JPWO2019193758A1 - 免振装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、実施の形態にかかる免振装置1の構成を示す図である。免振装置1は、駆動装置可動部12の動作によって免振制御対象30に生じる振動を抑制する装置である。駆動装置可動部12は、駆動装置11に含まれている。図1には、駆動装置11及び免振制御対象30も示されている。免振装置1及び駆動装置11は、架台に配置されている。免振制御対象30の例は、架台である。
指令速度差分値=現在の復帰用指令速度−基準指令速度 ・・・(1)
Claims (7)
- 駆動装置可動部の動作によって生じる振動を抑制するための免振装置可動部と、
前記駆動装置可動部の目標位置をもとに免振用指令速度を生成する免振用速度生成部と、
前記免振装置可動部を原点位置に復帰させるための復帰用指令速度を生成する復帰用速度生成部と、
前記免振用速度生成部によって生成された前記免振用指令速度と前記復帰用速度生成部によって生成された前記復帰用指令速度とを加算して制御指令速度を生成する制御速度生成部と、
前記制御速度生成部によって生成された前記制御指令速度をもとに前記免振装置可動部を制御する免振制御部と
を備えることを特徴とする免振装置。 - 前記免振装置可動部は、モータを有しており、
前記復帰用速度生成部は、前記免振装置可動部が原点に復帰する場合の任意に設定可能な推力と、前記免振装置可動部の前記モータの特性と、前記免振装置可動部に搭載されている負荷の質量とをもとに、前記免振装置可動部が原点に復帰する場合の推力に相当する加減速量を算出し、前記加減速量を前回生成された復帰用指令速度に加算してあらたな復帰用指令速度を生成する
ことを特徴とする請求項1に記載の免振装置。 - 前記免振装置可動部は、モータを有しており、
前記復帰用速度生成部は、
前記免振装置可動部が原点に復帰する場合の任意に設定可能な第一原点復帰時推力と、前記免振装置可動部の前記モータの特性と、前記免振装置可動部に搭載されている負荷の質量とをもとに、前記第一原点復帰時推力に相当する第一加減速量を算出し、前記第一加減速量を前回生成された復帰用指令速度に加算してあらたな復帰用指令速度を生成し、
前記免振装置可動部が原点に復帰する場合の任意に設定可能な第二原点復帰時推力と、前記免振装置可動部の前記モータの特性と、前記免振装置可動部に搭載されている負荷の質量とをもとに、前記第二原点復帰時推力に相当する第二加減速量を算出し、前記第二加減速量を前回生成された復帰用指令速度に加算してあらたな復帰用指令速度を生成し、
前記第一原点復帰時推力は、前記第二原点復帰時推力と異なる
ことを特徴とする請求項1に記載の免振装置。 - 前記復帰用速度生成部は、あらかじめ設定された第一加減速量加算期間において、
現在の復帰用指令速度と基準指令速度との差分値を算出し、
前記差分値の絶対値が前記第一加減速量の絶対値以上である場合、前記制御指令速度が基準指令速度に近づくように、前回生成された復帰用指令速度に前記第一加減速量を加算してあらたな復帰用指令速度を生成し、
前記差分値の絶対値が前記第一加減速量の絶対値より小さい場合、前記制御指令速度が基準指令速度と同一となるように、前回生成された復帰用指令速度に加減速量を加算してあらたな復帰用指令速度を生成し、
前記加減速量の絶対値は、前記第一加減速量の絶対値より小さい
ことを特徴とする請求項3に記載の免振装置。 - 前記復帰用速度生成部は、前記免振装置可動部が現在の位置から原点位置に一定の加減速で戻る場合の速度である基準指令速度を算出する
ことを特徴とする請求項3に記載の免振装置。 - 前記復帰用速度生成部は、現在の復帰用指令速度が前記基準指令速度と一致した場合、開始時があらかじめ設定されている第二加減速量加算期間において、前記第二加減速量を前回生成された復帰用指令速度に加算してあらたな復帰用指令速度を生成する
ことを特徴とする請求項5に記載の免振装置。 - 免振を実行させるための指令である免振実行指令を生成する実行指令生成部を更に備え、
前記実行指令生成部が前記免振実行指令を出力した場合に免振用指令速度を生成する
ことを特徴とする請求項1から6のいずれか1項に記載の免振装置。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2018/014781 WO2019193758A1 (ja) | 2018-04-06 | 2018-04-06 | 免振装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6422624B1 JP6422624B1 (ja) | 2018-11-14 |
JPWO2019193758A1 true JPWO2019193758A1 (ja) | 2020-04-30 |
Family
ID=64269265
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018540089A Expired - Fee Related JP6422624B1 (ja) | 2018-04-06 | 2018-04-06 | 免振装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US10520059B2 (ja) |
JP (1) | JP6422624B1 (ja) |
CN (1) | CN110582655B (ja) |
WO (1) | WO2019193758A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6786024B1 (ja) * | 2020-03-04 | 2020-11-18 | 三菱電機株式会社 | 免振制御装置および免振制御方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3614475B2 (ja) * | 1994-10-25 | 2005-01-26 | カヤバ工業株式会社 | 制振装置 |
JP3560425B2 (ja) * | 1996-10-09 | 2004-09-02 | カヤバ工業株式会社 | 制振機構の制御装置 |
JP2002221249A (ja) * | 2000-11-27 | 2002-08-09 | Canon Inc | 能動制振装置、その制御方法および能動制振装置を備えた露光装置 |
JP4324376B2 (ja) | 2002-07-08 | 2009-09-02 | 日立ビアメカニクス株式会社 | アクティブマスダンパ |
CN101241220B (zh) * | 2003-12-09 | 2012-05-23 | 松下电器产业株式会社 | 透镜驱动装置、摄像装置及用于该摄像装置的透镜镜筒和摄像机主体 |
DE112007002902T5 (de) * | 2006-11-30 | 2009-09-17 | Mitsubishi Electric Corp. | Vibrationsisolationssteuerungssystem |
DE112011102324B4 (de) * | 2010-07-14 | 2017-03-02 | Mitsubishi Electric Corporation | Motorsteuervorrichtung |
JP5163798B2 (ja) * | 2011-10-07 | 2013-03-13 | 三菱電機株式会社 | 免振装置 |
JP6192559B2 (ja) * | 2014-02-12 | 2017-09-06 | 三菱電機株式会社 | クレーン装置 |
-
2018
- 2018-04-06 JP JP2018540089A patent/JP6422624B1/ja not_active Expired - Fee Related
- 2018-04-06 CN CN201880003774.6A patent/CN110582655B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2018-04-06 WO PCT/JP2018/014781 patent/WO2019193758A1/ja active Application Filing
-
2019
- 2019-04-25 US US16/393,996 patent/US10520059B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN110582655A (zh) | 2019-12-17 |
CN110582655B (zh) | 2020-09-25 |
JP6422624B1 (ja) | 2018-11-14 |
US10520059B2 (en) | 2019-12-31 |
US20190309820A1 (en) | 2019-10-10 |
WO2019193758A1 (ja) | 2019-10-10 |
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