JPWO2024100738A5 - - Google Patents

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0768451A (ja) * 1993-06-30 1995-03-14 Nikon Corp 形状測定方法および装置
JP2006005137A (ja) * 2004-06-17 2006-01-05 Canon Inc 位置決めステージ装置
JP5428538B2 (ja) 2008-06-20 2014-02-26 株式会社ニコン 干渉装置
US8619265B2 (en) * 2011-03-14 2013-12-31 Faro Technologies, Inc. Automatic measurement of dimensional data with a laser tracker
US9036134B2 (en) 2013-02-12 2015-05-19 Faro Technologies, Inc. Multi-mode optical measurement device and method of operation
JP2015072137A (ja) 2013-10-01 2015-04-16 株式会社 光コム 光学式計測装置
JP6619823B2 (ja) 2015-06-04 2019-12-11 ルーミンコード エーエス 自由空間位置ファインダー
JP2017067704A (ja) * 2015-10-01 2017-04-06 トヨタ紡織株式会社 ３次元形状データ作成方法及びそれを用いた部品検査方法、並びに３次元形状データ作成装置及び部品検査プログラム
JP2020085633A (ja) 2018-11-22 2020-06-04 株式会社キーエンス 変位測定システム、変位測定装置、変位測定方法
JP7346775B2 (ja) 2018-12-25 2023-09-20 株式会社Xtia 光学測定機器及びそのデータ生成方法
WO2022162893A1 (ja) * 2021-01-29 2022-08-04 株式会社ニコン 工作機械、光学系及び計測装置

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