JPWO2024048765A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JPWO2024048765A5
JPWO2024048765A5 JP2024544593A JP2024544593A JPWO2024048765A5 JP WO2024048765 A5 JPWO2024048765 A5 JP WO2024048765A5 JP 2024544593 A JP2024544593 A JP 2024544593A JP 2024544593 A JP2024544593 A JP 2024544593A JP WO2024048765 A5 JPWO2024048765 A5 JP WO2024048765A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
crystal
film
metal compound
electronic device
laminated structure
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2024544593A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP7751916B2 (ja
JPWO2024048765A1 (https=
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority claimed from PCT/JP2023/032024 external-priority patent/WO2024048765A1/ja
Publication of JPWO2024048765A1 publication Critical patent/JPWO2024048765A1/ja
Publication of JPWO2024048765A5 publication Critical patent/JPWO2024048765A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7751916B2 publication Critical patent/JP7751916B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2024544593A 2022-08-31 2023-08-31 積層構造体、電子デバイス、電子機器及びシステム Active JP7751916B2 (ja)

Applications Claiming Priority (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2022138854 2022-08-31
JP2022138854 2022-08-31
JP2022138853 2022-08-31
JP2022138855 2022-08-31
JP2022138853 2022-08-31
JP2022138855 2022-08-31
PCT/JP2023/032024 WO2024048765A1 (ja) 2022-08-31 2023-08-31 結晶、積層構造体、素子、電子デバイス、電子機器及びシステム

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JPWO2024048765A1 JPWO2024048765A1 (https=) 2024-03-07
JPWO2024048765A5 true JPWO2024048765A5 (https=) 2025-04-17
JP7751916B2 JP7751916B2 (ja) 2025-10-09

Family

ID=90098005

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2024544593A Active JP7751916B2 (ja) 2022-08-31 2023-08-31 積層構造体、電子デバイス、電子機器及びシステム

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP7751916B2 (https=)
WO (1) WO2024048765A1 (https=)

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004006960A (ja) * 2003-07-24 2004-01-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd 誘電体膜の形成方法
JP7065439B2 (ja) * 2016-11-04 2022-05-12 株式会社Flosfia 結晶性ZrO2膜の製造方法および結晶性ZrO2膜
JP6498821B1 (ja) * 2018-06-13 2019-04-10 アドバンストマテリアルテクノロジーズ株式会社 膜構造体及びその製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5899220B2 (ja) ロール状の母基板を利用したフレキシブル電子素子の製造方法、フレキシブル電子素子及びフレキシブル基板
CN103548164B (zh) 压电元件用下部电极及具备它的压电元件
JP2015088521A5 (https=)
JP2008305916A5 (https=)
JP2018002544A5 (https=)
JPWO2021200790A5 (https=)
JP2009111373A5 (https=)
US10964879B2 (en) Method of manufacturing a dielectric device
JP2014187094A (ja) 圧電体薄膜積層基板、圧電体薄膜素子、およびそれらの製造方法
JP6605215B2 (ja) 強誘電体薄膜積層基板、強誘電体薄膜素子、および強誘電体薄膜積層基板の製造方法
US9576837B2 (en) Method of forming a flexible semiconductor layer and devices on a flexible carrier
JP2003257854A5 (https=)
WO2014002576A1 (ja) 半導体装置の製造方法
JP2023109680A5 (ja) 結晶膜、積層構造体及びその製造方法、電子デバイス、電子機器並びにシステム
JP2007283480A5 (https=)
JP2005209925A5 (https=)
JPWO2024048765A5 (https=)
JP2006110626A5 (https=)
JPWO2024048764A5 (https=)
JP2023134333A5 (ja) 結晶、積層構造体及びその製造方法、電子デバイス、電子機器並びにシステム
JP2012049364A5 (https=)
JPWO2024048767A5 (https=)
JP2023109682A5 (ja) 形状記憶材料、積層構造体及びその製造方法、電子デバイス、電子機器並びにシステム
JP2023109679A5 (ja) 積層構造体及びその製造方法、電子デバイス、電子機器並びにシステム
JP2023109681A5 (ja) 結晶膜、積層構造体及びその製造方法、電子デバイス、電子機器並びにシステム