JPWO2019181421A1 - 積層膜付きガラス基板及び窓ガラス - Google Patents
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Abstract
Description
そこで、本発明は、遮熱性と密着性とに優れる積層膜付きガラス基板の提供を課題とする。
すなわち、以下の態様を有する積層膜付きガラス基板により上記課題を解決できることを見出した。
前記積層膜が、前記ガラス基板側から、第1の誘電体層、結晶性向上層、機能層及び第2の誘電体層を順に有する構成からなり、
前記第1の誘電体層及び第2の誘電体層は、窒化ケイ素を含み、
前記機能層は、波長1500nmにおける消衰係数が6.0超である窒化ジルコニウムを含み、
前記結晶性向上層は、波長1500nmにおける消衰係数が2.0未満である窒化ジルコニウムを含み、
前記積層膜は、下式(1)で定義される応力指数が70以上であり、
前記密着層は、酸化ケイ素を含み、厚さが3〜20nmであり、
前記密着層の厚さを前記応力指数で除した値が、0.04〜0.29の範囲にある、積層膜付きガラス基板が提供される。
応力指数=機能層の総厚さ(nm)+0.2×誘電体層の総厚さ(nm)+0.4×結晶性向上層の総厚さ(nm)・・・(1)
きる。
「結晶性向上層と機能層との境界」は、次のように定義する。結晶性向上層の表面に機能層を成膜した場合、結晶性向上層を構成する原子と機能層を構成する原子とが混ざり合うため、結晶性向上層と機能層との境界は厚さ方向にある程度の幅を持って存在する。したがって、イオンスパッタリングによるエッチングとX線光電子分光(XPS)測定とを交互に繰り返すことによって、積層膜の表面から積層膜とガラス基板との界面まで厚さ方向に原子濃度の分析を行い、得られたスパッタ時間と原子濃度とのグラフにおいて結晶性向上層に含まれる金属原子及び機能層に含まれる金属原子が検出されるスパッタ時間の範囲(ただし、一方又は両方の金属原子がノイズとして検出された部分を除く。)を結晶性向上層と機能層との境界とする。
「積層膜を構成する各層の厚さ」は、上述したスパッタ時間と原子濃度とのグラフにおいて、「目的の層と直上層との境界」から「目的の層と直下層との境界」までのスパッタ時間を、標準試料のスパッタレートから厚さに換算した値とした。「目的の層と直上層との境界」及び「目的の層と直下層との境界」は、それぞれ「目的の層に含まれる原子及び直上層に含まれる原子が検出されるスパッタ時間の中央値」及び「目的の層に含まれる原子及び直下層に含まれる原子が検出されるスパッタ時間の中央値」とした。
「圧力」の値は、特に、言及のない限り、「絶対圧」を示す。なお、ガラス基板の厚さは、幾何学的厚さである。
数値範囲を示す「〜」は、その前後に記載された数値を下限値及び上限値として含むことを意味する。
図1及び図2は、いずれも模式的図面であり、それらにおける寸法比は、説明の便宜上、実際のものとは異なったものである。
以下、本発明について詳細に説明する。以下に記載する構成要件の説明は、本発明の代表的な実施態様に基づいてなされるが、本発明はそのような実施態様に限定されるものではない。
図1は、本発明の積層膜付きガラス基板の一例を示す、断面図である。積層膜付きガラス基板10は、ガラス基板21、ガラス基板21の一方の表面に設けられた密着層61、第1の積層膜22及び第2の積層膜23を有する。第1の積層膜22は、ガラス基板21の側から、第1の誘電体層31、第1の結晶性向上層41、第1の機能層51及び第2の誘電体層32を順に有する構成からなる。第2の積層膜23は、ガラス基板21の側から、第1の積層膜22の第2の誘電体層32を兼ねた第3の誘電体層33、第2の結晶性向上層42、第2の機能層52及び第4の誘電体層34を順に有する構成からなる。
犠牲層は、熱処理時に、第1の誘電体層から結晶性向上層に窒素が拡散することや第2の誘電体層から機能層に窒素が拡散することを抑制するためのものであり、ケイ素、アルミニウム、チタン、クロム、ニオブ、モリブデン、ハフニウム、ジルコニウムのいずれかもしくはこれらの組み合わせからなる金属層であるのが好ましい。
積層膜23は、ガラス基板21から最も遠い第4の誘電体層34の表面にトップ層を有していてもよい。積層膜24も同様に、第6の誘電体層36の表面にトップ層を有していてもよい。
積層膜22〜24は、ガラス基板21の少なくとも一方の表面に設けられる。積層膜22〜24は、ガラス基板21の両面に設けられてもよい。
ガラス基板21の厚さは、積層膜付きガラス基板の用途に応じて適宜設定される。積層膜付きガラス基板を窓ガラスとして用いる場合、ガラス基板21の厚さは、0.5〜12mmが好ましい。
密着層61の厚さが3nm以上であると、積層膜付きガラス基板10は優れた密着性を有する。該厚さが20nm以下であると、積層膜付きガラス基板10は、欠点の少ない外観を実現できる。密着層61の厚さは、5〜15nmであることが好ましく、7〜15nmであることがより好ましい。
第1の誘電体層31及び第2の誘電体層32には、成膜時に不可避的に導入される不純物(炭素原子、酸素原子等)が含まれてもよい。第1の誘電体層31及び第2の誘電体層32は、単層であってもよく、種類の異なる2種以上の層の組み合わせであってもよい。
第1の結晶性向上層41は、波長1500nmにおける消衰係数が2.0未満である窒化ジルコニウムを含む。窒化ジルコニウムは、第1の結晶性向上層41において、第1の機能層51と接する部分に存在することが好ましい。
第1の結晶性向上層41の厚さは、3〜30nmが好ましく、4.5〜20nmがより好ましい。この厚さが3〜30nmの範囲にあれば、第1の結晶性向上層41の表面凹凸が小さくなり、第1の機能層51に含まれる窒化ジルコニウムの結晶性が充分に高くなるため、積層膜付きガラス基板10は、優れた遮熱性を有する。
第1の機能層51の厚さは、3〜60nmが好ましく、10〜40nmがより好ましい。この厚さが3nm以上であれば、積層膜付きガラス基板10の遮熱性がさらに高くなる。この厚さが60nm以下であれば、積層膜付きガラス基板10は、可視光透過性を適度に有することができる。
本発明の積層膜付きガラス基板は、ISO9050:2003に規定された日射熱取得率が0.36以下であることが好ましく、0.30以下がより好ましい。
本発明の積層膜は、下式(1)で定義される応力指数が70以上である。
応力指数=機能層の総厚さ(nm)+0.2×誘電体層の総厚さ(nm)+0.4×結晶性向上層の総厚さ(nm)・・・(1)
本発明者らは、ガラス基板上に直接積層膜を設けた場合、積層膜の応力指数が70以上であると、塩水噴霧試験において剥離しやすいことを見出した。積層膜が、窒化ケイ素を含む第1の誘電体層、窒化ジルコニウムを含む結晶性向上層、窒化ジルコニウムを含む機能層及び窒化ケイ素を含む第2の誘電体層を順に有する構成からなる場合、各層の応力が比較的高いため、積層膜の応力が5000〜30000MPaと高くなりやすい。さらに、各層の厚さを考慮して算出した応力指数が70以上である積層膜は、応力が8000〜35000MPaとなるため、塩水噴霧試験において剥離しやすくなる。
密着層61の厚さの、積層膜の総厚さに対する比は、0.009〜0.102の範囲にあることが好ましい。この比が0.009以上であると、積層膜付きガラス基板は、塩水噴霧試験において優れた密着性を有することができる。この比が0.102以下であると、積層膜付きガラス基板は、欠点の少ない外観を実現できる。
第2の機能層52の厚さの、第1の機能層51の厚さに対する比は、1.05〜2.60の範囲にあることが好ましい。この比が1.05以上であると、ガラスと積層膜の界面に応力が集中するのを防ぎ、積層膜付きガラス基板は、優れた密着性を有する。一方、この比が2.60以下であると、成膜速度のバランスを保つことができ、積層膜付きガラス基板は、良好な生産性を維持することができる。この比は、1.10〜2.50の範囲にあることがより好ましく、1.20〜2.40の範囲にあることがさらに好ましい。
第1の結晶性向上層41と第1の機能層51との境界における酸素原子濃度は、20原子%以下であることが好ましく、15原子%以下であることがより好ましく、10原子%以下であることがさらに好ましい。この酸素原子濃度が20原子%以下であると、第1の機能層51に含まれる窒化ジルコニウムの結晶性が向上し、積層膜付きガラス基板は優れた遮熱性を有することができる。この酸素原子濃度は低ければ低いほどよく、その下限値は0原子%である。
第2及び第3の結晶性向上層42及び43と、第2及び第3の機能層52及び53との境界における酸素原子濃度は、第1の結晶性向上層41と第1の機能層51との境界における酸素原子濃度と同様な数値範囲にあることが好ましい。
本発明の積層膜付きガラス基板10は、ガラス基板21の表面に、密着層61、第1の誘電体層31、第1の結晶性向上層41、第1の機能層51、第2の誘電体層32、第2の結晶性向上層42、第2の機能層52及び第4の誘電体層34を、順次成膜することで製造できる。
本発明の積層膜付きガラス基板11は、第4の誘電体層34の表面に、第3の結晶性向上層43、第3の機能層及び第6の誘電体層36を、順次成膜することで製造できる。
成膜方法としては、真空蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法、CVD法等が挙げられ、厚さの均一性及び生産性に優れる点から、スパッタリング法が好ましい。
(窓ガラス)
本発明の積層膜付きガラス基板11は、ガラス基板が1枚である窓ガラスとして使用できる。ガラス基板が1枚である窓ガラスは、軽量であり生産性に優れる。また、ガラス基板が1枚である窓ガラスは、積層膜が室内側に設けられていることが好ましい。積層膜が室内側に設けられていることで、窓ガラスの断熱性が向上する。
積層膜における各層の厚さは、分光エリプソメーター(ジェー・エー・ウーラム社製のM−2000を用いて、50°、60°、70°の入射角において測定)、透過スペクトル(日立製作所社製のU−4100を用いて、250〜2500nmの波長域において測定)、膜面反射スペクトル(日立製作所社製のU−4100を用いて、入射角5°、250〜2500nmの波長域において測定)、ガラス面反射スペクトル(日立製作所社製のU−4100を用いて、入射角5°、250〜2500nmの波長域において測定)をすべて満たすように得られた複素屈折率・膜厚の解から決定した。
密着層の厚さは、イオンスパッタリングによるエッチングとX線光電子分光(XPS)測定とを交互に繰り返す方法により測定した。
結晶性向上層及び機能層の波長1500nmにおける消衰係数は、以下のようにして求めた。
積層膜付きガラス基板について、分光光度計(日立製作所社製、U−4100)を用いて分光スペクトルを測定した。また、分光エリプソメーター(ジェー・エー・ウーラム社製、M−2000)を用いて偏光情報の測定を行った。得られた分光透過スペクトル、分光反射スペクトル(膜面及びガラス面)及び偏光情報を用いて、光学モデルのフィッティングを行い、消衰係数を決定した。
走査型X線光電子分光装置(アルバック・ファイ社製、PHI 5000 VersaProbe)を用いてビーム径100μmとし、積層膜の表面から積層膜とガラス基板との界面まで厚さ方向に原子濃度の分析を行った。このとき、エッチングガスとしてアルゴンガスを用い、ガス圧を1.5×10−2Pa、加速電圧を1kV、イオンビーム径を1×1mmとした。測定結果から結晶性向上層と機能層との境界における酸素原子濃度を求めた。
積層膜が2つ以上ある場合は、結晶性向上層と機能層との境界における酸素原子濃度をそれぞれ求め、最も小さい値を採用した。
ガラス基板21として、縦100mm、横100mm、厚さ3mmのサイズのソーダライムガラス板を用意した。
ガラス基板21の一方の表面に、表1及び表2に示す通り、密着層61、積層膜22及び23を成膜し、積層膜付きガラス基板10を得た。密着層61、積層膜22及び23は、スパッタリング法によって成膜した。
密着層61(Si1−αOz・Alα)の成膜には、Si−Al(10質量%)ターゲットを用い、放電ガスとしてアルゴンガスと酸素ガスとの混合ガス(アルゴンガス:酸素ガス=7:5(sccm))を用いた。成膜時の圧力は0.5Paであった。
第1の誘電体層31及び第2の誘電体層32(Si1−αNy・Alα)の成膜には、Si(90質量%)−Al(10質量%)ターゲットを用い、放電ガスとしてアルゴンガスと窒素ガスとの混合ガス(アルゴンガス:窒素ガス=3:2(sccm))を用いた。成膜時の圧力は、0.4Paであった。
第1の機能層51(ZrN)の成膜には、Zrターゲットを用い、放電ガスとしてアルゴンガスと窒素ガスとの混合ガス(アルゴンガス:窒素ガス=4.9:1(sccm))を用いた。成膜時の圧力は、0.3Paであった。
第2の結晶性向上層42、第2の機能層52及び第4の誘電体層34の厚さは、基板搬送速度を変えることで表1及び表2に示す厚さとなるよう調整した。
積層膜付きガラス基板におけるガラス基板、密着層、積層膜の各要素を表1及び表2に記載する構成にせしめた以外は、例1と同様に実施することにより、積層膜付きガラス基板10又は11を得た。
積層膜付きガラス基板10、11について、分光光度計(日立製作所社製、U−4100)を用いて測定された分光スペクトルと、全半球放射率測定装置(興栄社製、PM−E2)を用いて測定された放射率の値を用いて、ISO9050:2003に基づき日射熱取得率(g値)、及び可視光透過率を算出した。g値が0.36以下であれば、実用上十分な遮熱性を有すると考えられる。可視光透過率が3〜45%であれば、実用上十分な透明性を有すると考えられる。結果を表3に示す。
積層膜付きガラス基板10、11について、JIS C60068−2−52塩水噴霧試験方法に記載の厳しさ(6)により、評価を行った。評価は、目視及び光学顕微鏡の観察により行った。耐性0又は1であれば、実用上十分な密着性を有すると考えられる。結果を表3に示す。
耐性0:5サイクルまで剥離が生じなかった。
耐性1:4サイクルまで剥離が生じなかったが、5サイクル後に剥離が生じた。
耐性2:3サイクルまで剥離が生じなかったが、4サイクル後に剥離が生じた。
耐性3:2サイクルまで剥離が生じなかったが、3サイクル後に剥離が生じた。
耐性4:1サイクル後に剥離が生じなかったが、2サイクル後に剥離が生じた。
耐性5:1サイクル後に剥離が生じた。
積層膜付きガラス基板10、11について、目視により、評価を行った。剥離の有無については、レーザー顕微鏡を用いて確認を行った。結果を表3に示す。
○:白点などの変色及び剥離が確認できなかった。
×:白点などの変色又は剥離が確認できた。
例1〜7の積層膜付きガラス基板は、遮熱性及び密着性に優れていた。例11、例13〜例15の積層膜付きガラス基板は、密着性が低く、例14の積層膜付きガラス基板は、外観に課題があった。
なお、2018年3月20日に出願された日本特許出願2018−053485号の明細書、特許請求の範囲、図面、及び要約書の全内容をここに引用し、本発明の明細書の開示として、取り入れるものである。
Claims (15)
- ガラス基板と、前記ガラス基板の少なくとも一方の表面に設けられた密着層及び2つ以上の積層膜と、を有する積層膜付きガラス基板であり、
前記積層膜が、前記ガラス基板側から、第1の誘電体層、結晶性向上層、機能層及び第2の誘電体層を順に有する構成からなり、
前記第1の誘電体層及び第2の誘電体層は、窒化ケイ素を含み、
前記機能層は、波長1500nmにおける消衰係数が6.0超である窒化ジルコニウムを含み、
前記結晶性向上層は、波長1500nmにおける消衰係数が2.0未満である窒化ジルコニウムを含み、
前記積層膜は、下式(1)で定義される応力指数が70以上であり、
前記密着層は、酸化ケイ素を含み、厚さが3〜20nmであり、
前記密着層の厚さを前記応力指数で除した値が、0.04〜0.29の範囲にある、積層膜付きガラス基板。
応力指数=機能層の総厚さ(nm)+0.2×誘電体層の総厚さ(nm)+0.4×結晶性向上層の総厚さ(nm)・・・(1)
機能層の総厚さは、全ての機能層の厚さの合計値であり、誘電体層の総厚さは、全ての誘電体層の厚さの合計値であり、結晶性向上層の総厚さは、全ての結晶性向上層の厚さの合計値である。 - 前記機能層は、前記ガラス基板に最も近い第1の機能層と、前記ガラス基板から2番目に近い第2の機能層と、を順に有し、
前記第2の機能層の厚さ(nm)の、前記第1の機能層の厚さ(nm)に対する比が、1.05〜2.60の範囲にある、請求項1に記載の積層膜付きガラス基板。 - 前記結晶性向上層と前記機能層との境界における酸素原子濃度が、20原子%以下である、請求項1又は2に記載の積層膜付きガラス基板。
- 前記密着層は、アルミニウム又はジルコニウムを含む、請求項1〜3のいずれか1項に記載の積層膜付きガラス基板。
- 前記密着層は、Si1−αOz・Alα(但し、αは0.03〜0.50であり、zは1.0〜2.0である。)、又はSi1−αOz・Zrα(但し、αは0.03〜0.50であり、zは1.0〜2.0である。)を含む、請求項1〜4のいずれか1項に記載の積層膜付きガラス基板。
- 前記第1の誘電体層及び第2の誘電体層が、アルミニウム又はジルコニウムをドープした窒化ケイ素を含む、請求項1〜5のいずれか1項に記載の積層膜付きガラス基板。
- 前記第1の誘電体層及び第2の誘電体層が、Si1−αNy・Alα(但し、αは0.03〜0.50であり、yは1.0〜2.0である。)又はSi1−αNy・Zrα(但し、αは0.03〜0.50であり、yは1.0〜2.0である。)を含む、請求項6に記載の積層膜付きガラス基板。
- 前記密着層の厚さ(nm)の、前記積層膜の総厚さ(nm)に対する比が、0.009〜0.102の範囲にある、請求項1〜7のいずれか1項に記載の積層膜付きガラス基板。
- 前記機能層の総厚さが30nm以上である、請求項1〜8のいずれか1項に記載の積層膜付きガラス基板。
- 前記各機能層の厚さが、3〜60nmの範囲にあり、前記各誘電体層の厚さが、1.5〜200nmの範囲にあり、前記各結晶性向上層の厚さが、3〜30nmの範囲にある、請求項1〜9のいずれか1項に記載の積層膜付きガラス基板。
- ISO9050(2003)に基づき求められた日射熱取得率(g値)が0.36以下である、請求項1〜10のいずれか1項に記載の積層膜付きガラス基板。
- ISO9050(2003)に基づき求められた可視光透過率が3%〜45%である、請求項1〜11のいずれか1項に記載の積層膜付きガラス基板。
- JIS C60068−2−52に規定された塩水噴霧試験を4サイクル行った後に、積層膜が剥離しない、請求項1〜12のいずれか1項に記載の積層膜付きガラス基板。
- 請求項1〜13のいずれか1項に記載の積層膜付きガラス基板を有する窓ガラスであって、前記ガラス基板が1枚である窓ガラス。
- 前記積層膜が室内側に設けられている、請求項14に記載の窓ガラス。
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JP2016513057A (ja) * | 2013-02-20 | 2016-05-12 | サン−ゴバン グラス フランス | 熱放射反射コーティングを有する板ガラス |
JP2016515950A (ja) * | 2013-02-27 | 2016-06-02 | サン−ゴバン グラス フランス | 低放射率の多層で被覆された基材 |
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JP2017529305A (ja) * | 2014-09-12 | 2017-10-05 | ショット アクチエンゲゼルシャフトSchott AG | コーティングされた化学強化された薄型フレキシブルガラス |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016513057A (ja) * | 2013-02-20 | 2016-05-12 | サン−ゴバン グラス フランス | 熱放射反射コーティングを有する板ガラス |
JP2016515950A (ja) * | 2013-02-27 | 2016-06-02 | サン−ゴバン グラス フランス | 低放射率の多層で被覆された基材 |
JP2017529305A (ja) * | 2014-09-12 | 2017-10-05 | ショット アクチエンゲゼルシャフトSchott AG | コーティングされた化学強化された薄型フレキシブルガラス |
WO2016199676A1 (ja) * | 2015-06-11 | 2016-12-15 | 旭硝子株式会社 | 膜積層体および合わせガラス |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
MENG, JIAN-PING, 他: "Influence of ion-atom arrival ratio on structure and optical properties of ZrNx films", MATERIALS LETTERS, vol. 164, JPN7019001444, 13 October 2015 (2015-10-13), NL, pages 291 - 293, ISSN: 0005006189 * |
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