JPWO2020050008A1 - 光学素子及び電子機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本技術に係る光学素子は、第1の光反射層と、第1の誘電体厚膜層と、多層膜積層体と、第2の誘電体厚膜層と、第2の光反射層とを具備する。第1の誘電体厚膜層は、誘電体からなり、第1の光反射層上に配置されている。多層膜積層体は、第1の誘電体厚膜層上に配置された多層膜積層体であって、フェルミ準位調整によって光学遷移エネルギーの制御が可能な複数の透明導体薄膜と、複数の透明導体薄膜の間に配置された原子層薄膜である誘電体薄膜とを備える。第2の誘電体厚膜層は、誘電体からなり、多層膜積層体上に配置されている。第2の光反射層は、第2の誘電体厚膜層上に配置されている。
【選択図】図1
Description
上記第1の誘電体厚膜層は、誘電体からなり、上記第1の光反射層上に配置されている。
上記多層膜積層体は、上記第1の誘電体厚膜層上に配置された多層膜積層体であって、フェルミ準位調整によって光学遷移エネルギーの制御が可能な複数の透明導体薄膜と、上記複数の透明導体薄膜の間に配置された原子層薄膜である誘電体薄膜とを備える。
上記第2の誘電体厚膜層は、誘電体からなり、上記多層膜積層体上に配置されている。
上記第2の光反射層は、上記第2の誘電体厚膜層上に配置されている。
MはTi、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Mo、W、Sc、Mn、Fe、Ni、Cr、Pd、Pt、Re、Ga、Ge、Sn、Pb及びInのいずれかであり、
Xは、O、S、Se及びTeのいずれか、又は、
MXの組成式で表される層状化合物からなり、
MはGa又はInであり、
Xは、O、S、Se及びTeのいずれか、又は、
M2X3の組成式で表される層状化合物からなり、
MはBiであり、
Xは、O、S、Se及びTeのいずれかであってもよい。
LはTi、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Mo、W、Sc、Mn、Fe、Ni、Cr、Pd、Pt、Re、Ga、Ge、Sn、Pb及びInのいずれかであり、
MはTi、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Mo、W、Sc、Mn、Fe、Ni、Cr、Pd、Pt、Re、Ga、Ge、Sn、Pb及びInのいずれかであり、
AはN、O、P、S、Se及びTeのいずれかであり、
BはN、O、P、S、Se及びTeのいずれかであってもよい。
LはSb、F、As、Nb、Ta、Sn、Ge、Mo、Ti、Zr、Hf、W、Te、Al、Ga、B、In、Y、Sc、V、Siのいずれかであり、
MはSb、F、As、Nb、Ta、Sn、Ge、Mo、Ti、Zr、Hf、W、Te、Al、Ga、B、In、Y、Sc、V、Siのいずれかであってもよい。
MはTi、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Mo、W、Sc、Mn、Fe、Ni、Cr、Pd、Pt、Re、Ga、Ge、Sn、Pb及びInのいずれかであり、
Xは、O、S、Se及びTeのいずれかであってもよい。
XはK、Na、Ca、Ba、Rb及びCsのいずれかであり、
YはAl、Mg、Fe、Mn、Cr、Ti及びLiのいずれかであり、
ZはSi、Al、Fe及びTiのいずれかであり、
AはOH又はFであってもよい。
LはSi、Ge、P、As、Sb、Al、Ga、In、Tl、Pb及びZnのいずれかであり、
MはSi、Ge、P、As、Sb、Al、Ga、In、Tl、Pb及びZnのいずれかであり、
NはO、S、Se及びTeのいずれかであってもよい。
MはTi、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Mo、W、Sc、Mn、Fe、Ni、Cr、Pd、Pt、Re、Ga、Ge、Sn、Pb及びInのいずれかであり、
Xは、O、S、Se及びTeのいずれかであってもよい。
MはGa又はInであり、
Xは、O、S、Se及びTeのいずれかであってもよい。
MはBiであり、
Xは、O、S、Se及びTeのいずれかであってもよい。
LはTi、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Mo、W、Sc、Mn、Fe、Ni、Cr、Pd、Pt、Re、Ga、Ge、Sn、Pb及びInのいずれかであり、
MはTi、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Mo、W、Sc、Mn、Fe、Ni、Cr、Pd、Pt、Re、Ga、Ge、Sn、Pb及びInのいずれかであり、
AはN、O、P、S、Se及びTeのいずれかであり、
BはN、O、P、S、Se及びTeのいずれかであってもよい。
上記第1の光反射層、上記第2の光反射層及び上記複数の透明導体薄膜の少なくともいずれか一つは、上記複数の透明導体薄膜と上記第1の光反射層の間、上記複数の透明導体薄膜と上記第2の光反射層、又は上記複数の透明導体薄膜のそれぞれの間に所定の電位差を付与する電源に接続されていてもよい。
又は、上記第1の光反射層及び上記第2の光反射層の両方が、2種以上の誘電体を積層した多層膜反射体であり、上記複数の透明導体薄膜は、上記複数の透明導体薄膜のそれぞれの間で所定の電位差を付与する電源に接続されていてもよい。
本技術の第1の実施形態に係る光学素子について説明する。
図1は本技術の第1の実施形態に係る光学素子100の構造を示す断面図であり、図2は、光学素子100の平面図である。なお、以下の各図において相互に直交する三方向をそれぞれX方向、Y方向及びZ方向とする。
図1に示すように、第1光反射層102、第2光反射層106及び透明導体薄膜110はそれぞれ電源Pに接続され、電源PはアースEに接続されている。
光学素子100の動作について説明する。
上記説明において、多層膜積層体104は、2層の透明導体薄膜110の間に1層の誘電体薄膜111が配置されているとしたが、より多数の透明導体薄膜110及び誘電体薄膜111を備えるものであってもよい。図4は、この多層膜積層体104を備える光学素子100の断面図であり、図5はこの光学素子100の平面図である。
上記のように、光学素子100は第1光反射層102及び第2光反射層106を備えるが、第1光反射層102及び第2光反射層106は複数層であってもよい。図6は、それぞれ複数層の第1光反射層102及び第2光反射層106を備える光学素子100の断面図である。
第1層102aを基板101に対する接着層とし、第1層106aを第2誘電体厚膜層105に対する接着層として用いることができる。これにより、第2層102b及び第2層106bは、接着性を考慮せずに、光学特性に応じて材料を選択することが可能となる。
上記光学素子100は、透明導体薄膜110に電位差を付与することにより透明導体薄膜110の電荷濃度を制御し、光学特性を変化させるものとしたが、電位差の付与以外の方法で光学特性を変化させてもよい。
本実施形態に係る光学素子100は、上記のように特定の波長域における光吸収を制御する光変調素子として用いることが可能であるが、その他にも光学素子100の構造を用いて各種の電子機器を実現することが可能である。
本技術の第2の実施形態に係る光学素子について説明する。なお、第2の実施形態に係る光学素子の構造は第1の実施形態に係る光学素子と共通するため、第2の実施形態においては第1の実施形態と同一の符号を付する。
図1は本技術の第2の実施形態に係る光学素子100の構造を示す断面図であり、図2は、光学素子100の平面図である。なお、以下の各図において相互に直交する三方向をそれぞれX方向、Y方向及びZ方向とする。
図1に示すように、第1光反射層102、第2光反射層106及び透明導体薄膜110はそれぞれ電源Pに接続され、電源PはアースEに接続されている。
光学素子100の動作について説明する。
上記説明において、多層膜積層体104は、2層の透明導体薄膜110の間に1層の誘電体薄膜111が配置されているとしたが、より多数の透明導体薄膜110及び誘電体薄膜111を備えるものであってもよい。図4は、この多層膜積層体104を備える光学素子100の断面図であり、図5はこの光学素子100の平面図である。
上記のように、光学素子100は第1光反射層102及び第2光反射層106を備えるが、第1光反射層102及び第2光反射層106は複数層であってもよい。図6は、それぞれ複数層の第1光反射層102及び第2光反射層106を備える光学素子100の断面図である。
第1層102aを基板101に対する接着層とし、第1層106aを第2誘電体厚膜層105に対する接着層として用いることができる。これにより、第2層102b及び第2層106bは、接着性を考慮せずに、光学特性に応じて材料を選択することが可能となる。
上記光学素子100は、透明導体薄膜110に電位差を付与することにより透明導体薄膜110の電荷濃度を制御し、光学特性を変化させるものとしたが、電位差の付与以外の方法で光学特性を変化させてもよい。
本実施形態に係る光学素子100は、上記のように特定の波長域における光吸収を制御する光変調素子として用いることが可能であるが、その他にも光学素子100の構造を用いて各種の電子機器を実現することが可能である。
上記第1の実施形態において説明した図1の構成を有する光学素子を作製し、実施例1とした。
第1光反射層はAuからなり、厚み700Åとした。第1誘電体厚膜層103は酸化ハフニウムからなり、厚み1600Åとした。
上記第1の実施形態において説明した図4の構成を有する光学素子を作製し、実施例2とした。多層膜積層体以外の構成は実施例1と同一である。
図8は、比較例に係る光学素子200の断面図である。同図に示すように光学素子200は、基板201、第1光反射層202、第1誘電体厚膜層203、透明導体薄膜204、第2誘電体厚膜層205及び第2光反射層206を備える。
上記第2の実施形態において説明した図4の構成を有する光学素子を作製し、実施例3とした。第1光反射層はAuからなり、厚み1000Åとした。第1誘電体厚膜層103は硫化亜鉛からなり、厚み10000Åとした。
図8は、比較例に係る光学素子200の断面図である。同図に示すように光学素子200は、基板201、第1光反射層202、第1誘電体厚膜層203、透明導体薄膜204、第2誘電体厚膜層205及び第2光反射層206を備える。
上記第2の実施形態において説明した図4の構成を有する光学素子を作製し、実施例4とした。第1光反射層はAuからなり、厚み1000Åとした。第1誘電体厚膜層103は硫化亜鉛からなり、厚み11250Åとした。
図8は、比較例に係る光学素子200の断面図である。同図に示すように光学素子200は、基板201、第1光反射層202、第1誘電体厚膜層203、透明導体薄膜204、第2誘電体厚膜層205及び第2光反射層206を備える。
上記第2の実施形態において説明した図4の構成を有する光学素子を作製し、実施例5とした。第1光反射層はAuからなり、厚み1000Åとした。第1誘電体厚膜層103はゲルマニウムからなり、厚み5600Åとした。
図8は、比較例に係る光学素子200の断面図である。同図に示すように光学素子200は、基板201、第1光反射層202、第1誘電体厚膜層203、透明導体薄膜204、第2誘電体厚膜層205及び第2光反射層206を備える。
上記第2の実施形態において説明した図4の構成を有する光学素子を作製し、実施例6とした。第1光反射層はAuからなり、厚み1000Åとした。第1誘電体厚膜層103はゲルマニウムからなり、厚み6300Åとした。
図8は、比較例に係る光学素子200の断面図である。同図に示すように光学素子200は、基板201、第1光反射層202、第1誘電体厚膜層203、透明導体薄膜204、第2誘電体厚膜層205及び第2光反射層206を備える。
上記第2の実施形態において説明した図4の構成を有する光学素子を作製し、実施例6とした。第1光反射層はAuからなり、厚み1000Åとした。第1誘電体厚膜層103は臭化カリウムからなり、厚み15550Åとした。
図8は、比較例に係る光学素子200の断面図である。同図に示すように光学素子200は、基板201、第1光反射層202、第1誘電体厚膜層203、透明導体薄膜204、第2誘電体厚膜層205及び第2光反射層206を備える。
上記第2の実施形態において説明した図4の構成を有する光学素子を作製し、実施例8とした。第1光反射層はAuからなり、厚み1000Åとした。第1誘電体厚膜層103は臭化カリウムからなり、厚み17500Åとした。
図8は、比較例に係る光学素子200の断面図である。同図に示すように光学素子200は、基板201、第1光反射層202、第1誘電体厚膜層203、透明導体薄膜204、第2誘電体厚膜層205及び第2光反射層206を備える。
上記実施例及び比較例に係る光学素子について、顕微FT−IR(フーリエ変換赤外分光法)によって反射光のスペクトル変調を計測した。測定にはVertex80(Bruker社製)を用いた。
第1の光反射層と、
誘電体からなり、上記第1の光反射層上に配置された第1の誘電体厚膜層と、
上記第1の誘電体厚膜層上に配置された多層膜積層体であって、フェルミ準位調整によって光学遷移エネルギーの制御が可能な複数の透明導体薄膜と、上記複数の透明導体薄膜の間に配置された原子層薄膜である誘電体薄膜とを備える多層膜積層体と、
誘電体からなり、上記多層膜積層体上に配置された第2の誘電体厚膜層と、
上記第2の誘電体厚膜層上に配置された第2の光反射層と
を具備する光学素子。
上記(1)に記載の光学素子であって、
上記多層膜積層体は、複数の上記誘電体薄膜を備える
光学素子。
上記(1)又は(2)に記載の光学素子であって、
上記複数の透明導体薄膜は、グラフェン薄膜、カーボン性薄膜、カーボンナノチューブ薄膜、金属特性、半金属特性若しくはナローバンドギャップを有する原子層薄膜、又は3eV以上4eV以下のバンドギャップ内に不純物準位を形成し、キャリアトラップが可能な導電性薄膜である
光学素子。
上記(1)から(3)のうちいずれか一つに記載の光学素子であって、
上記複数の透明導体薄膜はそれぞれ、原子1層若しくは2層の原子層薄膜、又は0.1nm以上5nm以下の厚みを有する導電性薄膜である
光学素子。
上記(3)に記載の光学素子であって、
上記原子層薄膜は、C、Si、Ge、Sb及びPのいずれか一つの元素で構成される層状化合物からなる
光学素子。
上記(3)に記載の光学素子であって、
上記原子層薄膜は、MX2の組成式で表される層状化合物からなり、
MはTi、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Mo、W、Sc、Mn、Fe、Ni、Cr、Pd、Pt、Re、Ga、Ge、Sn、Pb及びInのいずれかであり、
Xは、O、S、Se及びTeのいずれか、又は、
MXの組成式で表される層状化合物からなり、
MはGa又はInであり、
Xは、O、S、Se及びTeのいずれか、又は、
M2X3の組成式で表される層状化合物からなり、
MはBiであり、
Xは、O、S、Se及びTeのいずれかである
光学素子。
上記(3)に記載の光学素子であって、
上記原子層薄膜は、LXM1−XAYB1−Y(0<X<1)、(0≦Y≦1)の組成式で表される層状化合物からなり、
LはTi、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Mo、W、Sc、Mn、Fe、Ni、Cr、Pd、Pt、Re、Ga、Ge、Sn、Pb及びInのいずれかであり、
MはTi、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Mo、W、Sc、Mn、Fe、Ni、Cr、Pd、Pt、Re、Ga、Ge、Sn、Pb及びInのいずれかであり、
AはN、O、P、S、Se及びTeのいずれかであり、
BはN、O、P、S、Se及びTeのいずれかである
光学素子。
上記(3)に記載の光学素子であって、
上記導電性薄膜は、LXMYO(0≦X≦1、0≦Y≦1、)の組成式で表される酸化物からなり、
LはSb、F、As、Nb、Ta、Sn、Ge、Mo、Ti、Zr、Hf、W、Te、Al、Ga、B、In、Y、Sc、V、Siのいずれかであり、
MはSb、F、As、Nb、Ta、Sn、Ge、Mo、Ti、Zr、Hf、W、Te、Al、Ga、B、In、Y、Sc、V、Siのいずれかである
光学素子。
上記(1)から(8)のうちいずれか一つに記載の光学素子であって、
上記誘電体薄膜は、誘電体原子層薄膜又は1meV以上のバンドギャップを有する半導体原子層薄膜である
光学素子。
上記(9)に記載の光学素子であって、
上記誘電体薄膜は、10nm以下の厚みを有する
光学素子。
上記(9)に記載の光学素子であって、
上記誘電体原子層薄膜は、六方晶窒化ホウ素からなる
光学素子。
上記(9)に記載の光学素子であって、
上記誘電体原子層薄膜は、MX2の組成式で表される層状化合物からなり、
MはTi、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Mo、W、Sc、Mn、Fe、Ni、Cr、Pd、Pt、Re、Ga、Ge、Sn、Pb及びInのいずれかであり、
Xは、O、S、Se及びTeのいずれかである
光学素子。
上記(9)に記載の光学素子であって、
上記誘電体薄膜は、X2Y4−6Z8O20A4の組成式で表されるマイカと呼ばれる層状化合物からなり、
XはK、Na、Ca、Ba、Rb及びCsのいずれかであり、
YはAl、Mg、Fe、Mn、Cr、Ti及びLiのいずれかであり、
ZはSi、Al、Fe及びTiのいずれかであり、
AはOH又はFである
光学素子。
上記(9)に記載の光学素子であって、
上記誘電体薄膜は、Al2O3、HfO2、SiO2、La2O3、SiO2、ZrO2、SrTiO3、Ta2O5、Ti0.87O2、Ti0.91O2、Ti4O9、Ti4O11、TiO2、ZnO、RuO2、MnO2、VS2、LaAlO3、Nb2O5、SiN、BN、BiFeO3、BaTiO3、SiTiO3、PbZrO3、PbTiO3、PbZrTiO3、SrBi2Ta2O9及びBa1−xSrxTiO3(0≦x≦1)のいずれかからなる
光学素子。
上記(9)に記載の光学素子であって、
上記誘電体薄膜は、TixO2(0<x≦1)、Ti0.8Co0.2O2、Ti0.6Fe0.4O2、Ti(5.2−2x)/6Mnx/2O2(0≦x≦0.4)、Ti0.8−x/4Fex/2Co0.2−x/4O2(0≦x≦0.8)、MnO2、Mn3O7、Nb3O8、Nb6O17、TiNbO5、Ti2NbO7、Ti5NbO14、TaO3、LaNb2O7、Ca2Nb3O10、Sr2Nb3O10、Ca2Nb3O10、Ca2Ta3O10、Sr2Ta3O10、SrBi4Ti4O15及びCa2Nam−3NbmO3m+1(3≦m≦6)のいずれかである層状酸化物からなる
光学素子。
上記(9)に記載の光学素子であって、
上記誘電体薄膜は、Si、Ge、Sb及びPのいずれか一つの元素で構成される層状化合物からなる
光学素子。
上記(1)から(16)のうちいずれか一つに記載の光学素子であって、
上記誘電体薄膜は、上記複数の透明導体薄膜の材料より大きいバンドギャップを有する材料からなる
光学素子。
上記(1)から(17)のうちいずれか一つに記載の光学素子であって、
上記第1の誘電体厚膜層及び上記第2の誘電体厚膜層は、Si、Ge、フッ化物、NaCl、KBr、ZnS、ZnSe、GeS、GeSbS、ダイヤモンド、窒化炭素及び窒化ケイ素のいずれかからなる
光学素子。
上記(1)から(17)のうちいずれか一つに記載の光学素子であって、
上記第1の誘電体厚膜層及び上記第2の誘電体厚膜層は、LXMYNZ(0≦X≦1)、(0≦Y≦1)、(0≦Z≦1)の組成式で表されるカルコゲナイドガラスからなり、
LはSi、Ge、P、As、Sb、Al、Ga、In、Tl、Pb及びZnのいずれかであり、
MはSi、Ge、P、As、Sb、Al、Ga、In、Tl、Pb及びZnのいずれかであり、
NはO、S、Se及びTeのいずれかである
光学素子。
上記(1)から(17)のうちいずれか一つに記載の光学素子であって、
上記第1の誘電体厚膜層及び上記第2の誘電体厚膜層は、C、Si、Ge、Sb及びPのいずれか一つの元素で構成される層状化合物からなる
光学素子。
上記(1)から(17)のうちいずれか一つに記載の光学素子であって、
上記第1の誘電体厚膜層及び上記第2の誘電体厚膜層は、MX2の組成式で表される層状化合物からなり、
MはTi、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Mo、W、Sc、Mn、Fe、Ni、Cr、Pd、Pt、Re、Ga、Ge、Sn、Pb及びInのいずれかであり、
Xは、O、S、Se及びTeのいずれかである
光学素子。
上記(1)から(17)のうちいずれか一つに記載の光学素子であって、
上記第1の誘電体厚膜層及び上記第2の誘電体厚膜層は、MXの組成式で表される層状化合物からなり、
MはGa又はInであり、
Xは、O、S、Se及びTeのいずれかである
光学素子。
上記(1)から(17)のうちいずれか一つに記載の光学素子であって、
上記第1の誘電体厚膜層及び上記第2の誘電体厚膜層は、M2X3の組成式で表される層状化合物からなり、
MはBiであり、
Xは、O、S、Se及びTeのいずれかである
光学素子。
上記(1)から(17)のうちいずれか一つに記載の光学素子であって、
上記第1の誘電体厚膜層及び上記第2の誘電体厚膜層は、LXM1−XAYB1−Y(0≦X≦1)、(0≦Y≦1)の組成式で表される層状化合物からなり、
LはTi、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Mo、W、Sc、Mn、Fe、Ni、Cr、Pd、Pt、Re、Ga、Ge、Sn、Pb及びInのいずれかであり、
MはTi、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Mo、W、Sc、Mn、Fe、Ni、Cr、Pd、Pt、Re、Ga、Ge、Sn、Pb及びInのいずれかであり、
AはN、O、P、S、Se及びTeのいずれかであり、
BはN、O、P、S、Se及びTeのいずれかである
光学素子。
上記(1)から(24)のうちいずれか一つに記載の光学素子であって、
上記第1の光反射層と上記第2の光反射層は、上記第1の光反射層と上記第2の光反射層の間で光を一定の割合で透過又は反射させ、
上記第1の光反射層、上記第2の光反射層及び上記複数の透明導体薄膜の少なくともいずれか一つは、上記複数の透明導体薄膜と上記第1の光反射層の間、上記複数の透明導体薄膜と上記第2の光反射層の間、又は上記複数の透明導体薄膜のそれぞれの間に所定の電位差を付与する電源に接続されている
光学素子。
上記(25)に記載の光学素子であって、
上記第1の光反射層及び上記第2の光反射層のいずれか一方は上記電位差を付与する電極であり、他方は2種以上の誘電体を積層した多層膜反射体であり、
又は、上記第1の光反射層及び上記第2の光反射層の両方が、2種以上の誘電体を積層した多層膜反射体であり、上記複数の透明導体薄膜は、上記複数の透明導体薄膜のそれぞれの間で所定の電位差を付与する電源に接続されている
光学素子。
第1の光反射層と、誘電体からなり、上記第1の光反射層上に配置された第1の誘電体厚膜層と、上記第1の誘電体厚膜層上に配置された多層膜積層体であって、フェルミ準位調整によって光学遷移エネルギーの制御が可能な複数の透明導体薄膜と、上記複数の透明導体薄膜の間に配置された誘電体薄膜とを備える多層膜積層体と、誘電体からなり、上記多層膜積層体上に配置された第2の誘電体厚膜層と、上記第2の誘電体厚膜層上に配置された第2の光反射層とを備える光学素子
を具備する電子機器。
101…基板
102…第1光反射層
103…第1誘電体厚膜層
104…多層膜積層体
105…第2誘電体厚膜層
106…第2光反射層
107…電極
110…透明導体薄膜
111…誘電体薄膜
Claims (27)
- 第1の光反射層と、
誘電体からなり、前記第1の光反射層上に配置された第1の誘電体厚膜層と、
前記第1の誘電体厚膜層上に配置された多層膜積層体であって、フェルミ準位調整によって光学遷移エネルギーの制御が可能な複数の透明導体薄膜と、前記複数の透明導体薄膜の間に配置された原子層薄膜である誘電体薄膜とを備える多層膜積層体と、
誘電体からなり、前記多層膜積層体上に配置された第2の誘電体厚膜層と、
前記第2の誘電体厚膜層上に配置された第2の光反射層と
を具備する光学素子。 - 請求項1に記載の光学素子であって、
前記多層膜積層体は、複数の前記誘電体薄膜を備える
光学素子。 - 請求項1に記載の光学素子であって、
前記複数の透明導体薄膜は、グラフェン薄膜、カーボン性薄膜、カーボンナノチューブ薄膜、金属特性、半金属特性若しくはナローバンドギャップを有する原子層薄膜、又は3eV以上4eV以下のバンドギャップ内に不純物準位を形成し、キャリアトラップが可能な導電性薄膜である
光学素子。 - 請求項1に記載の光学素子であって、
前記複数の透明導体薄膜はそれぞれ、原子1層若しくは2層の原子層薄膜、又は0.1nm以上5nm以下の厚みを有する導電性薄膜である
光学素子。 - 請求項3に記載の光学素子であって、
前記原子層薄膜は、C、Si、Ge、Sb及びPのいずれか一つの元素で構成される層状化合物からなる
光学素子。 - 請求項3に記載の光学素子であって、
前記原子層薄膜は、MX2の組成式で表される層状化合物からなり、
MはTi、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Mo、W、Sc、Mn、Fe、Ni、Cr、Pd、Pt、Re、Ga、Ge、Sn、Pb及びInのいずれかであり、
Xは、O、S、Se及びTeのいずれか、又は、
MXの組成式で表される層状化合物からなり、
MはGa又はInであり、
Xは、O、S、Se及びTeのいずれか、又は、
M2X3の組成式で表される層状化合物からなり、
MはBiであり、
Xは、O、S、Se及びTeのいずれかである
光学素子。 - 請求項3に記載の光学素子であって、
前記原子層薄膜は、LXM1−XAYB1−Y(0<X<1)、(0≦Y≦1)の組成式で表される層状化合物からなり、
LはTi、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Mo、W、Sc、Mn、Fe、Ni、Cr、Pd、Pt、Re、Ga、Ge、Sn、Pb及びInのいずれかであり、
MはTi、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Mo、W、Sc、Mn、Fe、Ni、Cr、Pd、Pt、Re、Ga、Ge、Sn、Pb及びInのいずれかであり、
AはN、O、P、S、Se及びTeのいずれかであり、
BはN、O、P、S、Se及びTeのいずれかである
光学素子。 - 請求項3に記載の光学素子であって、
前記導電性薄膜は、LXMYO(0≦X≦1、0≦Y≦1、)の組成式で表される酸化物からなり、
LはSb、F、As、Nb、Ta、Sn、Ge、Mo、Ti、Zr、Hf、W、Te、Al、Ga、B、In、Y、Sc、V、Siのいずれかであり、
MはSb、F、As、Nb、Ta、Sn、Ge、Mo、Ti、Zr、Hf、W、Te、Al、Ga、B、In、Y、Sc、V、Siのいずれかである
光学素子。 - 請求項1に記載の光学素子であって、
前記誘電体薄膜は、誘電体原子層薄膜又は1meV以上のバンドギャップを有する半導体原子層薄膜である
光学素子。 - 請求項9に記載の光学素子であって、
前記誘電体薄膜は、10nm以下の厚みを有する
光学素子。 - 請求項9に記載の光学素子であって、
前記誘電体原子層薄膜は、六方晶窒化ホウ素からなる
光学素子。 - 請求項9に記載の光学素子であって、
前記誘電体原子層薄膜は、MX2の組成式で表される層状化合物からなり、
MはTi、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Mo、W、Sc、Mn、Fe、Ni、Cr、Pd、Pt、Re、Ga、Ge、Sn、Pb及びInのいずれかであり、
Xは、O、S、Se及びTeのいずれかである
光学素子。 - 請求項9に記載の光学素子であって、
前記誘電体薄膜は、X2Y4〜6Z8O20A4の組成式で表されるマイカと呼ばれる層状化合物からなり、
XはK、Na、Ca、Ba、Rb及びCsのいずれかであり、
YはAl、Mg、Fe、Mn、Cr、Ti及びLiのいずれかであり、
ZはSi、Al、Fe及びTiのいずれかであり、
AはOH又はFである
光学素子。 - 請求項9に記載の光学素子であって、
前記誘電体薄膜は、Al2O3、HfO2、SiO2、La2O3、SiO2、ZrO2、SrTiO3、Ta2O5、Ti0.87O2、Ti0.91O2、Ti4O9、Ti4O11、TiO2、ZnO、RuO2、MnO2、VS2、LaAlO3、Nb2O5、SiN、BN、BiFeO3、BaTiO3、SiTiO3、PbZrO3、PbTiO3、PbZrTiO3、SrBi2Ta2O9及びBa1−xSrxTiO3(0≦x≦1)のいずれかからなる
光学素子。 - 請求項9に記載の光学素子であって、
前記誘電体薄膜は、TixO2(0<x≦1)、Ti0.8Co0.2O2、Ti0.6Fe0.4O2、Ti(5.2−2x)/6Mnx/2O2(0≦x≦0.4)、Ti0.8−x/4Fex/2Co0.2−x/4O2(0≦x≦0.8)、MnO2、Mn3O7、Nb3O8、Nb6O17、TiNbO5、Ti2NbO7、Ti5NbO14、TaO3、LaNb2O7、Ca2Nb3O10、Sr2Nb3O10、Ca2Nb3O10、Ca2Ta3O10、Sr2Ta3O10、SrBi4Ti4O15及びCa2Nam−3NbmO3m+1(3≦m≦6)のいずれかである層状酸化物からなる
光学素子。 - 請求項9に記載の光学素子であって、
前記誘電体薄膜は、Si、Ge、Sb及びPのいずれか一つの元素で構成される層状化合物からなる
光学素子。 - 請求項1に記載の光学素子であって、
前記誘電体薄膜は、前記複数の透明導体薄膜の材料より大きいバンドギャップを有する材料からなる
光学素子。 - 請求項1に記載の光学素子であって、
前記第1の誘電体厚膜層及び前記第2の誘電体厚膜層は、Si、Ge、フッ化物、NaCl、KBr、ZnS、ZnSe、GeS、GeSbS、ダイヤモンド、窒化炭素及び窒化ケイ素のいずれかからなる
光学素子。 - 請求項1に記載の光学素子であって、
前記第1の誘電体厚膜層及び前記第2の誘電体厚膜層は、LXMYNZ(0≦X≦1)、(0≦Y≦1)、(0≦Z≦1)の組成式で表されるカルコゲナイドガラスからなり、
LはSi、Ge、P、As、Sb、Al、Ga、In、Tl、Pb及びZnのいずれかであり、
MはSi、Ge、P、As、Sb、Al、Ga、In、Tl、Pb及びZnのいずれかであり、
NはO、S、Se及びTeのいずれかである
光学素子。 - 請求項1に記載の光学素子であって、
前記第1の誘電体厚膜層及び前記第2の誘電体厚膜層は、C、Si、Ge、Sb及びPのいずれか一つの元素で構成される層状化合物からなる
光学素子。 - 請求項1に記載の光学素子であって、
前記第1の誘電体厚膜層及び前記第2の誘電体厚膜層は、MX2の組成式で表される層状化合物からなり、
MはTi、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Mo、W、Sc、Mn、Fe、Ni、Cr、Pd、Pt、Re、Ga、Ge、Sn、Pb及びInのいずれかであり、
Xは、O、S、Se及びTeのいずれかである
光学素子。 - 請求項1に記載の光学素子であって、
前記第1の誘電体厚膜層及び前記第2の誘電体厚膜層は、MXの組成式で表される層状化合物からなり、
MはGa又はInであり、
Xは、O、S、Se及びTeのいずれかである
光学素子。 - 請求項1に記載の光学素子であって、
前記第1の誘電体厚膜層及び前記第2の誘電体厚膜層は、M2X3の組成式で表される層状化合物からなり、
MはBiであり、
Xは、O、S、Se及びTeのいずれかである
光学素子。 - 請求項1に記載の光学素子であって、
前記第1の誘電体厚膜層及び前記第2の誘電体厚膜層は、LXM1−XAYB1−Y(0≦X≦1)、(0≦Y≦1)の組成式で表される層状化合物からなり、
LはTi、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Mo、W、Sc、Mn、Fe、Ni、Cr、Pd、Pt、Re、Ga、Ge、Sn、Pb及びInのいずれかであり、
MはTi、Zr、Hf、V、Nb、Ta、Mo、W、Sc、Mn、Fe、Ni、Cr、Pd、Pt、Re、Ga、Ge、Sn、Pb及びInのいずれかであり、
AはN、O、P、S、Se及びTeのいずれかであり、
BはN、O、P、S、Se及びTeのいずれかである
光学素子。 - 請求項1に記載の光学素子であって、
前記第1の光反射層と前記第2の光反射層は、前記第1の光反射層と前記第2の光反射層の間で光を一定の割合で透過又は反射させ、
前記第1の光反射層、前記第2の光反射層及び前記複数の透明導体薄膜の少なくともいずれか一つは、前記複数の透明導体薄膜と前記第1の光反射層の間、前記複数の透明導体薄膜と前記第2の光反射層の間、又は前記複数の透明導体薄膜のそれぞれの間に所定の電位差を付与する電源に接続されている
光学素子。 - 請求項25に記載の光学素子であって、
前記第1の光反射層及び前記第2の光反射層のいずれか一方は前記電位差を付与する電極であり、他方は2種以上の誘電体を積層した多層膜反射体であり、
又は、前記第1の光反射層及び前記第2の光反射層の両方が、2種以上の誘電体を積層した多層膜反射体であり、前記複数の透明導体薄膜は、前記複数の透明導体薄膜のそれぞれの間で所定の電位差を付与する電源に接続されている
光学素子。 - 第1の光反射層と、誘電体からなり、前記第1の光反射層上に配置された第1の誘電体厚膜層と、前記第1の誘電体厚膜層上に配置された多層膜積層体であって、フェルミ準位調整によって光学遷移エネルギーの制御が可能な複数の透明導体薄膜と、前記複数の透明導体薄膜の間に配置された誘電体薄膜とを備える多層膜積層体と、誘電体からなり、前記多層膜積層体上に配置された第2の誘電体厚膜層と、前記第2の誘電体厚膜層上に配置された第2の光反射層とを備える光学素子
を具備する電子機器。
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