KR0117166Y1 - 씨씨디(ccd) 영상소자의 수평전하 전송영역 구동장치 - Google Patents
씨씨디(ccd) 영상소자의 수평전하 전송영역 구동장치 Download PDFInfo
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Abstract
본 고안은 CCD(Charge Coupled Device) 영상소자에 관한 것으로, 특히 1 페이즈(1-Phase)의 HCCD 클럭신호 입력으로 두 개의 반대 펄스를 생성하여 HCCD를 구동하는 방법으로 소자의 주변회로를 단순화하는데 적당하도록 한 CCD 영상소자의 수평전하 전송영역 구동장치에 관한 것이다.
상기와 같은 본 고안의 수평전하 전송영역 구동장치는 1 페이즈(1-Phase)의 클럭신호를 발생하는 클럭신호 발생부, 상기의 클럭신호 발생부의 클럭신호에 의해 구동되는 수평전하 전송영역(HCCD)상의 2n + 1(n = 0, 1, 2, …)번째의 제1게이트전극과 제2게이트전극, 상기의 클럭신호 발생부의 클럭신호를 반전시키는 인버터부, 상기 인버터부의 출력클럭 신호에 의해 구동되는 수평전하 전송영역(HCCD)상의 2n + 2(n = 0, 1, 2, …)번째의 제1게이트전극과 제2게이트전극을 포함하여 이루어진다.
Description
제1도는 종래 CCD 영상소자의 HCCD 구동을 나타낸 구조단면도.
제2도는 본 고안에 따른 CCD 영상소자의 HCCD 구동을 나타낸 구조단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 반도체기판 2 : 수평전하 전송영역(HCCD)
3 : 베리어(Barrier)층 4 : 제1게이트전극
5 : 제2게이트전극 6 : 인버터부
7 : 클럭신호 발생부
본 고안은 CCD(Charge Coupled Device) 영상소자에 관한 것으로, 특히 1 페이즈(1-Phase)의 HCCD 클럭신호 입력으로 두 개의 반대 펄스를 생성하여 HCCD를 구동하는 방법으로 소자의 주변회로를 단순화하는데 적당하도록 한 CCD 영상소자의 수평전하 전송영역 구동장치에 관한 것이다.
일반적으로 CCD 영상소자는 반도체기판의 빛의 신호를 전기적 신호로 변환하는 복수개의 포토 다이오드를 매트릭스 형태로 배열하고 영상신호 전하를 생성하는 복수개의 광전변환 소자와 광전변환 소자 사이에 규칙적으로 배열되어 광전변환 소자에 의해 생성된 영상신호 전하를 수직방향으로 전송하기 위한 수직전하 전송영역(Vertical CCD)과 수직전하 전송영역(VCCD)에 의해 전송된 영상신호 전하를 수평방향으로 전송하기 위해 수직전하 전송영역(VCCD)의 출력측에 형성된 수평전하 전송영역(Horizontal CCD)과 수평전하 전송영역의 출력단에서 전송된 영상신호를 센싱하는 센싱앰프 등으로 구성된 고체촬상 소자이다.
이하, 첨부된 도면을 참고하여 종래의 CCD 영상소자의 HCCD 영역의 구동장치에 관하여 설명하면 다음과 같다.
종래 CCD 영상소자의 HCCD 구동을 나타낸 구조단면도인 제1도에서와 같이 종래의 CCD 영상소자는 반도체기판(1)상에 수평전하 전송영역(HCCD)(2)을 형성하고, 노출된 전면에 게이트 절연을 위한 게이트 절연막(도면에 도시하지 않음)을 형성하고 게이트 절연막상에 폴리실리콘을 증착하고 선택적으로 제거하여 제1게이트전극(4)을 형성하는 공정과, 제1게이트전극(4)을 마스크로 하여 수평전하 전송영역(HCCD)(2)에 이온주입을 실시하여 수평전하 전송영역(HCCD)(2)의 전위가 단차를 갖도록 베리어(Barrier)층(3)을 형성하는 공정과 제1게이트전극(4) 사이에 형성된 베리어층(3)상에 제2게이트전극(5)을 형성하는 공정을 포함하여 구성된다.
상기와 같이 구성된 종래의 CCD 영상소자의 HCCD 구동은 다음과 같다.
제 2n + 1(n = 0, 1, 2, …)번째의 제1게이트전극(4), 제2게이트전극(5)에 Hø1의 클럭신호가 인가되고 제 2n + 2(n = 0, 1, 2, …)번째의 제1게이트전극(4), 제2게이트전극(5)에 Hø2 클럭신호가 인가된다.
이때, Hø1, Hø2에는 서로 반대되는 위상을 갖는 클럭신호가 인가되게 된다.
상기와 같이 교대로 HIGH 신호가 인가되는 Hø1, Hø2의 클럭신호에 의해 HCCD가 구동하게 되어 수직전하 전송영역(VCCD)(도면에 도시하지 않음)에서 수평전하 전송영역(HCCD)(2)으로 전송되어 온 영상신호 전하를 출력단 쪽으로 전송하게 된다.
그러나 상기와 같은 종래의 CCD 영상소자의 HCCD 구동장치는 HCCD 구동클럭 신호를 Hø1, Hø2의 2 페이즈(2-Phase)로 하여 소자의 주변회로가 복잡해지는 문제점이 있었다. 본 고안은 상기와 같은 종래 CCD 영상소자의 HCCD 구동장치의 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로써, CCD 영상소자의 HCCD 구동클럭 신호를 1 페이즈(1-Phase)로 하여 주변회로를 단순화 한 CCD 영상소자의 HCCD 구동장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 고안의 CCD 영상소자의 HCCD 구동장치를 첨부된 도면을 참고하여 설명하면 다음과 같다.
본 고안에 따른 CCD 영상소자의 HCCD 구동을 나타낸 구조단면도인 제2도에서와 같이, 본 고안의 CCD 영상소자는 반도체기판(1)상에 수평전하 전송영역(HCCD)(2)을 형성하고, 노출된 전면에 게이트 절연을 위한 게이트 절연막(도면에 도시하지 않음)을 형성하고 게이트 절연막상에 폴리실리콘을 증착하고 선택적으로 제거하여 제1게이트전극(4)을 형성하는 공정과, 제1게이트전극(4)을 마스크로 하여 수평전하 전송영역(HCCD)(2)에 이온주입을 실시하여 수평전하 전송영역(HCCD)(2)의 전위가 단차를 갖도록 베리어(Barrier)층(3)을 형성하는 공정과, 제1게이트전극(4) 사이에 형성된 베리어층(3)상에 제2게이트전극(5)을 형성하는 공정을 포함하여 구성된다.
상기와 같이 구성된 본 고안의 CCD 영상소자의 HCCD 구동장치는 다음과 같다.
1 페이즈(1-Phase)의 클럭신호를 발생하는 클럭신호 발생부(7)와 상기의 클럭신호 발생부(7)에 연결되어 위상비반전의 클럭신호에 의해 구동되는 수평전하 전송영역(HCCD)(2)상의 2n + 1(n = 0, 1, 2, …)번째의 제1게이트전극(4)과 제2게이트전극(5)과 상기의 클럭신호 발생부(7)의 클럭신호를 반전시키는 인버터부(6)와 인버터부(6)의 위상반전된 클럭신호에 의해 구동되는 수평전하 전송영역(HCCD)(2)상의 2n + 2(n = 0, 1, 2, …)번째의 제1게이트전극(4)과 제2게이트전극(5)을 포함하여 구성된다.
상기와 같이 구성된 본 고안의 CCD 영상소자의 HCCD 구동장치는 2n + 1(n = 0, 1, 2, …)번째의 제1게이트전극(4)과 제2게이트전극(5), 2n + 2(n = 0, 1, 2, …)번째의 제1게이트전극(4)과 제2게이트전극(5)에 서로 반대의 위상을 갖는 클럭신호가 동시에 인가되어 수직전하 전송영역(VCCD)(도면에 도시하지 않음)에서 수평전하 전송영역(HCCD)(2)으로 전송되어 온 영상신호 전하를 출력단 쪽으로 전송하게 된다.
상기와 같은 본 고안의 CCD 영상소자의 수평전하 전송영역(HCCD) 구동장치는 클럭신호 발생부의 1 페이즈(1-Phase)의 클럭신호 CCD 영상소자의 수평전하 전송영역을 구동하므로 소자의 주변회로를 단순화하는 효과가 있다.
Claims (1)
1 페이즈(1-Phase)의 클럭신호를 발생하는 클럭신호 발생부, 상기의 클럭신호 발생부의 클럭신호에 의해 구동되는 수평전하 전송영역(HCCD)상의 2n + 1(n = 0, 1, 2, …)번째의 제1게이트전극과 제2게이트전극, 상기의 클럭신호 발생부의 클럭신호를 반전시키는 인버터부, 상기 인버터부의 출력클럭 신호에 의해 구동되는 수평전하 전송영역(HCCD)상의 2n + 2(n = 0, 1, 2, …)번째의 제1게이트전극과 제2게이트전극을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 CCD 영상소자의 수평전하 전송영역의 구동장치.
Priority Applications (1)
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| KR2019940008605U KR0117166Y1 (ko) | 1994-04-22 | 1994-04-22 | 씨씨디(ccd) 영상소자의 수평전하 전송영역 구동장치 |
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Also Published As
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