JPWO2020180972A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JPWO2020180972A5
JPWO2020180972A5 JP2021552856A JP2021552856A JPWO2020180972A5 JP WO2020180972 A5 JPWO2020180972 A5 JP WO2020180972A5 JP 2021552856 A JP2021552856 A JP 2021552856A JP 2021552856 A JP2021552856 A JP 2021552856A JP WO2020180972 A5 JPWO2020180972 A5 JP WO2020180972A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas cell
mirror
pass gas
optical component
light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2021552856A
Other languages
English (en)
Other versions
JP7488586B2 (ja
JP2022524040A (ja
Publication date
Priority claimed from US16/808,238 external-priority patent/US11150130B2/en
Application filed filed Critical
Publication of JP2022524040A publication Critical patent/JP2022524040A/ja
Publication of JPWO2020180972A5 publication Critical patent/JPWO2020180972A5/ja
Priority to JP2024074237A priority Critical patent/JP2024109619A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP7488586B2 publication Critical patent/JP7488586B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Claims (22)

  1. マルチパスガスセルであって、
    マルチパスガスセルの光入力部で入力光を受け取るように光学的に結合され、入力光をコリメートしてコリメート光を生成するように構成された第1の光学部品と、
    コリメート光を受け取るように光学的に結合され、マルチパスガスセル内でコリメート光を反射して、マルチパスガスセルの複数のパスを通るコリメート光の多重反射を生成するように構成された2以上のリフレクタのセットと、
    コリメート光の多重反射から生じる出力光を受け取るように光学的に結合され、マルチパスガスセルの光出力部に向けて出力光を集束するように構成された第2の光学部品とを備え、
    前記第1の光学部品および前記第2の光学部品が前記2以上のリフレクタのセットとは異なり、前記多重反射が前記2以上のリフレクタのセットのみによって生成され、
    前記第1の光学部品および前記第2の光学部品が、前記2以上のリフレクタのセットのうちの単一のリフレクタと一体化されていることを特徴とするマルチパスガスセル。
  2. 請求項1に記載のマルチパスガスセルにおいて、
    前記2以上のリフレクタのセットが、少なくとも3つの曲面リフレクタを含むことを特徴とするマルチパスガスセル。
  3. 請求項に記載のマルチパスガスセルにおいて、
    前記第1の光学部品および前記第2の光学部品が、曲面ミラーまたはレンズを含むことを特徴とするマルチパスガスセル。
  4. 請求項に記載のマルチパスガスセルにおいて、
    前記2以上のリフレクタのセットが、第1の球面ミラー、第2の球面ミラーおよび第3の球面ミラーを含み、各々が、前記第1の球面ミラーと前記第2の球面ミラーおよび前記第3の球面ミラーの各々との間の距離に等しい同一の曲率半径を有し、
    前記第1の球面ミラーが、前記マルチパスガスセルの第1の側に配置され、前記第2の球面ミラーおよび前記第3の球面ミラーがともに、前記第1の側とは反対側の前記マルチパスガスセルの第2の側に配置され、
    前記第2の球面ミラーと前記第3の球面ミラーとの間の角度が、前記マルチパスガスセル内にコリメート光を維持するように選択され、
    前記第1の球面ミラーが、前記単一のリフレクタを含むことを特徴とするマルチパスガスセル。
  5. 請求項4に記載のマルチパスガスセルにおいて、
    前記第1の光学部品が、前記第1の球面ミラーの第1の端部で一体化され、前記第2の光学部品が、前記第1の端部と反対側の前記第1の球面ミラーの第2の端部で一体化されていることを特徴とするマルチパスガスセル。
  6. 請求項に記載のマルチパスガスセルにおいて、
    マルチパスガスセルの光入力部で追加の入力光を受け取るように光学的に結合された第3の光学部品をさらに備え、前記第3の光学部品が、追加の入力光をコリメートして、追加のコリメート光が前記第1の球面ミラーと前記第2の球面ミラーおよび前記第3の球面ミラーの各々との間で反射するように、追加のコリメート光を生成するように構成され、前記第3の光学部品が、前記第1の球面ミラーの第1の端部でさらに一体化されていることを特徴とするマルチパスガスセル。
  7. 請求項に記載のマルチパスガスセルにおいて、
    前記第2の球面ミラーが、前記第2の球面ミラーの第1の部分と前記第2の球面ミラーの第2の部分を生成する不連続部を含み、前記第1の部分と前記第2の部分が、異なるそれぞれの傾きを有し、前記マルチパスガスセル内に異なるそれぞれのマルチパス光路長を形成することを特徴とするマルチパスガスセル。
  8. 請求項に記載のマルチパスガスセルにおいて、
    前記第2の球面ミラーの第1の部分が、コリメート光の第1の反射回数を含む第1のマルチパス光路長を生成し、前記第2の球面ミラーの第2の部分が、追加のコリメート光の第2の反射回数を含む第2のマルチパス光路長を生成し、前記第1の反射回数が、前記第2の反射回数とは異なることを特徴とするマルチパスガスセル。
  9. 請求項に記載のマルチパスガスセルにおいて、
    2つの光源と、
    前記2つの光源に結合され、前記2つの光源を切り替えるように構成されたスイッチとをさらに備えることを特徴とするマルチパスガスセル。
  10. 請求項に記載のマルチパスガスセルにおいて、
    前記光入力部および前記光出力部が前記単一のリフレクタの第1の端部に位置するように、前記第1の光学部品および前記第2の光学部品がともに、前記単一のリフレクタの第1の端部で一体化されていることを特徴とするマルチパスガスセル。
  11. 請求項10に記載のマルチパスガスセルにおいて、
    前記単一リフレクタが、前記第1の端部とは反対側のその第2の端部に非対称部分を有し、それにより前記コリメート光を前記マルチパスガスセル内に反射して戻すことが可能となっていることを特徴とするマルチパスガスセル。
  12. 請求項に記載のマルチパスガスセルにおいて、
    前記2以上のリフレクタのセットが、第1の凹面ミラーおよび第2の凹面ミラーを含み、前記第1の凹面ミラーが、前記単一のリフレクタを含み、
    前記第1の凹面ミラーが、第1の曲率半径を有し、前記第2の凹面ミラーが、前記第1の曲率半径の2倍である第2の曲率半径を有し、
    前記第1の凹面ミラーと前記第2の凹面ミラーとの間の距離が、前記第2の曲率半径と等しいことを特徴とするマルチパスガスセル。
  13. 請求項12に記載のマルチパスガスセルにおいて、
    前記コリメート光の迷光が前記マルチパスガスセルの光出力部に到達するのを防ぐために光学的に結合された吸収体をさらに備えることを特徴とするマルチパスガスセル。
  14. 請求項13に記載のマルチパスガスセルにおいて、
    前記吸収体が、前記第2の凹面ミラー上の吸収領域を含むことを特徴とするマルチパスガスセル。
  15. 請求項13に記載のマルチパスガスセルにおいて、
    前記第1の光学部品および前記第2の光学部品が、直角ミラー、曲面ミラーまたはレンズを含むことを特徴とするマルチパスガスセル。
  16. 請求項1に記載のマルチパスガスセルにおいて、
    前記第1の光学部品が、前記2以上のリフレクタのセットのうちの第1のリフレクタと一体化され、前記第2の光学部品が、前記2以上のリフレクタのセットのうちの第2のリフレクタと一体化されていることを特徴とするマルチパスガスセル。
  17. 請求項16に記載のマルチパスガスセルにおいて、
    前記2以上のリフレクタのセットが、少なくとも第1のミラー、第2のミラー、第3のミラーおよび第4のミラーを含み、
    前記第1の光学部品が、前記第1のミラーと一体化され、
    前記第2の光学部品が、前記第2のミラーと一体化されていることを特徴とするマルチパスガスセル。
  18. 請求項17に記載のマルチパスガスセルにおいて、
    前記第1の光学部品および前記第2の光学部品が、曲面ミラーまたはレンズを含むことを特徴とするマルチパスガスセル。
  19. 請求項17に記載のマルチパスガスセルにおいて、
    前記第1のミラー、前記第2のミラー、前記第3のミラーおよび前記第4のミラーの各々が、平面ミラーまたは円筒形ミラーを含むことを特徴とするマルチパスガスセル。
  20. 請求項17に記載のマルチパスガスセルにおいて、
    前記第1のミラーおよび前記第2のミラーの各々が第1の長さを有し、前記第3のミラーおよび前記第4のミラーの各々が、前記第1の長さよりも長い第2の長さを有し、
    前記第1の光学部品が、前記第2のミラー、前記第3のミラー、前記第4のミラーおよび前記第1のミラーの間に、前記コリメート光の螺旋状のマルチパス光路を生成するように選択された角度で、前記コリメート光を前記第2のミラーに向けて導くように、前記第1のミラーの上部分に一体化され、
    前記第2の光学部品が、前記第1のミラーから反射された出力光を受け取り、前記光出力部に向けて出力光を集束させるように、前記第2のミラーの下部分に一体化されていることを特徴とするマルチパスガスセル。
  21. 請求項16に記載のマルチパスガスセルにおいて、
    前記2以上のリフレクタのセットが、第1の平面ミラーおよび第2の平面ミラーを含み、前記第1の光学部品が、前記第1の平面ミラーと一体化され、前記第2の光学部品が、前記第2の平面ミラーと一体化され、
    当該マルチパスガスセルがさらに、
    前記第1の光学部品からのコリメート光を受け取るように光学的に結合され、前記第1の平面ミラーと前記第2の平面ミラーとの間の多重反射を含むマルチパスガスセルの内部を伝播するための入力ベッセルビームを生成するように構成された第1の光学ベッセル部品と、
    前記多重反射から生じる出力ベッセルビームを受け取るように光学的に結合され、前記第2の光学部品によって受け取られる出力光として出力コリメート光を生成するように構成された第2の光学ベッセル部品とを備えることを特徴とするマルチパスガスセル。
  22. 請求項21に記載のマルチパスガスセルにおいて、
    前記第1の光学部品および前記第2の光学部品が、曲面ミラーまたはレンズを含み、
    前記第1の光学ベッセル部品および前記第2の光学ベッセル部品が、アキシコンレンズ、環状アパーチャまたは円錐形リフレクタを含むことを特徴とするマルチパスガスセル。
JP2021552856A 2019-03-04 2020-03-04 マルチガススペクトルセンサのための小型マルチパスガスセル Active JP7488586B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2024074237A JP2024109619A (ja) 2019-03-04 2024-05-01 マルチガススペクトルセンサのための小型マルチパスガスセル

Applications Claiming Priority (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201962813714P 2019-03-04 2019-03-04
US62/813,714 2019-03-04
US16/808,238 US11150130B2 (en) 2019-03-04 2020-03-03 Compact multi-pass gas cell for multi-gas spectral sensors
US16/808,238 2020-03-03
PCT/US2020/020962 WO2020180972A1 (en) 2019-03-04 2020-03-04 Compact multi-pass gas cell for multi-gas spectral sensors

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2024074237A Division JP2024109619A (ja) 2019-03-04 2024-05-01 マルチガススペクトルセンサのための小型マルチパスガスセル

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2022524040A JP2022524040A (ja) 2022-04-27
JPWO2020180972A5 true JPWO2020180972A5 (ja) 2022-10-31
JP7488586B2 JP7488586B2 (ja) 2024-05-22

Family

ID=72336298

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2021552856A Active JP7488586B2 (ja) 2019-03-04 2020-03-04 マルチガススペクトルセンサのための小型マルチパスガスセル
JP2024074237A Pending JP2024109619A (ja) 2019-03-04 2024-05-01 マルチガススペクトルセンサのための小型マルチパスガスセル

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2024074237A Pending JP2024109619A (ja) 2019-03-04 2024-05-01 マルチガススペクトルセンサのための小型マルチパスガスセル

Country Status (5)

Country Link
US (1) US11150130B2 (ja)
EP (1) EP3935369B1 (ja)
JP (2) JP7488586B2 (ja)
CN (1) CN114008440B (ja)
WO (1) WO2020180972A1 (ja)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20200378892A1 (en) * 2019-05-28 2020-12-03 Si-Ware Systems Integrated device for fluid analysis
US11747272B2 (en) * 2019-06-10 2023-09-05 Analog Devices, Inc. Gas detection using differential path length measurement
DE102019210163A1 (de) * 2019-07-10 2021-01-14 OSRAM Opto Semiconductors Gesellschaft mit beschränkter Haftung Optische messanordnung und gassensor mit derselben
US11692934B2 (en) * 2020-07-23 2023-07-04 Masimo Corporation Solid-state spectrometer
US20230014558A1 (en) * 2021-07-06 2023-01-19 Si-Ware Systems Self-calibrated spectroscopic and ai-based gas analyzer
CN117940757A (zh) 2021-09-15 2024-04-26 赛默环境设备有限责任公司 气体分析仪
JP7560149B2 (ja) 2022-12-13 2024-10-02 株式会社 東京ウエルズ 照明装置及び撮像システム

Family Cites Families (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3861809A (en) 1973-04-06 1975-01-21 Perkin Elmer Corp Confocal cavity optical gas sensor
DE3830906A1 (de) * 1988-09-10 1990-03-15 Draegerwerk Ag Spiegelanordnung fuer einen strahlengang in einer vielfach-reflexionsmesszelle
US5125742A (en) 1990-07-25 1992-06-30 General Analysis Corporation Long path gas absorption cell
CA2158516A1 (en) * 1995-07-28 1997-01-29 Shachar Nadler Method and apparatus for monitoring trace constituents in a fluid
GB9616809D0 (en) * 1996-08-10 1996-09-25 Eev Ltd Gas monitors
US5835231A (en) * 1997-10-31 1998-11-10 The United States Of America As Represented By The Secretary Of Commerce Broad band intra-cavity total reflection chemical sensor
FR2767195A1 (fr) 1997-12-15 1999-02-12 Commissariat Energie Atomique Cuve d'absorption pour systeme d'analyse de gaz
US6486474B1 (en) * 1999-08-13 2002-11-26 Regents Of The University Of Minnesota Infrared spectrometer for the measurement of isotopic ratios
US20070081162A1 (en) * 2002-01-11 2007-04-12 Ekips Technologies, Inc. Method And Apparatus For Determining Marker Gas Concentration Using An Internal Calibrating Gas
DE10216047A1 (de) 2002-04-11 2003-10-23 Univ Albert Ludwigs Freiburg Monolithische Multi-Pass-Zelle
JP4791368B2 (ja) * 2003-11-13 2011-10-12 サイマー インコーポレイテッド レーザ出力光パルスストレッチャ
JP4547385B2 (ja) * 2003-12-12 2010-09-22 イーエルティー インコーポレイテッド ガスセンサ
US7352464B2 (en) * 2004-01-05 2008-04-01 Southwest Sciences Incorporated Oxygen sensor for aircraft fuel inerting systems
JP2006276216A (ja) * 2005-03-28 2006-10-12 Fujitsu Ltd 光スイッチ
US7468797B1 (en) * 2006-01-24 2008-12-23 Los Gatos Research Absorption spectroscopy instrument with increased optical cavity power without resonant frequency build-up
US8427641B2 (en) * 2008-12-18 2013-04-23 Azbil BioVigilant, Inc. Compact detector for simultaneous particle size and fluorescence detection
JP5320542B2 (ja) * 2009-06-10 2013-10-23 ゼネラルパッカー株式会社 マルチパスセル
US8508740B2 (en) * 2010-01-04 2013-08-13 University Corporation For Atmospheric Research Optical multi-pass cell
US20120092782A1 (en) * 2010-10-18 2012-04-19 Stephen So Split Spherical Mirror Configuration for Optical Multipass Cell
RU2451285C1 (ru) * 2010-11-12 2012-05-20 Общество С Ограниченной Ответственностью "Оптосенс" Газоанализатор и оптический блок, используемый в нем
US8531659B2 (en) * 2011-03-24 2013-09-10 The Laser Sensing Company Multipass cell using spherical mirrors while achieving dense spot patterns
AU2012215342B2 (en) * 2012-05-02 2017-04-13 Wilco Ag Method of detecting a propellant gas
GB2517187B (en) * 2013-08-14 2016-09-14 Duvas Tech Ltd Multipass spectroscopic absorption cell
US20150062572A1 (en) * 2013-09-05 2015-03-05 Goodrich Corporation White cell for fluid detection
CN103712932B (zh) * 2013-12-29 2016-08-17 西藏民族学院 一种多通道光学吸收检测装置
CA2940429A1 (en) * 2014-03-17 2015-09-24 Prism Analytical Technologies, Inc. Process and system for rapid sample analysis
CA2886213A1 (en) * 2014-09-07 2015-05-27 Unisearch Associates Inc. Gas cell assembly and applications in absorption spectroscopy
US9250175B1 (en) * 2014-12-16 2016-02-02 Aerodyne Research, Inc. Optical multi-pass cell for long path-length spectroscopy
US10107741B2 (en) * 2015-10-07 2018-10-23 Duvas Technologies Limited Input and output optical systems for multipass spectroscopic absorption cells
US10024716B2 (en) * 2015-10-26 2018-07-17 Burt J. Beardsley Field lens corrected three mirror anastigmat spectrograph
WO2017081662A1 (en) * 2015-11-13 2017-05-18 Duvas Technologies Limited Optical alignment apparatuses and methods for optics used in absorption cell spectrometers
CN107024442A (zh) * 2015-12-15 2017-08-08 株式会社堀场制作所 多重反射型单元、分析装置、排气分析装置和光的射入方法
FR3048084A1 (fr) * 2016-02-18 2017-08-25 Commissariat Energie Atomique Capteur infrarouge non-dispersif pour detecter un gaz.
CN109983313B (zh) * 2016-06-15 2021-12-31 斯维尔系统 集成光谱单元
KR101835556B1 (ko) * 2016-12-29 2018-03-07 광운대학교 산학협력단 단일 광경로를 가진 비분산 적외선 다종가스 검출센서 장치
KR101907393B1 (ko) * 2017-06-29 2018-10-15 한국교통대학교산학협력단 소수성 박막을 증착한 비분산적외선 이산화탄소 가스센서
JP7075862B2 (ja) * 2017-10-16 2022-05-26 株式会社堀場製作所 分析装置
CN108593587A (zh) * 2018-07-03 2018-09-28 青岛海纳光电环保有限公司 一种非分散红外气体传感器

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US2356654A (en) Catadioptric lens
US10139646B2 (en) Transparent material light-emitting module with two reflection faces
US4623225A (en) Anamorphic prism for beam shaping
KR20190034589A (ko) 레이저 라인 조명
CN109212733B (zh) 一种光程折叠器件
CA2957343A1 (en) Device for shaping laser radiation
CN110235038B (zh) 导光装置、激光模块、以及导光装置的制造方法
EP3848626A1 (en) Front-lighting system for vehicle headlamp
TW201527148A (zh) 車輛頭燈裝置
JP5507837B2 (ja) レーザビームを形成するための装置
JPWO2018037663A1 (ja) レーザモジュール
US11761603B2 (en) Front-lighting system for vehicle
JPWO2020180972A5 (ja)
CN214542912U (zh) 一种小体积半导体激光器
TW201541134A (zh) 光耦合元件及應用光耦合元件之光學模組
TW200925511A (en) TIR collimator with improved uniformity
US20140063836A1 (en) Laser Lighting Device
CN114296089A (zh) 光学系统及激光雷达
JP2019161005A (ja) レーザモジュール
KR0125962B1 (ko) 광디스크 기록장치용 빔정형프리즘
CN111148986B (zh) 一种紧凑型传感器件
CN110941096A (zh) 一种用于激光推进的片光光路系统
US20230208095A1 (en) Lighting optical system
CN110703450A (zh) 光束整形组件、模块及激光模块
CN115685529B (zh) 一种基于反射透镜的光学延迟线及其应用