KR0113167Y1 - 웨이퍼의 정렬 장치 - Google Patents
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Abstract
본 고안은 웨이퍼의 정렬 장치에 관한 것으로, 웨이퍼 캐리어가 안착되는 상면에 롤러 승강공(12)이 형성된 본체(10)와, 상기 본체(10)의 하부 일측에 상하 회동가능하게 지지되는 롤러지지레버(20)와 상기 롤러 승강공(12)내에 위치하며 상기 롤러지지레버(20)의 대략 중간부에 굴대설치되는 롤러(30)와, 상기 롤러(30)의 일단에 연결되어 롤러(30)를 회전시키는 회전손잡이(40)와, 상기 본체(10)의 일측에 상하 회동가능하게 지지된 롤러승강조작레버(50)와, 상기 롤러승강조작레버(50)와 동축으로 고정되어 상기 롤러지지레버(20)를 작동시키는 작동레버(60)로 구성되어 동력을 사용하지 않고 수동조작에 의하여 정렬하면서도 신속하고 정확하게 정렬할 수 있음과 아울러 이동식으로 사용하기 편리하게 되는 것이다.
Description
제1도는 종래의 웨이퍼 자동정렬 장치의 사시도.
제2도는 본 고안에 의한 웨이퍼 정렬 장치의 사시도.
제3도는 본 고안의 요부인 레버부에 대한 요부 단면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 본체 12 : 롤러 승강공
20 : 롤러지지레버 30 : 롤러
40 : 회전손잡이 50 : 롤러승강조작레버
60 : 작동레버
본 고안은 웨이퍼 정렬 장치에 관한 것으로, 특히 4인치 웨이퍼에 적합한 웨이퍼 정렬 장치에 관한 것이다.
종래 웨이퍼자동 정렬 장치는 제1도에 도시한 바와 같이 웨이퍼가 담긴 캐리어만 얹어 놓으면 자동으로 모터(1)가 회전하여 웨이퍼의 플랫존을 정렬하는 방식의 구성으로 되어 있다.
즉, 웨이퍼가 담긴 캐리어를 정렬 장치에 얹으면 웨이퍼는 롤러(3)에 얹혀지게 되고, 캐리어 감지핀(2)이 눌려지고 이 감지신호에 의하여 모터(1)가 회전하여 롤러(3)를 회전시킨다.
롤러(3)의 회전에 의해 웨이퍼가 롤러(3)상에 구름접촉하면서 회전하게 되며, 회전과정에서 플랫존이 롤러(3)위치에 오게 되면 플랫존이 롤러(3)에 닿지 않으므로 웨이퍼는 그 위치에서 정지하게 된다.
이 상태에서 몇 초 후 롤러(3)가 2~3mm 들리면서 롤러(3)가 회전하면 웨이퍼의 플랫존이 롤러(3)와 접촉하게 되므로 웨이퍼는 다시 회전하게 되고 플랫존이 윗쪽으로 오게 되며, 이 시간에 맞춰 모터(1)가 정지하게 된다.
그러나 상기한 바와 같이 종래의 자동 정렬 장치는 고장이 잦으며 또한 전원이 있어야 작동하므로 이동식으로 사용하는데 제약이 뒤따르며 정렬 속도가 느리다는 문제점이 있었다.
따라서 본 고안의 목적은 고장이 거의 없고 이동식으로 사용하기에 편리하며 정렬 속도를 높일 수 있도록 한 웨이퍼의 정렬 장치를 제공하려는 것이다.
이하, 본 고안에 의한 웨이퍼의 정렬 장치를 첨부도면에 도시한 실시례에 따라서 상세히 설명한다.
제2도는 본 고안의 웨이퍼 정렬 장치를 보인 사시도이고, 제3도는 본 고안의 종단면로서, 이에 도시한 바와 같이 상면에 한쌍의 캐리어 지지홈(11)이 형성됨과 아울러 이들 지지홈(11)사이에 롤러 승강공(12)이 형성된 본체(10)와, 상기 본체(10)의 하부 일측에 회전축(21)으로 상하 회동가능하게 지지되는 롤러 지지레버(20)와, 상기 롤러 승강공(12)내에 위치하며 상기 롤러 지지레버(20)의 대략 중간부에 굴대 설치되는 롤러(30)와, 상기 롤러(30)의 일단에 연결되어 롤러(30)를 회전시키는 회전손잡이(40)와, 상기 본체(10)의 일측에 상하 회동가능하게 지지층(51)으로 지지된 롤러승강조작레버(50)와, 상기 지지축(51)에 롤러승강조작레버(50)와 동축으로 고정되어 상기 롤러지지레버(20)를 작동시키는 작동레버(60)로 구성된다.
상기 본체(10)의 캐리어 지지홈(11)에는 제3도에 도시한 바와 같이 웨이퍼 개리어(70)의 지지각(71)이 삽입되어 캐리어(70)가 본체(10)에 대하여 안정된 상태로 지지되도록 하는 것이다.
상기 본체(10)의 저면 네 모서리에는 본체(10)의 높이 및 수평을 조절하기 위한 조절각(13)이 결합되어 있다.
상기 롤러지지레버(20)는 그 끝단부라 상기 작동레버(60)의 끝단보다 상부에 위치하여 롤러승강조작레버(50)에 의하여 작동레버(60)가 반시계방향으로 회동될 때 시계방향으로 회동되면서 그 중간부에 굴대설치된 롤러(30)를 상승시키게 되며 롤러승강조작레버(50)에 의하여 작동레버(60)가 시계방향으로 작동될 때 반시계방향으로 회동하면서 그 자중과 롤러(30)의 중량에 의하여 하강하도록 작동되게 구성되어 있다.
상기 롤러(30)는 그 회전축(31)이 롤러지지레버(20)의 중간부에 설치된 축받이(32)에 지지되어 있다.
이와 같이 구성된 본 고안의 웨이퍼의 정렬 장치의 작용효과는 다음과 같다.
먼저, 롤러승강조작레버(50)를 자유 상태로 하면 롤러지지레버(20)와 롤러(30)에 자중에 의하여 롤러(30)는 하강된 상태로 유지되며, 이 상태에서 웨이퍼(W)가 담긴 캐리어(70)의 지지각(71)을 본체(10)의 캐리어 지지홈(11)에 삽입하면, 제3도에 도시한 바와 같이 플랫존(F)이 윗쪽에 있는 웨이퍼(W)가 롤러(30)에 접촉하게 된다.
이 상태에서 회전손잡이(40)을 돌리면 롤러(30)가 회전하면서 이에 접촉하고 있는 웨이퍼(W)를 회전시키게 된다.
웨이퍼(W)가 회전됨에 따라 플랫존(F)이 롤러(30)위치에 도달하게 되면 롤러(30)는 하강된 상태이므로 플랫존(F)은 롤러(30)에 접촉하지 않게 되어 롤러(30)가 회전하더라도 웨이퍼(W)는 회전되지 않고 플랫존(F)이 아래를 향한 상태로 정지된다.
다음, 롤러승강조작레버(50)를 하방으로 누르면 이 롤러승강조작레버(50)와 지지축(51)으로 동축 설치된 작동레버(60)가 반시계방향으로 회전되면서 그 내측단이 그 상측에 있는 롤러지지레버(20)의 끝단부를 들어올리게 되며, 이에 따라 롤러지지레버(20)는 회전축(21)를 중심으로 하여 시계방향으로 회동하면서 그 중간부에 굴대설치된 롤러(30)가 2~3mm정도 상승시키게 된다.
이에 따라 아래를 향하고 있는 플랫존(F)이 롤러(30)위치에 접촉하게 되며, 이 상태에서 회전손잡이(40)를 돌리면 롤러(30)가 회전함에 따라 웨이퍼(W)가 회전하게 된다.
이러한 작용으로 웨이퍼(W)가 플랫존(F)이 윗쪽에 왔을때 회전손잡이(40)의 조작을 중지함으로써 웨이퍼의 정렬이 완료되는 것이다.
이후, 롤러승강조작레버(50)를 놓으면 롤러지지레버(20)와 롤러(30)의 자증에 의하여 롤러지지레버(20)가 반시계방향으로 회동되고 이에 따라 롤러(30)가 하강하여 최초의 상태를 유지하게 되는 것이다.
이상과 같이 본 고안에 의하면 동력을 사용하지 않고 수동조작에 의하여 정렬하면서도 신속하고 정확하게 정렬할 수 있음과 아울러 이동식으로 사용하기 편리하게 되는 것이다.
Claims (1)
- 웨이퍼 캐리어가 안착되는 상면에 롤러 승강공(12)이 형성된 본체(10)와, 상기 본체(10)의 하부 일측에 상하 회동가능하게 지지되는 롤러 지지레버(20)와, 상기 롤러 승강공(12)내에 위치하며 상기 롤러 지지레버(20)의 대략 중간부에 굴대설치되는 롤러(30)와, 상기 롤러(30)의 일단에 연결되어 롤러(30)를 회전시키는 회전손잡이(40)와, 상기 본체(10)의 일측에 상하 회동가능하게 지지된 롤러승강조작레버(50)와, 상기 롤러승강조작레버(50)와 동축으로 고정되어 상기 롤러지지레버(20)를 승강 작동시키는 작동레버(60)로 구성됨을 특징으로하는 웨이퍼의 정렬 장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019910000471U KR0113167Y1 (ko) | 1991-01-14 | 1991-01-14 | 웨이퍼의 정렬 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019910000471U KR0113167Y1 (ko) | 1991-01-14 | 1991-01-14 | 웨이퍼의 정렬 장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR920015762U KR920015762U (ko) | 1992-08-17 |
| KR0113167Y1 true KR0113167Y1 (ko) | 1998-04-14 |
Family
ID=19309752
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR2019910000471U KR0113167Y1 (ko) | 1991-01-14 | 1991-01-14 | 웨이퍼의 정렬 장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0113167Y1 (ko) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100451953B1 (ko) * | 1997-11-19 | 2004-11-16 | 삼성전자주식회사 | 반도체 패키지 테스트 장치 |
-
1991
- 1991-01-14 KR KR2019910000471U patent/KR0113167Y1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR920015762U (ko) | 1992-08-17 |
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