성용 오토마이저 KR0121862Y1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR92011278U KR0121862Y1 (ko) 1992-06-23 1992-06-23 액적 형성용 오토마이저

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR92011278U KR0121862Y1 (ko) 1992-06-23 1992-06-23 액적 형성용 오토마이저

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR940001980U KR940001980U (ko) 1994-01-03
KR0121862Y1 true KR0121862Y1 (ko) 1998-08-17

Family

ID=19335366

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR92011278U KR0121862Y1 (ko) 1992-06-23 1992-06-23 액적 형성용 오토마이저

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR0121862Y1 (ko)

Also Published As

Publication number Publication date
KR940001980U (ko) 1994-01-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US3281076A (en) Method and apparatus for atomizing liquids
JP2004130304A5 (ko)
CN109365176B (zh) 一种汽车轮毂双面喷涂设备
CN110620031B (zh) 一种晶圆表面颗粒清洗装置
CN113385316A (zh) 一种离心雾化喷头
KR0121862Y1 (ko) 액적 형성용 오토마이저
CA1216139A (en) Liquid spraying
US3011472A (en) Electrostatic sprayer
KR20080101559A (ko) 회전형 분무 건조 장치 및 이를 구비한 건조 챔버
KR20170137928A (ko) 기판 처리 장치
KR101968763B1 (ko) 스프레이 방식의 표면처리 시스템
SU1389868A1 (ru) Пневматический распылитель
CN111708259B (zh) 一种匀胶显影机增粘单元
JP7237360B2 (ja) コーティング装置
EP0363377B1 (en) Method and apparatus for the manufacturing of coated mouldings, in particular of capsules containing pharmaceutical materials and are meant to be used as medecine
JP2002301405A (ja) 多色スパッタ塗装機
SU1393472A1 (ru) Аппарат дл капсулировани мелкодисперсных материалов в кип щем слое
CN217165012U (zh) 一种喷涂设备
CN113471123B (zh) 晶圆竖直旋转处理设备及其应用的通风系统
CN113680548B (zh) 一种用于钢塑复合管喷涂喷头的同轴双通道配气结构
JPH11268792A (ja) 粉粒体貯留槽
JPS62140660A (ja) 回転円盤型静電塗装装置
GB1582177A (en) Spray apparatus
JPH0732488U (ja) 造粒乾燥装置
SU1389865A1 (ru) Распылитель дл сушильной установки

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
REGI Registration of establishment
LAPS Lapse due to unpaid annual fee