JPWO2023085210A5 - - Google Patents
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- 239000000463 material Substances 0.000 claims 16
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- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical group CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 7
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical group [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 7
- 235000019687 Lamb Nutrition 0.000 claims 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical group O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims 2
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 claims 2
- 229910000449 hafnium oxide Inorganic materials 0.000 claims 1
- WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N hafnium(4+);oxygen(2-) Chemical group [O-2].[O-2].[Hf+4] WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 claims 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims 1
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2021182309 | 2021-11-09 | ||
| PCT/JP2022/041167 WO2023085210A1 (ja) | 2021-11-09 | 2022-11-04 | 弾性波装置、フィルタ、分波器及び通信装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPWO2023085210A1 JPWO2023085210A1 (https=) | 2023-05-19 |
| JPWO2023085210A5 true JPWO2023085210A5 (https=) | 2024-07-18 |
Family
ID=86336018
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2023559606A Pending JPWO2023085210A1 (https=) | 2021-11-09 | 2022-11-04 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPWO2023085210A1 (https=) |
| WO (1) | WO2023085210A1 (https=) |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006005313A (ja) * | 2004-06-21 | 2006-01-05 | Toshiba Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
| CN103283147B (zh) * | 2010-12-24 | 2016-09-21 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置及其制造方法 |
| WO2012090873A1 (ja) * | 2010-12-28 | 2012-07-05 | 京セラ株式会社 | 弾性波素子およびそれを用いた弾性波装置 |
| JP6724410B2 (ja) * | 2016-02-22 | 2020-07-15 | 東ソー株式会社 | 酸化物焼結体及び酸化物透明導電膜 |
| JP6665667B2 (ja) * | 2016-04-28 | 2020-03-13 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波デバイス、超音波モジュール、及び超音波測定装置 |
| JP6632481B2 (ja) * | 2016-06-22 | 2020-01-22 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波共振器、フィルタおよびマルチプレクサ |
| CN112997403B (zh) * | 2018-11-16 | 2025-01-17 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置 |
| CN114586282A (zh) * | 2019-10-24 | 2022-06-03 | 京瓷株式会社 | 弹性波装置 |
| WO2021172032A1 (ja) * | 2020-02-28 | 2021-09-02 | 国立大学法人東北大学 | 弾性波デバイス |
| JP7386741B2 (ja) * | 2020-03-23 | 2023-11-27 | 京セラ株式会社 | フィルタ、分波器及び通信装置 |
-
2022
- 2022-11-04 WO PCT/JP2022/041167 patent/WO2023085210A1/ja not_active Ceased
- 2022-11-04 JP JP2023559606A patent/JPWO2023085210A1/ja active Pending
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