JPWO2020018933A5

JPWO2020018933A5 -

Info

Publication number: JPWO2020018933A5
Application number: JP2021502465A
Authority: JP
Publication date: 2022-06-27
Anticipated expiration: 2039-07-19

Claims

プリントヘッドを支持し、ｘ軸、ｙ軸、ｚ軸直交座標系のｘ軸方向に延在するビームに沿って並進するように装着されたプリントヘッドキャリッジを有する印刷システムを制御する方法であって、
前記プリントヘッドの前記ｘ軸、前記ｙ軸、および前記ｚ軸周りの回転方向の向き、および前記プリントヘッドの前記ｙ軸、および前記ｚ軸に沿った位置の１つ以上を検知することと、
前記検知された１つ以上の前記回転方向の向きおよび前記位置に基づき、前記プリントヘッドキャリッジを前記ビーム上で低摩擦で支持するように配置された１つ以上の軸受の位置を動的に調整することと
を含み、前記１つ以上の軸受の前記位置を動的に調整することにより、前記プリントヘッドの前記回転方向の向きおよび前記プリントヘッドの前記位置の１つ以上を調整する、方法。
前記１つ以上の軸受の前記位置を調整することは、アクチュエータを作動させることを含む、請求項１に記載の方法。
前記１つ以上の軸受の前記位置を調整することは、前記プリントヘッドキャリッジが回転方向の目標向きおよび目標位置の一方または両方に達するまで、前記１つ以上の軸受の前記位置を調整することを含む、請求項１に記載の方法。
前記プリントヘッドの前記回転方向の向きおよび前記プリントヘッドの前記位置の一方または両方に関する情報を検知して、前記プリントヘッドが前記回転方向の目標向きおよび前記目標位置の一方または両方にあることを確認することをさらに含む、請求項３に記載の方法。
前記プリントヘッドキャリッジが前記回転方向の目標向きおよび前記目標位置の一方または両方に達したときに、前記１つ以上の軸受の位置に関する情報を検知することをさらに含む、請求項３に記載の方法。
前記プリントヘッドキャリッジの前記ｘ軸方向に延在する前記ビームに沿った位置を検知することをさらに含む、請求項１に記載の方法。
前記１つ以上の軸受の前記位置を調整することは、前記プリントヘッドが前記ｘ軸方向に延在する前記ビームに沿って移動しながら、ｘ－ｙ平面に存在する被印刷面に印刷を行う間に行われる、請求項１に記載の方法。
プリントヘッドを支持し、ｘ軸、ｙ軸、ｚ軸直交座標系のｘ軸方向に延在するビームに沿って並進するように装着されたプリントヘッドキャリッジを有する印刷システムを制御する方法であって、
前記プリントヘッドの前記ｘ軸方向に延在する移動経路に沿った位置に関する情報を検知することと、
前記プリントヘッドの前記ｘ軸、前記ｙ軸、および前記ｚ軸周りの回転方向の向き、および前記プリントヘッドの前記ｙ軸および前記ｚ軸に沿った位置の１つ以上に関する情報を検知することと、
前記検出された位置に基づき、低摩擦で前記プリントヘッドが取り付けられた前記プリントヘッドキャリッジの１つ以上の軸受に連結したアクチュエータを作動させることにより、前記プリントヘッドの前記回転方向の向きおよび前記位置の一方または両方を動的に調整することと、
前記プリントヘッドキャリッジの前記１つ以上の軸受の位置を、前記プリントヘッドキャリッジの前記移動経路に沿った対応する位置と相関させた情報を保存することと
を含む、方法。
前記プリントヘッドキャリッジの前記１つ以上の軸受の位置を相関させた情報を保存することは、前記プリントヘッドキャリッジの前記１つ以上の軸受の前記位置に関する情報をエンコーダから受信することを含む、請求項８に記載の方法。
前記プリントヘッドの前記回転方向の向き、および前記プリントヘッドの前記位置の１つ以上に関する情報を検知することは、レーザ干渉計を用いて情報を検知することを含む、請求項８に記載の方法。
前記プリントヘッドの前記回転方向の向き、および前記プリントヘッドの前記位置の１つ以上に関する情報を検知することは、カメラを用いて較正装置の較正マークを撮像することを含む、請求項８に記載の方法。
被印刷面を有する基板を支持するように構成され、前記被印刷面を、ｘ軸、ｙ軸、ｚ軸直交座標系のｚ軸に略垂直なｘ－ｙ平面に維持するように構成された基板支持システムと、
前記基板支持システムに跨がってｘ軸方向に延在するビームと、
前記ビームに移動可能に結合されて前記ｘ軸方向に移動するプリントヘッドキャリッジであって、前記プリントヘッドキャリッジを低摩擦で前記ビームに対して支持するように配置された１つ以上の軸受を備えるプリントヘッドキャリッジと
を備える印刷システムにおいて、
前記１つ以上の軸受の少なくとも１つは、前記プリントヘッドキャリッジの前記ｘ軸、前記ｙ軸、および前記ｚ軸周りの回転方向の向き、および前記プリントヘッドキャリッジのｙ軸方向およびｚ軸方向の位置の１つ以上を、長軸に沿って前記１つ以上の軸受を移動させることにより、調整するように選択的に調整可能なアクチュエータに結合される、印刷システム。
前記１つ以上の軸受の前記少なくとも１つは、前記ビームに対向する軸受表面を有する気体軸受を備える、請求項１２に記載の印刷システム。
前記１つ以上の軸受の前記少なくとも１つは、前記軸受の長手軸に沿って調整可能であり、前記長手軸は、前記軸受表面に垂直である、請求項１３に記載の印刷システム。
前記１つ以上の軸受の１つの軸受を前記プリントヘッドキャリッジに結合する少なくとも１つの玉継ぎ手をさらに備える、請求項１３に記載の印刷システム。
前記１つ以上の軸受の１つの軸受を前記プリントヘッドキャリッジに結合する作動機構をさらに備える、請求項１５に記載の印刷システム。
前記作動機構は、圧電素子を備える、請求項１６に記載の印刷システム。
前記１つ以上の軸受と前記プリントヘッドキャリッジとの間に結合された弾性付勢部材をさらに備える、請求項１６に記載の印刷システム。
前記弾性付勢部材は、前記１つ以上の軸受と前記プリントヘッドキャリッジとの間に、前記作動機構と並列に結合される、請求項１８に記載の印刷システム。
前記弾性付勢部材は、コイルばねを備える、請求項１８に記載の印刷システム。
前記弾性付勢部材は、空気圧式ピストンシリンダ装置を備える、請求項１８に記載の印刷システム。
前記１つ以上の軸受は気体軸受である、請求項１または８に記載の方法。
前記1つ以上の軸受は気体軸受である、請求項１２に記載の印刷システム。
前記1つ以上の軸受は前記軸受と前記ビームとの間の接触を最小にする、請求項１または８に記載の方法。
前記1つ以上の軸受は前記軸受と前記ビームとの間の接触を最小にする、請求項１２に記載の印刷システム。
前記1つ以上の軸受の位置を動的に調整することは、前記１つ以上の軸受を長手軸に沿って作動させることを含む、請求項1に記載の方法。