JP4791368B2 - レーザ出力光パルスストレッチャ - Google Patents
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 58
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 3
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 3
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 2
- 239000003638 chemical reducing agent Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
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- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
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- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/005—Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
- H01S3/0057—Temporal shaping, e.g. pulse compression, frequency chirping
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- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/14—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range characterised by the material used as the active medium
- H01S3/22—Gases
- H01S3/223—Gases the active gas being polyatomic, i.e. containing two or more atoms
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- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/14—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range characterised by the material used as the active medium
- H01S3/22—Gases
- H01S3/223—Gases the active gas being polyatomic, i.e. containing two or more atoms
- H01S3/225—Gases the active gas being polyatomic, i.e. containing two or more atoms comprising an excimer or exciplex
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Description
本出願は、2004年5月18日出願の「レーザ出力光パルスストレッチャ」という名称の米国特許出願出願番号第10/847,799号に対する優先権を主張するものであり、この特許出願は、2003年11月13日出願の「長遅延及び高TiSパルスストレッチャ」という名称の米国特許出願出願番号第10/712,545号の一部継続出願であり、2002年1月23日出願の特許出願出願番号第10/056,619号(代理人整理番号第1999−0013−01号)に基づく2002年10月24日に公開された発明者がノウルズ他の「ライン選択されたF2・2チャンバレーザシステム」という名称の米国公開特許出願番号2002/0154671A1に関連し、かつ2002年9月13日出願の特許出願出願番号第10/243,102号(代理人整理番号第2002−0074−01号)に基く2003年7月24日に公開された発明者がリロフ他の「F2圧力ベースのライン選択を伴う2チャンバF2レーザシステム」という名称の米国公開特許出願番号2003/0138019A1に関連し、1998年9月4日出願の特許出願出願番号第09/148,514号に基く2000年5月23日にモートン他に付与された「パルス乗算器を有するエキシマレーザ」という名称の米国特許第6,067,311号、1998年10月30日出願の特許出願出願番号第09/183,860号に基づく2001年11月6日にモートンに付与された「パルス及びビーム乗算器を有するエキシマレーザ」という名称の第6,314,119号、2001年11月29日出願の特許出願出願番号第10/006,913号に基づく2003年3月18日にスミス他に付与された「パルス乗算器を有するガス放電レーザ」という名称の米国特許第6,535,531号、2001年11月30日出願の特許出願出願番号第10/012,002号に基づく2003年9月23日にノウルズ他に付与された「超狭帯域2チャンバ高繰返し数ガス放電レーザシステム」という名称の第6,625,191号、2002年7月31日出願の特許出願出願番号第10/210,761号に基づく2004年2月10日にファロン他に付与された「2チャンバガス放電レーザのための制御システム」という名称の第6,690,704号、2002年5月7日出願の特許出願出願番号第10/141,216号に基づく2004年2月17日にクレーン他に付与された「ビーム送出を有するレーザリソグラフィ光源」という名称の第6,693,939号、2002年8月30日出願の特許出願出願番号第10/233,253号に基づく2004年3月9日にルブリン他に付与された「ビーム送出及びビーム指向制御を有するリソグラフィレーザ」という名称の第6,704,339号、及び2002年9月25日出願の特許出願出願番号第10/255,806号に基づく2004年3月9日にエルショフ他に付与された「配置済みアラインメントツールを伴うリソグラフィレーザシステム」という名称の第6,704,340号に関連しており、これらの全ての開示内容は、本明細書において引用により組み込まれている。
図9に示すように、ビームは、両方のパルスストレッチャがビーム経路から外された場合は、より一層干渉性が高く、ここでは範囲50〜54にあるほぼ同じ面積のより明確な分布を含み、x軸に沿ってビームの垂直中心軸に対してほぼ対称に分布しており、ここでは、更に、範囲70(0.625〜0.750)、72(0.750〜0.875)、及び74(0.875〜1.000)にあるビームのいくつかの小さな部分と共に範囲58(0.500〜0.625)にあるかなりの部分を含む。干渉性は、ビームプロフィールを横切るピンホールを通過するビームによって設定される回折縞によって測定され、レーザビームにおける干渉光が強い程、より強い縞及びより強いコントラストを生じる。
上述のことから分るように、パルスストレッチャは、パルス長を増大し、ピークパルス強度を減少し、高TISを生じるという有用な結果を有するだけでなく、出力レーザ光ビームにおける空間コヒーレンスの非常に効率的な低減器である。
特許請求の範囲及び内容から逸脱することなく本発明及び本発明の態様に多くの変更及び修正を加えることができ、特許請求の範囲は、本出願で開示した好ましい実施形態の特定的な態様に範囲及び内容において制限されるべきではないことを当業者は理解するであろう。
10 凹球面ミラー
Claims (10)
- レーザ出力パルスを生成する高ピークパワー短パルス持続時間ガス放電レーザシステムであって、
パルスストレッチャ、
を含み、
前記パルスストレッチャは、
出力レーザパルスの一部分を光遅延経路を有する光遅延内に迂回させるレーザ出力パルス光遅延開始光学機器と、
前記光遅延に設けられた複数の共焦点共振器と、
を含み、
前記レーザ出力パルス光遅延開始光学機器からの迂回出力が前記複数の共焦点共振器の1つに入力され、
前記複数の共焦点共振器が、4つの共焦点共振器からなり、12パス4ミラー配置で構成され、前記光遅延の出力を前記レーザ出力パルス光遅延開始光学機器に送出するように位置合わせされている、
ことを特徴とするシステム。 - 前記複数の共焦点共振器の各々は、曲率半径を有する第1の凹球面ミラーと、同じ曲率半径を有して該曲率半径だけ離間した第2の凹球面ミラーとを含む、
ことを更に特徴とする請求項1に記載のシステム。 - 前記パルスストレッチャは、第1の共焦点共振器セルを含み、
前記第1の共焦点共振器セルは、
第1の凹球面ミラーの面上の第1の点での前記出力レーザパルスの部分を含む前記レーザ出力パルス光遅延開始光学機器からの入力ビームを受光して第1の反射ビームを発生させる曲率半径を有する第1の凹球面ミラーと、
同じ曲率半径を有してその曲率半径だけ前記第1の凹球面ミラーから離間し、第2の凹球面ミラーの面上の第1の点で前記第1の反射ビームを受光して、該第1の凹球面ミラーの面上の第2の点に入射する第2の反射ビームを発生させる第2の凹球面ミラーと、
を含み、
前記第2の反射ビームは、前記第1の凹球面ミラーにより該第1のミラー上の前記第2の点から反射されて、前記第1の共焦点共振器セルからの出力ビームを形成し、
前記パルスストレッチャは、更に、
前記第1の共焦点共振器セルの前記出力ビームを第2の共焦点共振器セルの入力ビームとして受光する第2の共焦点共振器セル、
を含む、
ことを更に特徴とする請求項1に記載のシステム。 - レーザ出力パルスを生成する高ピークパワー短パルス持続時間ガス放電レーザシステムであって、
出力レーザパルスビーム送出ユニット、
を含み、
前記出力レーザパルスビーム送出ユニットは、
パルスストレッチャ、
を含み、
前記パルスストレッチャは、
出力レーザパルスの一部分を光遅延経路を有する光遅延内に迂回させるレーザ出力パルス光遅延開始光学機器と、
前記光遅延に設けられた複数の共焦点共振器と、
を含み、
前記レーザ出力パルス光遅延開始光学機器からの迂回出力が前記複数の共焦点共振器の1つに入力され、
前記複数の共焦点共振器が、4つの共焦点共振器からなり、12パス4ミラー配置で構成され、前記光遅延の出力を前記レーザ出力パルス光遅延開始光学機器に送出するように位置合わせされている、
ことを特徴とするシステム。 - 前記複数の共焦点共振器の各々は、曲率半径を有する第1の凹球面ミラーと、同じ曲率半径を有して該曲率半径だけ離間した第2の凹球面ミラーとを含む、
ことを更に特徴とする請求項4に記載のシステム。 - 前記パルスストレッチャは、第1の共焦点共振器セルを含み、
前記第1の共焦点共振器セルは、
第1の凹球面ミラーの面上の第1の点での前記出力レーザパルスの部分を含む前記レーザ出力パルス光遅延開始光学機器からの入力ビームを受光して第1の反射ビームを発生させる曲率半径を有する第1の凹球面ミラーと、
同じ曲率半径を有してその曲率半径だけ前記第1の凹球面ミラーから離間し、第2の凹球面ミラーの面上の第1の点で前記第1の反射ビームを受光して、該第1の凹球面ミラーの面上の第2の点に入射する第2の反射ビームを発生させる第2の凹球面ミラーと、
を含み、
前記第2の反射ビームは、前記第1の凹球面ミラーにより該第1のミラー上の前記第2の点から反射されて、前記第1の共焦点共振器セルからの出力ビームを形成し、
前記パルスストレッチャは、更に、
前記第1の共焦点共振器セルの前記出力ビームを第2の共焦点共振器セルの入力ビームとして受光する第2の共焦点共振器セル、
を含む、
ことを更に特徴とする請求項4に記載のシステム。 - 高ピークパワー短パルス持続時間ガス放電レーザ出力パルスを形成する方法であって、 出力レーザパルスの一部分をレーザ出力パルス光遅延開始光学機器によって光遅延経路内に迂回させることによって出力パルスをストレッチする段階、
を含み、
前記光遅延経路は、
複数の共焦点共振器、
を含み、
前記レーザ出力パルス光遅延開始光学機器からの迂回出力が前記複数の共焦点共振器の1つに入力され、
前記複数の共焦点共振器が、4つの共焦点共振器からなり、12パス4ミラー配置で構成され、前記光遅延の出力を前記レーザ出力パルス光遅延開始光学機器に送出するように位置合わせされている、
ことを特徴とする方法。 - 前記複数の共焦点共振器の各々は、曲率半径を有する第1の凹球面ミラーと、同じ曲率半径を有して該曲率半径だけ離間した第2の凹球面ミラーとを含む、
ことを更に特徴とする請求項7に記載の方法。 - 前記パルスをストレッチする段階は、第1の共焦点共振器セルを利用する段階を含み、 前記第1の共焦点共振器セルは、
第1の凹球面ミラー手段の面上の第1の点での前記出力レーザパルスの部分を含む前記レーザ出力パルス光遅延開始手段からの入力ビームを受光して第1の反射ビームを発生させるための曲率半径を有する第1の凹球面ミラー手段と、
同じ曲率半径を有してその曲率半径だけ前記第1の凹球面ミラー手段から離間し、第2の凹球面ミラー手段の面上の第1の点で前記第1の反射ビームを受光して、該第1の凹球面ミラー手段の面上の第2の点に入射する第2の反射ビームを発生させるための第2の凹球面ミラー手段と、
を含み、
前記第2の反射ビームは、前記第1の凹球面ミラー手段により該第1のミラー上の前記第2の点から反射されて、前記第1の共焦点共振器セルからの出力ビームを形成し、
前記第1の共焦点共振器セルは、更に、
前記第1の共焦点共振器セル手段の前記出力ビームを第2の共焦点共振器セル手段の入力ビームとして受光するための第2の共焦点共振器セル手段、
を含む、
ことを更に特徴とする請求項7に記載の方法。 - レーザ出力パルスを生成する高ピークパワー短パルス持続時間ガス放電レーザシステムであって、
出力レーザパルスの一部分を光遅延経路を有する第1の光遅延内に迂回させる第1のレーザ出力パルス光遅延開始光学機器、及び
前記第1の光遅延に設けられた第1の複数の共焦点共振器、
を含む第1のパルスストレッチャと、
前記第1の光遅延の前記出力の一部分を光遅延経路を有する第2の光遅延内に迂回させる第2のレーザ出力パルス光遅延開始光学機器、及び
前記第2の光遅延に設けられた第2の複数の共焦点共振器、
を含む第2のパルスストレッチャと、
を含み、
前記第1のパルスストレッチャ及び前記第2のパルスストレッチャの一方又は両方において、
前記レーザ出力パルス光遅延開始光学機器からの迂回出力が前記複数の共焦点共振器の1つに入力され、
前記複数の共焦点共振器が、4つの共焦点共振器からなり、12パス4ミラー配置で構成され、前記光遅延の出力を前記レーザ出力パルス光遅延開始光学機器に送出するように位置合わせされている、
ことを特徴とするシステム。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/712,545 US6928093B2 (en) | 2002-05-07 | 2003-11-13 | Long delay and high TIS pulse stretcher |
US10/712,545 | 2003-11-13 | ||
US10/847,799 | 2004-05-18 | ||
US10/847,799 US7369597B2 (en) | 2003-11-13 | 2004-05-18 | Laser output light pulse stretcher |
PCT/US2004/036371 WO2005050795A2 (en) | 2003-11-13 | 2004-11-01 | Laser output light pulse stretcher |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007511908A JP2007511908A (ja) | 2007-05-10 |
JP2007511908A5 JP2007511908A5 (ja) | 2007-12-20 |
JP4791368B2 true JP4791368B2 (ja) | 2011-10-12 |
Family
ID=34623329
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006539592A Active JP4791368B2 (ja) | 2003-11-13 | 2004-11-01 | レーザ出力光パルスストレッチャ |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP1692750B1 (ja) |
JP (1) | JP4791368B2 (ja) |
KR (1) | KR101114867B1 (ja) |
DE (1) | DE602004025376D1 (ja) |
WO (1) | WO2005050795A2 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7321605B2 (en) * | 2004-05-24 | 2008-01-22 | Asml Holding, N.V. | Helical optical pulse stretcher |
JP5096035B2 (ja) * | 2007-05-01 | 2012-12-12 | ギガフォトン株式会社 | 光学的パルスストレッチ装置及び露光用放電励起レーザ装置 |
JP2010003755A (ja) * | 2008-06-18 | 2010-01-07 | Mitsubishi Electric Corp | 波長変換レーザ装置 |
US9793673B2 (en) | 2011-06-13 | 2017-10-17 | Kla-Tencor Corporation | Semiconductor inspection and metrology system using laser pulse multiplier |
US9151940B2 (en) | 2012-12-05 | 2015-10-06 | Kla-Tencor Corporation | Semiconductor inspection and metrology system using laser pulse multiplier |
US9525265B2 (en) | 2014-06-20 | 2016-12-20 | Kla-Tencor Corporation | Laser repetition rate multiplier and flat-top beam profile generators using mirrors and/or prisms |
US9548582B2 (en) | 2014-11-26 | 2017-01-17 | Electronics And Telecommunications Research Institute | Pulse width stretcher and chirped pulse amplifier including the same |
US9945730B2 (en) * | 2016-09-02 | 2018-04-17 | Cymer, Llc | Adjusting an amount of coherence of a light beam |
US11150130B2 (en) * | 2019-03-04 | 2021-10-19 | Si-Ware Systems | Compact multi-pass gas cell for multi-gas spectral sensors |
TWI842962B (zh) * | 2019-10-16 | 2024-05-21 | 美商希瑪有限責任公司 | 光學脈衝拉伸器、擴展光學脈衝拉伸器、雷射源、微影裝置及用於產生及導引雷射束之方法 |
GB2593456B (en) * | 2020-03-18 | 2024-02-28 | Thermo Fisher Scient Ecublens Sarl | Double-pulse laser system |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6389045B1 (en) * | 1999-04-19 | 2002-05-14 | Lambda Physik Ag | Optical pulse stretching and smoothing for ArF and F2 lithography excimer lasers |
US20030043876A1 (en) * | 2001-01-29 | 2003-03-06 | Leonard Lublin | Lithography laser with beam delivery and beam pointing control |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5157684A (en) * | 1991-10-23 | 1992-10-20 | United Technologies Corporation | Optically pulsed laser |
JP2892938B2 (ja) * | 1994-06-20 | 1999-05-17 | インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション | 波長変換装置 |
IL112546A (en) * | 1995-02-06 | 1999-04-11 | Oramir Semiconductor Ltd | Laser pulse extender |
KR100483981B1 (ko) * | 1996-02-22 | 2005-11-11 | 가부시키가이샤 니콘 | 펄스폭신장광학계및이러한광학계를갖춘노광장치 |
JPH09288251A (ja) * | 1996-02-22 | 1997-11-04 | Nikon Corp | パルス幅伸長光学系および該光学系を備えた露光装置 |
US6442186B1 (en) * | 1998-09-21 | 2002-08-27 | Peter Vitruk | Stable multi-fold telescopic laser resonator |
-
2004
- 2004-11-01 KR KR1020067009242A patent/KR101114867B1/ko active IP Right Grant
- 2004-11-01 JP JP2006539592A patent/JP4791368B2/ja active Active
- 2004-11-01 WO PCT/US2004/036371 patent/WO2005050795A2/en active Application Filing
- 2004-11-01 EP EP04800552A patent/EP1692750B1/en active Active
- 2004-11-01 DE DE602004025376T patent/DE602004025376D1/de active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6389045B1 (en) * | 1999-04-19 | 2002-05-14 | Lambda Physik Ag | Optical pulse stretching and smoothing for ArF and F2 lithography excimer lasers |
US20030043876A1 (en) * | 2001-01-29 | 2003-03-06 | Leonard Lublin | Lithography laser with beam delivery and beam pointing control |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE602004025376D1 (de) | 2010-03-18 |
EP1692750A2 (en) | 2006-08-23 |
JP2007511908A (ja) | 2007-05-10 |
WO2005050795A3 (en) | 2006-04-13 |
WO2005050795A2 (en) | 2005-06-02 |
KR20060114330A (ko) | 2006-11-06 |
KR101114867B1 (ko) | 2012-03-06 |
EP1692750B1 (en) | 2010-01-27 |
EP1692750A4 (en) | 2007-07-11 |
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