JPWO2019180841A1 - Dummy nozzle for plasma device and plasma head - Google Patents

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Abstract

プラズマヘッドが、ヘッド本体にダミーノズルが装着されている状態であるダミーノズル装着状態にあるか否かを検出可能なプラズマ装置を提供することである。
本開示に係るプラズマ装置において、プラズマヘッド内の気体の圧力に基づいて、プラズマヘッドが、ダミーノズル装着状態にあるか否かが検出される。例えば、ダミーノズルが、そのダミーノズルにおける圧力損失が正規のノズルにおける圧力損失より大きいものである場合において、ヘッド本体にダミーノズルが装着されている場合には、正規のノズルが装着されている場合より、プラズマヘッド内の気体の圧力が高くなる。以上の事情から、プラズマヘッド内の気体の圧力に基づけば、プラズマヘッドがダミーノズル装着状態であるか否かを検出することができる。It is an object of the present invention to provide a plasma device capable of detecting whether or not the plasma head is in a dummy nozzle mounted state in which a dummy nozzle is mounted on the head body.
In the plasma apparatus according to the present disclosure, it is detected whether or not the plasma head is in the dummy nozzle mounted state based on the pressure of the gas in the plasma head. For example, when the dummy nozzle has a pressure loss in the dummy nozzle larger than the pressure loss in the regular nozzle, and the dummy nozzle is mounted on the head body, the regular nozzle is mounted. Therefore, the pressure of the gas in the plasma head becomes high. From the above circumstances, it is possible to detect whether or not the plasma head is in the dummy nozzle mounted state based on the pressure of the gas in the plasma head.

Description

本開示は、プラズマを出力するプラズマヘッドを備えたプラズマ装置、プラズマヘッドのヘッド本体に着脱可能なプラズマヘッド用ダミーノズルに関するものである。 The present disclosure relates to a plasma device provided with a plasma head that outputs plasma, and a dummy nozzle for the plasma head that can be attached to and detached from the head body of the plasma head.

特許文献１の段落[００４２]等には、プラズマ切断装置用のトーチを特定する情報と、プラズマ切断装置の作動時に予定されている圧力、ガス流量を表す情報とが不適合である場合には、プラズマ切断装置の作動の開始が阻止されることが記載されている。しかし、特許文献１には、ダミートーチについての記載はない。 In paragraph [0042] of Patent Document 1, when the information for specifying the torch for the plasma cutting device and the information indicating the pressure and the gas flow rate scheduled at the time of operating the plasma cutting device are incompatible, It is stated that the start of operation of the plasma cutting device is blocked. However, Patent Document 1 does not describe a dummy torch.

特許文献２，３には、ロボットのティーチング作業が、正規のトーチの代わりにダミートーチを用いて行われることが記載されている。そのうちの特許文献２に記載のロボットは、プラズマ切断用ロボットであり、ダミートーチには光透過用が形成されている。特許文献２に記載のロボットは溶接用ロボットであり、ダミートーチのティーチングチップ３０にはワイヤ挿通穴が形成されている。 Patent Documents 2 and 3 describe that the teaching work of the robot is performed by using a dummy torch instead of the regular torch. Among them, the robot described in Patent Document 2 is a plasma cutting robot, and a dummy torch is formed for light transmission. The robot described in Patent Document 2 is a welding robot, and a wire insertion hole is formed in the teaching tip 30 of the dummy torch.

特表２０１５−５２０６７６号Special table 2015-520676 実開昭６０−１９０４７０号Jinkaisho 60-190470 特開２０１４−２３１０６６号Japanese Unexamined Patent Publication No. 2014-231066

開示の概要Summary of disclosure

解決しようとする課題The problem to be solved

本開示の課題は、プラズマヘッドが、ヘッド本体にダミーノズルが装着されている状態であるダミーノズル装着状態にあるか否かを検出可能なプラズマ装置を提供すること、上記ヘッド本体に着脱可能なプラズマヘッド用ダミーノズルを提供することである。 An object of the present disclosure is to provide a plasma device capable of detecting whether or not the plasma head is in a dummy nozzle mounted state in which a dummy nozzle is mounted on the head body, and the plasma head can be attached to and detached from the head body. It is to provide a dummy nozzle for a plasma head.

課題を解決するための手段、作用および効果Means, actions and effects to solve problems

本開示に係るプラズマ装置において、プラズマヘッド内の気体の圧力に基づいて、プラズマヘッドが、ダミーノズル装着状態にあるか否かが検出される。例えば、ダミーノズルが、そのダミーノズルにおける圧力損失が正規のノズルにおける圧力損失より大きいものである場合において、ヘッド本体にダミーノズルが装着されている場合には、正規のノズルが装着されている場合より、プラズマヘッド内の気体の圧力が高くなる。以上の事情から、プラズマヘッド内の気体の圧力に基づけば、プラズマヘッドがダミーノズル装着状態であるか否かを検出することができる。 In the plasma apparatus according to the present disclosure, it is detected whether or not the plasma head is in the dummy nozzle mounted state based on the pressure of the gas in the plasma head. For example, when the dummy nozzle has a pressure loss in the dummy nozzle larger than the pressure loss in the regular nozzle, and the dummy nozzle is mounted on the head body, the regular nozzle is mounted. Therefore, the pressure of the gas in the plasma head becomes high. From the above circumstances, it is possible to detect whether or not the plasma head is in the dummy nozzle mounted state based on the pressure of the gas in the plasma head.

なお、プラズマヘッド内の気体とは、プラズマヘッドの内部に存在する気体という意味であり、特定の気体をいうのではない。本開示に係るプラズマ装置は、大気圧でプラズマを生成するものであり、プラズマヘッドの内部は真空状態ではない。 The gas in the plasma head means a gas existing inside the plasma head, and does not mean a specific gas. The plasma apparatus according to the present disclosure generates plasma at atmospheric pressure, and the inside of the plasma head is not in a vacuum state.

また、正規のノズルとは、プラズマヘッドからプラズマが照射される際に装着されるべきノズルをいう。正規のノズルに対するダミーノズルとは、正規のノズルと、外形の各寸法は同じであるが、プラズマが照射される際に装着されるべきではないノズルをいう。 Further, the regular nozzle means a nozzle that should be mounted when plasma is irradiated from the plasma head. A dummy nozzle for a regular nozzle is a nozzle that has the same external dimensions as the regular nozzle but should not be mounted when the plasma is irradiated.

本開示の一実施形態であるプラズマ装置の周辺を概念的に示す図である。It is a figure which conceptually shows the periphery of the plasma apparatus which is one Embodiment of this disclosure. 上記プラズマ装置のプラズマヘッド（カバーを含まない）の斜視図である。It is a perspective view of the plasma head (not including a cover) of the said plasma apparatus. 上記プラズマヘッドのｘ軸に垂直な面の断面図である。It is sectional drawing of the plane perpendicular to the x-axis of the said plasma head. 上記プラズマヘッドのｙ軸に垂直な面の断面図である。It is sectional drawing of the plane perpendicular to the y-axis of the said plasma head. 上記プラズマヘッドのヘッド本体に着脱可能な正規のノズルの斜視図である。It is a perspective view of the regular nozzle which can be attached and detached to the head body of the said plasma head. 上記ヘッド本体に着脱可能なダミーノズルの斜視図である。It is a perspective view of the dummy nozzle which can be attached and detached to the head body. 上記ダミーノズルの底面図である。It is a bottom view of the above dummy nozzle. 上記ダミーノズルのｘ軸に垂直な面の断面図である。It is sectional drawing of the plane perpendicular to the x-axis of the dummy nozzle. 上記プラズマ装置における気体の供給経路を表す図である。It is a figure which shows the gas supply path in the said plasma apparatus. 上記プラズマ装置の制御装置の周辺を概念的に示す図である。It is a figure which conceptually shows the periphery of the control device of the said plasma device. 上記制御装置の記憶部に記憶されたダミーノズル装着状態検出プログラムを表すフローチャートである。It is a flowchart which shows the dummy nozzle mounting state detection program stored in the storage part of the control device. 上記ダミーノズルとは別のダミーノズルの斜視図である。It is a perspective view of the dummy nozzle different from the above-mentioned dummy nozzle. 上記正規のノズルとは別の正規のノズルのｙ軸に垂直な面の断面図である。It is sectional drawing of the plane perpendicular to the y-axis of the regular nozzle which is different from the regular nozzle. 上記正規のノズルの斜視図である。It is a perspective view of the above-mentioned regular nozzle. 上記正規のノズルのダミーノズルの斜視図である。It is a perspective view of the dummy nozzle of the above-mentioned regular nozzle. 上記ダミーノズルのｙ軸に垂直な面の断面図である。It is sectional drawing of the plane perpendicular to the y-axis of the dummy nozzle.

実施形態Embodiment

以下、本開示に係るプラズマ装置、プラズマヘッド用ダミーノズル（以下、単にダミーノズルと略称する）について、図面に基づいて説明する。 Hereinafter, the plasma device and the dummy nozzle for the plasma head (hereinafter, simply abbreviated as the dummy nozzle) according to the present disclosure will be described with reference to the drawings.

図１に記載のように、プラズマ装置は、大気圧でプラズマを発生させるものであり、プラズマヘッド６、制御ボックス８等を含む。プラズマヘッド６はロボット１０に保持可能とされ、ロボット１０により３次元に移動させられ得る。
プラズマヘッド６は、図２に示すように、プラズマ生成部１２、加熱ガス供給部１４等を含む。プラズマ生成部１２は、供給された処理ガスをプラズマ化して、プラズマを生成するものである。加熱ガス供給部１４は、加熱用ガスを加熱することにより得られる加熱ガスを供給するものである。プラズマヘッド６においては、プラズマ生成部１２において生成されたプラズマが、加熱ガス供給部１４によって供給された加熱ガスと共に出力され、図１に示す被処理物Ｗに照射される。プラズマヘッド６には、矢印Ｐの方向に、処理ガスが供給される。As described in FIG. 1, the plasma device generates plasma at atmospheric pressure, and includes a plasma head 6, a control box 8, and the like. The plasma head 6 can be held by the robot 10 and can be moved three-dimensionally by the robot 10.
As shown in FIG. 2, the plasma head 6 includes a plasma generation unit 12, a heating gas supply unit 14, and the like. The plasma generation unit 12 converts the supplied processing gas into plasma to generate plasma. The heating gas supply unit 14 supplies the heating gas obtained by heating the heating gas. In the plasma head 6, the plasma generated in the plasma generation unit 12 is output together with the heating gas supplied by the heating gas supply unit 14, and is irradiated to the object W to be processed shown in FIG. The processing gas is supplied to the plasma head 6 in the direction of the arrow P.

プラズマ生成部１２は、図３，４に示すように、セラミックス等の絶縁体で形成されたヘッド本体１８、一対の電極部２０，２２、ノズル３８等を含む。ヘッド本体１８には一対の電極部２０，２２が幅方向に離間して保持され、ヘッド本体１８の一対の電極部２０，２２の間には放電空間２４が形成される。以下、本プラズマ装置において、ヘッド本体１８の幅方向、すなわち、一対の電極部２０，２２（以下、「一対の」を省略して、単に電極部２０，２２または複数の電極部２０，２２等と称する場合がある。他の用語についても同様とする。）が並ぶ方向をｘ方向、プラズマ生成部１２と加熱ガス供給部１４とが並ぶ方向をｙ方向、電極部２０，２２の各々が伸びる方向をｚ方向とする。ｚ方向はＰ方向と同じである。ｘ方向、ｙ方向、ｚ方向は互いに直交する。 As shown in FIGS. 3 and 4, the plasma generation unit 12 includes a head body 18, a pair of electrode units 20, 22, a nozzle 38, and the like, which are formed of an insulator such as ceramics. A pair of electrode portions 20 and 22 are held apart from each other in the width direction in the head main body 18, and a discharge space 24 is formed between the pair of electrode portions 20 and 22 of the head main body 18. Hereinafter, in the present plasma apparatus, in the width direction of the head body 18, that is, a pair of electrode portions 20, 22 (hereinafter, “pair” is omitted, the electrode portions 20, 22 or a plurality of electrode portions 20, 22 and the like are simply omitted. The same applies to other terms.) The direction in which the plasma generation unit 12 and the heating gas supply unit 14 are lined up is the y direction, and the electrode units 20 and 22 each extend. Let the direction be the z direction. The z direction is the same as the P direction. The x-direction, y-direction, and z-direction are orthogonal to each other.

加熱ガス供給部１４は、図２，３に示すように、ガス管３０、ヒータ３２、連結部３４等を含む。これらガス管３０、ヒータ３２等は図３に示すカバー３５によって覆われている。ガス管３０には、ヒータ３２が配設され、ヒータ３２によってガス管３０が加熱され、それにより、ガス管３０を流れる加熱用ガスが加熱される。 As shown in FIGS. 2 and 3, the heating gas supply unit 14 includes a gas pipe 30, a heater 32, a connecting unit 34, and the like. The gas pipe 30, the heater 32, and the like are covered with the cover 35 shown in FIG. A heater 32 is arranged in the gas pipe 30, and the gas pipe 30 is heated by the heater 32, whereby the heating gas flowing through the gas pipe 30 is heated.

連結部３４は、図３に示すように、ガス管３０を正規のノズル(以下、単に、ノズルと称する場合がある)３８に連結するものであり、加熱ガス供給通路３６を含む。ノズル３８がヘッド本体１８に取り付けられた状態で、加熱ガス供給通路３６は、一端部がガス管３０に連通させられ、他端部がノズル３８に形成された加熱ガス通路３９に連通させられる。 As shown in FIG. 3, the connecting portion 34 connects the gas pipe 30 to a regular nozzle (hereinafter, may be simply referred to as a nozzle) 38, and includes a heating gas supply passage 36. With the nozzle 38 attached to the head body 18, one end of the heated gas supply passage 36 communicates with the gas pipe 30, and the other end communicates with the heated gas passage 39 formed in the nozzle 38.

プラズマ生成部１２において、電極部２０，２２の一部の外周部は、セラミックス等の絶縁体で製造された電極カバー４４，４５によって覆われる。電極カバー４４，４５は、それぞれ、概して中空筒状を成し、長手方向の両端部が開口とされる。電極カバー４４，４５の内周面と電極部２０，２２の外周面との間の隙間がガス通路４４ｃ、４５ｃとされ、電極カバー４４，４５の下流側の開口は放電空間２４に対向する。また、電極部２０，２２の一部は、電極カバー４４，４５の下流側の開口から突出した状態にある。 In the plasma generating section 12, a part of the outer peripheral portions of the electrode sections 20 and 22 is covered with electrode covers 44 and 45 made of an insulator such as ceramics. The electrode covers 44 and 45 are generally hollow tubular, and both ends in the longitudinal direction are openings. The gaps between the inner peripheral surfaces of the electrode covers 44 and 45 and the outer peripheral surfaces of the electrode portions 20 and 22 are gas passages 44c and 45c, and the opening on the downstream side of the electrode covers 44 and 45 faces the discharge space 24. Further, a part of the electrode portions 20 and 22 is in a state of protruding from the opening on the downstream side of the electrode covers 44 and 45.

ヘッド本体１８の電極部２０，２２が保持された部分の上流側には、複数のガス通路５１〜５３等が形成される。これらガス通路５１〜５３、加熱ガス供給部１４のガス管３０は、図９に示すように、チューブ５６ａ〜５６ｄを介して制御ボックス８に接続される。一方、制御ボックス８には、窒素ガスを供給する窒素ガス源５４、ドライエア（活性ガスとしての酸素を含む）を供給するドライエア源５５が接続される。制御ボックス８の窒素ガス源５４、ドライエア源５５の接続部とチューブ５６ａ〜５６ｄの接続部との間には、流量調整機構６０が設けられる。流量調整機構６０は、プラズマヘッド６に供給される窒素ガス、ドライエア等（以下、単に、ガス、気体と称する場合がある）の流量等を制御するものであり、個別流量調整器６２ａ〜６２ｄ、圧力センサ６４ａ〜６４ｄ、混合器６６等を含む。 A plurality of gas passages 51 to 53 and the like are formed on the upstream side of the portion of the head body 18 where the electrodes 20 and 22 are held. As shown in FIG. 9, the gas pipes 30 of the gas passages 51 to 53 and the heating gas supply unit 14 are connected to the control box 8 via the tubes 56a to 56d. On the other hand, the control box 8 is connected to a nitrogen gas source 54 for supplying nitrogen gas and a dry air source 55 for supplying dry air (including oxygen as an active gas). A flow rate adjusting mechanism 60 is provided between the connection portion of the nitrogen gas source 54 and the dry air source 55 of the control box 8 and the connection portion of the tubes 56a to 56d. The flow rate adjusting mechanism 60 controls the flow rate of nitrogen gas, dry air, etc. (hereinafter, may be simply referred to as gas or gas) supplied to the plasma head 6, and is used for individual flow rate regulators 62a to 62d. The pressure sensors 64a to 64d, the mixer 66 and the like are included.

個別流量調整器６２ａ，６２ｂ、圧力センサ６４ａ，６４ｂは、それぞれ、窒素ガス源５４とチューブ５６ａ，５６ｂとの間に位置する。個別流量調整器６２ａ，６２ｂにより窒素ガスが予め定められた流量に調整されて、チューブ５６ａ，５６ｂを経て、ガス通路５１，５２、ガス通路４４ｃ，４５ｃ、放電空間２４に供給される。個別流量調整器６２ｃ１，６２ｃ２、圧力センサ６４ｃおよび混合器６６は、窒素ガス源５４、ドライエア源５５と、チューブ５６ｃとの間に位置する。個別流量調整器６２ｃ１，６２ｃ２によって調整された流量の窒素ガスとドライエアとが混合器６６において混合されて処理ガスとされる。処理ガスは、窒素ガスとドライエアとを予め定められた比率で含むものであり、予め定められた流量に調整されて、チューブ５６ｃを経て、ガス通路５３、放電空間２４に供給される。個別流量調整器６２ｄ、圧力センサ６４ｄは、チューブ５６ｄとドライエア源５５との間に位置する。加熱用ガスとしてのドライエアが予め定められた流量に調整されて、チューブ５６ｄを経てガス管３０等に供給される。 The individual flow regulators 62a and 62b and the pressure sensors 64a and 64b are located between the nitrogen gas source 54 and the tubes 56a and 56b, respectively. Nitrogen gas is adjusted to a predetermined flow rate by the individual flow rate regulators 62a and 62b, and is supplied to the gas passages 51 and 52, the gas passages 44c and 45c, and the discharge space 24 via the tubes 56a and 56b. The individual flow regulators 62c1, 62c2, the pressure sensor 64c and the mixer 66 are located between the nitrogen gas source 54, the dry air source 55 and the tube 56c. The flow rate of nitrogen gas adjusted by the individual flow rate regulators 62c1 and 62c2 and the dry air are mixed in the mixer 66 to obtain a processing gas. The processing gas contains nitrogen gas and dry air in a predetermined ratio, is adjusted to a predetermined flow rate, and is supplied to the gas passage 53 and the discharge space 24 via the tube 56c. The individual flow regulator 62d and the pressure sensor 64d are located between the tube 56d and the dry air source 55. Dry air as a heating gas is adjusted to a predetermined flow rate and supplied to the gas pipe 30 or the like via the tube 56d.

一方、ヘッド本体１８の、放電空間２４の下流側の部分には、ｘ方向に間隔を隔てて並んで、ｚ方向に伸びて形成された複数（本実施例においては、６本）の本体側プラズマ通路７０ａ、７０ｂ・・・が形成されている。複数の本体側プラズマ通路７０ａ、７０ｂ・・・の上流側の端部は、それぞれ、放電空間２４に開口する。 On the other hand, in the portion of the head main body 18 on the downstream side of the discharge space 24, a plurality of head main bodies 18 (six in this embodiment) are arranged side by side at intervals in the x direction and extended in the z direction. Plasma passages 70a, 70b ... Are formed. The upstream end portions of the plurality of main body side plasma passages 70a, 70b ... Are opened in the discharge space 24, respectively.

ノズル３８は、セラミックス等の絶縁体で形成されたものであり、図３〜５に示すように、ノズル本体７２と、通路構造体７４とを含む。通路構造体７４は、図３，４に示すように、複数（本実施例においては、６本）の貫通孔であるノズル側プラズマ通路８０ａ、８０ｂ・・・が形成された通路形成部８２と、フランジ部８４とを含む。通路構造体７４は、フランジ部８４において、ヘッド本体１８に位置決めされた状態でボルト８６等によって着脱可能に取り付けられる。 The nozzle 38 is formed of an insulator such as ceramics, and includes a nozzle body 72 and a passage structure 74 as shown in FIGS. 3 to 5. As shown in FIGS. 3 and 4, the passage structure 74 has a passage forming portion 82 in which a plurality of (six in this embodiment) through holes, nozzle-side plasma passages 80a, 80b, ... Are formed. , The flange portion 84 and the like. The passage structure 74 is detachably attached to the flange portion 84 by bolts 86 or the like while being positioned on the head main body 18.

ノズル本体７２は、図３，５に示すように、ｘ方向からの側面視において概してＴ字形を成し、保持部７５と突出部７６とを含む。保持部７５には凹部７８が形成され、前述の加熱ガス通路３９が連通させられる。また、突出部７６には、突出部７６を長手方向に貫通する１つの貫通孔７９が形成される。貫通孔７９の一端部は凹部７８に開口する。ノズル本体７２は、保持部７５において、ヘッド本体１８に複数のボルト８７によって着脱可能に取り付けられる。以上により、ノズル３８がヘッド本体１８に着脱可能に装着される。 As shown in FIGS. 3 and 5, the nozzle body 72 generally has a T shape when viewed from the side in the x direction, and includes a holding portion 75 and a protruding portion 76. A recess 78 is formed in the holding portion 75, and the above-mentioned heating gas passage 39 is communicated with the holding portion 75. Further, the protruding portion 76 is formed with one through hole 79 that penetrates the protruding portion 76 in the longitudinal direction. One end of the through hole 79 opens into the recess 78. The nozzle body 72 is detachably attached to the head body 18 by a plurality of bolts 87 in the holding portion 75. As described above, the nozzle 38 is detachably attached to the head body 18.

そして、ノズル３８がヘッド本体１８に装着された状態で、凹部７８の内部にフランジ部８４が位置し、貫通孔７９の内部に通路形成部８２が位置するが、これら凹部７８、貫通孔７９とフランジ部８４、通路形成部８２との間の隙間が加熱ガス出力通路８９とされる。加熱ガス出力通路８９には、加熱ガス通路３９、凹部７８を経て加熱ガスが供給される。また、ノズル側プラズマ通路８０ａ、８０ｂ・・・は、ｚ方向に伸び、それぞれ、本体側プラズマ通路７０ａ、７０ｂ・・・に対応して位置し、ノズル側プラズマ通路８０ａ、８０ｂ・・・と本体側プラズマ通路７０ａ、７０ｂ・・・とはそれぞれ互いに連通した状態にある。なお、ノズル側プラズマ通路８０ａ、８０ｂ・・・の各々の断面積と本体側プラズマ通路７０ａ、７０ｂ・・・の各々の断面積とは、ほぼ同じである。 Then, with the nozzle 38 mounted on the head body 18, the flange portion 84 is located inside the recess 78, and the passage forming portion 82 is located inside the through hole 79. The gap between the flange portion 84 and the passage forming portion 82 is defined as the heating gas output passage 89. The heating gas is supplied to the heating gas output passage 89 through the heating gas passage 39 and the recess 78. Further, the nozzle-side plasma passages 80a, 80b ... Extend in the z direction and are located corresponding to the main body-side plasma passages 70a, 70b, respectively, and the nozzle-side plasma passages 80a, 80b ... The side plasma passages 70a, 70b, ... Are in a state of communicating with each other. The cross-sectional areas of the nozzle-side plasma passages 80a, 80b ... And the cross-sectional areas of the main body-side plasma passages 70a, 70b ... Are almost the same.

一方、ヘッド本体１８にはノズル３８の代わりに、図６〜８に示す樹脂で製造されたダミーノズル９０を装着することができる。ダミーノズル９０は、通路構造体を含まないため、ダミーノズル本体９０でもある。ダミーノズル本体９０は、図６に示すように、ｘ方向からの側面視において概してＴ字形を成し、保持部９２と、突出部９４とを含む。保持部９２には、凹部９６が形成されるとともに、凹部９６に開口する状態で加熱ガス通路９８が形成される。突出部９４に貫通孔は形成されていないが、保持部９２の、突出部９４に対応する部分から外れた部分に、保持部９２をｚ方向に貫通するガス通路としての貫通孔１００が形成される。貫通孔１００は、ダミーノズル９０の内部である凹部９６とプラズマヘッド６の外部（大気）とを連通する、換言すれば、凹部９６に開口するとともにプラズマヘッド６の外部に開口するものである。また、貫通孔１００の断面積は、本体側プラズマ通路７０ａ、７０ｂ・・・の断面積の合計より小さく、正規のノズル３８のノズル側プラズマ通路８０ａ、８０ｂ・・・の断面積の合計より小さく、加熱ガス出力通路８９の断面積より小さい。そのため、ダミーノズル９０における圧力損失は、正規のノズル３８における圧力損失より大きくなる。 On the other hand, instead of the nozzle 38, the head body 18 can be equipped with a dummy nozzle 90 made of the resin shown in FIGS. 6 to 8. Since the dummy nozzle 90 does not include the passage structure, it is also the dummy nozzle main body 90. As shown in FIG. 6, the dummy nozzle main body 90 has a generally T-shape when viewed from the side in the x direction, and includes a holding portion 92 and a protruding portion 94. A recess 96 is formed in the holding portion 92, and a heating gas passage 98 is formed in a state where the recess 96 is opened. Although no through hole is formed in the protruding portion 94, a through hole 100 as a gas passage penetrating the holding portion 92 in the z direction is formed in a portion of the holding portion 92 that is separated from the portion corresponding to the protruding portion 94. To. The through hole 100 communicates the recess 96 inside the dummy nozzle 90 with the outside (atmosphere) of the plasma head 6, in other words, opens in the recess 96 and opens to the outside of the plasma head 6. Further, the cross-sectional area of the through hole 100 is smaller than the total cross-sectional area of the main body side plasma passages 70a, 70b ..., And smaller than the total cross-sectional area of the nozzle-side plasma passages 80a, 80b ... Of the regular nozzle 38. , Smaller than the cross-sectional area of the heated gas output passage 89. Therefore, the pressure loss in the dummy nozzle 90 is larger than the pressure loss in the regular nozzle 38.

一方、突出部９４の基端部の外周面には、脆弱部としてのスリット１０２が環状に形成される。突出部９４が、物体に当接した場合等に、スリット１０２において折れ易くなる。なお、ダミーノズル本体９０の保持部９２、突出部９４の各々の寸法は、正規のノズル３８のノズル本体７２の保持部７５、突出部７６の各々の寸法と同じである。 On the other hand, a slit 102 as a fragile portion is formed in an annular shape on the outer peripheral surface of the base end portion of the protruding portion 94. When the protruding portion 94 comes into contact with an object or the like, the slit 102 is likely to break. The dimensions of the holding portion 92 and the protruding portion 94 of the dummy nozzle body 90 are the same as the dimensions of the holding portion 75 and the protruding portion 76 of the nozzle body 72 of the regular nozzle 38.

ダミーノズル９０は、図８に示すように、保持部９２において、ノズル３８と同様にボルト８７によってヘッド本体１８に着脱可能に装着することができる。ダミーノズル９０がヘッド本体１８に装着された状態において、凹部９６に本体側プラズマ通路７０ａ、７０ｂ・・・が開口し、加熱ガス通路９８を介してガス管３０に連通させられる。また、貫通孔１００のダミーノズル本体９０に対する相対位置は、ノズル３８がヘッド本体１８に装着された状態におけるノズル側プラズマ通路８０ａ、８０ｂ・・・のノズル本体７２に対する相対位置とは異なる。 As shown in FIG. 8, the dummy nozzle 90 can be detachably attached to the head body 18 by bolts 87 in the holding portion 92, similarly to the nozzle 38. In a state where the dummy nozzle 90 is attached to the head main body 18, the main body side plasma passages 70a, 70b ... Are opened in the recess 96 and communicate with the gas pipe 30 via the heating gas passage 98. Further, the relative position of the through hole 100 with respect to the dummy nozzle main body 90 is different from the relative position of the nozzle-side plasma passages 80a, 80b ... With respect to the nozzle main body 72 when the nozzle 38 is mounted on the head main body 18.

制御ボックス８には、図１０に示すように、コンピュータを主体とする制御装置１５０が設けられる。制御装置１５０は実行部１５０ｃ、記憶部１５０ｍ、入出力部１５０ｆ、タイマ１５０ｔ等を含み、入出力部１５０ｆには、流量調整機構６０、ヒータ３２、周波数調整機構１５２、ディスプレイ１５４等が接続されるとともに、開始スイッチ１５６、停止スイッチ１５８等が接続される。ディスプレイ１５４には、本プラズマ装置の状態等が表示される。 As shown in FIG. 10, the control box 8 is provided with a control device 150 mainly composed of a computer. The control device 150 includes an execution unit 150c, a storage unit 150m, an input / output unit 150f, a timer 150t, and the like, and a flow rate adjusting mechanism 60, a heater 32, a frequency adjusting mechanism 152, a display 154, and the like are connected to the input / output unit 150f. At the same time, the start switch 156, the stop switch 158, and the like are connected. The display 154 shows the status of the plasma apparatus and the like.

周波数調整機構１５２は、図示しないＡ／Ｄ（交流直流）変換器、スイッチング回路等を含む。商用の交流電源１６６から供給された交流電圧が、直流電圧に変換されて、スイッチング回路によりＰＷＭ（Plus Width Modulation）が行われる。そして、ＰＷＭによって得られた予め定められた周波数の電圧が電極部２０，２２に印加される。 The frequency adjusting mechanism 152 includes an A / D (alternating current / direct current) converter, a switching circuit, and the like (not shown). The AC voltage supplied from the commercial AC power supply 166 is converted into a DC voltage, and PWM (Plus Width Modulation) is performed by the switching circuit. Then, a voltage of a predetermined frequency obtained by PWM is applied to the electrode portions 20 and 22.

圧力センサ６４ａ〜６４ｄは、チューブ５６ａ〜５６ｄを経てプラズマヘッド６に供給される気体の圧力、換言すれば、プラズマヘッド６の内部の気体の圧力をそれぞれ検出する。例えば、正規のノズル３８がヘッド本体１８に装着されている状態で、チューブ５６ａ〜５６ｄ、プラズマヘッド６に詰まりがない場合における圧力センサ６４ａ〜６４ｄの各々の検出値Ｐｉは、チューブ５６ａ〜５６ｄにおける圧力損失ΔＰｔｉとプラズマヘッド６における圧力損失ΔＰｈｉとの和に応じた値となる（ｉは、ａ，ｂ，ｃ，ｄをそれぞれ表す。以下、同様とする）。
Ｐｉ＝ΔＰｔｉ＋ΔＰｈｉ（ｉ＝ａ，ｂ，ｃ，ｄ）The pressure sensors 64a to 64d detect the pressure of the gas supplied to the plasma head 6 via the tubes 56a to 56d, in other words, the pressure of the gas inside the plasma head 6. For example, when the regular nozzle 38 is attached to the head body 18, the detection values Pi of the pressure sensors 64a to 64d when the tubes 56a to 56d and the plasma head 6 are not clogged are the tubes 56a to 56d. The value corresponds to the sum of the pressure loss ΔPti and the pressure loss ΔPhi in the plasma head 6 (i represents a, b, c, and d, respectively. The same shall apply hereinafter).
Pi = ΔPti + ΔPhi (i = a, b, c, d)

チューブ５６ａ〜５６ｄの各々における圧力損失ΔＰｔｉ（ΔＰｔａ，ΔＰｔｂ，ΔＰｔｃ，ΔＰｔｄ）は、それぞれ、チューブ５６ａ〜５６ｄの断面積，長さＬ等が同じである場合に、チューブ５６ａ〜５６ｄの各々に流れるガスの流量で決まる。 The pressure loss ΔPti (ΔPta, ΔPtb, ΔPtc, ΔPtd) in each of the tubes 56a to 56d flows to each of the tubes 56a to 56d when the cross-sectional area, length L, etc. of the tubes 56a to 56d are the same, respectively. Determined by the flow rate of gas.

また、プラズマヘッド６における圧力損失ΔＰｈａ，ΔＰｈｂ，ΔＰｈｃは、ガス通路５１，５２，５３、本体側プラズマ通路７０ａ、７０ｂ・・・の断面積，長さ、ノズル側プラズマ通路８０ａ、８０ｂ・・・の断面積，長さ等と、プラズマヘッド６を流れるガスの流量等に基づいて決まり、圧力損失ΔＰｈｄは、ガス管３０、加熱ガス供給通路３６，加熱ガス通路３９、加熱ガス出力通路８９等の断面積，長さ、これらを流れるガスの流量等に基づいて決まる。ガス通路５２，５２，５３に供給された気体は、放電空間２４を経て本体側プラズマ通路７０ａ、７０ｂ・・・、ノズル側プラズマ通路８０ａ、８０ｂ・・・に供給されるが、これらの圧力損失は、主として、本体側プラズマ通路７０ａ、７０ｂ・・・、ノズル側プラズマ通路８０ａ、８０ｂ・・・において決まる。そのため、ガス通路５１，５２，５３に供給された気体のプラズマヘッド６における圧力損失は、ほぼ同じとなる（ΔＰｈａ＝ΔＰｈｂ＝ΔＰｈｃ）。 Further, the pressure losses ΔPha, ΔPhb, ΔPhc in the plasma head 6 are the cross-sectional area and length of the gas passages 51, 52, 53, the main body side plasma passages 70a, 70b ..., The nozzle side plasma passages 80a, 80b ... The pressure loss ΔPhd is determined based on the cross-sectional area, length, etc. of the gas pipe 30, the heating gas supply passage 36, the heating gas passage 39, the heating gas output passage 89, etc. It is determined based on the cross-sectional area, length, and the flow rate of gas flowing through them. The gas supplied to the gas passages 52, 52, 53 is supplied to the main body side plasma passages 70a, 70b ..., the nozzle side plasma passages 80a, 80b ... Through the discharge space 24, and the pressure loss thereof. Is mainly determined in the main body side plasma passages 70a, 70b ..., The nozzle side plasma passages 80a, 80b ... Therefore, the pressure loss of the gas supplied to the gas passages 51, 52, and 53 in the plasma head 6 is almost the same (ΔPha = ΔPhb = ΔPhc).

なお、チューブ５６ａ〜５６ｄの各々の圧力損失がほぼ同じである場合には、圧力センサ６４ａ〜６４ｄの各々の検出値Ｐｉは主としてプラズマヘッド６における圧力損失で決まる。この意味においても、圧力センサ６４ａ〜６４ｄは、プラズマヘッド６の内部の気体の圧力を検出するものであると考えることができる。 When the pressure loss of each of the tubes 56a to 56d is substantially the same, the detection value Pi of each of the pressure sensors 64a to 64d is mainly determined by the pressure loss in the plasma head 6. In this sense as well, the pressure sensors 64a to 64d can be considered to detect the pressure of the gas inside the plasma head 6.

以下、ヘッド本体１８に正規のノズル３８が装着されている状態で、プラズマヘッド６、チューブ５６ａ〜５６ｄに詰まり等がない場合の、圧力センサ６４ｉの各々の検出値Ｐｉを、それぞれ、圧力標準値Ｐｆｉと称する。 Hereinafter, each detected value Pi of the pressure sensor 64i when the plasma head 6 and the tubes 56a to 56d are not clogged with the regular nozzle 38 mounted on the head body 18, is the pressure standard value, respectively. It is called Pfi.

開始スイッチ１５６は、プラズマ装置の駆動を指示する場合に操作されるスイッチであり、停止スイッチ１５８は、プラズマ装置の停止を指示する場合に操作されるスイッチである。 The start switch 156 is a switch operated when instructing the drive of the plasma device, and the stop switch 158 is a switch operated when instructing the stop of the plasma device.

本実施例に係るプラズマ装置において、開始スイッチ１５６がＯＮ操作された場合に、プラズマヘッド６への窒素ガス、ドライエア、処理ガス等の供給が開始された時点から予め定められたガス供給時間（例えば、０．１sec〜数sec程度の時間とすることができる）が経過した後に、電極部２０，２２に所望の周波数の電圧が印加される。放電空間２４に処理ガスが供給された後に電極部２０，２２に電圧が印加されるようにした方が望ましいからである。そして、電極部２０，２２の間で放電が起きることにより、放電空間２４に供給された処理ガスがプラズマ化されて、プラズマが生成されて、出力される。プラズマは、ノズル３８から加熱ガスとともに出力され、被処理物Ｗに照射される。 In the plasma apparatus according to the present embodiment, when the start switch 156 is turned on, a predetermined gas supply time (for example, from the time when the supply of nitrogen gas, dry air, processing gas, etc. to the plasma head 6 is started) , The time can be about 0.1 sec to several sec), and then a voltage having a desired frequency is applied to the electrode portions 20 and 22. This is because it is desirable that the voltage is applied to the electrode portions 20 and 22 after the processing gas is supplied to the discharge space 24. Then, when a discharge occurs between the electrode portions 20 and 22, the processing gas supplied to the discharge space 24 is turned into plasma, and plasma is generated and output. The plasma is output from the nozzle 38 together with the heating gas and is applied to the object W to be processed.

被処理物Ｗへのプラズマ処理作業に先立って、ロボット１０にプラズマヘッド６を保持させて、ロボット１０のティーチングが行われるのが普通である。一方、ティーチング中においては、ノズル３８が被処理物Ｗや周辺の物体に当接して損傷を受ける可能性があるが、ノズル３８はセラミックス等で製造されたものであり、高価である。そこで、ティーチングが行われる場合には、ヘッド本体１８にノズル３８の代わりにダミーノズル９０が装着されることが多い。しかし、ティーチング後、ダミーノズル９０が装着された状態で開始スイッチ１５６のＯＮ操作が行われる場合があり、ダミーノズル９０の内部の圧力が高くなり、かつ、高温になる。それにより、ダミーノズル９０が破損し、周辺が汚れたり、プラズマヘッド６が汚れたりする場合がある。 Prior to the plasma processing work on the object W to be processed, the robot 10 is usually held by the plasma head 6 to teach the robot 10. On the other hand, during teaching, the nozzle 38 may come into contact with the object W to be processed or a surrounding object and be damaged, but the nozzle 38 is made of ceramics or the like and is expensive. Therefore, when teaching is performed, a dummy nozzle 90 is often attached to the head body 18 instead of the nozzle 38. However, after teaching, the start switch 156 may be turned on with the dummy nozzle 90 attached, so that the pressure inside the dummy nozzle 90 becomes high and the temperature becomes high. As a result, the dummy nozzle 90 may be damaged, the periphery may become dirty, or the plasma head 6 may become dirty.

そこで、本実施例においては、開始スイッチ１５６のＯＮ操作が行われて、プラズマヘッド６へのガスの供給が開始された時点から、上述のガス供給時間が経過する前に、プラズマヘッド６が、ヘッド本体１８にダミーノズル９０が装着された状態、すなわち、ダミーノズル装着状態にあるか否かが、圧力センサ６４ａ〜６４ｄの検出値に基づいて検出される。 Therefore, in the present embodiment, the plasma head 6 is set from the time when the start switch 156 is turned on and the gas supply to the plasma head 6 is started before the above-mentioned gas supply time elapses. Whether or not the dummy nozzle 90 is mounted on the head body 18, that is, whether or not the dummy nozzle is mounted is detected based on the detection values of the pressure sensors 64a to 64d.

具体的には、圧力センサ６４ａ〜６４ｄの各々の検出値Ｐａ〜Ｐｄ（Ｐｉ）がそれぞれすべてしきい値Ｐｔｈａ〜Ｐｔｈｄ（Ｐｔｈｉ）より高い場合にダミーノズル装着状態であると検出される。前述のように、ダミーノズル９０における圧力損失は、正規のノズル３８における圧力損失より大きいため、ヘッド本体１８に正規のノズル３８の代わりにダミーノズル９０が装着されている場合には、圧力センサ６４ａ〜ｄの各々の検出値Ｐｉはいずれも圧力標準値Ｐｆｉより高くなる。そこで、本実施例においては、上述のしきい値Ｐｔｈｉが、圧力標準値Ｐｆｉ、または、圧力標準値Ｐｆｉより設定値高い値とされる。なお、プラズマヘッド６において詰まりが生じた場合にも同様である。また、チューブ５６ａ〜５６ｄやガス管３０に詰まりが生じた場合には、それに対応する圧力センサ６４ａ〜ｄのうちの一部の検出値Ｐｊのみがしきい値Ｐｔｈｊより高くなる（ｊは、ａ，ｂ，ｃ，ｄのうちの一部）。 Specifically, when the detected values Pa to Pd (Pi) of the pressure sensors 64a to 64d are all higher than the threshold values Pza to Pthd (Pthi), it is detected that the dummy nozzle is mounted. As described above, since the pressure loss in the dummy nozzle 90 is larger than the pressure loss in the regular nozzle 38, when the dummy nozzle 90 is mounted on the head body 18 instead of the regular nozzle 38, the pressure sensor 64a Each of the detected values Pi of ~ d is higher than the pressure standard value Pfi. Therefore, in this embodiment, the above-mentioned threshold value Pthi is set to a value higher than the pressure standard value Pfi or the pressure standard value Pfi. The same applies when the plasma head 6 is clogged. Further, when the tubes 56a to 56d and the gas pipe 30 are clogged, only a part of the detected values Pj of the corresponding pressure sensors 64a to d are higher than the threshold value Pthj (j is a). , B, c, d).

図１１のフローチャートで表されるダミーノズル装着状態検出プログラムは開始スイッチ１５６がＯＮ操作された時点からガス供給時間が経過するまでの間、予め定められたサイクルタイム毎に実行される。
ステップ１（以下、Ｓ１と略称する。他のステップについても同様とする）において、圧力センサ６４ｉの各々の検出値Ｐｉが読み込まれ、Ｓ２において、検出値Ｐｉの各々がしきい値Ｐｔｈｉより高いか否かがそれぞれ判定される。すべての検出値Ｐｉがそれぞれしきい値Ｐｔｈｉより高い場合には、プラズマヘッド６の圧力損失が正規のノズル３８の圧力損失より大きいと検出される。Ｓ３において、個別流量調整器６２ａ〜ｄにより、プラズマヘッド６への気体の供給がすべて停止させられ、Ｓ４において、ディスプレイ１５４に「ダミーノズル装着状態または詰まり状態」である旨が表示される。The dummy nozzle mounting state detection program represented by the flowchart of FIG. 11 is executed at predetermined cycle times from the time when the start switch 156 is turned on until the gas supply time elapses.
In step 1 (hereinafter abbreviated as S1; the same applies to other steps), each detected value Pi of the pressure sensor 64i is read, and in S2, each of the detected value Pi is higher than the threshold value Pthi. Whether or not it is determined respectively. When all the detected values Pi are higher than the threshold value Pthi, it is detected that the pressure loss of the plasma head 6 is larger than the pressure loss of the regular nozzle 38. In S3, all the gas supply to the plasma head 6 is stopped by the individual flow rate regulators 62a to 62, and in S4, the display 154 indicates that the "dummy nozzle is mounted or clogged".

それに対して、Ｓ２の判定がＮＯである場合には、Ｓ５において、検出値Ｐｉがすべてしきい値Ｐｔｈｉ以下であるか否かが判定される。Ｓ５の判定がＹＥＳである場合には、ヘッド本体１８には正規のノズル３８が装着され、しかも、チューブ５６ａ〜５６ｄにもプラズマヘッド６にも詰まりがないと検出される。この場合には、Ｓ３，４が実行されることはない。しかし、Ｓ５の判定がＮＯである場合には、チューブ５６ａ〜５６ｄのうちのいずれか、または、ガス管３０等の詰まり等であると考えられるため、同様に、Ｓ３，４が実行される。 On the other hand, when the determination in S2 is NO, it is determined in S5 whether or not all the detected values Pi are equal to or less than the threshold value Pthi. When the determination in S5 is YES, it is detected that the head body 18 is equipped with a regular nozzle 38 and that neither the tubes 56a to 56d nor the plasma head 6 is clogged. In this case, S3 and 4 are not executed. However, if the determination in S5 is NO, it is considered that any of the tubes 56a to 56d, or the gas pipe 30 or the like is clogged, so that S3 and 4 are executed in the same manner.

このように、ダミーノズル９０が、圧力損失が正規のノズル３８における圧力損失より大きいものであるため、圧力センサ６４ｉの検出値Ｐｉに基づいて容易にダミーノズル装着状態であるか否かを検出することができる。また、ダミーノズル９０には貫通孔１００が設けられているため、凹部９６の内部の圧力が高くなるのを防止し、ダミーノズル装着状態であると検出された場合において、ダミーノズル９０を安全に外すことができる。 As described above, since the pressure loss of the dummy nozzle 90 is larger than the pressure loss of the regular nozzle 38, it is easily detected based on the detection value Pi of the pressure sensor 64i whether or not the dummy nozzle is in the mounted state. be able to. Further, since the dummy nozzle 90 is provided with the through hole 100, it is possible to prevent the pressure inside the recess 96 from increasing, and when it is detected that the dummy nozzle is mounted, the dummy nozzle 90 can be safely used. Can be removed.

以上、本実施例において、制御装置１５０の図１１のダミーノズル装着状態検出プログラムのＳ１，２を記憶する部分、実行する部分等によりダミーノズル装着状態検出部が構成され、Ｓ３を記憶する部分、実行する部分等により気体供給停止部が構成される。また、圧力センサ６４ａ〜６４ｄのうちの１つまたは２つ以上が請求項１に記載の圧力センサに対応すると考えることができる。例えば、チューブ５６ａ〜５６ｄ、ヘッド本体１８において詰まりがないことが確認されている場合には、圧力センサ６４ａ〜ｄのうちの１つの検出値に基づけば、ダミーノズル装着状態であるか否かを検出することができる。 As described above, in the present embodiment, the dummy nozzle mounting state detection unit is configured by the portion of the control device 150 that stores S1 and S2 of the dummy nozzle mounting state detection program of FIG. 11, the portion that executes the dummy nozzle mounting state detection program, and the like, and the portion that stores S3. The gas supply stop part is composed of the part to be executed. Further, it can be considered that one or two or more of the pressure sensors 64a to 64d correspond to the pressure sensor according to claim 1. For example, when it is confirmed that the tubes 56a to 56d and the head body 18 are not clogged, whether or not the dummy nozzle is mounted is determined based on the detection value of one of the pressure sensors 64a to 64a. Can be detected.

なお、ダミーノズルは、上記実施例におけるダミーノズル９０に限定されない。その一例を図１２に示す、図１２に示すダミーノズル１８０においては、ガス通路としての貫通孔１８２が、保持部９２に、凹部９６に開口するとともにプラズマヘッド６の外部に開口した状態で、すなわち、保持部９２の側面を貫通して、ｘ方向に伸びて形成される。貫通孔１８２は、ダミーノズル１８０がヘッド本体１８に装着された状態で、本体側プラズマ通路７０ａ、７０ｂ・・・と交差する方向に伸びる。 The dummy nozzle is not limited to the dummy nozzle 90 in the above embodiment. An example of this is shown in FIG. 12, in the dummy nozzle 180 shown in FIG. 12, in a state where the through hole 182 as a gas passage is opened in the recess 96 and the outside of the plasma head 6 in the holding portion 92, that is, , Penetrates the side surface of the holding portion 92 and extends in the x direction. The through hole 182 extends in a direction intersecting the main body side plasma passages 70a, 70b, ... With the dummy nozzle 180 mounted on the head main body 18.

また、ヘッド本体１８には、図１３，１４に示す正規のノズル２００(以下、ノズル２００と略称する場合がある)を装着することもできる。ノズル２００は、通路構造体２０４と、ノズル本体２０６とを含み、通路構造体２０４は通路形成部２０９とフランジ部２０８とを含む。フランジ部２０８には凹部２１０が形成され、通路形成部２０９には、凹部２１０に開口する１つのノズル側プラズマ通路２１２が形成される。通路構造体２０４は、図示しないボルトによりフランジ部２０８においてヘッド本体１８に取り付けられる。通路構造体２０４がヘッド本体１８に取り付けられた状態で、凹部２１０には、複数の本体側プラズマ通路７０ａ、７０ｂ・・・すべてが開口する。また、ノズル側プラズマ通路２１２の断面積は、本体側プラズマ通路７０ａ、７０ｂ・・・の断面積の合計より大きい。 Further, the head body 18 can be equipped with the regular nozzle 200 (hereinafter, may be abbreviated as nozzle 200) shown in FIGS. 13 and 14. The nozzle 200 includes a passage structure 204 and a nozzle body 206, and the passage structure 204 includes a passage forming portion 209 and a flange portion 208. A recess 210 is formed in the flange portion 208, and one nozzle-side plasma passage 212 that opens into the recess 210 is formed in the passage forming portion 209. The passage structure 204 is attached to the head body 18 at the flange portion 208 by bolts (not shown). With the passage structure 204 attached to the head main body 18, a plurality of main body side plasma passages 70a, 70b ... All are opened in the recess 210. Further, the cross-sectional area of the nozzle-side plasma passage 212 is larger than the total cross-sectional area of the main body-side plasma passages 70a, 70b, and so on.

ノズル本体２０６は、保持部２１４と突出部２１６とを含み、突出部２１６のｘ方向の幅（ｘ方向の長さ）はノズル３８のノズル本体７２の突出部７６の幅より狭い。保持部２１４には、凹部２２０が形成されるとともに、加熱ガス通路２２２が形成される。加熱ガス通路２２２は、連結部３４の加熱ガス供給通路３６と凹部２２０とに連通させられる。また、突出部２１６には、突出部２１６を長手方向に貫通する貫通孔２２４が凹部２２０に開口する状態で形成される。 The nozzle body 206 includes a holding portion 214 and a protruding portion 216, and the width (length in the x direction) of the protruding portion 216 in the x direction is narrower than the width of the protruding portion 76 of the nozzle body 72 of the nozzle 38. A recess 220 is formed in the holding portion 214, and a heating gas passage 222 is formed in the holding portion 214. The heating gas passage 222 is communicated with the heating gas supply passage 36 of the connecting portion 34 and the recess 220. Further, the protrusion 216 is formed with a through hole 224 that penetrates the protrusion 216 in the longitudinal direction so as to open in the recess 220.

ノズル本体２０６は、保持部２１４においてヘッド本体１８に複数のボルト８７によって取り付けられ、それによって、ノズル２００がヘッド本体１８に装着される。この状態で、凹部２２０の内部にフランジ部２０８が位置し、貫通孔２２４の内部に通路形成部２０９が位置する。これら凹部２２０、貫通孔２２４とフランジ部２０８、通路形成部２０９との間の隙間が加熱ガス出力通路２２６とされる。 The nozzle body 206 is attached to the head body 18 by a plurality of bolts 87 at the holding portion 214, whereby the nozzle 200 is attached to the head body 18. In this state, the flange portion 208 is located inside the recess 220, and the passage forming portion 209 is located inside the through hole 224. The gap between the recess 220, the through hole 224, the flange portion 208, and the passage forming portion 209 is defined as the heating gas output passage 226.

ヘッド本体１８には、ノズル２００の代わりにダミーノズル２３０を装着することができる。ダミーノズル２３０、すなわち、ダミーノズル本体２３０は、図１５，１６に示すように、保持部２３２と突出部２３４とを含む。ダミーノズル２３０の保持部２３２、突出部２３４の各々の寸法は、ノズル２００のノズル本体２０６の保持部２１４、突出部２１６の各々の寸法と同じである。保持部２３２には凹部２３６と加熱ガス通路２３８とが形成され、保持部２３２の突出部２３４に対応する位置から離れた部分には、ガス通路としての貫通孔２４０が、凹部２３６に開口するとともにプラズマヘッド６の外部に開口する状態、すなわち、ダミーノズル２３０の内部とプラズマヘッド６の外部とを連通する状態で、保持部２３２をｚ方向に貫通して設けられる。貫通孔２４０の断面積は、本体側プラズマ通路７０ａ、ｂ・・・の断面積の合計より小さく、加熱ガス通路２２６の断面積より小さく、正規のノズル２００のノズル側プラズマ通路２０８の断面積より小さい。また、ダミーノズル２３０における圧力損失は、正規のノズル２００における圧力損失より大きい。なお、突出部２３４の基端部には、環状のスリット２４２が形成される。 A dummy nozzle 230 can be attached to the head body 18 instead of the nozzle 200. The dummy nozzle 230, that is, the dummy nozzle main body 230 includes a holding portion 232 and a protruding portion 234 as shown in FIGS. 15 and 16. The dimensions of the holding portion 232 and the protruding portion 234 of the dummy nozzle 230 are the same as the dimensions of the holding portion 214 and the protruding portion 216 of the nozzle body 206 of the nozzle 200. A recess 236 and a heating gas passage 238 are formed in the holding portion 232, and a through hole 240 as a gas passage is opened in the recess 236 in a portion of the holding portion 232 away from the position corresponding to the protruding portion 234. The holding portion 232 is provided so as to penetrate in the z direction in a state of opening to the outside of the plasma head 6, that is, in a state of communicating the inside of the dummy nozzle 230 with the outside of the plasma head 6. The cross-sectional area of the through hole 240 is smaller than the total cross-sectional area of the main body side plasma passages 70a, b ..., Smaller than the cross-sectional area of the heating gas passage 226, and smaller than the cross-sectional area of the nozzle-side plasma passage 208 of the regular nozzle 200. small. Further, the pressure loss in the dummy nozzle 230 is larger than the pressure loss in the regular nozzle 200. An annular slit 242 is formed at the base end of the protrusion 234.

ダミーノズル２３０は、複数のボルト８７により保持部２３２においてヘッド本体１８に着脱可能に装着されるが、この状態で、凹部２３６に、本体側プラズマ通路７０ａ、７０ｂ・・・が開口するとともに、加熱ガス通路２３８を介してガス管３０が連通させられる。さらに、貫通孔２４０のダミーノズル本体２３０に対する相対位置は、正規のノズル２００におけるノズル側プラズマ通路２１２のノズル本体２０６に対する相対位置とは異なる。 The dummy nozzle 230 is detachably attached to the head main body 18 at the holding portion 232 by a plurality of bolts 87. In this state, the main body side plasma passages 70a, 70b ... Are opened in the recess 236 and heated. The gas pipe 30 is communicated with the gas passage 238. Further, the relative position of the through hole 240 with respect to the dummy nozzle main body 230 is different from the relative position of the nozzle-side plasma passage 212 with respect to the nozzle main body 206 in the regular nozzle 200.

本実施例においては、ダミーノズル２３０がヘッド本体１８に装着された状態で、開始スイッチ１５６のＯＮ操作が行われた場合であっても、圧力センサ６４ａ〜６４ｄの検出値Ｐｉの各々がそれぞれしきい値Ｐｔｈｉ´より高い場合に、ダミーノズル装着状態であると検出される。例えば、本実施例におけるしきい値Ｐｔｈｉ´は上記実施例におけるしきい値Ｐｔｈｉより小さい値とすることができる。ヘッド本体１８に正規のノズル２００が装着された場合のプラズマヘッド６における圧力損失は、正規のノズル３８が装着された場合のプラズマヘッド６における圧力損失より小さいからである。 In this embodiment, even when the start switch 156 is turned on while the dummy nozzle 230 is attached to the head body 18, each of the detected values Pi of the pressure sensors 64a to 64d is set. When it is higher than the threshold value Pthi', it is detected that the dummy nozzle is attached. For example, the threshold value Pthi'in this embodiment can be a value smaller than the threshold value Pthi in the above embodiment. This is because the pressure loss in the plasma head 6 when the regular nozzle 200 is mounted on the head body 18 is smaller than the pressure loss in the plasma head 6 when the regular nozzle 38 is mounted.

なお、上記実施例においては、正規のノズル毎にしきい値が変更される場合について説明したが、正規のノズル毎にしきい値を変更する必要は必ずしもなく、常に同じ値であってもよい。ダミーノズルにおける圧力損失が、ヘッド本体１８に装着可能な正規のノズルにおける圧力損失より十分に大きい場合には、しきい値は同じであっても差し支えないのである。 In the above embodiment, the case where the threshold value is changed for each regular nozzle has been described, but it is not always necessary to change the threshold value for each regular nozzle, and the value may always be the same. If the pressure loss in the dummy nozzle is sufficiently larger than the pressure loss in the regular nozzle that can be attached to the head body 18, the threshold value may be the same.

また、ダミーノズルには、貫通孔を２つ以上設けることもできる。 Further, the dummy nozzle may be provided with two or more through holes.

さらに、プラズマ生成部１２の構造は上記各実施例のそれに限定されない。例えば、加熱ガス供給部１４は不可欠ではない。また、プラズマ生成部１２に窒素ガスを供給することも不可欠ではなく、処理ガスのみが供給されるようにすることができる。その場合には、圧力センサ６４ｃの検出値に基づいてダミーノズル装着状態であるか否かが検出されることになる等、その他、本開示は、前記実施形態に記載の態様の他、当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した形態で実施することができる。 Further, the structure of the plasma generation unit 12 is not limited to that of each of the above embodiments. For example, the heating gas supply unit 14 is not indispensable. Further, it is not indispensable to supply nitrogen gas to the plasma generation unit 12, and only the processing gas can be supplied. In that case, whether or not the dummy nozzle is mounted will be detected based on the detection value of the pressure sensor 64c, and the present disclosure will be described in addition to the embodiments described in the above embodiment, as well as those skilled in the art. It can be implemented in a form with various changes and improvements based on the knowledge of.

１２：プラズマ生成部 ２４：放電空間 ２０，２２：電極部 ３８，２００：ノズル ３０：ガス管 ４４ｃ、４５ｃ：ガス通路 ５１，５２，５３：ガス通路 ６４:圧力センサ ７０：本体側プラズマ通路 ８９、２２６：加熱ガス出力通路 ８０，２１２：ノズル側プラズマ通路 ９０，１８０，２３０：ダミーノズル １００，１８２，２４０：貫通孔 １５０：制御装置 12: Plasma generator 24: Discharge space 20, 22: Electrode 38, 200: Nozzle 30: Gas pipe 44c, 45c: Gas passage 51, 52, 53: Gas passage 64: Pressure sensor 70: Main body side plasma passage 89, 226: Heating gas output passage 80,212: Nozzle side plasma passage 90,180,230: Dummy nozzle 100,182,240: Through hole 150: Control device

請求可能な開示Billable disclosure

（１）供給された処理ガスをプラズマ化して生成したプラズマをノズルから出力するプラズマヘッドと、
そのプラズマヘッド内の気体の圧力を検出する圧力センサと
を含むプラズマ装置であって、
前記ノズルが、前記プラズマヘッドのヘッド本体に着脱可能に装着され、前記ヘッド本体に、前記ノズルである正規のノズルに代わってダミーノズルが装着可能とされ、
当該プラズマ装置が、前記圧力センサによって検出された前記気体の圧力に基づいて、前記プラズマヘッドが、前記ヘッド本体に前記ダミーノズルが装着された状態であるダミーノズル装着状態にあるか否かを検出するダミーノズル装着状態検出部を含むプラズマ装置。
例えば、圧力センサによる検出値がしきい値より高い場合にプラズマヘッドがダミーノズル装着状態であると検出されるようにすることができる。なお、本項に記載のプラズマ装置のプラズマヘッドのヘッド本体には、(4)項ないし(8)項のいずれか１つに記載のダミーノズルが装着され得る。(1) A plasma head that outputs the plasma generated by converting the supplied processing gas into plasma and outputs it from the nozzle.
A plasma device including a pressure sensor that detects the pressure of a gas in the plasma head.
The nozzle is detachably attached to the head body of the plasma head, and a dummy nozzle can be attached to the head body in place of the regular nozzle which is the nozzle.
Based on the pressure of the gas detected by the pressure sensor, the plasma device detects whether or not the plasma head is in a dummy nozzle mounting state in which the dummy nozzle is mounted on the head body. A plasma device including a dummy nozzle mounting state detector.
For example, when the value detected by the pressure sensor is higher than the threshold value, it can be detected that the plasma head is in the dummy nozzle mounted state. The dummy nozzle according to any one of items (4) to (8) may be attached to the head body of the plasma head of the plasma device described in this section.

（２）前記プラズマヘッドが、一対の電極部を含み、前記一対の電極部の間の放電により前記処理ガスをプラズマ化するものであり、
前記ダミーノズル装着状態検出部が、前記プラズマヘッドに前記処理ガスが供給されるが、前記一対の電極部に電圧が印加されていない状態で、前記プラズマヘッドが前記ダミーノズル装着状態にあるか否かを検出するものである(1)項に記載のプラズマ装置。(2) The plasma head includes a pair of electrode portions, and the processing gas is turned into plasma by electric discharge between the pair of electrode portions.
Whether or not the plasma head is in the dummy nozzle mounting state in a state where the processing gas is supplied to the plasma head but no voltage is applied to the pair of electrode portions in the dummy nozzle mounting state detecting unit. The plasma apparatus according to item (1), which detects the temperature.

（３）当該プラズマ装置が、少なくとも前記プラズマヘッドに供給される前記処理ガスの流量を制御する流量調整機構と、前記ダミーノズル装着状態検出部によって前記プラズマヘッドが前記ダミーノズル装着状態にあると検出された場合に、前記流量調整機構に、前記プラズマヘッドへの前記処理ガスの供給を停止させる気体供給停止部とを含む(1)項または(2)項に記載のプラズマ装置。
プラズマヘッドには、処理ガスを含む複数種類の気体が供給される場合があり、その場合には、流量調整機構により、プラズマヘッドに供給される複数種類の気体の各々の流量が調整される。また、プラズマヘッドがダミーノズル装着状態である場合には、プラズマヘッドに供給される処理ガスを含む複数種類の気体すべての供給が停止されるようにすることができる。(3) The plasma device detects that the plasma head is in the dummy nozzle mounting state by at least a flow rate adjusting mechanism that controls the flow rate of the processing gas supplied to the plasma head and the dummy nozzle mounting state detecting unit. The plasma apparatus according to item (1) or (2), wherein the flow rate adjusting mechanism includes a gas supply stop section for stopping the supply of the processing gas to the plasma head.
A plurality of types of gases including a processing gas may be supplied to the plasma head, and in that case, the flow rate adjusting mechanism adjusts the flow rates of each of the plurality of types of gases supplied to the plasma head. Further, when the plasma head is equipped with a dummy nozzle, the supply of all of a plurality of types of gases including the processing gas supplied to the plasma head can be stopped.

（４）ヘッド本体と、そのヘッド本体に着脱可能なノズルとを含み、前記ノズルからプラズマを出力するプラズマヘッドの前記ヘッド本体に、前記ノズルである正規のノズルに代わって着脱可能なダミーノズルであって、
前記ヘッド本体に、少なくとも１つのプラズマ通路である本体側プラズマ通路が形成され、
当該ダミーノズルが、当該ダミーノズルの内部と前記プラズマヘッドの外部とを連通する少なくとも１つのガス通路を有し、
前記少なくとも１つのガス通路の断面積の合計が、前記少なくとも１つの本体側プラズマ通路の断面積の合計より小さいプラズマヘッド用ダミーノズル。
例えば、ヘッド本体に装着可能な複数の正規のノズルの各々におけるノズル側プラズマ通路の断面積の合計が、本体側プラズマ通路の断面積の合計以上である場合には、通常、ダミーノズルのガス通路の断面積の合計は、正規のノズルのノズル側プラズマ通路の断面積の合計より小さくなる。ガス通路は、ダミーノズルの内部と前記プラズマヘッドの外部とを連通する通路であり、加熱ガス出力通路は該当しない。なお、特許文献３の図１には、ダミーチップに形成されたワイヤ挿入穴の断面積が、トーチ本体のワイヤ挿入穴の断面積より小さいトーチが記載されている。しかし、ダミーチップの貫通孔はワイヤ挿入用の穴であり、ガス通路ではない。(4) A dummy nozzle that includes a head body and a nozzle that can be attached to and detached from the head body, and that can be attached to and detached from the head body of the plasma head that outputs plasma from the nozzle in place of a regular nozzle that is the nozzle. There,
A main body-side plasma passage, which is at least one plasma passage, is formed in the head main body.
The dummy nozzle has at least one gas passage communicating the inside of the dummy nozzle and the outside of the plasma head.
A dummy nozzle for a plasma head in which the total cross-sectional area of the at least one gas passage is smaller than the total cross-sectional area of the at least one main body-side plasma passage.
For example, when the total cross-sectional area of the nozzle-side plasma passages in each of the plurality of regular nozzles that can be attached to the head body is equal to or greater than the total cross-sectional area of the main body-side plasma passages, the gas passages of the dummy nozzles are usually used. The total cross-sectional area of is smaller than the total cross-sectional area of the nozzle-side plasma passage of a regular nozzle. The gas passage is a passage that communicates the inside of the dummy nozzle with the outside of the plasma head, and the heated gas output passage does not correspond to the passage. Note that FIG. 1 of Patent Document 3 describes a torch in which the cross-sectional area of the wire insertion hole formed in the dummy tip is smaller than the cross-sectional area of the wire insertion hole of the torch body. However, the through hole of the dummy tip is a hole for inserting a wire, not a gas passage.

（５）ヘッド本体と、そのヘッド本体に着脱可能なノズルとを備え、前記ノズルからプラズマを出力するプラズマヘッドの前記ヘッド本体に、前記ノズルである正規のノズルに代わって着脱可能なダミーノズルであって、
前記正規のノズルに、前記プラズマを出力する少なくとも１つのプラズマ通路であるノズル側プラズマ通路が形成され、
当該ダミーノズルが、当該ダミーノズルの内部と前記プラズマヘッドの外部とを連通する少なくとも１つの貫通孔を有し、
当該ダミーノズルの本体であるダミーノズル本体に対する前記少なくとも１つの貫通孔の各々の相対位置が、前記正規のノズルのノズル本体に対する前記少なくとも１つのノズル側プラズマ通路の各々の相対位置とは異なるプラズマヘッド用ダミーノズル。
ダミーノズルの貫通孔と正規のノズルのノズル側プラズマ通路とでは、形状（断面積、長さ等）、相対位置、圧力損失の大きさ等が異なる。加熱ガス出力通路は、貫通孔に該当しないものである。(5) A dummy nozzle that is provided with a head body and a nozzle that can be attached to and detached from the head body and that can be attached to and detached from the head body of the plasma head that outputs plasma from the nozzle in place of a regular nozzle that is the nozzle. There,
A nozzle-side plasma passage, which is at least one plasma passage for outputting the plasma, is formed in the regular nozzle.
The dummy nozzle has at least one through hole that communicates the inside of the dummy nozzle and the outside of the plasma head.
A plasma head in which the relative positions of each of the at least one through hole with respect to the dummy nozzle body, which is the main body of the dummy nozzle, are different from the relative positions of each of the at least one nozzle-side plasma passages with respect to the nozzle body of the regular nozzle. For dummy nozzle.
The shape (cross-sectional area, length, etc.), relative position, magnitude of pressure loss, etc. are different between the through hole of the dummy nozzle and the plasma passage on the nozzle side of the regular nozzle. The heating gas output passage does not correspond to a through hole.

（６）ヘッド本体と、そのヘッド本体に着脱可能なノズルとを備え、前記ノズルからプラズマを出力するプラズマヘッドの前記ヘッド本体に、前記ノズルである正規のノズルに代わって着脱可能なダミーノズルであって、
前記ヘッド本体に、少なくとも１つのプラズマ通路である本体側プラズマ通路が形成され、
当該ダミーノズルが、当該ダミーノズルの内部と前記プラズマヘッドの外部とを連通し、かつ、前記本体側プラズマ通路が伸びる方向と交差する方向に伸びた貫通孔を有するプラズマヘッド用ダミーノズル。
特許文献２，３には、トーチ本体に形成された本体側の通路と異なる向きに伸びた貫通孔を有するダミートーチについての記載はない。(6) A dummy nozzle that is provided with a head body and a nozzle that can be attached to and detached from the head body and that can be attached to and detached from the head body of the plasma head that outputs plasma from the nozzle in place of a regular nozzle that is the nozzle. There,
A main body-side plasma passage, which is at least one plasma passage, is formed in the head main body.
A dummy nozzle for a plasma head in which the dummy nozzle communicates the inside of the dummy nozzle with the outside of the plasma head and has a through hole extending in a direction intersecting the direction in which the plasma passage on the main body side extends.
Patent Documents 2 and 3 do not describe a dummy torch having a through hole extending in a direction different from the passage on the main body side formed in the torch main body.

（７）ヘッド本体と、そのヘッド本体に着脱可能なノズルとを備え、前記ノズルからプラズマを出力するプラズマヘッドの前記ヘッド本体に、前記ノズルである正規のノズルに代わって着脱可能なダミーノズルであって、
当該ダミーノズルの本体であるダミーノズル本体に脆弱部が設けられたプラズマヘッド用ダミーノズル。
特許文献２，３に、ダミートーチの本体に脆弱部を設ける旨の記載はない。なお、本開示のダミーノズルは、貫通孔を有していないものとすることができる。(7) A dummy nozzle that is provided with a head body and a nozzle that can be attached to and detached from the head body and that can be attached to and detached from the head body of the plasma head that outputs plasma from the nozzle in place of a regular nozzle that is the nozzle. There,
A dummy nozzle for a plasma head in which a fragile portion is provided in the dummy nozzle body which is the main body of the dummy nozzle.
Patent Documents 2 and 3 do not describe that a fragile portion is provided in the main body of the dummy torch. The dummy nozzle of the present disclosure may not have a through hole.

（８）ヘッド本体と、そのヘッド本体に着脱可能なノズルとを備え、前記ノズルからプラズマを出力するプラズマヘッドの前記ヘッド本体に、前記ノズルである正規のノズルに代わって着脱可能なダミーノズルであって、
当該ダミーノズルにおける圧力損失が、前記正規のノズルにおける圧力損失より大きいプラズマヘッド用ダミーノズル。
特許文献２，３に記載のダミーノズルに形成された貫通孔は、正規のノズルに形成された貫通孔と同じ形状を成す。そのため、ダミーノズルの貫通孔における圧力損失と正規のノズルの貫通孔における圧力損失とはほぼ同じであると推測される。(8) A dummy nozzle that is provided with a head body and a nozzle that can be attached to and detached from the head body and that can be attached to and detached from the head body of the plasma head that outputs plasma from the nozzle in place of a regular nozzle that is the nozzle. There,
A dummy nozzle for a plasma head in which the pressure loss in the dummy nozzle is larger than the pressure loss in the regular nozzle.
The through hole formed in the dummy nozzle described in Patent Documents 2 and 3 has the same shape as the through hole formed in the regular nozzle. Therefore, it is presumed that the pressure loss in the through hole of the dummy nozzle and the pressure loss in the through hole of the regular nozzle are almost the same.

Claims (8)

供給された処理ガスをプラズマ化して生成したプラズマをノズルから出力するプラズマヘッドと、
そのプラズマヘッド内の気体の圧力を検出する圧力センサと
を含むプラズマ装置であって、
前記ノズルが、前記プラズマヘッドのヘッド本体に着脱可能に装着され、前記ヘッド本体に、前記ノズルである正規のノズルに代わってダミーノズルが装着可能とされ、
当該プラズマ装置が、前記圧力センサによって検出された前記気体の圧力に基づいて、前記プラズマヘッドが、前記ヘッド本体に前記ダミーノズルが装着された状態であるダミーノズル装着状態にあるか否かを検出するダミーノズル装着状態検出部を含むプラズマ装置。A plasma head that outputs the plasma generated by converting the supplied processing gas into plasma from the nozzle,
A plasma device including a pressure sensor that detects the pressure of a gas in the plasma head.
The nozzle is detachably attached to the head body of the plasma head, and a dummy nozzle can be attached to the head body in place of the regular nozzle which is the nozzle.
Based on the pressure of the gas detected by the pressure sensor, the plasma device detects whether or not the plasma head is in a dummy nozzle mounting state in which the dummy nozzle is mounted on the head body. A plasma device including a dummy nozzle mounting state detector. 前記プラズマヘッドが、一対の電極部を含み、前記一対の電極部の間の放電により前記処理ガスをプラズマ化するものであり、
前記ダミーノズル装着状態検出部が、前記プラズマヘッドに前記処理ガスが供給され、前記一対の電極部に電圧が印加されていない状態で、前記プラズマヘッドが前記ダミーノズル装着状態にあるか否かを検出するものである請求項１に記載のプラズマ装置。The plasma head includes a pair of electrode portions, and the processing gas is turned into plasma by electric discharge between the pair of electrode portions.
The dummy nozzle mounting state detection unit determines whether or not the plasma head is in the dummy nozzle mounting state in a state where the processing gas is supplied to the plasma head and no voltage is applied to the pair of electrode portions. The plasma apparatus according to claim 1, which is to be detected. 当該プラズマ装置が、少なくとも前記プラズマヘッドに供給される前記処理ガスの流量を制御する流量調整機構と、前記ダミーノズル装着状態検出部によって前記プラズマヘッドが前記ダミーノズル装着状態にあると検出された場合に、前記流量調整機構に、前記プラズマヘッドへの前記処理ガスの供給を停止させる気体供給停止部とを含む請求項１または２に記載のプラズマ装置。 When the plasma device detects that the plasma head is in the dummy nozzle mounting state by at least a flow rate adjusting mechanism that controls the flow rate of the processing gas supplied to the plasma head and the dummy nozzle mounting state detecting unit. The plasma apparatus according to claim 1 or 2, wherein the flow rate adjusting mechanism includes a gas supply stop section for stopping the supply of the processing gas to the plasma head. ヘッド本体と、そのヘッド本体に着脱可能なノズルとを含み、前記ノズルからプラズマを出力するプラズマヘッドの前記ヘッド本体に、前記ノズルである正規のノズルに代わって着脱可能なダミーノズルであって、
前記ヘッド本体に、少なくとも１つのプラズマ通路である本体側プラズマ通路が形成され、
当該ダミーノズルが、当該ダミーノズルの内部と前記プラズマヘッドの外部とを連通する少なくとも１つのガス通路を有し、
前記少なくとも１つのガス通路の断面積の合計が、前記少なくとも１つの本体側プラズマ通路の断面積の合計より小さいプラズマヘッド用ダミーノズル。A dummy nozzle that includes a head body and a nozzle that can be attached to and detached from the head body, and that can be attached to and detached from the head body of the plasma head that outputs plasma from the nozzle in place of a regular nozzle that is the nozzle.
A main body-side plasma passage, which is at least one plasma passage, is formed in the head main body.
The dummy nozzle has at least one gas passage communicating the inside of the dummy nozzle and the outside of the plasma head.
A dummy nozzle for a plasma head in which the total cross-sectional area of the at least one gas passage is smaller than the total cross-sectional area of the at least one main body-side plasma passage. ヘッド本体と、そのヘッド本体に着脱可能なノズルとを備え、前記ノズルからプラズマを出力するプラズマヘッドの前記ヘッド本体に、前記ノズルである正規のノズルに代わって着脱可能なダミーノズルであって、
前記正規のノズルに、前記プラズマを出力する少なくとも１つのプラズマ通路であるノズル側プラズマ通路が形成され、
当該ダミーノズルが、当該ダミーノズルの内部と前記プラズマヘッドの外部とを連通する少なくとも１つの貫通孔を有し、
当該ダミーノズルの本体であるダミーノズル本体に対する前記少なくとも１つの貫通孔の各々の相対位置が、前記正規のノズルのノズル本体に対する前記少なくとも１つのノズル側プラズマ通路の各々の相対位置とは異なるプラズマヘッド用ダミーノズル。A dummy nozzle that is provided with a head body and a nozzle that can be attached to and detached from the head body, and that can be attached to and detached from the head body of a plasma head that outputs plasma from the nozzle in place of a regular nozzle that is the nozzle.
A nozzle-side plasma passage, which is at least one plasma passage for outputting the plasma, is formed in the regular nozzle.
The dummy nozzle has at least one through hole that communicates the inside of the dummy nozzle and the outside of the plasma head.
A plasma head in which the relative positions of each of the at least one through hole with respect to the dummy nozzle body, which is the main body of the dummy nozzle, are different from the relative positions of each of the at least one nozzle-side plasma passages with respect to the nozzle body of the regular nozzle. For dummy nozzle. ヘッド本体と、そのヘッド本体に着脱可能なノズルとを備え、前記ノズルからプラズマを出力するプラズマヘッドの前記ヘッド本体に、前記ノズルである正規のノズルに代わって着脱可能なダミーノズルであって、
前記ヘッド本体に、少なくとも１つのプラズマ通路である本体側プラズマ通路が形成され、
当該ダミーノズルが、当該ダミーノズルの内部と前記プラズマヘッドの外部とを連通し、かつ、前記本体側プラズマ通路が伸びる方向と交差する方向に伸びた貫通孔を有するプラズマヘッド用ダミーノズル。A dummy nozzle that is provided with a head body and a nozzle that can be attached to and detached from the head body, and that can be attached to and detached from the head body of a plasma head that outputs plasma from the nozzle in place of a regular nozzle that is the nozzle.
A main body-side plasma passage, which is at least one plasma passage, is formed in the head main body.
A dummy nozzle for a plasma head in which the dummy nozzle communicates the inside of the dummy nozzle with the outside of the plasma head and has a through hole extending in a direction intersecting the direction in which the plasma passage on the main body side extends. ヘッド本体と、そのヘッド本体に着脱可能なノズルとを備え、前記ノズルからプラズマを出力するプラズマヘッドの前記ヘッド本体に、前記ノズルである正規のノズルに代わって着脱可能なダミーノズルであって、
当該ダミーノズルの本体であるダミーノズル本体に脆弱部が設けられたプラズマヘッド用ダミーノズル。A dummy nozzle that is provided with a head body and a nozzle that can be attached to and detached from the head body, and that can be attached to and detached from the head body of a plasma head that outputs plasma from the nozzle in place of a regular nozzle that is the nozzle.
A dummy nozzle for a plasma head in which a fragile portion is provided in the dummy nozzle body which is the main body of the dummy nozzle. ヘッド本体と、そのヘッド本体に着脱可能なノズルとを備え、前記ノズルからプラズマを出力するプラズマヘッドの前記ヘッド本体に、前記ノズルである正規のノズルに代わって着脱可能なダミーノズルであって、
当該ダミーノズルにおける圧力損失が、前記正規のノズルにおける圧力損失より大きいプラズマヘッド用ダミーノズル。A dummy nozzle that is provided with a head body and a nozzle that can be attached to and detached from the head body, and that can be attached to and detached from the head body of a plasma head that outputs plasma from the nozzle in place of a regular nozzle that is the nozzle.
A dummy nozzle for a plasma head in which the pressure loss in the dummy nozzle is larger than the pressure loss in the regular nozzle.
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