JPWO2019112002A1 - Composite magnetic powder, magnetic resin composition, magnetic resin paste, magnetic resin powder, magnetic resin slurry, magnetic resin sheet, magnetic resin sheet with metal foil, magnetic prepreg and inductor parts - Google Patents

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Abstract

本発明の課題は、高周波での磁性材料のQ値を高くすることができる複合磁性粉末を提供することである。本発明に係る複合磁性粉末は、第一の粉末を含む磁性粉末と、第二の粉末を含む非磁性粉末とを含有する。第一の粉末は、合金鉄粉末からなる。第二の粉末は、アルミナ粉末及びシリカ粉末の少なくとも1種からなる。第一の粉末の平均粒径は、5μm未満であり、かつ第二の粉末の平均粒径の3倍以上30倍以下である。An object of the present invention is to provide a composite magnetic powder capable of increasing the Q value of a magnetic material at a high frequency. The composite magnetic powder according to the present invention contains a magnetic powder containing the first powder and a non-magnetic powder containing the second powder. The first powder consists of ferroalloy powder. The second powder comprises at least one of alumina powder and silica powder. The average particle size of the first powder is less than 5 μm, and is 3 times or more and 30 times or less the average particle size of the second powder.

Description

本発明は、複合磁性粉末、磁性樹脂組成物、磁性樹脂ペースト、磁性樹脂粉末、磁性樹脂スラリー、磁性樹脂シート、金属箔付磁性樹脂シート、磁性プリプレグ及びインダクタ部品に関する。 The present invention relates to a composite magnetic powder, a magnetic resin composition, a magnetic resin paste, a magnetic resin powder, a magnetic resin slurry, a magnetic resin sheet, a magnetic resin sheet with a metal leaf, a magnetic prepreg, and an inductor component.

近年、スマートフォンなどの各種情報通信機器の小型多機能化や演算処理速度の高速化に伴って駆動周波数が高周波化している。このような情報通信機器に用いられる高周波回路には、インダクタ部品が使用されている。 In recent years, the drive frequency has become higher due to the miniaturization and multifunctionality of various information and communication devices such as smartphones and the increase in arithmetic processing speed. Inductor components are used in high-frequency circuits used in such information and communication equipment.

インダクタ部品として、特許文献1には、コイル状配線と、このコイル状配線を被覆する、樹脂シートの硬化物(以下、磁性材料)とを備えるインダクタ部品が開示されている。この樹脂シートは、エポキシ樹脂と、フェノキシ樹脂と、線状エラストマーと、硬化剤と、無機フィラーとを含有する。無機フィラーの含有量は、樹脂シート全量に対して80〜98質量%である。線状エラストマーの含有量は、線状エラストマーを除いた樹脂シートの構成成分の合計100質量部に対して、0.01〜0.5質量部である。 As an inductor component, Patent Document 1 discloses an inductor component including a coiled wiring and a cured product (hereinafter, magnetic material) of a resin sheet that covers the coiled wiring. This resin sheet contains an epoxy resin, a phenoxy resin, a linear elastomer, a curing agent, and an inorganic filler. The content of the inorganic filler is 80 to 98% by mass with respect to the total amount of the resin sheet. The content of the linear elastomer is 0.01 to 0.5 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total components of the resin sheet excluding the linear elastomer.

しかしながら、特許文献1に記載のような、従来の磁性材料は、磁性材料の損失の少なさを示すQ値(quality factor、以下、磁性材料のQ値という)が高周波帯(例えば、100MHz)で低く、高周波帯で高損失である。このような従来の磁性材料を用いたインダクタ部品は、高周波帯でのインダクタの抵抗成分が大きく、高周波帯でのインダクタのQ値(quality factor、Q=2πfL/R、Lはインダクタンス、Rはインダクタの抵抗成分、fは周波数)が低い。そのため、例えば、従来の磁性材料を、高周波帯のノイズを制御するインダクタ部品の材料に使用することができないおそれがあった。 However, in the conventional magnetic material as described in Patent Document 1, the Q value (quality factor, hereinafter referred to as the Q value of the magnetic material) indicating the small loss of the magnetic material is in the high frequency band (for example, 100 MHz). It is low and has high loss in the high frequency band. Inductor components using such conventional magnetic materials have a large resistance component of the inductor in the high frequency band, and the Q value (quality factor, Q = 2πfL / R, L is inductance, R is the inductor) of the inductor in the high frequency band. Resistance component, f is frequency) is low. Therefore, for example, there is a possibility that a conventional magnetic material cannot be used as a material for an inductor component that controls noise in a high frequency band.

特許第5881027号公報Japanese Patent No. 5881027

本発明の目的は、高周波帯での磁性材料のQ値を高くすることができる複合磁性粉末、磁性樹脂組成物、磁性樹脂ペースト、磁性樹脂粉末、磁性樹脂スラリー、磁性樹脂シート、金属箔付磁性樹脂シート、磁性プリプレグ及びインダクタ部品を提供することにある。 An object of the present invention is a composite magnetic powder, a magnetic resin composition, a magnetic resin paste, a magnetic resin powder, a magnetic resin slurry, a magnetic resin sheet, and magnetism with a metal foil, which can increase the Q value of a magnetic material in a high frequency band. To provide resin sheets, magnetic prepregs and inductor components.

本発明に係る一態様の複合磁性粉末は、第一の粉末を含む磁性粉末と、第二の粉末を含む非磁性粉末とを含有し、前記第一の粉末が、合金鉄粉末からなり、前記第二の粉末が、アルミナ粉末及びシリカ粉末の少なくとも1種からなり、前記第一の粉末の平均粒径が、5μm未満であり、かつ前記第二の粉末の平均粒径の3倍以上30倍以下である。 The composite magnetic powder of one aspect according to the present invention contains a magnetic powder containing a first powder and a non-magnetic powder containing a second powder, wherein the first powder is made of an alloy iron powder. The second powder is composed of at least one of alumina powder and silica powder, and the average particle size of the first powder is less than 5 μm, and is 3 times or more and 30 times the average particle size of the second powder. It is as follows.

本発明に係る一態様の磁性樹脂組成物は、前記複合磁性粉末と、硬化性樹脂及び熱可塑性樹脂からなる群から選択される少なくとも一種の樹脂と、を含有する。 The magnetic resin composition of one aspect according to the present invention contains the composite magnetic powder and at least one resin selected from the group consisting of curable resins and thermoplastic resins.

本発明に係る一態様の磁性樹脂ペーストは、前記磁性樹脂組成物が、ペースト状である。 In the magnetic resin paste of one aspect according to the present invention, the magnetic resin composition is in the form of a paste.

本発明に係る一態様の磁性樹脂粉末は、前記磁性樹脂組成物が、粉状である。 In the magnetic resin powder of one aspect according to the present invention, the magnetic resin composition is in the form of powder.

本発明に係る一態様の磁性樹脂スラリーは、前記磁性樹脂組成物が、溶剤をさらに含有し、スラリー状である。 In the magnetic resin slurry of one aspect according to the present invention, the magnetic resin composition further contains a solvent and is in the form of a slurry.

本発明に係る一態様の磁性樹脂シートは、前記磁性樹脂組成物が、シート状である。 In the magnetic resin sheet of one aspect according to the present invention, the magnetic resin composition is in the form of a sheet.

本発明に係る一態様の金属箔付磁性樹脂シートは、前記磁性樹脂シートと、前記磁性樹脂シートの少なくとも一方の面に積層された、厚みが5μm以下の金属箔とを備える。 The magnetic resin sheet with a metal foil according to the present invention includes the magnetic resin sheet and a metal foil having a thickness of 5 μm or less laminated on at least one surface of the magnetic resin sheet.

本発明に係る一態様の磁性プリプレグは、繊維質基材と、前記磁性樹脂組成物又は前記磁性樹脂組成物の半硬化物と、を備える。 One aspect of the magnetic prepreg according to the present invention includes a fibrous base material and the magnetic resin composition or a semi-cured product of the magnetic resin composition.

本発明に係る一態様のインダクタ部品は、コイル状配線と、コイル状配線を被覆する絶縁層とを備え、前記絶縁層が、前記磁性樹脂組成物の硬化物又は固化物で成形されている。 The inductor component of one aspect according to the present invention includes a coiled wiring and an insulating layer that covers the coiled wiring, and the insulating layer is formed of a cured product or a solidified product of the magnetic resin composition.

図1Aは、本発明の複合磁性粉末において、第一の粉末を構成する磁性粒子と、第二の粉末を構成する非磁性粒子との配置関係を説明するための概略断面図である。図1Bは、複数の大径磁性粒子同士が近接して形成された見かけ上ひと塊の大きな粒子を示す概略断面図である。図1Cは、第一の粉末の平均粒径が第二の粉末の平均粒径の3倍未満である場合の、磁性粒子と非磁性粒子との配置関係を説明するための概略断面図である。図1Dは、第一の粉末の平均粒径が第二の粉末の平均粒径の30倍超である場合の、磁性粒子と非磁性粒子との配置関係を説明するための概略断面図である。FIG. 1A is a schematic cross-sectional view for explaining the arrangement relationship between the magnetic particles constituting the first powder and the non-magnetic particles constituting the second powder in the composite magnetic powder of the present invention. FIG. 1B is a schematic cross-sectional view showing an apparently large mass of large particles formed by a plurality of large-diameter magnetic particles in close proximity to each other. FIG. 1C is a schematic cross-sectional view for explaining the arrangement relationship between magnetic particles and non-magnetic particles when the average particle size of the first powder is less than three times the average particle size of the second powder. .. FIG. 1D is a schematic cross-sectional view for explaining the arrangement relationship between magnetic particles and non-magnetic particles when the average particle size of the first powder is more than 30 times the average particle size of the second powder. .. 図2Aは、本発明の実施形態に係る磁性樹脂シートの製造方法の一部を説明するための概略断面図である。図2Bは、本発明の実施形態に係る磁性樹脂シートの製造方法の一部を説明するための概略断面図である。図2Cは、本発明の実施形態に係る磁性樹脂シートの製造方法の一部を説明するための概略断面図である。FIG. 2A is a schematic cross-sectional view for explaining a part of the method for manufacturing a magnetic resin sheet according to an embodiment of the present invention. FIG. 2B is a schematic cross-sectional view for explaining a part of the method for manufacturing a magnetic resin sheet according to an embodiment of the present invention. FIG. 2C is a schematic cross-sectional view for explaining a part of the method for manufacturing a magnetic resin sheet according to an embodiment of the present invention. 図3は、グリニス値の測定方法を説明するための概略図である。FIG. 3 is a schematic view for explaining a method of measuring the greenis value. 図4は、本発明の一実施形態に係る金属箔付磁性樹脂シートの概略断面図である。FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of a magnetic resin sheet with a metal foil according to an embodiment of the present invention. 図5は、本発明の一実施形態に係る磁性プリプレグの概略断面図である。FIG. 5 is a schematic cross-sectional view of a magnetic prepreg according to an embodiment of the present invention.

以下、本発明の実施の形態を説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described.

本実施形態は、複合磁性粉末に関し、特に磁性材料として好適に用いられる複合磁性粉末に関する。 The present embodiment relates to a composite magnetic powder, particularly to a composite magnetic powder preferably used as a magnetic material.

[複合磁性粉末]
本実施形態に係る複合磁性粉末(以下、複合磁性粉末)は、磁性粉末と、非磁性粉末とを含有する。磁性粉末は、第一の粉末を含む。第一の粉末は、合金鉄粉末からなる。非磁性粉末は、第二の粉末を含む。第二の粉末は、アルミナ粉末及びシリカ粉末の少なくとも1種からなる。第一の粉末の平均粒径は、5μm未満であり、かつ第二の粉末の平均粒径の3倍以上30倍以下である。
[Composite magnetic powder]
The composite magnetic powder according to the present embodiment (hereinafter, composite magnetic powder) contains a magnetic powder and a non-magnetic powder. The magnetic powder includes the first powder. The first powder consists of ferroalloy powder. The non-magnetic powder includes a second powder. The second powder comprises at least one of alumina powder and silica powder. The average particle size of the first powder is less than 5 μm, and is 3 times or more and 30 times or less the average particle size of the second powder.

磁性粉末とは、磁性粒子の集合体である。非磁性粉末とは、非磁性粒子の集合体である。以下、磁性粒子のうち、第一の粉末を構成する磁性粒子を大径磁性粒子10といい、非磁性粒子のうち、第二の粉末を構成する非磁性粒子を小径非磁性粒子20という。磁性粒子とは、外部磁場により磁性を帯びることが可能な物質(磁性体)で構成される粒子であり、代表的な物質としては、酸化鉄、酸化クロム、コバルト、フェライト等がある。非磁性粒子とは、前記磁性体に含まれない物質(外部磁場を印加しても磁性を帯びない)の粒子である。本明細書において「平均粒径」とは、原則、レーザ散乱・回折法に基づく粒度分布測定装置に基づいて測定した粒度分布における積算値50%での粒径、すなわち50%体積平均粒子径(D50)を意味する。なお、平均粒径が50nmなどの微粒である場合、本明細書において「平均粒径」とは、走査型電子顕微鏡(SEM)観察によって測定した粒径の平均値を意味する。A magnetic powder is an aggregate of magnetic particles. The non-magnetic powder is an aggregate of non-magnetic particles. Hereinafter, among the magnetic particles, the magnetic particles constituting the first powder are referred to as large-diameter magnetic particles 10, and among the non-magnetic particles, the non-magnetic particles constituting the second powder are referred to as small-diameter non-magnetic particles 20. Magnetic particles are particles composed of a substance (magnetic substance) that can be magnetized by an external magnetic field, and typical substances include iron oxide, chromium oxide, cobalt, and ferrite. Non-magnetic particles are particles of a substance that is not contained in the magnetic material (it does not become magnetic even when an external magnetic field is applied). In the present specification, the "average particle size" is, in principle, the particle size at an integrated value of 50% in the particle size distribution measured based on the particle size distribution measuring device based on the laser scattering / diffraction method, that is, the 50% volume average particle size ( It means D 50 ). When the average particle size is fine particles such as 50 nm, the “average particle size” in the present specification means the average value of the particle size measured by scanning electron microscope (SEM) observation.

複合磁性粉末は、高周波帯のノイズを制御するインダクタ部品(以下、高周波インダクタ部品)の磁性材料の原料として好適に用いられる。高周波インダクタ部品は、磁性材料のQ値によって、その性能が評価され得る。磁性材料のQ値が高いほど磁性材料の損失が少なく、インダクタの抵抗成分Rが小さくなるため、インダクタのQ値は高くなり、高周波インダクタ部品の性能が高い。高周波インダクタ部品として機能するには、100MHzでの磁性材料のQ値が20以上である必要があり、高周波インダクタ部品の高性能化の点で33以上であることが好ましい。高周波帯とは、数10MHz以上数GHz以下をいう。磁性材料とは、後述する第一の磁性樹脂組成物の硬化物、又は後述する第二の磁性樹脂組成物の固化物を指す。磁性材料のQ値は、実施例に記載の方法(RFインピーダンスアナライザ)と同様にして求めることができる。 The composite magnetic powder is suitably used as a raw material for a magnetic material of an inductor component (hereinafter, high frequency inductor component) that controls noise in the high frequency band. The performance of high-frequency inductor components can be evaluated by the Q value of the magnetic material. The higher the Q value of the magnetic material, the smaller the loss of the magnetic material and the smaller the resistance component R of the inductor. Therefore, the Q value of the inductor is high and the performance of the high frequency inductor component is high. In order to function as a high frequency inductor component, the Q value of the magnetic material at 100 MHz needs to be 20 or more, and is preferably 33 or more in terms of improving the performance of the high frequency inductor component. The high frequency band means several tens of MHz or more and several GHz or less. The magnetic material refers to a cured product of the first magnetic resin composition described later or a solidified product of the second magnetic resin composition described later. The Q value of the magnetic material can be obtained in the same manner as the method described in the examples (RF impedance analyzer).

磁性材料のQ値は、複素透磁率(μ=μ’−i×μ”、iは虚数単位)の実数部(μ’)及び虚数部(μ”)で表される損失係数(tanδ=μ”/μ’)の逆数(1/tanδ=μ’/μ”)である。実数部(μ’)及び虚数部(μ”)は、周波数に依存するため、磁性材料のQ値も周波数に依存する。具体的に、ある周波数以上になると、虚数部(μ”)が急激に増大する一方で、実数部(μ’)が減少する傾向にある。100MHzでの磁性材料のQ値を高くするには、磁性材料のQ値=μ’/μ”の式から明らかなように、100MHzにおいて、実数部(μ’)が高く、虚数部(μ”)が低いことが好ましい。100MHzでの実数部(μ’)は、高周波インダクタ部品を設計する上で6.0以上であることが好ましい。 The Q value of a magnetic material is the loss coefficient (tan δ = μ) represented by the real part (μ') and the imaginary part (μ ”) of the complex magnetic permeability (μ = μ'−i × μ”, i is an imaginary unit). It is the reciprocal of "/ μ') (1 / tan δ = μ'/ μ"). Since the real part (μ') and the imaginary part (μ ″) depend on the frequency, the Q value of the magnetic material also depends on the frequency. Specifically, when the frequency exceeds a certain level, the imaginary part (μ ”) suddenly increases. On the other hand, the real part (μ') tends to decrease. In order to increase the Q value of the magnetic material at 100 MHz, the real part (μ') is high and the imaginary part (μ” at 100 MHz, as is clear from the equation of Q value of the magnetic material = μ'/ μ ". ) Is preferably low. The real part (μ') at 100 MHz is preferably 6.0 or more in designing a high frequency inductor component.

本実施形態では、第一の粉末の平均粒径は、第二の粉末の平均粒径の3倍以上30倍以下である。これにより、100MHzにおいて、虚数部(μ”)が低く、磁性材料のQ値を20以上とすることができる。これは、隣接する大径磁性粒子10,10同士が凝集しにくいこと、隣接する大径磁性粒子10,10同士の電気的絶縁性が確保されていることが主要因であると推測される。具体的には、処理前の磁性材料において、図1Aに示すように、大径磁性粒子10の1粒子1粒子の周囲に複数の小径非磁性粒子20が均一に配置されて、大径磁性粒子10の表面に小径非磁性粒子20からなる層21が形成されやすい。これにより、各大径磁性粒子10はそれぞれ独立した粒子として振る舞いやすくなり、隣接する大径磁性粒子10,10同士の間隔Iを適正化することができる。言い換えると、図1Bに示すように、接近する複数の大径磁性粒子10,10同士が見かけ上ひと塊の大きな粒子11として振る舞いにくくなる。さらに、第二の粉末はアルミナ粉末及びシリカ粉末の少なくとも1種からなるため、層21は絶縁性を有する。そのため、隣接する大径磁性粒子10同士にまたがって流れる粒子間渦電流が発生しにくく、渦電流損をより低減することができる。これらにより、100MHzでの虚数部(μ”)は低くなると推測される。処理前の磁性材料とは、磁性材料が硬化又は固化する前の状態であって、硬化前の第一の磁性樹脂組成物、後述する磁性樹脂ペースト、後述する磁性樹脂粉末、後述する樹脂磁性スラリー、後述する磁性樹脂シート、固化前の第二の磁性樹脂組成物などを含む。 In the present embodiment, the average particle size of the first powder is 3 times or more and 30 times or less the average particle size of the second powder. As a result, at 100 MHz, the imaginary part (μ ") is low, and the Q value of the magnetic material can be set to 20 or more. This is because the adjacent large-diameter magnetic particles 10 and 10 are less likely to aggregate and are adjacent to each other. It is presumed that the main factor is that the electrical insulation between the large-diameter magnetic particles 10 and 10 is ensured. Specifically, in the magnetic material before treatment, as shown in FIG. 1A, the large diameter A plurality of small-diameter non-magnetic particles 20 are uniformly arranged around one particle of the magnetic particles 10, and a layer 21 composed of the small-diameter non-magnetic particles 20 is likely to be formed on the surface of the large-diameter magnetic particles 10. Each of the large-diameter magnetic particles 10 tends to behave as an independent particle, and the distance I between adjacent large-diameter magnetic particles 10 and 10 can be optimized. In other words, as shown in FIG. The large-diameter magnetic particles 10 and 10 of the above are apparently difficult to behave as a large particle 11 in a mass. Further, since the second powder is composed of at least one of alumina powder and silica powder, the layer 21 has an insulating property. Therefore, the interparticle vortex current that flows across the adjacent large-diameter magnetic particles 10 is less likely to be generated, and the vortex current loss can be further reduced. As a result, the imaginary part (μ ”) at 100 MHz becomes low. Guess. The magnetic material before treatment is a state before the magnetic material is cured or solidified, and is a first magnetic resin composition before curing, a magnetic resin paste described later, a magnetic resin powder described later, and a resin magnetic slurry described later. , A magnetic resin sheet described later, a second magnetic resin composition before solidification, and the like.

複合磁性粉末は、第一の粉末及び第二の粉末を含有する混合粉末であれば、第一の粉末及び第二の粉末とは異なる粉末をさらに含有してもよい。すなわち、複合磁性粉末の体積換算で計測した粒径分布において、その存在頻度を表すピークが少なくとも2つ存在すればよく、ピークが3つ以上あってもよい。 The composite magnetic powder may further contain a powder different from the first powder and the second powder as long as it is a mixed powder containing the first powder and the second powder. That is, in the particle size distribution measured in terms of volume of the composite magnetic powder, it is sufficient that there are at least two peaks representing the frequency of existence thereof, and there may be three or more peaks.

複合磁性粉末を構成する磁性粒子及び非磁性粒子の形状は、特に限定されず、例えば、球状、楕円体状、扁平状、破砕状などが挙げられる。各磁性粒子及び非磁性粒子の形状は、すべて同一であっても、各々異なっていてもよい。なかでも、各磁性粒子及び非磁性粒子の形状は、すべて球状であることが好ましい。各磁性粒子及び非磁性粒子の形状がすべて球状であれば、磁性材料に対する複合磁性粉末の充填量を高くすることができる。また、各磁性粒子及び非磁性粒子の形状がすべて球状である処理前の磁性材料と、各磁性粒子及び非磁性粒子の形状がすべて球状でない処理前の磁性材料とで、処理前の磁性材料に対する複合磁性粉末の充填量が同じである場合、前者の方が処理前の磁性材料の流動性に優れる。さらに、100MHzでの磁性材料のQ値をより高めることができる。 The shapes of the magnetic particles and the non-magnetic particles constituting the composite magnetic powder are not particularly limited, and examples thereof include a spherical shape, an ellipsoidal shape, a flat shape, and a crushed shape. The shapes of the magnetic particles and the non-magnetic particles may all be the same or different. Above all, it is preferable that the shapes of the magnetic particles and the non-magnetic particles are all spherical. When the shapes of the magnetic particles and the non-magnetic particles are all spherical, the filling amount of the composite magnetic powder with respect to the magnetic material can be increased. Further, the magnetic material before the treatment in which the shapes of the magnetic particles and the non-magnetic particles are all spherical and the magnetic material before the treatment in which the shapes of the magnetic particles and the non-magnetic particles are not all spherical are used with respect to the magnetic material before the treatment. When the filling amount of the composite magnetic powder is the same, the former is superior in the fluidity of the magnetic material before the treatment. Further, the Q value of the magnetic material at 100 MHz can be further increased.

球状には、平均球形度が0.7以上であるものが含まれる。平均球形度は、次のようにして求めることができる。各磁性粒子のそれぞれの粒子像を走査型電子顕微鏡などで撮影し、各粒子像を画像解析装置などに取り込み、写真から各々の磁性粒子の投影面積(S)及び周囲長(L)を計測する。そして、計測結果を以下の式に代入して球形度を算出する。
球形度=4πS/L
The spheres include those having an average sphericity of 0.7 or more. The average sphericity can be obtained as follows. Each particle image of each magnetic particle is photographed with a scanning electron microscope or the like, each particle image is taken into an image analyzer or the like, and the projected area (S) and the peripheral length (L) of each magnetic particle are measured from the photograph. .. Then, the measurement result is substituted into the following formula to calculate the sphericity.
Sphericity = 4πS / L 2

このようにして、磁性粒子のそれぞれについて、ある一定個数(好ましくは200個以上)の粒子の球形度を求め、この平均値を平均球形度とする。 In this way, for each of the magnetic particles, the sphericity of a certain number (preferably 200 or more) of particles is obtained, and this average value is taken as the average sphericity.

{磁性粉末}
複合磁性粉末は磁性粉末を含有する。磁性粉末は、第一の粉末を含み、他の磁性粉末をさらに含んでもよい。
{Magnetic powder}
The composite magnetic powder contains a magnetic powder. The magnetic powder contains the first powder and may further contain other magnetic powders.

磁性粉末は絶縁処理されていることが好ましい。すなわち、各磁性粒子はその表面が電気絶縁性皮膜で覆われていることが好ましい。これにより、100MHzにおいて、虚数部(μ”)をより低く、磁性材料のQ値をより高くすることができる。さらに、磁性材料自体の電気絶縁信頼性を向上させることができる。100MHzでの虚数部(μ”)をより低くできるのは、主に、絶縁被膜によって、隣接する磁性粒子同士にまたがって流れる粒子間渦電流が発生しにくく、渦電流損をより低減することができるためと推測される。 The magnetic powder is preferably insulated. That is, it is preferable that the surface of each magnetic particle is covered with an electrically insulating film. As a result, the imaginary part (μ ") can be made lower and the Q value of the magnetic material can be made higher at 100 MHz. Further, the electrical insulation reliability of the magnetic material itself can be improved. The imaginary number at 100 MHz. It is presumed that the reason why the part (μ ”) can be made lower is that the insulating film makes it difficult for interparticle vortex currents that flow across adjacent magnetic particles to be generated, and the vortex current loss can be further reduced. Will be done.

絶縁処理の方法としては、例えば、磁性粉末と電気絶縁性フィラーを含む水溶液とを混合して乾燥させる方法などが挙げられる。電気絶縁性フィラーの材質としては、例えば、リン酸、ホウ酸、酸化マグネシウムなどを用いることできる。この電気絶縁性皮膜は、小径非磁性粒子20からなる層21とは異なるものである。磁性粒子自体が電気絶縁性を有する場合、電気絶縁性皮膜で覆われていなくともよい。 Examples of the method of insulation treatment include a method of mixing a magnetic powder and an aqueous solution containing an electrically insulating filler and drying them. As the material of the electrically insulating filler, for example, phosphoric acid, boric acid, magnesium oxide and the like can be used. This electrically insulating film is different from the layer 21 made of the small-diameter non-magnetic particles 20. When the magnetic particles themselves have electrical insulating properties, they do not have to be covered with the electrical insulating film.

磁性粉末の混合割合は、非磁性粉末1質量部に対して、好ましくは4.0質量部以上19.0質量部以下、より好ましくは4.0質量部以上5.7質量部以下であり、さらに好ましくは4.3質量部以上5.2質量部以下である。磁性粉末の混合割合が上記範囲内であれば、100MHzでの磁性材料のQ値と、処理前の磁性材料の流動性とのバランスをとることができる。これは、図1Aに示すように、大径磁性粒子10の周囲に配置される非磁性粒子20からなる層21の厚みをより薄くでき、間隔Iがより適正化しやすくなるためと推測される。 The mixing ratio of the magnetic powder is preferably 4.0 parts by mass or more and 19.0 parts by mass or less, and more preferably 4.0 parts by mass or more and 5.7 parts by mass or less with respect to 1 part by mass of the non-magnetic powder. More preferably, it is 4.3 parts by mass or more and 5.2 parts by mass or less. When the mixing ratio of the magnetic powder is within the above range, the Q value of the magnetic material at 100 MHz and the fluidity of the magnetic material before the treatment can be balanced. It is presumed that this is because, as shown in FIG. 1A, the thickness of the layer 21 composed of the non-magnetic particles 20 arranged around the large-diameter magnetic particles 10 can be made thinner, and the interval I can be more optimized.

(第一の粉末)
第一の粉末は、合金鉄粉末からなる。合金鉄粉末は、合金鉄粒子の集合体である。合金鉄粒子の材質は、鉄を主体とした合金である。合金鉄粒子の材質としては、例えば、センダスト(Sendust)、パーメンジュール(permendur)、ケイ素鋼(silicon steel)、パーマロイ(permalloy)、Fe−Si−Cr合金などが挙げられる。これらは高透磁率の合金鉄である。
(First powder)
The first powder consists of ferroalloy powder. Ferroalloy powder is an aggregate of ferroalloy particles. The material of the ferroalloy particles is an alloy mainly composed of iron. Examples of the material of the alloy iron particles include Sendust, permendur, silicon steel, permalloy, Fe-Si—Cr alloy and the like. These are ferroalloys with high magnetic permeability.

センダストは、鉄・ケイ素・アルミニウムからなる合金(Fe−Si−Al合金)である。センダストは、飽和磁束密度、透磁率が高く、鉄損が小さく、耐摩耗性に優れている。センダストの組成の一例はFe−9.5Si−5.5Alである(数値は質量%、残りFe)。この組成領域の近傍で、磁歪定数、磁気異方性定数がともにほぼ0となる。そのため、高い透磁率と低い保磁力が得られる。パーメンジュールは、鉄及びコバルトを主成分とする合金である。パーメンジュールは、実用化された軟磁性材料の中で最大の飽和磁束密度を持っている。パーメンジュールの組成の一例はFe−49Co−2Vである(数値は質量%、残りFe)。ケイ素鋼は、鉄に少量のケイ素を加えた合金である。ケイ素鋼は、炭素を含まないため、ケイ素鉄とも呼ばれる。パーマロイは、Ni−Feの合金である。パーマロイには、パーマロイA、パーマロイB、パーマロイC、パーマロイDとJIS規格で呼ばれるものが含まれる。 Sendust is an alloy (Fe-Si-Al alloy) composed of iron, silicon, and aluminum. Sendust has high saturation magnetic flux density and magnetic permeability, small iron loss, and excellent wear resistance. An example of the composition of sendust is Fe-9.5Si-5.5Al (numerical value is mass%, remaining Fe). In the vicinity of this composition region, both the magnetostriction constant and the magnetic anisotropy constant are almost zero. Therefore, high magnetic permeability and low coercive force can be obtained. Permendur is an alloy containing iron and cobalt as main components. Permendur has the highest saturation magnetic flux density among the soft magnetic materials that have been put into practical use. An example of the composition of permendur is Fe-49Co-2V (numerical value is mass%, remaining Fe). Silicon steel is an alloy of iron with a small amount of silicon added. Silicon steel is also called silicon iron because it does not contain carbon. Permalloy is an alloy of Ni—Fe. Permalloy includes those called Permalloy A, Permalloy B, Permalloy C, Permalloy D and JIS standards.

第一の粉末の平均粒径は、第二の粉末の平均粒径の3倍以上30倍以下であり、好ましくは3.5倍以上20倍以下、より好ましくは4倍以上15倍以下である。第一の粉末の平均粒径が、第二の粉末の平均粒径の3倍未満であると、100MHzにおいて、虚数部(μ’’)が高く、磁性材料のQ値が20未満となるおそれがある。100MHzでの虚数部(μ'')が高くなるのは、図1Cに示すように、大径磁性粒子10の表面に小径非磁性粒子20からなる層21が形成されにくくなるためと推測される。第一の粉末の平均粒径が、第二の粉末の平均粒径の30倍超であると、100MHzにおいて、実数部(μ’)が低く、磁性材料のQ値が20未満となるおそれがある。100MHzでの実数部(μ’)が低くなるのは、図1Dに示すように、大径磁性粒子10の表面に小径非磁性粒子20からなる層21が形成されやすくなり、隣接する大径磁性粒子10,10同士の間隔Iが広くなりすぎるためと推測される。なお、第一の粉末が平均粒径の異なる粉末を2種以上混合した混合粉末である場合、第一の粉末の平均粒径は混合粉末の平均粒径を指す。また、第二の粉末が平均粒径の異なる粉末を2種以上混合した混合粉末である場合も同様に、第二の粉末の平均粒径は混合粉末の平均粒径を指す。 The average particle size of the first powder is 3 times or more and 30 times or less, preferably 3.5 times or more and 20 times or less, and more preferably 4 times or more and 15 times or less of the average particle size of the second powder. .. If the average particle size of the first powder is less than three times the average particle size of the second powder, the imaginary part (μ'') is high at 100 MHz, and the Q value of the magnetic material may be less than 20. There is. It is presumed that the imaginary part (μ'') at 100 MHz becomes high because, as shown in FIG. 1C, it becomes difficult for the layer 21 made of the small diameter non-magnetic particles 20 to be formed on the surface of the large diameter magnetic particles 10. .. If the average particle size of the first powder is more than 30 times the average particle size of the second powder, the real part (μ') is low at 100 MHz, and the Q value of the magnetic material may be less than 20. is there. The reason why the real part (μ') at 100 MHz is low is that, as shown in FIG. 1D, the layer 21 composed of the small diameter non-magnetic particles 20 is easily formed on the surface of the large diameter magnetic particles 10, and the adjacent large diameter magnetic particles 20 are easily formed. It is presumed that the distance I between the particles 10 and 10 becomes too wide. When the first powder is a mixed powder obtained by mixing two or more powders having different average particle sizes, the average particle size of the first powder refers to the average particle size of the mixed powder. Similarly, when the second powder is a mixed powder in which two or more powders having different average particle sizes are mixed, the average particle size of the second powder refers to the average particle size of the mixed powder.

第一の粉末の平均粒径は、5μm未満であり、好ましくは0.05μm以上5μm未満、より好ましくは0.5μm以上5μm未満である。第一の粉末の平均粒径が5μm以上であると、100MHzでの虚数部(μ”)が高く、磁性材料のQ値が20未満となるおそれがある。 The average particle size of the first powder is less than 5 μm, preferably 0.05 μm or more and less than 5 μm, and more preferably 0.5 μm or more and less than 5 μm. When the average particle size of the first powder is 5 μm or more, the imaginary part (μ ”) at 100 MHz is high, and the Q value of the magnetic material may be less than 20.

第一の粉末の含有量は、他の磁性粉末の材質、平均粒径などに応じて適宜調整すればよく、磁性粉末の総質量に対して、好ましくは20質量%以上100質量%以下、より好ましくは40質量%以上100質量%以下である。第一の粉末の含有量が上記範囲内であれば、100MHzにおいて、高い磁性材料のQ値を維持したまま、実数部(μ’)をさらに向上させることができる。 The content of the first powder may be appropriately adjusted according to the material of the other magnetic powder, the average particle size, etc., and is preferably 20% by mass or more and 100% by mass or less, based on the total mass of the magnetic powder. It is preferably 40% by mass or more and 100% by mass or less. When the content of the first powder is within the above range, the real number part (μ') can be further improved while maintaining the high Q value of the magnetic material at 100 MHz.

(他の磁性粉末)
磁性粉末は、第一の粉末とは異なる他の磁性粉末を含有してもよい。他の磁性粉末は、大径磁性粒子10とは異なる他の磁性粒子の集合体である。
(Other magnetic powder)
The magnetic powder may contain other magnetic powder different from the first powder. The other magnetic powder is an aggregate of other magnetic particles different from the large-diameter magnetic particles 10.

他の磁性粒子の材質としては、例えば、純鉄、金属酸化物、合金、樹脂などを用いることができる。純鉄は、99.90質量%以上99.95質量%以下の高純度の鉄である。具体的に、純鉄としては、カーボニル鉄、アームコ鉄、海綿鉄、電解鉄などが挙げられる。カーボニル鉄は、鉄カーボニルFe(CO)を熱分解して得られる。金属酸化物としては、例えば、フェライト、マグネタイトなどを用いることができる。フェライトは、酸化鉄を主成分とするセラミックスの総称であり、絶縁性を有する。合金としては、例えば、ニッケル、コバルト基合金などを用いることができる。なかでも、他の磁性粒子の材質としてフェライトを用いることが好ましい。磁性材料がフェライトを含有することで、100MHzでの実数部(μ’)をさらに向上させることができる。As the material of the other magnetic particles, for example, pure iron, metal oxide, alloy, resin and the like can be used. Pure iron is high-purity iron of 99.90% by mass or more and 99.95% by mass or less. Specific examples of pure iron include carbonyl iron, armco iron, sponge iron, and electrolytic iron. Carbonyl iron is obtained by thermally decomposing iron carbonyl Fe (CO) 5 . As the metal oxide, for example, ferrite, magnetite and the like can be used. Ferrite is a general term for ceramics containing iron oxide as a main component, and has insulating properties. As the alloy, for example, nickel, cobalt-based alloy and the like can be used. Among them, it is preferable to use ferrite as a material for other magnetic particles. Since the magnetic material contains ferrite, the real part (μ') at 100 MHz can be further improved.

フェライトは、軟磁性を示すソフトフェライトでも強磁性を示すハードフェライトでもよい。フェライトの結晶構造としては、例えば、スピネルフェライト、六方晶フェライト、ガーネットフェライトなどが挙げられる。 The ferrite may be a soft ferrite exhibiting soft magnetism or a hard ferrite exhibiting ferromagnetism. Examples of the crystal structure of ferrite include spinel ferrite, hexagonal ferrite, and garnet ferrite.

スピネルフェライトは、スピネル型結晶構造を持ち、組成式はMeO・Fe又はMeFe(Me:Zn、Ni、Cu、Mn、Mg、Coなどの遷移金属)で示される。スピネルフェライトのほとんどはソフトフェライトである。具体例として、マンガンマグネシウムフェライト、マンガン亜鉛フェライト、ニッケル亜鉛フェライト、銅亜鉛フェライトが挙げられる。スピネルフェライトは、透磁率が高く、また電気抵抗が高いことから高周波数領域での渦電流損失が小さいため、高周波回路用のインダクタ部品として有効である。Spinel ferrite has a spinel-type crystal structure, and its composition formula is represented by MeO · Fe 2 O 3 or Me Fe 2 O 4 (transition metal such as Me: Zn, Ni, Cu, Mn, Mg, Co). Most of the spinel ferrites are soft ferrites. Specific examples include manganese magnesium ferrite, manganese zinc ferrite, nickel zinc ferrite, and copper zinc ferrite. Spinel ferrite has high magnetic permeability and high electrical resistance, so that eddy current loss in the high frequency region is small, so it is effective as an inductor component for high frequency circuits.

六方晶フェライトは、マグネトプランバイト型の六方晶型結晶構造を持ち、組成式はMO・6Fe又はMFe1219(M:Ba、Sr、Pbなどのアルカリ土類金属)で示される。六方晶フェライトは、マグネトプランバイト型フェライト、M型フェライトとも呼ばれる。六方晶フェライトは、スピネルフェライトと比べて磁気異方性が大きいため大きな保磁力を示す代表的なハードフェライトである。具体例として、バリウムフェライト、ストロンチウムフェライトが挙げられる。Hexagonal ferrite has a magnetoplumbite-type hexagonal crystal structure, and its composition formula is represented by MO · 6Fe 2 O 3 or MFe 12 O 19 (alkaline earth metals such as M: Ba, Sr, Pb). .. Hexagonal ferrite is also called magnetoplumbite-type ferrite or M-type ferrite. Hexagonal ferrite is a typical hard ferrite that exhibits a large coercive force because it has a larger magnetic anisotropy than spinel ferrite. Specific examples include barium ferrite and strontium ferrite.

ガーネットフェライトは、ガーネット型結晶構造を持ち、組成式は3R・5Fe又はRFe12(R:Y、Sm、Gdなどの希土類元素)で示される。ガーネットフェライトは、RIG(Rare-earth Iron Garnet、希土類鉄ガーネット)とも呼ばれる。代表的なものはYIG(Yttrium Iron Garnet、イットリウム鉄ガーネット)である。ガーネットフェライトは、高周波領域での磁気損失が小さいため、マイクロ波用のインダクタ部品として有効である。Garnet ferrite has a garnet-type crystal structure, composition formula 3R 2 O 3 · 5Fe 2 O 3 or R 3 Fe 5 O 12: represented by (R Y, Sm, rare earth elements such as Gd). Garnet ferrite is also called RIG (Rare-earth Iron Garnet). A typical example is YIG (Yttrium Iron Garnet). Garnet ferrite has a small magnetic loss in the high frequency region, and is therefore effective as an inductor component for microwaves.

他の磁性粉末の平均粒径は、特に限定されず、好ましくは0.05μm以上5μm以下、より好ましくは0.5μm以上5μm以下である。他の磁性粒径の平均粒径が上記範囲内であれば、100MHzでの虚数部(μ”)をより低くすることができる。 The average particle size of the other magnetic powder is not particularly limited, and is preferably 0.05 μm or more and 5 μm or less, and more preferably 0.5 μm or more and 5 μm or less. When the average particle size of the other magnetic particle size is within the above range, the imaginary part (μ ") at 100 MHz can be made lower.

他の磁性粉末の混合割合は、他の磁性粉末の平均粒径等に応じて、適宜調整すればよい。他の磁性粉末の平均粒径が0.02μm以上0.1μm以下の場合、他の磁性粉末の混合割合は、第一の粉末に対して、好ましくは12質量%未満、より好ましくは0.5質量%以上10質量%以下である。他の磁性粉末の平均粒径が上記範囲内であって、その混合割合が上記範囲内であれば、100MHzでの磁性材料のQ値を20以上とすることができるとともに、得られる磁性樹脂シートは流動性に優れる。 The mixing ratio of the other magnetic powder may be appropriately adjusted according to the average particle size of the other magnetic powder and the like. When the average particle size of the other magnetic powder is 0.02 μm or more and 0.1 μm or less, the mixing ratio of the other magnetic powder is preferably less than 12% by mass, more preferably 0.5, based on the first powder. It is mass% or more and 10 mass% or less. If the average particle size of the other magnetic powder is within the above range and the mixing ratio thereof is within the above range, the Q value of the magnetic material at 100 MHz can be 20 or more, and the obtained magnetic resin sheet can be obtained. Has excellent fluidity.

{非磁性粉末}
複合磁性粉末は非磁性粉末を含有する。非磁性粉末は、第二の粉末を含み、他の非磁性粉末をさらに含んでもよい。
{Non-magnetic powder}
The composite magnetic powder contains a non-magnetic powder. The non-magnetic powder contains a second powder and may further contain other non-magnetic powder.

(第二の粉末)
第二の粉末は、シリカ粉末及びアルミナ粉末の少なくとも1種である。すなわち、第二の粉末の構成は、シリカ粉末のみからなる構成、アルミナ粉末のみからなる構成、又はシリカ粉末及びアルミナ粉末からなる構成である。シリカ粉末及びアルミナ粉末は、ともに高い電気的絶縁性を有するので、第二の粉末によって渦電流の流れを抑制し得る。
(Second powder)
The second powder is at least one of silica powder and alumina powder. That is, the composition of the second powder is a composition composed of only silica powder, a composition composed of only alumina powder, or a composition composed of silica powder and alumina powder. Since both the silica powder and the alumina powder have high electrical insulation properties, the second powder can suppress the flow of eddy currents.

シリカ粉末はシリカ粒子の集合体である。シリカ粒子としては、例えば、結晶性シリカ粒子、非結晶シリカ粒子などを用いることができる。シリカ粒子は多孔質性であってもよい。 Silica powder is an aggregate of silica particles. As the silica particles, for example, crystalline silica particles, non-crystalline silica particles and the like can be used. The silica particles may be porous.

アルミナ粉末はアルミナ粒子の集合体である。アルミナ粒子の材質としては、例えば、α−アルミナ、γ−アルミナ、δ−アルミナ、θ−アルミナ、η−アルミナ、κ−アルミナなどを用いることができる。 Alumina powder is an aggregate of alumina particles. As the material of the alumina particles, for example, α-alumina, γ-alumina, δ-alumina, θ-alumina, η-alumina, κ-alumina and the like can be used.

第二の粉末の平均粒径は、第一の粉末の平均粒径が第二の粉末の平均粒径の3倍以上30倍以下となるように第一の粉末の平均粒径などに応じて調整され、好ましくは0.05μm以上5μm以下、より好ましくは0.5μm以上2μm以下である。第二の粉末の平均粒径が上記範囲内であれば、処理前の磁性材料の流動性を確保しやすくなる。 The average particle size of the second powder depends on the average particle size of the first powder so that the average particle size of the first powder is 3 times or more and 30 times or less the average particle size of the second powder. It is adjusted, preferably 0.05 μm or more and 5 μm or less, and more preferably 0.5 μm or more and 2 μm or less. When the average particle size of the second powder is within the above range, it becomes easy to secure the fluidity of the magnetic material before the treatment.

第二の粉末の含有量は、他の非磁性粉末の材質、平均粒径などに応じて適宜調整すればよく、非磁性粉末の総質量に対して、好ましくは50質量%以上100質量%以下、より好ましくは70質量%以上100質量%以下である。 The content of the second powder may be appropriately adjusted according to the material, average particle size, etc. of the other non-magnetic powder, and is preferably 50% by mass or more and 100% by mass or less with respect to the total mass of the non-magnetic powder. , More preferably 70% by mass or more and 100% by mass or less.

(他の非磁性粉末)
非磁性粉末は、他の非磁性粉末をさらに含有してもよい。他の非磁性粉末は、小径非磁性粒子20とは異なる他の非磁性粒子の集合体である。
(Other non-magnetic powder)
The non-magnetic powder may further contain other non-magnetic powder. The other non-magnetic powder is an aggregate of other non-magnetic particles different from the small-diameter non-magnetic particles 20.

他の非磁性粒子の材質としては、例えば、カーボンブラック、チタン酸化物、酸化セリウム、酸化スズ、酸化タングステン、ZnO、ZrO、SiO、Crなどを用いることができる。As the material of the other non-magnetic particles, for example, carbon black, titanium oxide, cerium oxide, tin oxide, tungsten oxide, ZnO, ZrO 2 , SiO 2 , Cr 2 O 3 and the like can be used.

他の非磁性粉末は電気的絶縁性を有することが好ましい。すなわち、他の非磁性粒子はその表面が電気絶縁性皮膜で覆われていることが好ましい。絶縁処理の方法としては、例えば、非磁性粉末と電気絶縁性フィラーを含む水溶液とを混合して乾燥させる方法などが挙げられる。電気絶縁性フィラーの材質としては、例えば、リン酸、ホウ酸、酸化マグネシウムなどを用いることできる。他の非磁性粒子自体が電気絶縁性を有する場合、電気絶縁性皮膜で覆われていなくともよい。他の非磁性粉末の平均粒径は、特に限定されず、第二の粉末の平均粒径と同程度であればよい。 Other non-magnetic powders preferably have electrical insulation. That is, it is preferable that the surface of the other non-magnetic particles is covered with an electrically insulating film. Examples of the method of insulation treatment include a method of mixing a non-magnetic powder and an aqueous solution containing an electrically insulating filler and drying them. As the material of the electrically insulating filler, for example, phosphoric acid, boric acid, magnesium oxide and the like can be used. When the other non-magnetic particles themselves have electrical insulating properties, they do not have to be covered with the electrical insulating film. The average particle size of the other non-magnetic powder is not particularly limited, and may be about the same as the average particle size of the second powder.

[磁性樹脂組成物]
本実施形態に係る磁性樹脂組成物は、複合磁性粉末と、硬化性樹脂及び熱可塑性樹脂からなる群から選択される少なくとも一種の樹脂と、を含有する。磁性樹脂組成物は、硬化性樹脂を含有する樹脂組成物(以下、第一の磁性樹脂組成物という)であってもよく、熱可塑性樹脂を含有する樹脂組成物(以下、第二の磁性樹脂組成物という)であってもよい。
[Magnetic resin composition]
The magnetic resin composition according to the present embodiment contains a composite magnetic powder and at least one resin selected from the group consisting of a curable resin and a thermoplastic resin. The magnetic resin composition may be a resin composition containing a curable resin (hereinafter, referred to as a first magnetic resin composition), or a resin composition containing a thermoplastic resin (hereinafter, a second magnetic resin). It may be (referred to as a composition).

磁性樹脂組成物の硬化物又は固化物は、周波数100MHzでのQ値が20以上であることが好ましい。すなわち、第一の磁性樹脂組成物の硬化物は、周波数100MHzでのQ値が20以上であることが好ましく、第二の磁性樹脂組成物の固化物は、周波数100MHzでのQ値が20以上であることが好ましい。この場合、磁性樹脂組成物を、高周波インダクタ部品の磁性材料として好適に用いることができる。磁性樹脂組成物の硬化物又は固化物は、周波数100MHzでのQ値が33以上であることがより好ましい。 The cured product or solidified product of the magnetic resin composition preferably has a Q value of 20 or more at a frequency of 100 MHz. That is, the cured product of the first magnetic resin composition preferably has a Q value of 20 or more at a frequency of 100 MHz, and the solidified product of the second magnetic resin composition has a Q value of 20 or more at a frequency of 100 MHz. Is preferable. In this case, the magnetic resin composition can be suitably used as a magnetic material for high-frequency inductor components. The cured product or solidified product of the magnetic resin composition more preferably has a Q value of 33 or more at a frequency of 100 MHz.

{第一の磁性樹脂組成物}
第一の磁性樹脂組成物は、複合磁性粉末と、硬化性樹脂とを含有する。
{First magnetic resin composition}
The first magnetic resin composition contains a composite magnetic powder and a curable resin.

第一の磁性樹脂組成物は、硬化性樹脂を含有する。硬化性樹脂の例は、熱硬化性樹脂及び光硬化性樹脂を含む。第一の磁性樹脂組成物は、熱硬化性樹脂のみを含有してもよく、光硬化性樹脂のみを含有してもよく、熱硬化性樹脂と光硬化性樹脂との両方を含有してもよい。 The first magnetic resin composition contains a curable resin. Examples of curable resins include thermosetting resins and photocurable resins. The first magnetic resin composition may contain only a thermosetting resin, may contain only a photocurable resin, or may contain both a thermosetting resin and a photocurable resin. Good.

光硬化性樹脂は、光を吸収して架橋反応を起こし得る反応性化合物である。光硬化性樹脂は特に限定されず、光硬化性を有する樹脂であればよい。光硬化性樹脂として、例えば、重合性不飽和基を有する樹脂を用いてもよい。光硬化性樹脂の例は、メタクリル樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、及びオキセタン樹脂を含む。第一の磁性樹脂組成物に含有される光硬化性樹脂は、1種のみでも2種以上でもよい。光硬化性樹脂は、常温において液状でも、粉末状などの固形でもよい。 A photocurable resin is a reactive compound that can absorb light and cause a cross-linking reaction. The photocurable resin is not particularly limited as long as it is a photocurable resin. As the photocurable resin, for example, a resin having a polymerizable unsaturated group may be used. Examples of photocurable resins include methacrylic resins, acrylic resins, epoxy resins, and oxetane resins. The photocurable resin contained in the first magnetic resin composition may be only one type or two or more types. The photocurable resin may be liquid at room temperature or solid such as powder.

メタクリル樹脂の例は、メタクリル酸エステル、ポリメタクリル酸エステル、及びエチレン−メタクリル酸共重合体を含む。 Examples of methacrylic acids include methacrylic acid esters, polymethacrylic acid esters, and ethylene-methacrylic acid copolymers.

アクリル樹脂の例は、エチレン−アクリル酸共重合体、エチレン−アクリル酸メチル共重合体、アクリル酸エステル、及びポリアクリル酸エステルを含む。 Examples of acrylic resins include ethylene-acrylic acid copolymers, ethylene-methyl acrylate copolymers, acrylic acid esters, and polyacrylic acid esters.

エポキシ樹脂は、1分子中に1個のエポキシ基を有する単官能エポキシ樹脂でもよく、1分子中に2個以上のエポキシ基を有する多官能エポキシ樹脂でもよい。多官能エポキシ樹脂の例は、ポリブタジエンエポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂などのビスフェノール型エポキシ化合物、ナフタレン型エポキシ化合物、脂肪族エポキシ化合物、ビフェニル型エポキシ、グリシジルアミン型エポキシ化合物、水添ビスフェノールA型エポキシ化合物などのアルコール型エポキシ化合物、エポキシ変性シリコーン、フェノールノボラック型エポキシ化合物、クレゾールノボラック型エポキシ化合物等のノボラック型エポキシ化合物、脂環式エポキシ化合物、異節環状型エポキシ化合物、多官能性エポキシ化合物、グリシジルエーテル型エポキシ化合物、グリシジルエステル型エポキシ化合物、臭素化エポキシ化合物等のハロゲン化エポキシ化合物、ゴム変成エポキシ化合物、ウレタン変成エポキシ化合物、エポキシ化ポリブタジエン、エポキシ化スチレン−ブタジエン−スチレンブロック共重合体、エポキシ基含有ポリエステル化合物、エポキシ基含有ポリウレタン化合物、エポキシ基含有アクリル化合物を含む。これらのエポキシ樹脂は、単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 The epoxy resin may be a monofunctional epoxy resin having one epoxy group in one molecule, or a polyfunctional epoxy resin having two or more epoxy groups in one molecule. Examples of polyfunctional epoxy resins include polybutadiene epoxy resins, bisphenol A type epoxy resins, bisphenol F type epoxy resins and other bisphenol type epoxy compounds, naphthalene type epoxy compounds, aliphatic epoxy compounds, biphenyl type epoxies, and glycidylamine type epoxy compounds. Alcohol type epoxy compounds such as hydrogenated bisphenol A type epoxy compounds, epoxy-modified silicones, phenol novolac type epoxy compounds, novolak type epoxy compounds such as cresol novolac type epoxy compounds, alicyclic epoxy compounds, anobolite cyclic epoxy compounds, many Halogenized epoxy compounds such as functional epoxy compounds, glycidyl ether type epoxy compounds, glycidyl ester type epoxy compounds, brominated epoxy compounds, rubber modified epoxy compounds, urethane modified epoxy compounds, epoxidized polybutadiene, epoxidized styrene-butadiene-styrene block Includes copolymers, epoxy group-containing polyester compounds, epoxy group-containing polyurethane compounds, and epoxy group-containing acrylic compounds. These epoxy resins may be used alone or in combination of two or more.

オキセタン樹脂は、単独で用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。 The oxetane resin may be used alone or in combination of two or more.

第一の磁性樹脂組成物が光硬化性樹脂を含有する場合、第一の磁性樹脂組成物は、必要に応じて光重合開始剤を含有してもよい。光重合開始剤の例は、光ラジカル発生開始剤及び光酸発生開始剤を含む。第一の磁性樹脂組成物がメタクリル樹脂及びアクリル樹脂のうちの少なくとも一方を含有する場合、第一の磁性樹脂組成物は、光ラジカル発生開始剤を含有することが好ましい。光ラジカル発生開始剤は特に限定されず、ラジカルを発生させて光重合反応を開始させるものであればよい。また、第一の磁性樹脂組成物がエポキシ樹脂及びオキセタン樹脂のうちの少なくとも一方を含有する場合、第一の磁性樹脂組成物は、光酸発生開始剤を含有することが好ましい。光酸発生開始剤は特に限定されず、イオン性光酸発生開始剤であってもよく、非イオン性光酸発生開始剤であってもよい。 When the first magnetic resin composition contains a photocurable resin, the first magnetic resin composition may contain a photopolymerization initiator, if necessary. Examples of photopolymerization initiators include photoradical generation initiators and photoacid generation initiators. When the first magnetic resin composition contains at least one of a methacrylic resin and an acrylic resin, the first magnetic resin composition preferably contains a photoradical generation initiator. The photo-radical generation initiator is not particularly limited as long as it generates radicals to initiate the photopolymerization reaction. When the first magnetic resin composition contains at least one of an epoxy resin and an oxetane resin, the first magnetic resin composition preferably contains a photoacid generation initiator. The photoacid generation initiator is not particularly limited, and may be an ionic photoacid generation initiator or a nonionic photoacid generation initiator.

第一の磁性樹脂組成物は熱硬化性樹脂を含有することが好ましい。熱硬化性樹脂は、熱により架橋反応を起こしうる反応性化合物である。熱硬化性樹脂として、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、多官能エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、イミド樹脂などを用いることができる。多官能エポキシ樹脂は、1分子中に3個以上のエポキシ基を有する樹脂である。第一の磁性樹脂組成物に含有される熱硬化性樹脂は1種のみでも2種以上でもよい。熱硬化性樹脂は、常温において液状でも、粉末状などの固形でもよい。熱硬化性樹脂の含有量は、第一の磁性樹脂組成物中の樹脂成分の総質量に対して、好ましく75質量%以上100質量%以下である。 The first magnetic resin composition preferably contains a thermosetting resin. Thermosetting resin is a reactive compound that can cause a cross-linking reaction by heat. As the thermosetting resin, for example, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, polyfunctional epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, imide resin and the like can be used. .. The polyfunctional epoxy resin is a resin having three or more epoxy groups in one molecule. The thermosetting resin contained in the first magnetic resin composition may be only one type or two or more types. The thermosetting resin may be liquid at room temperature or solid such as powder. The content of the thermosetting resin is preferably 75% by mass or more and 100% by mass or less with respect to the total mass of the resin components in the first magnetic resin composition.

第一の磁性樹脂組成物が熱硬化性樹脂を含有する場合、第一の磁性樹脂組成物は、硬化剤をさらに含有していてもよい。硬化剤は、熱硬化性樹脂を硬化させる添加剤である。硬化剤として、ジシアンジアミド、フェノール系硬化剤、シクロペンタジエン、アミン系硬化剤、酸無水物などを用いることができる。フェノール系硬化剤は、1分子中に2個以上のフェノール性水酸基を有する。フェノール系硬化剤として、例えば、フェノールノボラック樹脂、フェノールアラルキル樹脂、ナフタレン型フェノール樹脂、ビスフェノール樹脂などを用いることができる。ビスフェノール樹脂として、例えば、ビスフェノールA樹脂、ビスフェノールF樹脂などを用いることができる。硬化剤は、常温において、液状でもあっても、固形状であってもよい。硬化剤の含有量は、第一の磁性樹脂組成物の樹脂成分の総質量に対して、好ましくは20質量%以下である。 When the first magnetic resin composition contains a thermosetting resin, the first magnetic resin composition may further contain a curing agent. The curing agent is an additive that cures a thermosetting resin. As the curing agent, dicyandiamide, phenol-based curing agent, cyclopentadiene, amine-based curing agent, acid anhydride and the like can be used. The phenolic curing agent has two or more phenolic hydroxyl groups in one molecule. As the phenolic curing agent, for example, phenol novolac resin, phenol aralkyl resin, naphthalene type phenol resin, bisphenol resin and the like can be used. As the bisphenol resin, for example, a bisphenol A resin, a bisphenol F resin, or the like can be used. The curing agent may be liquid or solid at room temperature. The content of the curing agent is preferably 20% by mass or less with respect to the total mass of the resin components of the first magnetic resin composition.

第一の磁性樹脂組成物が熱硬化性樹脂を含有する場合、第一の磁性樹脂組成物は、硬化促進剤をさらに含有していてもよい。硬化促進剤として、例えば、三級アミン、三級アミン塩、イミダゾール、ホスフィン、ホスホニウム塩などを用いることができる。イミダゾールとして、2−エチル−4−メチルイミダゾールなどを用いることができる。硬化促進剤の含有量は、熱硬化性樹脂及び硬化剤の材質に応じて適宜調整すればよい。 When the first magnetic resin composition contains a thermosetting resin, the first magnetic resin composition may further contain a curing accelerator. As the curing accelerator, for example, a tertiary amine, a tertiary amine salt, an imidazole, a phosphine, a phosphonium salt and the like can be used. As the imidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole or the like can be used. The content of the curing accelerator may be appropriately adjusted according to the material of the thermosetting resin and the curing agent.

第一の磁性樹脂組成物は、熱可塑性樹脂をさらに含有していてもよい。これにより、後述する磁性樹脂シート1に折り曲げ追従性、弾力性などを付与することができる。熱可塑性樹脂としては、フェノキシ樹脂などを用いることができる。熱可塑性樹脂の含有量は、第一の磁性樹脂組成物の樹脂成分の総質量に対して、好ましくは2質量%以上50質量%以下である。 The first magnetic resin composition may further contain a thermoplastic resin. As a result, it is possible to impart bending followability, elasticity, and the like to the magnetic resin sheet 1 described later. As the thermoplastic resin, a phenoxy resin or the like can be used. The content of the thermoplastic resin is preferably 2% by mass or more and 50% by mass or less with respect to the total mass of the resin components of the first magnetic resin composition.

第一の磁性樹脂組成物は、表面処理剤をさらに含有していてもよい。表面処理剤としては、例えば、シランカップリング剤、分散剤などを用いることができる。シランカップリング剤としては、例えば、3−グリシジルオキシプロピルトリエトキシシランなどを用いることができる。分散剤としては、例えば、高級脂肪酸リン酸エステル、高級脂肪酸リン酸エステルのアミン塩、高級脂肪酸リン酸エステルのアルキレンオキサイドなどを用いることができる。高級脂肪酸リン酸エステルとしては、オクチルリン酸エステル、デシルリン酸エステル、ラウリルリン酸エステルなどを用いることができる。表面処理剤の含有量は、第一の磁性樹脂組成物の樹脂成分の総質量に対して、好ましくは0質量%以上30質量%以下である。 The first magnetic resin composition may further contain a surface treatment agent. As the surface treatment agent, for example, a silane coupling agent, a dispersant, or the like can be used. As the silane coupling agent, for example, 3-glycidyloxypropyltriethoxysilane or the like can be used. As the dispersant, for example, a higher fatty acid phosphoric acid ester, an amine salt of a higher fatty acid phosphoric acid ester, an alkylene oxide of a higher fatty acid phosphoric acid ester, or the like can be used. As the higher fatty acid phosphate ester, octyl phosphate ester, decyl phosphate ester, lauryl phosphate ester and the like can be used. The content of the surface treatment agent is preferably 0% by mass or more and 30% by mass or less with respect to the total mass of the resin components of the first magnetic resin composition.

第一の磁性樹脂組成物は、エラストマーをさらに含有していてもよい。これにより、第一の磁性樹脂組成物にエラストマーが含有されていると、第一の磁性樹脂組成物の硬化物にゴム弾性を付与することができる。エラストマーとして、例えば、熱硬化性エラストマー、熱可塑性エラストマーを用いることができる。 The first magnetic resin composition may further contain an elastomer. As a result, when the first magnetic resin composition contains an elastomer, rubber elasticity can be imparted to the cured product of the first magnetic resin composition. As the elastomer, for example, a thermosetting elastomer or a thermoplastic elastomer can be used.

第一の磁性樹脂組成物は、溶剤をさらに含有していてもよい。メチルエチルケトン(MEK)、N,N−ジメチルホルムアミド(DMF)、アセトン、メチルイソブチルケトン(MIBK)などを用いることができる。溶剤を1種のみ使用してもよく、2種以上混合して使用してもよい。溶剤を2種以上混合する場合、混合比(質量比及び体積比)は特に限定されない。 The first magnetic resin composition may further contain a solvent. Methyl ethyl ketone (MEK), N, N-dimethylformamide (DMF), acetone, methyl isobutyl ketone (MIBK) and the like can be used. Only one type of solvent may be used, or two or more types may be mixed and used. When two or more kinds of solvents are mixed, the mixing ratio (mass ratio and volume ratio) is not particularly limited.

複合磁性粉末の含有量は、第一の磁性樹脂組成物の固形分全体の70質量%以上であることが好ましく、75質量%以上であることがより好ましく、80質量%以上であることが特に好ましい。複合磁性粉末の含有量が、磁性樹脂組成物の固形分全体の70質量%以上であると、100MHzでの実数部(μ’)が6.0以上となりやすく、高周波インダクタを良好に設計することができる。また、複合磁性粉末の含有量は、第一の磁性樹脂組成物の固形分全体の99.5質量%以下であることが好ましく、99質量%以下であることがより好ましく、98.5質量%以下であることが特に好ましい。複合磁性粉末の含有量が、磁性樹脂組成物の固形分全体の99.5質量%以下であると、磁性材料のQ値が高くなりやすい。ここで、磁性樹脂組成物の固形分とは、磁性樹脂組成物から溶剤を除いた分である。 The content of the composite magnetic powder is preferably 70% by mass or more, more preferably 75% by mass or more, and particularly preferably 80% by mass or more of the total solid content of the first magnetic resin composition. preferable. When the content of the composite magnetic powder is 70% by mass or more of the total solid content of the magnetic resin composition, the real part (μ') at 100 MHz tends to be 6.0 or more, and a high-frequency inductor should be satisfactorily designed. Can be done. The content of the composite magnetic powder is preferably 99.5% by mass or less, more preferably 99% by mass or less, and 98.5% by mass, based on the total solid content of the first magnetic resin composition. The following is particularly preferable. When the content of the composite magnetic powder is 99.5% by mass or less of the total solid content of the magnetic resin composition, the Q value of the magnetic material tends to be high. Here, the solid content of the magnetic resin composition is the content obtained by removing the solvent from the magnetic resin composition.

第一の磁性樹脂組成物の調製方法としては、例えば、複合磁性粉末と、硬化性樹脂と、必要に応じて硬化剤、硬化促進剤、熱可塑性樹脂、表面処理剤、エラストマーなどを混合する方法などが挙げられる。 As a method for preparing the first magnetic resin composition, for example, a method of mixing a composite magnetic powder, a curable resin, a curing agent, a curing accelerator, a thermoplastic resin, a surface treatment agent, an elastomer, etc., if necessary. And so on.

後述するように、第一の磁性樹脂組成物は、ペースト状、スラリー状、粉状、シート状のいずれの形態もとり得るので、その後の工程に応じて、適切な形態の第一の磁性樹脂組成物を使用することができる。その後の工程としては、例えば、金型を使用したトランスファー成形の工程や、加熱加圧して埋め込み成形する工程などが挙げられる。 As will be described later, since the first magnetic resin composition can take any form of paste, slurry, powder, or sheet, the first magnetic resin composition having an appropriate form depending on the subsequent steps. You can use things. Examples of the subsequent steps include a transfer molding step using a mold and a step of embedding molding by heating and pressurizing.

{第二の磁性樹脂組成物}
第二の磁性樹脂組成物(以下、第二の磁性樹脂組成物)は、複合磁性粉末と、熱可塑性樹脂とを含有する。
{Second magnetic resin composition}
The second magnetic resin composition (hereinafter, the second magnetic resin composition) contains a composite magnetic powder and a thermoplastic resin.

熱可塑性樹脂は、ガラス転移温度又は融点まで加熱することによって軟化し、ガラス転移温度又は融点より低い温度に冷却することによって固化する化合物である。熱可塑性樹脂として、例えば、ナイロンなどを用いることができる。ナイロンとしては、例えば、ナイロン6などを用いることができる。 A thermoplastic resin is a compound that softens by heating to a glass transition temperature or melting point and solidifies by cooling to a temperature lower than the glass transition temperature or melting point. As the thermoplastic resin, for example, nylon or the like can be used. As the nylon, for example, nylon 6 or the like can be used.

第二の磁性樹脂組成物は、硬化性樹脂をさらに含有していてもよい。これにより、後述する磁性樹脂シート1に良好な強度を付与することができる。硬化性樹脂としては、上記の第一磁性樹脂組成物が含有しうる硬化性樹脂を用いることができる。硬化性樹脂の含有量は、第二の磁性樹脂組成物の樹脂成分の総質量に対して、好ましくは2質量%以上50質量%以下である。 The second magnetic resin composition may further contain a curable resin. As a result, good strength can be imparted to the magnetic resin sheet 1 described later. As the curable resin, a curable resin that can be contained in the above-mentioned first magnetic resin composition can be used. The content of the curable resin is preferably 2% by mass or more and 50% by mass or less with respect to the total mass of the resin components of the second magnetic resin composition.

第二の磁性樹脂組成物は、表面処理剤をさらに含有していてもよい。表面処理剤としては、例えば、シランカップリング剤、分散剤などを用いることができる。シランカップリング剤としては、例えば、3−グリシジルオキシプロピルトリエトキシシランなどを用いることができる。分散剤としては、例えば、高級脂肪酸リン酸エステル、高級脂肪酸リン酸エステルのアミン塩、高級脂肪酸リン酸エステルのアルキレンオキサイドなどを用いることができる。高級脂肪酸リン酸エステルとしては、オクチルリン酸エステル、デシルリン酸エステル、ラウリルリン酸エステルなどを用いることができる。表面処理剤の含有量は、第二の磁性樹脂組成物の樹脂成分の総質量に対して、好ましくは0質量%以上30質量%以下である。 The second magnetic resin composition may further contain a surface treatment agent. As the surface treatment agent, for example, a silane coupling agent, a dispersant, or the like can be used. As the silane coupling agent, for example, 3-glycidyloxypropyltriethoxysilane or the like can be used. As the dispersant, for example, a higher fatty acid phosphoric acid ester, an amine salt of a higher fatty acid phosphoric acid ester, an alkylene oxide of a higher fatty acid phosphoric acid ester, or the like can be used. As the higher fatty acid phosphate ester, octyl phosphate ester, decyl phosphate ester, lauryl phosphate ester and the like can be used. The content of the surface treatment agent is preferably 0% by mass or more and 30% by mass or less with respect to the total mass of the resin components of the second magnetic resin composition.

第二の磁性樹脂組成物は、エラストマーをさらに含有していてもよい。これにより、第二の磁性樹脂組成物の固化物にゴム弾性を付与することができる。エラストマーとしては、例えば、熱硬化性エラストマー、熱可塑性エラストマーなどを用いることができる。エラストマーの含有量は、第二の磁性樹脂組成物の使用用途などによって、適宜調整すればよい。 The second magnetic resin composition may further contain an elastomer. As a result, rubber elasticity can be imparted to the solidified product of the second magnetic resin composition. As the elastomer, for example, a thermosetting elastomer, a thermoplastic elastomer, or the like can be used. The content of the elastomer may be appropriately adjusted depending on the intended use of the second magnetic resin composition and the like.

第二の磁性樹脂組成物は、溶剤をさらに含有していてもよい。溶剤として、メチルエチルケトン(MEK)、N,N−ジメチルホルムアミド(DMF)、アセトン、メチルイソブチルケトン(MIBK)などを用いることができる。溶剤を1種のみ使用してもよく、2種以上混合して使用してもよい。溶剤を2種以上混合する場合、混合比(質量比及び体積比)は特に限定されない。 The second magnetic resin composition may further contain a solvent. As the solvent, methyl ethyl ketone (MEK), N, N-dimethylformamide (DMF), acetone, methyl isobutyl ketone (MIBK) and the like can be used. Only one type of solvent may be used, or two or more types may be mixed and used. When two or more kinds of solvents are mixed, the mixing ratio (mass ratio and volume ratio) is not particularly limited.

複合磁性粉末の含有量は、第二の磁性樹脂組成物の固形分全体の70質量%以上であることが好ましく、75質量%以上であることがより好ましく、80質量%以上であることが特に好ましい。複合磁性粉末の含有量が、磁性樹脂組成物の固形分全体の70質量%以上であると、第二の磁性樹脂組成物に占める複合磁性粉末の割合が高くなり、複素透磁率の高い固化物を得ることができる。また、複合磁性粉末の含有量は、第二の磁性樹脂組成物の固形分全体の99.5質量%以下であることが好ましく、99質量%以下であることがより好ましく、98.5質量%以下であることが特に好ましい。複合磁性粉末の含有量が、磁性樹脂組成物の固形分全体の99.5質量%以下であると、成形時における第二の磁性樹脂組成物の流動性を確保することができ、しかも複素透磁率の高い固化物を得ることができる。ここで、磁性樹脂組成物の固形分とは、磁性樹脂組成物から溶剤を除いた分である。 The content of the composite magnetic powder is preferably 70% by mass or more, more preferably 75% by mass or more, and particularly preferably 80% by mass or more of the total solid content of the second magnetic resin composition. preferable. When the content of the composite magnetic powder is 70% by mass or more of the total solid content of the magnetic resin composition, the proportion of the composite magnetic powder in the second magnetic resin composition becomes high, and the solidified product having a high complex magnetic permeability Can be obtained. The content of the composite magnetic powder is preferably 99.5% by mass or less, more preferably 99% by mass or less, and 98.5% by mass, based on the total solid content of the second magnetic resin composition. The following is particularly preferable. When the content of the composite magnetic powder is 99.5% by mass or less of the total solid content of the magnetic resin composition, the fluidity of the second magnetic resin composition at the time of molding can be ensured, and moreover, the complex permeability can be ensured. A solidified product having a high magnetic coefficient can be obtained. Here, the solid content of the magnetic resin composition is the content obtained by removing the solvent from the magnetic resin composition.

第二の磁性樹脂組成物の調整方法としては、例えば、複合磁性粉末及び熱可塑性樹脂、必要に応じてエラストマーを混練機に投入し、溶融混練する方法などが挙げられる。混練機として、例えば、スクリュー押出機、ニーダ、バンバリーミキサー、2軸混練押出機などを用いることができる。さらに、得られる第二の磁性樹脂組成物を所望の形状に成形してもよい。第二の磁性樹脂組成物の成形方法としては、押出成形、射出成形などが挙げられる。 Examples of the method for adjusting the second magnetic resin composition include a method in which a composite magnetic powder, a thermoplastic resin, and an elastomer, if necessary, are put into a kneader and melt-kneaded. As the kneader, for example, a screw extruder, a kneader, a Banbury mixer, a twin-screw kneading extruder and the like can be used. Further, the obtained second magnetic resin composition may be molded into a desired shape. Examples of the molding method of the second magnetic resin composition include extrusion molding and injection molding.

後述するように、第二の磁性樹脂組成物は、ペースト状、スラリー状、粉状、シート状のいずれの形態もとり得るので、その後の工程に応じて、適切な形態の第二の磁性樹脂組成物を使用することができる。その後の工程としては、例えば、金型を使用したトランスファー成形の工程や、加熱加圧して埋め込み成形する工程などが挙げられる。 As will be described later, since the second magnetic resin composition can take any form of paste, slurry, powder, or sheet, the second magnetic resin composition having an appropriate form depending on the subsequent steps. You can use things. Examples of the subsequent steps include a transfer molding step using a mold and a step of embedding molding by heating and pressurizing.

[磁性樹脂ペースト]
本実施形態に係る磁性樹脂ペースト(以下、磁性樹脂ペースト)は、磁性樹脂組成物が、ペースト状である。ペースト状とは、磁性樹脂組成物が室温において流動性を有することをいう。磁性樹脂組成物は、第一の磁性樹脂組成物であってもよく、第二の磁性樹脂組成物であってもよい。すなわち、磁性樹脂ペーストは、第一の磁性樹脂組成物がペースト状であってもよく、第二の磁性樹脂組成物がペースト状であってもよい。
[Magnetic resin paste]
In the magnetic resin paste according to the present embodiment (hereinafter, magnetic resin paste), the magnetic resin composition is in the form of a paste. The pasty state means that the magnetic resin composition has fluidity at room temperature. The magnetic resin composition may be the first magnetic resin composition or the second magnetic resin composition. That is, in the magnetic resin paste, the first magnetic resin composition may be in the form of a paste, or the second magnetic resin composition may be in the form of a paste.

磁性樹脂ペーストにおける磁性粉末の充填率(以下、磁性粉末のコンテント)は、磁性樹脂ペーストの固形分全体に対して、好ましくは20体積%以上99体積%以下、より好ましくは53体積%以上95体積%以下である。磁性粉末のコンテントが上記範囲内であれば、100MHzでの実数部(μ’)を高くすることができるとともに、磁性樹脂ペーストの流動性を、制御しやすくなる。磁性粉末のコンテントの算出方法は、磁性樹脂ペーストの固形分を構成する各材質の配合量と、各材質の比重とから算出した。なお、磁性樹脂ペーストにおいて、磁性樹脂組成物が溶剤を含有する場合、磁性樹脂ペーストの固形分とは、磁性樹脂組成物から溶剤を除いた分である。 The filling ratio of the magnetic powder in the magnetic resin paste (hereinafter, the content of the magnetic powder) is preferably 20% by volume or more and 99% by volume or less, more preferably 53% by volume or more and 95% by volume, based on the total solid content of the magnetic resin paste. % Or less. When the content of the magnetic powder is within the above range, the real part (μ') at 100 MHz can be increased, and the fluidity of the magnetic resin paste can be easily controlled. The method for calculating the content of the magnetic powder was calculated from the blending amount of each material constituting the solid content of the magnetic resin paste and the specific gravity of each material. In the magnetic resin paste, when the magnetic resin composition contains a solvent, the solid content of the magnetic resin paste is the amount obtained by removing the solvent from the magnetic resin composition.

磁性樹脂ペーストの調製方法としては、例えば、硬化性樹脂及び熱可塑性樹脂からなる群から選択される少なくとも一種の液状型の樹脂を用い、複合磁性粉末と、液状型の樹脂と、必要に応じて硬化剤、硬化促進剤、表面処理剤、エラストマーなどを混合する方法などが挙げられる。また、磁性樹脂ペーストにおいて、磁性樹脂組成物が溶剤を含有する場合には、例えば、硬化性樹脂及び熱可塑性樹脂からなる群から選択される少なくとも一種の樹脂を溶剤に溶解させて樹脂溶液を得、得られる樹脂溶液に、複合磁性粉末と、必要に応じて硬化剤、硬化促進剤、表面処理剤、エラストマーなどを混合することによって磁性樹脂ペーストを得ることができる。 As a method for preparing the magnetic resin paste, for example, at least one liquid type resin selected from the group consisting of a curable resin and a thermoplastic resin is used, and a composite magnetic powder, a liquid type resin, and if necessary Examples thereof include a method of mixing a curing agent, a curing accelerator, a surface treatment agent, an elastomer and the like. When the magnetic resin composition contains a solvent in the magnetic resin paste, for example, at least one resin selected from the group consisting of curable resin and thermoplastic resin is dissolved in the solvent to obtain a resin solution. A magnetic resin paste can be obtained by mixing a composite magnetic powder with a curing agent, a curing accelerator, a surface treatment agent, an elastomer, or the like, if necessary, in the obtained resin solution.

磁性樹脂ペーストは、磁性樹脂組成物が溶剤を含有するペースト状であってもよく、溶剤を含有しないペースト状であってもよい。すなわち、第一の磁性樹脂組成物が溶剤を含有するペースト状であってもよく、溶剤を含有しないペースト状であってもよい。また、第二の磁性樹脂組成物が溶剤を含有するペースト状であってもよく、溶剤を含有しないペースト状であってもよい。 The magnetic resin paste may be in the form of a paste in which the magnetic resin composition contains a solvent, or may be in the form of a paste containing no solvent. That is, the first magnetic resin composition may be in the form of a solvent-containing paste, or may be in the form of a solvent-free paste. Further, the second magnetic resin composition may be in the form of a paste containing a solvent, or may be in the form of a paste containing no solvent.

磁性樹脂ペーストは、磁性樹脂組成物が溶剤を含有しないペースト状であることが好ましい。この場合、溶剤を用いないことで、環境に配慮した磁性樹脂ペーストを得ることができる。また、磁性樹脂ペーストが溶剤を含有しないことで、磁性樹脂ペーストを保存する場合や熱する場合にボイドが発生することを防ぐことができる。さらに、磁性樹脂ペーストを用いる際に、磁性樹脂ペーストに含有される溶剤によって磁性樹脂ペーストと共に用いる部材や機器が汚染されるリスクを低下させることができる。また、磁性樹脂ペーストに溶剤を含有させる場合、製造過程において専用の工程や使用装置の防爆対応化が必要となる場合がある。しかし、磁性樹脂ペーストが溶剤を含有しないことで、製造工程を簡素化することができる。 The magnetic resin paste is preferably in the form of a solvent-free magnetic resin composition. In this case, an environment-friendly magnetic resin paste can be obtained by not using a solvent. Further, since the magnetic resin paste does not contain a solvent, it is possible to prevent the generation of voids when the magnetic resin paste is stored or heated. Further, when the magnetic resin paste is used, it is possible to reduce the risk that the members and equipment used together with the magnetic resin paste are contaminated by the solvent contained in the magnetic resin paste. Further, when the magnetic resin paste contains a solvent, it may be necessary to make a dedicated process or equipment used explosion-proof in the manufacturing process. However, since the magnetic resin paste does not contain a solvent, the manufacturing process can be simplified.

磁性樹脂ペーストにおいて、磁性樹脂組成物が溶剤を含有するペースト状である場合、磁性樹脂組成物に含有される溶剤の含有量は、磁性樹脂組成物の固形分全体の5質量%以下であることが好ましく、1質量%以下であることがより好ましく、0.5質量%以下であることが特に好ましい。 In the magnetic resin paste, when the magnetic resin composition is in the form of a paste containing a solvent, the content of the solvent contained in the magnetic resin composition shall be 5% by mass or less of the total solid content of the magnetic resin composition. Is preferable, and it is more preferably 1% by mass or less, and particularly preferably 0.5% by mass or less.

溶剤として、メチルエチルケトン(MEK)、N,N−ジメチルホルムアミド(DMF)、アセトン、メチルイソブチルケトン(MIBK)などを用いることができる。溶剤を1種のみ使用してもよく、2種以上混合して使用してもよい。溶剤を2種以上混合する場合、混合比(質量比及び体積比)は特に限定されない。 As the solvent, methyl ethyl ketone (MEK), N, N-dimethylformamide (DMF), acetone, methyl isobutyl ketone (MIBK) and the like can be used. Only one type of solvent may be used, or two or more types may be mixed and used. When two or more kinds of solvents are mixed, the mixing ratio (mass ratio and volume ratio) is not particularly limited.

[磁性樹脂粉末]
本実施形態に係る磁性樹脂粉末(以下、磁性樹脂粉末)は、磁性樹脂組成物が、粉状である。磁性樹脂組成物は、第一の磁性樹脂組成物であってもよく、第二の磁性樹脂組成物であってもよい。磁性樹脂組成物が第一の磁性樹脂組成物である場合、磁性樹脂粉末は、第一の磁性樹脂組成物が粉状であってもよく、第一の磁性樹脂組成物の半硬化物の粉状であってもよい。半硬化物とは、樹脂組成物が、さらに硬化しうる程度に途中まで硬化された状態のものである。すなわち、半硬化物とは、Bステージ状態を指し、硬化反応の中間段階の状態をいう。中間段階とは、ワニス状態(Aステージ状態)と完全に硬化した状態(Cステージ状態)との間の段階をいう。例えば、熱硬化性樹脂組成物を加熱すると、粘度が徐々に低下し、その後、硬化が開始し、粘度が徐々に上昇する。この場合、半硬化状態とは、粘度が上昇し始めてから、完全に硬化する前の間の状態である。磁性樹脂粉末を構成する粒子の平均粒径は特に限定されない。
[Magnetic resin powder]
The magnetic resin powder according to the present embodiment (hereinafter referred to as magnetic resin powder) has a magnetic resin composition in the form of powder. The magnetic resin composition may be the first magnetic resin composition or the second magnetic resin composition. When the magnetic resin composition is the first magnetic resin composition, the magnetic resin powder may be a powder of the semi-cured product of the first magnetic resin composition, and the first magnetic resin composition may be in the form of powder. It may be in the form. The semi-cured product is a state in which the resin composition is partially cured to the extent that it can be further cured. That is, the semi-cured product refers to a B-stage state, which is an intermediate stage state of the curing reaction. The intermediate stage refers to a stage between a varnish state (A stage state) and a completely cured state (C stage state). For example, when the thermosetting resin composition is heated, the viscosity gradually decreases, then curing starts, and the viscosity gradually increases. In this case, the semi-cured state is a state between the time when the viscosity starts to increase and the time before it is completely cured. The average particle size of the particles constituting the magnetic resin powder is not particularly limited.

磁性樹脂粉末を調製する方法としては、例えば、後述する磁性樹脂スラリーを用いてアトマイズ法を使用する方法、複合磁性粉末と硬化性樹脂及び熱可塑性樹脂からなる群から選択される少なくとも一種の樹脂の粉末とを3本ロールミルなどで混ぜ合わせる方法、後述する磁性樹脂シートを破砕する方法などが挙げられる。磁性樹脂粉末を構成する個々の粒子をほぼ球形とすることができる点で、特にアトマイズ法が好ましい。磁性樹脂粉を構成する個々の粒子がほぼ球形であると、その後の成形加工時の流動性が良好となる。アトマイズ法では、磁性樹脂スラリーを高温(例えば140℃)の環境下で噴霧して霧状の粒にするとともに、急速に乾燥して溶剤を揮発させることによって、磁性樹脂粉を調製する。第一の磁性樹脂組成物は、複合磁性粉末の含有量が多めであるため、粘度が高くなるおそれがある。しかし、上記のように溶剤を使用して一旦、磁性樹脂スラリーとした後、これを噴霧しながら高温の環境下にさらすと急激に揮発成分である溶剤が放散し、粉状となるので、その後の取扱いが良好となる。 As a method for preparing the magnetic resin powder, for example, a method using an atomizing method using a magnetic resin slurry described later, or at least one resin selected from the group consisting of a composite magnetic powder and a curable resin and a thermoplastic resin. Examples thereof include a method of mixing the powder with a three-roll mill or the like, and a method of crushing a magnetic resin sheet described later. The atomizing method is particularly preferable in that the individual particles constituting the magnetic resin powder can be made substantially spherical. When the individual particles constituting the magnetic resin powder are substantially spherical, the fluidity during the subsequent molding process becomes good. In the atomizing method, the magnetic resin slurry is sprayed in an environment of a high temperature (for example, 140 ° C.) to form mist-like particles, and the magnetic resin powder is rapidly dried to volatilize the solvent to prepare a magnetic resin powder. Since the first magnetic resin composition contains a large amount of the composite magnetic powder, the viscosity may increase. However, once the magnetic resin slurry is prepared by using the solvent as described above, when the slurry is exposed to a high temperature environment while being sprayed, the solvent, which is a volatile component, is rapidly released and becomes powdery. Will be handled well.

[磁性樹脂スラリー]
本実施形態に係る磁性樹脂スラリー(以下、磁性樹脂スラリー)は、磁性樹脂組成物が、溶剤をさらに含有し、スラリー状である。スラリー状とは、磁性樹脂組成物が溶剤を含有し、室温において流動性を有することをいう。磁性樹脂組成物は、第一の磁性樹脂組成物であってもよく、第二の磁性樹脂組成物であってもよい。すなわち、磁性樹脂スラリーは、第一の磁性樹脂組成物が溶剤を含有するスラリー状であってもよく、第二の磁性樹脂組成物が溶剤を含有するスラリー状であってもよい。
[Magnetic resin slurry]
The magnetic resin slurry (hereinafter referred to as magnetic resin slurry) according to the present embodiment is in the form of a slurry in which the magnetic resin composition further contains a solvent. “Slurry” means that the magnetic resin composition contains a solvent and has fluidity at room temperature. The magnetic resin composition may be the first magnetic resin composition or the second magnetic resin composition. That is, the magnetic resin slurry may be in the form of a slurry in which the first magnetic resin composition contains a solvent, or may be in the form of a slurry in which the second magnetic resin composition contains a solvent.

溶剤として、メチルエチルケトン(MEK)、N,N−ジメチルホルムアミド(DMF)、アセトン、メチルイソブチルケトン(MIBK)などを用いることができる。溶剤を1種のみ使用してもよく、2種以上混合して使用してもよい。溶剤を2種以上混合する場合、混合比(質量比及び体積比)は特に限定されない。磁性樹脂スラリーにおける溶剤の含有量は、特に限定されない。 As the solvent, methyl ethyl ketone (MEK), N, N-dimethylformamide (DMF), acetone, methyl isobutyl ketone (MIBK) and the like can be used. Only one type of solvent may be used, or two or more types may be mixed and used. When two or more kinds of solvents are mixed, the mixing ratio (mass ratio and volume ratio) is not particularly limited. The content of the solvent in the magnetic resin slurry is not particularly limited.

磁性樹脂スラリーにおける磁性粉末の充填率(以下、磁性粉末のコンテント)は、磁性樹脂スラリーの固形分全体に対して、好ましくは20体積%以上99体積%以下、より好ましくは53体積%以上95体積%以下である。磁性粉末のコンテントが上記範囲内であれば、100MHzでの実数部(μ’)を高くすることができるとともに、磁性樹脂シートの流動性を、制御しやすくなる。磁性粉末のコンテントの算出方法は、磁性樹脂スラリーの固形分を構成する各材質の配合量と、各材質の比重とから算出した。ここで、磁性樹脂スラリーの固形分とは、磁性樹脂スラリーから溶剤を除いた分である。 The filling ratio of the magnetic powder in the magnetic resin slurry (hereinafter, the content of the magnetic powder) is preferably 20% by volume or more and 99% by volume or less, and more preferably 53% by volume or more and 95% by volume with respect to the total solid content of the magnetic resin slurry. % Or less. When the content of the magnetic powder is within the above range, the real number part (μ') at 100 MHz can be increased, and the fluidity of the magnetic resin sheet can be easily controlled. The method for calculating the content of the magnetic powder was calculated from the blending amount of each material constituting the solid content of the magnetic resin slurry and the specific gravity of each material. Here, the solid content of the magnetic resin slurry is the amount obtained by removing the solvent from the magnetic resin slurry.

磁性樹脂スラリーの調製方法としては、例えば、硬化性樹脂及び熱可塑性樹脂からなる群から選択される少なくとも一種の樹脂を溶剤に溶解させて樹脂溶液を得、得られる樹脂溶液に複合磁性粉末を添加して混練し、必要に応じて最後に硬化剤、硬化促進剤、表面処理剤、エラストマーなどを添加して均一になるように攪拌する方法などが挙げられる。 As a method for preparing the magnetic resin slurry, for example, at least one resin selected from the group consisting of a curable resin and a thermoplastic resin is dissolved in a solvent to obtain a resin solution, and a composite magnetic powder is added to the obtained resin solution. Then, kneading is carried out, and if necessary, a curing agent, a curing accelerator, a surface treatment agent, an elastomer and the like are finally added and stirred so as to be uniform.

[磁性樹脂シート]
本実施形態に係る磁性樹脂シート1(以下、磁性樹脂シート1)は、磁性樹脂組成物が、シート状である。磁性樹脂組成物は、第一の磁性樹脂組成物であってもよく、第二の磁性樹脂組成物であってもよい。磁性樹脂組成物が第一の磁性樹脂組成物である場合、磁性樹脂シート1は、第一の磁性樹脂組成物がシート状であってもよく、第一の磁性樹脂組成物の半硬化物のシート状であってもよい。
[Magnetic resin sheet]
The magnetic resin sheet 1 (hereinafter referred to as the magnetic resin sheet 1) according to the present embodiment has a magnetic resin composition in the form of a sheet. The magnetic resin composition may be the first magnetic resin composition or the second magnetic resin composition. When the magnetic resin composition is the first magnetic resin composition, the magnetic resin sheet 1 may have the first magnetic resin composition in the form of a sheet, and the semi-cured product of the first magnetic resin composition. It may be in the form of a sheet.

磁性樹脂シート1のサイズは、磁性樹脂シート1の使用用途に応じて適宜調整すればよい。磁性樹脂シート1の厚みは、好ましくは10μm以上500μm以下、より好ましくは50μm以上300μm以下である。磁性樹脂シート1の流動性を示すグリニス値は、好ましくは60%以上95%以下、より好ましくは70%以上90%未満である。磁性樹脂シート1のグリニス値が上記範囲内であれば、例えば、主面に配線が形成された配線基板の主面上に磁性樹脂シート1が積層された積層板をラミネートまたはプレスにより成型する際、適度な流動性を有する磁性樹脂シート1は配線を十分に埋め込むことができると共に、磁性樹脂シート1が流動しすぎて、磁性樹脂シート1のはみ出しによってラミネータまたはプレス機が汚損されるなどの問題を避けることができる。グリニス値は、実施例に記載の方法と同様にして測定することができる。 The size of the magnetic resin sheet 1 may be appropriately adjusted according to the intended use of the magnetic resin sheet 1. The thickness of the magnetic resin sheet 1 is preferably 10 μm or more and 500 μm or less, and more preferably 50 μm or more and 300 μm or less. The greenis value indicating the fluidity of the magnetic resin sheet 1 is preferably 60% or more and 95% or less, and more preferably 70% or more and less than 90%. When the greenis value of the magnetic resin sheet 1 is within the above range, for example, when molding a laminated plate in which the magnetic resin sheet 1 is laminated on the main surface of a wiring substrate in which wiring is formed on the main surface by laminating or pressing. The magnetic resin sheet 1 having an appropriate fluidity can sufficiently embed wiring, and the magnetic resin sheet 1 flows too much, causing problems such as the laminator or the press machine being contaminated by the protrusion of the magnetic resin sheet 1. Can be avoided. The greenis value can be measured in the same manner as described in the examples.

磁性樹脂シート1のボラタイル量は、好ましくは1質量%以下、より好ましくは0.2質量%以下である。磁性樹脂シート1のボラタイル量が上記範囲内であれば、表面をカバーフィルムで覆った磁性樹脂シート1の冷凍保管または冷蔵保管と、常温戻しとを繰り返した際に、磁性樹脂シート1とカバーフィルムとの間に、磁性樹脂シート1中の溶剤が揮発することに起因する斑点模様が発生することを防止したり、磁性樹脂シート1の流動性が高くなりすぎることを防ぐことができる。ボラタイル量は、実施例に記載の方法と同様にして測定することができる。 The amount of volatile of the magnetic resin sheet 1 is preferably 1% by mass or less, more preferably 0.2% by mass or less. When the amount of volatile of the magnetic resin sheet 1 is within the above range, the magnetic resin sheet 1 and the cover film are stored when the magnetic resin sheet 1 whose surface is covered with a cover film is repeatedly frozen or refrigerated and returned to room temperature. It is possible to prevent the occurrence of a speckled pattern due to the volatilization of the solvent in the magnetic resin sheet 1 and prevent the magnetic resin sheet 1 from becoming too fluid. The amount of volatility can be measured in the same manner as described in the examples.

磁性樹脂シート1は、シート状であるので大面積を均一な厚みの磁性材料で形成することが容易で、粉状やペースト状では困難なプリント配線板の材料などに有用である。磁性樹脂シート1は半硬化物であるので、例えば、真空引きを行いながら加熱加圧して、プリント配線板の回路などを埋め込み成形する際に使用することができる。 Since the magnetic resin sheet 1 is in the form of a sheet, it is easy to form a large area with a magnetic material having a uniform thickness, and it is useful as a material for a printed wiring board, which is difficult in the form of powder or paste. Since the magnetic resin sheet 1 is a semi-cured product, it can be used, for example, when heating and pressurizing while evacuating to embed and mold a circuit of a printed wiring board or the like.

磁性樹脂シート1の製造方法として、例えば、図2A〜図2Cに示すように、フィルム2上に磁性樹脂スラリーを塗布して磁性樹脂スラリー層3を形成し、乾燥又は加熱する方法などが挙げられる。フィルム2として、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム、金属箔などを用いることができる。フィルム2の厚みは特に限定されない。磁性樹脂スラリー層3が塗布されるフィルム2の表面はあらかじめ離型処理が施されていることが好ましい。また、磁性樹脂ペーストをフィルム2上に塗布し、乾燥又は加熱することによって磁性樹脂シート1を作製してもよい。 Examples of the method for producing the magnetic resin sheet 1 include a method in which a magnetic resin slurry is applied onto a film 2 to form a magnetic resin slurry layer 3 and dried or heated, as shown in FIGS. 2A to 2C. .. As the film 2, for example, a polyethylene terephthalate (PET) film, a metal foil, or the like can be used. The thickness of the film 2 is not particularly limited. It is preferable that the surface of the film 2 to which the magnetic resin slurry layer 3 is applied is previously subjected to a mold release treatment. Further, the magnetic resin sheet 1 may be produced by applying the magnetic resin paste on the film 2 and drying or heating the film 2.

[金属箔付磁性樹脂シート]
本実施形態に係る金属箔付磁性樹脂シート30(以下、金属箔付磁性樹脂シート30)は、図4に示すように、磁性樹脂シート1と、この磁性樹脂シート1の少なくとも一方の面に積層された、厚みが5μm以下の金属箔8とを備える。図4では、金属箔付磁性樹脂シート30は、磁性樹脂シート1と、この磁性樹脂シート1の片面に積層された金属箔8とからなる2層構成である。金属箔付磁性樹脂シート30は、磁性樹脂シート1と、この磁性樹脂シート1の両面に積層された2つの金属箔8とからなる3層構成であってもよい。金属箔付磁性樹脂シート30は、磁性樹脂シート1と金属箔8との間に他の層を備えていてもよい。
[Magnetic resin sheet with metal foil]
As shown in FIG. 4, the magnetic resin sheet 30 with a metal foil (hereinafter, the magnetic resin sheet 30 with a metal foil) according to the present embodiment is laminated on the magnetic resin sheet 1 and at least one surface of the magnetic resin sheet 1. The metal foil 8 having a thickness of 5 μm or less is provided. In FIG. 4, the magnetic resin sheet 30 with a metal foil has a two-layer structure composed of a magnetic resin sheet 1 and a metal foil 8 laminated on one side of the magnetic resin sheet 1. The magnetic resin sheet 30 with a metal foil may have a three-layer structure including the magnetic resin sheet 1 and two metal foils 8 laminated on both sides of the magnetic resin sheet 1. The magnetic resin sheet 30 with a metal foil may be provided with another layer between the magnetic resin sheet 1 and the metal foil 8.

上述のように、磁性樹脂シート1は、第一の磁性樹脂組成物がシート状であってもよく、第一の磁性樹脂組成物の半硬化物のシート状であってもよく、第二磁性樹脂組成物がシート状であってもよい。 As described above, in the magnetic resin sheet 1, the first magnetic resin composition may be in the form of a sheet, the first magnetic resin composition may be in the form of a sheet of a semi-cured product, and the second magnetism. The resin composition may be in the form of a sheet.

金属箔付磁性樹脂シート30の厚みは、好ましくは10μm以上800μm以下である。金属箔の材質としては、例えば、銅、銀、アルミニウム、ニッケル、ステンレスなどを用いることができる。金属箔の厚みは、0.5μm以上300μm以下であることが好ましい。 The thickness of the magnetic resin sheet 30 with metal foil is preferably 10 μm or more and 800 μm or less. As the material of the metal foil, for example, copper, silver, aluminum, nickel, stainless steel and the like can be used. The thickness of the metal foil is preferably 0.5 μm or more and 300 μm or less.

金属箔付磁性樹脂シート30の調整方法として、例えば、磁性樹脂シート1の片面又は両面に物理的蒸着法により金属箔8を形成する方法が挙げられる。物理蒸着法としては、例えば、真空蒸着法、イオンプレーティング法、スパッタリング法などが挙げられる。また、金属箔8上に磁性樹脂スラリー又は磁性樹脂ペーストをバーコータなどを用いて塗布して乾燥又は加熱することによって金属箔付磁性樹脂シート30を作製してもよい。 Examples of the method for adjusting the magnetic resin sheet 30 with a metal foil include a method of forming the metal foil 8 on one side or both sides of the magnetic resin sheet 1 by a physical vapor deposition method. Examples of the physical vapor deposition method include a vacuum vapor deposition method, an ion plating method, and a sputtering method. Further, the magnetic resin sheet 30 with a metal foil may be produced by applying a magnetic resin slurry or a magnetic resin paste on the metal foil 8 using a bar coater or the like and drying or heating the metal foil 8.

[磁性プリプレグ]
本実施形態に係る磁性プリプレグ40(以下、磁性プリプレグ40)は、図5に示すように、繊維質基材42と、磁性樹脂組成物41又は磁性樹脂組成物41の半硬化物とを備える。磁性プリプレグ40としては、磁性樹脂組成物41又は磁性樹脂組成物41の半硬化物の中に繊維質基材42が存在するものが挙げられる。すなわち、磁性プリプレグ40は、磁性樹脂組成物41又は磁性樹脂組成物41の半硬化物と、磁性樹脂組成物41又は磁性樹脂組成物41の半硬化物中に存在する繊維質基材42と、を備える。磁性プリプレグ40は、繊維質基材42を備えるので、磁性樹脂シート1よりも曲げ強度などに優れる。
[Magnetic prepreg]
As shown in FIG. 5, the magnetic prepreg 40 (hereinafter referred to as magnetic prepreg 40) according to the present embodiment includes a fibrous base material 42 and a semi-cured product of the magnetic resin composition 41 or the magnetic resin composition 41. Examples of the magnetic prepreg 40 include those in which the fibrous base material 42 is present in the magnetic resin composition 41 or the semi-cured product of the magnetic resin composition 41. That is, the magnetic prepreg 40 includes a semi-cured product of the magnetic resin composition 41 or the magnetic resin composition 41, and a fibrous base material 42 existing in the semi-cured product of the magnetic resin composition 41 or the magnetic resin composition 41. To be equipped. Since the magnetic prepreg 40 includes the fibrous base material 42, it is superior in bending strength and the like to the magnetic resin sheet 1.

磁性樹脂組成物は、第一の磁性樹脂組成物であってもよく、第二の磁性樹脂組成物であってもよい。すなわち、磁性プリプレグ40は、第一の樹脂組成物を硬化させる前のものと、繊維質基材42とを備えていてもよく、第一の樹脂組成物の半硬化物と、繊維質基材42とを備えていてもよい。また、磁性プリプレグ40は、第二の樹脂組成物と繊維質基材42とを備えていてもよい。 The magnetic resin composition may be the first magnetic resin composition or the second magnetic resin composition. That is, the magnetic prepreg 40 may include the one before curing the first resin composition and the fibrous base material 42, and the semi-cured product of the first resin composition and the fibrous base material. 42 may be provided. Further, the magnetic prepreg 40 may include a second resin composition and a fibrous base material 42.

磁性プリプレグの厚みは、好ましくは10μm以上500μm以下である。繊維質基材42としては、例えば、織布(クロス)、不織布、パルプ紙、及びリンター紙などを用いることができる。織布としては、例えば、ガラスクロス、アラミドクロス及びポリエステルクロスなどの有機繊維クロス、グラファイトクロスなどを用いることができる。不織布としては、例えば、ガラス不織布、アラミド不織布及びポリエステル不織布などの有機繊維不織布、グラファイト製不織布、無機物(例えば酸化マグネシウム)の不織布などを用いることができる。ガラスクロスを用いると、機械強度が優れた磁性プリプレグ40を得ることができる。特に偏平処理加工したガラスクロスを繊維質基材42として用いることが好ましい。偏平処理加工として、具体的に、例えば、ガラスクロスを適宜の圧力でプレスロールにて連続的に加圧してヤーンを偏平に圧縮する方法が挙げられる。繊維質基材42の厚みは特に限定されず、例えば、0.02mm以上0.3mm以下のものを用いることができる。 The thickness of the magnetic prepreg is preferably 10 μm or more and 500 μm or less. As the fibrous base material 42, for example, woven cloth (cloth), non-woven fabric, pulp paper, linter paper and the like can be used. As the woven fabric, for example, organic fiber cloth such as glass cloth, aramid cloth and polyester cloth, graphite cloth and the like can be used. As the non-woven fabric, for example, organic fiber non-woven fabrics such as glass non-woven fabrics, aramid non-woven fabrics and polyester non-woven fabrics, graphite non-woven fabrics, and inorganic (for example, magnesium oxide) non-woven fabrics can be used. When a glass cloth is used, a magnetic prepreg 40 having excellent mechanical strength can be obtained. In particular, it is preferable to use the flattened glass cloth as the fibrous base material 42. Specific examples of the flattening process include a method in which a glass cloth is continuously pressed with a press roll at an appropriate pressure to flatten the yarn. The thickness of the fibrous base material 42 is not particularly limited, and for example, one having a thickness of 0.02 mm or more and 0.3 mm or less can be used.

磁性プリプレグ40を製造する際には、磁性プリプレグ40を形成するための基材である繊維質基材42に含浸するために、磁性樹脂組成物41は、ワニス状に調製されて用いてもよい。すなわち、磁性樹脂組成物41がワニス状に調製された樹脂ワニスを用いてもよい。このような樹脂ワニスは、例えば、以下のようにして調製することができる。 When producing the magnetic prepreg 40, the magnetic resin composition 41 may be prepared in the form of a varnish and used in order to impregnate the fibrous base material 42, which is a base material for forming the magnetic prepreg 40. .. That is, a resin varnish in which the magnetic resin composition 41 is prepared in the form of a varnish may be used. Such a resin varnish can be prepared, for example, as follows.

まず、磁性樹脂組成物41における、硬化性樹脂及び熱可塑性樹脂からなる群から選択される少なくとも一種の樹脂を含む、溶媒に溶解可能な各成分を、溶媒に投入して溶解させる。この際、必要に応じて、加熱してもよい。その後、複合磁性粉末を含む、溶媒に溶解しない成分を添加して、ボールミル、ビーズミル、プラネタリーミキサー、ロールミル等を用いて、所定の分散状態になるまで分散させることにより、ワニス状の組成物が調製される。ここで用いられる溶媒としては、磁性樹脂組成物が含有することのできる溶媒として上述されたのと同様の溶媒を用いることができる。 First, each component of the magnetic resin composition 41 that is soluble in a solvent, including at least one resin selected from the group consisting of a curable resin and a thermoplastic resin, is put into a solvent and dissolved. At this time, heating may be performed if necessary. Then, a component that is insoluble in a solvent, including a composite magnetic powder, is added and dispersed using a ball mill, a bead mill, a planetary mixer, a roll mill, or the like until a predetermined dispersion state is obtained, thereby forming a varnish-like composition. Prepared. As the solvent used here, the same solvent as described above can be used as the solvent that can be contained in the magnetic resin composition.

磁性プリプレグ40を製造する際には、磁性樹脂組成物41がワニス状に調製された樹脂ワニスを用いてもよく、上記で説明した、ペースト状の磁性樹脂組成物41である磁性樹脂ペーストや、スラリー状の磁性樹脂組成物41である磁性樹脂スラリーを用いてもよい。 When producing the magnetic prepreg 40, a resin varnish in which the magnetic resin composition 41 is prepared in the form of a varnish may be used, and the magnetic resin paste which is the paste-like magnetic resin composition 41 described above may be used. A magnetic resin slurry which is a slurry-like magnetic resin composition 41 may be used.

磁性プリプレグ40の製造方法としては、例えば、繊維質基材42に、ワニス状に調製された磁性樹脂組成物41、磁性樹脂組成物41を含有する磁性樹脂ペースト、又は磁性樹脂組成物41を含有する磁性樹脂スラリーを含浸させて、乾燥させる方法などが挙げられる。 As a method for producing the magnetic prepreg 40, for example, the fibrous base material 42 contains a magnetic resin composition 41 prepared in a varnish shape, a magnetic resin paste containing the magnetic resin composition 41, or a magnetic resin composition 41. Examples thereof include a method of impregnating the magnetic resin slurry to be dried and drying the mixture.

磁性樹脂組成物41は、繊維質基材42へ、浸漬及び塗布等によって含浸されうる。必要に応じて浸漬及び塗布等を複数回繰り返して含浸させてもよい。また、組成や濃度の異なる複数の磁性樹脂組成物41又は磁性樹脂組成物41を含有する磁性樹脂ペーストや磁性樹脂スラリーを用いて含浸を繰り返すことにより、最終的に希望とする組成及び含浸量に調整することも可能である。 The magnetic resin composition 41 can be impregnated into the fibrous base material 42 by dipping, coating or the like. If necessary, dipping and coating may be repeated a plurality of times for impregnation. Further, by repeating impregnation using a plurality of magnetic resin compositions 41 having different compositions and concentrations, or a magnetic resin paste or magnetic resin slurry containing the magnetic resin composition 41, the final desired composition and impregnation amount can be obtained. It is also possible to adjust.

磁性樹脂組成物41として熱硬化性樹脂を含有する第一の磁性樹脂組成物を用いる場合、第一の磁性樹脂組成物を繊維質基材42へ含浸させた後、所望の加熱条件、例えば、80℃以上180℃以下で1分以上10分以下加熱してもよい。加熱によって、第一の磁性樹脂組成物の半硬化物を備える磁性プリプレグ40を得ることができる。 When the first magnetic resin composition containing a thermosetting resin is used as the magnetic resin composition 41, after impregnating the fibrous base material 42 with the first magnetic resin composition, desired heating conditions, for example, You may heat at 80 degreeC or more and 180 degreeC or less for 1 minute or more and 10 minutes or less. By heating, a magnetic prepreg 40 comprising a semi-cured product of the first magnetic resin composition can be obtained.

[インダクタ部品]
本実施形態に係るインダクタ部品(以下、インダクタ部品)は、コイル状配線と、コイル状配線を被覆する絶縁層とを備え、絶縁層が、第一の磁性樹脂組成物の硬化物、又は第二の磁性樹脂組成物の固化物(以下、磁性材料という場合がある)で成形されている。本実施形態では、第一の磁性樹脂組成物の硬化物、又は第二の磁性樹脂組成物の固化物で成形されているので、絶縁層の100MHzでの磁性材料のQ値が高くなりやすく、高周波インダクタ部品として好適に用いることができる。特に、第一の磁性樹脂組成物の硬化物及び第二の磁性樹脂組成物の固化物の100MHzでのQ値が20以上である場合、絶縁層の100MHzでの磁性材料のQ値が20以上となるため、本実施形態のインダクタ部品は、高周波インダクタ部品として特に好適に用いることができる。高周波インダクタ部品の例は、コイル、インダクタ、フィルタ、リアクトル、及びトランスを含む。このようなインダクタ部品の用途としては、例えば、ノイズフィルタの部品、インピーダンスマッチング回路の部品などが挙げられる。ノイズフィルタとしては、ローパスフィルタ、コモンチョークコイルなどが挙げられる。
[Inductor parts]
The inductor component according to the present embodiment (hereinafter, inductor component) includes a coil-shaped wiring and an insulating layer that covers the coil-shaped wiring, and the insulating layer is a cured product of the first magnetic resin composition or a second. It is molded from a solidified product of the magnetic resin composition (hereinafter, may be referred to as a magnetic material). In the present embodiment, since it is molded from the cured product of the first magnetic resin composition or the solidified product of the second magnetic resin composition, the Q value of the magnetic material of the insulating layer at 100 MHz tends to be high. It can be suitably used as a high-frequency inductor component. In particular, when the cured product of the first magnetic resin composition and the solidified product of the second magnetic resin composition have a Q value of 20 or more at 100 MHz, the Q value of the magnetic material of the insulating layer at 100 MHz is 20 or more. Therefore, the inductor component of the present embodiment can be particularly preferably used as a high-frequency inductor component. Examples of high frequency inductor components include coils, inductors, filters, reactors, and transformers. Applications of such inductor components include, for example, noise filter components, impedance matching circuit components, and the like. Examples of the noise filter include a low-pass filter and a common choke coil.

インダクタ部品の構造は、インダクタ部品の用途に応じて適宜調整すればよく、例えば、巻線型、積層型、フィルム型などが挙げられる。 The structure of the inductor component may be appropriately adjusted according to the application of the inductor component, and examples thereof include a winding type, a laminated type, and a film type.

インダクタ部品のサイズは、インダクタ部品の使用用途に応じて適宜調整すればよく、略立方形状の高周波インダクタ部品として使用する場合には、好ましくは、縦15mm以下×横15mm以下×高さ10mm以下である。 The size of the inductor component may be appropriately adjusted according to the intended use of the inductor component, and when used as a substantially cubic high-frequency inductor component, it is preferably 15 mm or less in length × 15 mm or less in width × 10 mm or less in height. is there.

コイル状配線の形状は、インダクタ部品の使用用途に応じて適宜選択すればよく、例えば、渦巻き状が平面的に形成されてもよいし、渦巻き状が三次元的に形成されていてもよい。渦巻き状が三次元的に形成されている場合、その巻構造は、横巻構造であっても、縦巻構造であってもよい。コイル状配線の始端及び終端は、それぞれ別の外部電極端子に電気的に接続されて使用される。コイル状配線の材質としては、例えば、Ag、Au、Cu、Ag−Pd、Niなどを用いることができる。 The shape of the coiled wiring may be appropriately selected according to the intended use of the inductor component. For example, the spiral shape may be formed in a plane, or the spiral shape may be formed three-dimensionally. When the spiral shape is formed three-dimensionally, the winding structure may be a horizontal winding structure or a vertical winding structure. The start and end of the coiled wiring are electrically connected to different external electrode terminals for use. As the material of the coiled wiring, for example, Ag, Au, Cu, Ag-Pd, Ni and the like can be used.

絶縁層は、コイル状配線の始端及び終端を除き、コイル状配線を被覆している。絶縁層の原料は、第1の磁性樹脂組成物又は第2の磁性樹脂組成物である。 The insulating layer covers the coiled wiring except for the beginning and the end of the coiled wiring. The raw material of the insulating layer is a first magnetic resin composition or a second magnetic resin composition.

インダクタ部品の製造方法としては、インダクタ部品の使用用途に応じたインダクタ部品の構成に応じて適宜選択すればよく、例えば、印刷方法、シート工法などによりコイル状配線を三次元的に連続して形成する方法が挙げられる。印刷方法は、磁性樹脂シート又は第2の磁性樹脂組成物のシート状物(以下、まとめてグリーンシートという)と、コイル状配線を構成する導体ペーストとを交互に印刷積層し、インダクタ部品の内部に立体的な巻き線を形成する方法である。シート工法は、グリーンシートにスルーホールを形成し、導体ペーストを印刷充填して積層する方法である。 The method for manufacturing the inductor component may be appropriately selected according to the configuration of the inductor component according to the intended use of the inductor component. For example, coiled wiring is continuously formed three-dimensionally by a printing method, a sheet method, or the like. There is a way to do it. The printing method is as follows: a magnetic resin sheet or a sheet of a second magnetic resin composition (hereinafter collectively referred to as a green sheet) and a conductor paste constituting the coiled wiring are alternately printed and laminated to form the inside of the inductor component. It is a method of forming a three-dimensional winding. The sheet construction method is a method of forming through holes in a green sheet, printing and filling conductor paste, and laminating.

以下、本発明を実施例によって具体的に説明するが、本発明は実施例に限定されない。 Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to Examples, but the present invention is not limited to the Examples.

磁性樹脂スラリーの原料を以下に示す。
[磁性粉末]
(第一の粉末)
・合金鉄粉末1(エプソンアトミックス株式会社製の「AW2−08/PF5KG」、代表組成:Fe−Si−Cr、平均粒径:4μm、粒子形状:すべて球状、絶縁処理:有り)
・合金鉄粉末2(エプソンアトミックス株式会社製の「AW2−08/PF3KG」、代表組成:Fe−Si−Cr、平均粒径:3μm、粒子形状:すべて球状、絶縁処理:有り)
(他の磁性粉末)
・合金粉末(エプソンアトミックス株式会社製の「AW2−08/PF8KG」、代表組成:Fe−Si−Cr、平均粒径:5μm、粒子形状:すべて球状、絶縁処理:有り)
・純鉄粉末(BASFジャパン株式会社製の「CIP FM」、代表組成:Fe、平均粒径:2μm、粒子形状:すべて球状、絶縁処理:無し)
・フェライト粉末1(パウダーテック株式会社製の「E001」、組成:Mn−Mg−Sr系フェライト、平均粒径:50nm、粒子形状:すべて球状、絶縁処理:無し)
・フェライト粉末2(パウダーテック株式会社製の「M001」、組成:Mn系フェライト、平均粒径:50nm、粒子形状:すべて球状、絶縁処理:無し)
[非磁性粉末]
(第二の粉末)
・シリカ粉末1(株式会社トクヤマ製の「SSP−10M」、平均粒径:1μm、粒子形状:すべて球状)
・アルミナ粉末(株式会社アドマテックス製の「AO502」、平均粒径:0.7μm、粒子形状:すべて球状)
・シリカ粉末2(株式会社トクヤマ製の「SSP−01M」、平均粒径:0.1μm、粒子形状:すべて球状)
[熱硬化性樹脂]
・ビスフェノールA型エポキシ樹脂(DIC株式会社製の「850S」)
・ビスフェノールF型エポキシ樹脂(新日鉄住金化学株式会社製の「YDF8170」)
・3官能エポキシ樹脂(株式会社プリンテック製の「VG3101」)
・多官能エポキシ樹脂(日本化薬株式会社製の「NC3000」)
[熱可塑性樹脂]
・フェノキシ樹脂(新日鉄住金化学株式会社製の「YP50EK35」)
[添加剤]
(硬化剤)
・ジシアンジアミド(日本カーバイド工業株式会社製の「ジシアンジアミド」)
(硬化促進剤)
・イミダゾール1(四国化成工業株式会社製の「2E4MZ」)
・イミダゾール2(四国化成工業株式会社製の「2MAOK−PW」)
(表面処理剤)
・シランカップリング剤1(モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン合同会社製の「A1871」)
・シランカップリング剤2(モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン合同会社製の「A186」)
・分散剤(ビックケミー・ジャパン株式会社BYKJapan KK製の「BYK-W903」)
(溶剤)
・MEK(メチルエチルケトン)
・DMF(N,N−ジメチルホルムアミド)
The raw materials for the magnetic resin slurry are shown below.
[Magnetic powder]
(First powder)
-Alloy iron powder 1 ("AW2-08 / PF5KG" manufactured by Epson Atmix Co., Ltd., representative composition: Fe-Si-Cr, average particle size: 4 μm, particle shape: all spherical, insulation treatment: yes)
-Alloy iron powder 2 ("AW2-08 / PF3KG" manufactured by Epson Atmix Co., Ltd., representative composition: Fe-Si-Cr, average particle size: 3 μm, particle shape: all spherical, insulation treatment: yes)
(Other magnetic powder)
-Alloy powder ("AW2-08 / PF8KG" manufactured by Epson Atmix Co., Ltd., representative composition: Fe-Si-Cr, average particle size: 5 μm, particle shape: all spherical, insulation treatment: yes)
-Pure iron powder ("CIP FM" manufactured by BASF Japan Ltd., representative composition: Fe, average particle size: 2 μm, particle shape: all spherical, insulation treatment: none)
Ferrite powder 1 ("E001" manufactured by Powdertech Co., Ltd., composition: Mn-Mg-Sr-based ferrite, average particle size: 50 nm, particle shape: all spherical, insulation treatment: none)
Ferrite powder 2 ("M001" manufactured by Powdertech Co., Ltd., composition: Mn-based ferrite, average particle size: 50 nm, particle shape: all spherical, insulation treatment: none)
[Non-magnetic powder]
(Second powder)
-Silica powder 1 ("SSP-10M" manufactured by Tokuyama Corporation, average particle size: 1 μm, particle shape: all spherical)
-Alumina powder ("AO502" manufactured by Admatex Co., Ltd., average particle size: 0.7 μm, particle shape: all spherical)
-Silica powder 2 ("SSP-01M" manufactured by Tokuyama Corporation, average particle size: 0.1 μm, particle shape: all spherical)
[Thermosetting resin]
-Bisphenol A type epoxy resin ("850S" manufactured by DIC Corporation)
-Bisphenol F type epoxy resin ("YDF8170" manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.)
・ Trifunctional epoxy resin (“VG3101” manufactured by Printec Co., Ltd.)
-Multifunctional epoxy resin ("NC3000" manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
[Thermoplastic resin]
・ Phenoxy resin (“YP50EK35” manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.)
[Additive]
(Hardener)
・ Dicyandiamide (“Dicyandiamide” manufactured by Nippon Carbide Industry Co., Ltd.)
(Curing accelerator)
・ Imidazole 1 (“2E4MZ” manufactured by Shikoku Chemicals Corporation)
・ Imidazole 2 (“2MAOK-PW” manufactured by Shikoku Chemicals Corporation)
(Surface treatment agent)
・ Silane Coupling Agent 1 (“A1871” manufactured by Momentive Performance Materials Japan LLC)
・ Silane Coupling Agent 2 (“A186” manufactured by Momentive Performance Materials Japan LLC)
・ Dispersant (“BYK-W903” manufactured by BYK Japan KK, Big Chemie Japan Co., Ltd.)
(solvent)
・ MEK (Methyl Ethyl Ketone)
-DMF (N, N-dimethylformamide)

グリニス値、ボラタイル量、2.0rpm粘度、チクソ指数、DMA−Tg、表面抵抗値、及び磁性特性の測定方法を以下に示す。 The methods for measuring the greenis value, the amount of volatile, the viscosity at 2.0 rpm, the Chixo index, the DMA-Tg, the surface resistance value, and the magnetic properties are shown below.

[グリニス値の測定]
グリニス値は、次のようにして求めた。
1)厚み200μmの磁性シートを60mmφの金型で打ち抜き加工し、ポリエチレンテレフタレートフィルムを剥がした状態のものを試験板4として準備した。
2)図3に示すように、試験板4の両面に、厚み75μmの離型PETフィルム5、及び厚み1.8mmのSUS板6をこの順で積層して、サンプルセットを得た。
3)サンプルセットを、プレス熱盤温度を135℃に設定した熱盤7により、大気圧下で、実圧2.0Mpa、10分間上下からプレスして成型を行った。
4)成型後の試験板の面積を画像処理により計算して算出した。
5)下記式により2回の測定値を算出して、その平均値をグリニス値とした。なお、成型前の6cmφの試験片面積を28.26cm(30m×30mm×3.14)とした。
グリニス値(%)={1−28.26/成型後の試験片の面積}×100
グリニス値が60以上:成型に必須
グリニス値が70以上90未満:配線埋め込みに好ましい
グリニス値が90以上:成型時に、はみ出し量が多く、好ましくない
[Measurement of Greenis value]
The Greenis value was calculated as follows.
1) A magnetic sheet having a thickness of 200 μm was punched out with a die having a thickness of 60 mmφ, and a state in which the polyethylene terephthalate film was peeled off was prepared as a test plate 4.
2) As shown in FIG. 3, a release PET film 5 having a thickness of 75 μm and a SUS plate 6 having a thickness of 1.8 mm were laminated in this order on both sides of the test plate 4 to obtain a sample set.
3) The sample set was molded by pressing the sample set from above and below for 10 minutes at an actual pressure of 2.0 Mpa under atmospheric pressure with a heat plate 7 in which the press heat plate temperature was set to 135 ° C.
4) The area of the test plate after molding was calculated by image processing.
5) The measured values were calculated twice by the following formula, and the average value was taken as the Greenis value. The area of the 6 cmφ test piece before molding was 28.26 cm 2 (30 m × 30 mm × 3.14).
Greenis value (%) = {1-28.26 / area of test piece after molding} x 100
Greenis value of 60 or more: essential for molding Greenis value of 70 or more and less than 90: preferable for wiring embedding
Greenis value of 90 or more: It is not preferable because the amount of protrusion is large during molding.

[ボラタイル量の測定]
厚み200μmの磁性シートを80mmφの金型で打ち抜き加工し、デシケータ内で30分間静置後に、初期重量を測定した。その後、163℃のオーブンへ15分間投入して、取り出してすぐにデシケータ内で30分以上静置・冷却した。デシケータから取り出し後すぐ重量を測定し、下記計算式によりボラタイル量を算出した。
ボラタイル(%)={シートの減少重量/シートの初期重量}×100
[Measurement of volatile amount]
A magnetic sheet having a thickness of 200 μm was punched out with a die having a diameter of 80 mm, and after standing in a desiccator for 30 minutes, the initial weight was measured. Then, it was put into an oven at 163 ° C. for 15 minutes, and immediately after being taken out, it was allowed to stand and cooled in a desiccator for 30 minutes or more. The weight was measured immediately after being taken out from the desiccator, and the amount of volatility was calculated by the following formula.
Volatile (%) = {Reduced weight of sheet / Initial weight of sheet} x 100

[2.0rpm粘度]
磁性樹脂ペーストの粘度は、TAインスツルメント社製のレオメータ「AR2000ex」を用いて測定した。具体的には、上下の直径25mmパラレルプレート間のギャップを300μmに設定し、ここへ磁性樹脂ペーストを充填した後、室温下で2分間の温度均衡時間をおいて、回転数0.2rpmにて粘度測定を行った。また、同様にして回転数2.0rpmでの粘度測定を行った。
[2.0 rpm viscosity]
The viscosity of the magnetic resin paste was measured using a rheometer "AR2000ex" manufactured by TA Instruments. Specifically, the gap between the upper and lower parallel plates having a diameter of 25 mm is set to 300 μm, and after filling the gap with the magnetic resin paste, a temperature equilibrium time of 2 minutes is allowed at room temperature, and the rotation speed is 0.2 rpm. Viscosity measurement was performed. Further, the viscosity was measured at a rotation speed of 2.0 rpm in the same manner.

[チクソ指数]
磁性樹脂ペーストのチクソ指数は、上記の[2.0rpm粘度]の測定において測定した0.2rpm粘度及び2.0rpm粘度の値を用いて、下記計算式により算出した。
チクソ指数=0.2rpm粘度/2.0rpm粘度
[Chixo Index]
The chixo index of the magnetic resin paste was calculated by the following formula using the values of 0.2 rpm viscosity and 2.0 rpm viscosity measured in the above measurement of [2.0 rpm viscosity].
Chixo index = 0.2 rpm viscosity / 2.0 rpm viscosity

[DMA−Tgの測定]
磁性樹脂シートのDMA−Tgは、セイコーインスツルメンツ株式会社製の粘弾性スペクトロメータ「DMS100」を用いて測定した。具体的に、引張モジュールで周波数を10Hzとして動的粘弾性測定(DMA)を行い、昇温速度5℃/分の条件で室温から320℃まで昇温した際のtanδが極大を示す温度をDMA−Tgとした。
[Measurement of DMA-Tg]
The DMA-Tg of the magnetic resin sheet was measured using a viscoelastic spectrometer "DMS100" manufactured by Seiko Instruments Co., Ltd. Specifically, dynamic viscoelasticity measurement (DMA) is performed with a tensile module at a frequency of 10 Hz, and the temperature at which tan δ reaches the maximum when the temperature is raised from room temperature to 320 ° C. It was set to −Tg.

[表面抵抗値の測定]
表面抵抗値は、規格ASTM D257に則って、ADVANTEST社製の「R8340A」を用いて測定した。具体的には、主電極(25mmφ)及び主電極と同心円の電極(内径38mmφ、外径50mmφ)からなる表面電極と、裏面電極(50mmφ)との間に試験片(50mm×50mm×1mmt)を配置し、下記の設定条件で測定した。
設定条件:印加電圧100V、チャージ時間60秒、ディスチャージ時間0.1秒
[Measurement of surface resistance value]
The surface resistance value was measured using "R8340A" manufactured by ADVANTEST in accordance with the standard ASTM D257. Specifically, a test piece (50 mm × 50 mm × 1 mmt) is placed between the front electrode (25 mmφ) and the front electrode composed of the main electrode (inner diameter 38 mmφ, outer diameter 50 mmφ) and the back electrode (50 mmφ). It was arranged and measured under the following setting conditions.
Setting conditions: applied voltage 100V, charge time 60 seconds, discharge time 0.1 seconds

[複素透磁率の測定]
磁性樹脂シートを10枚重ね、これを加熱加圧して硬化させ、リング状に切り抜いて評価用リングコア(厚み:1.0mmt、外径:7.0mm、内径:3.2mm)(以下、磁性材料)を得た。加熱加圧条件は、180℃、4.5MPa(50kgf/cm)、1時間であった。得られた100MHzでの磁性材料の複素透磁率は、ヒューレット・パッカード社製の「4291A RFインピーダンス/マテリアル・アナライザ」を用いて測定した。測定条件は、電流の周波数は1MHz以上1.8GHz以下の範囲内、常温であった。測定した初磁化曲線から実数部(μ’)、虚数部(μ”)を得、得られた実数部(μ’)及び虚数部(μ”)から損失係数(Tanδ)及び磁性材料のQ値を算出した。高周波インダクタ部品の設計上、実数部(μ’)は6.0以上であることが好ましい。高周波インダクタ部品として機能するためには、磁性材料のQ値が20以上であることが必須である。さらに、高周波インダクタ部品として良好な性能を発揮には、磁性材料のQ値が33以上であることが好ましい。
[Measurement of complex magnetic permeability]
Ten magnetic resin sheets are stacked, heated and pressed to cure, and cut out into a ring shape for evaluation ring core (thickness: 1.0 mmt, outer diameter: 7.0 mm, inner diameter: 3.2 mm) (hereinafter, magnetic material ) Was obtained. The heating and pressurizing conditions were 180 ° C., 4.5 MPa (50 kgf / cm 2 ), and 1 hour. The complex magnetic permeability of the obtained magnetic material at 100 MHz was measured using a "4291A RF Impedance / Material Analyzer" manufactured by Hewlett-Packard Company. The measurement conditions were that the frequency of the current was in the range of 1 MHz or more and 1.8 GHz or less, and was at room temperature. The real part (μ') and the imaginary part (μ ″) are obtained from the measured initial magnetization curve, and the loss coefficient (Tanδ) and the Q value of the magnetic material are obtained from the obtained real part (μ ′) and imaginary part (μ ”). Was calculated. In designing the high frequency inductor component, the real part (μ') is preferably 6.0 or more. In order to function as a high-frequency inductor component, it is essential that the Q value of the magnetic material is 20 or more. Further, in order to exhibit good performance as a high frequency inductor component, it is preferable that the Q value of the magnetic material is 33 or more.

[実施例1〜6]
実施例1〜6では、磁性粉末のコンテントをそれぞれ変えて、高周波インダクタ部品として機能するのに適正な実数部(μ’)を示す磁性粉末のコンテント、すなわち100MHzでの実数部(μ’)が6.0以上を示す磁性粉末のコンテントの検討を行った。
[Examples 1 to 6]
In Examples 1 to 6, the content of the magnetic powder is changed to show the real part (μ') appropriate for functioning as a high-frequency inductor component, that is, the real part (μ') at 100 MHz is obtained. The content of the magnetic powder showing 6.0 or more was examined.

表1に示す配合割合で、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、3官能エポキシ樹脂、多官能エポキシ樹脂、フェノキシ樹脂、MEK及びDMFを混合して、樹脂溶液を得た。得られた樹脂溶液に、表1に示す配合割合で、合金鉄2(平均粒径:3μm)及びアルミナ(平均粒径:0.7μm)を添加して混練し、ジシアンジアミド、イミダゾール1、シランカップリング剤1、分散剤を添加して均一になるように撹拌することによって、磁性樹脂スラリーを得た。 Bisphenol A type epoxy resin, trifunctional epoxy resin, polyfunctional epoxy resin, phenoxy resin, MEK and DMF were mixed at the blending ratios shown in Table 1 to obtain a resin solution. Ferroalloy 2 (average particle size: 3 μm) and alumina (average particle size: 0.7 μm) are added to the obtained resin solution at the blending ratios shown in Table 1 and kneaded, and dicyandiamide, imidazole 1, and silane cup are added. A magnetic resin slurry was obtained by adding a ring agent 1 and a dispersant and stirring the mixture so as to be uniform.

離形処理が施されたポリエチレンテレフタレートフィルムの表面に得られた磁性樹脂スラリーを塗布して乾燥させることによって、厚み200μmのBステージ状態の磁性樹脂シートを得た。得られた磁性樹脂シートを用いてグリニス値、ボラタイル量、DMA−Tg、表面抵抗値及び磁性特性を測定した。その結果を表1に示す。 The obtained magnetic resin slurry was applied to the surface of the polyethylene terephthalate film subjected to the mold release treatment and dried to obtain a magnetic resin sheet in a B stage state having a thickness of 200 μm. Using the obtained magnetic resin sheet, the greenis value, the amount of volatile, DMA-Tg, the surface resistance value and the magnetic characteristics were measured. The results are shown in Table 1.

Figure 2019112002
Figure 2019112002

表1から明らかなように、磁性粉末のコンテントが高くなるにつれて、実数部(μ’)及び虚数部(μ”)は高くなる一方で、磁性材料のQ値及びグリニス値は低下する傾向にあることがわかった。実施例1〜6の中で、実数部(μ’)及びグリニス値のバランスが最もとれているのは、磁性粉末のコンテントが53.0体積%の実施例4であった。 As is clear from Table 1, as the content of the magnetic powder increases, the real part (μ') and the imaginary part (μ ”) tend to increase, while the Q value and the greenis value of the magnetic material tend to decrease. It was found that among Examples 1 to 6, the one with the best balance between the real part (μ') and the greenis value was Example 4 in which the content of the magnetic powder was 53.0% by volume. ..

[実施例7,8、比較例1〜4]
実施例7,8、比較例1,2では、実施例4の磁性粉末のコンテント(53.0体積%)を維持しながら、第二の粉末に対する第一の粉末の粒径比(以下、単に粒径比)を変えて、高周波インダクタ部品として機能するために必須である磁性材料のQ値を満たす粒径比、すなわち100MHzでの磁性材料のQ値が20以上の粒径比の検討を行った。比較例3及び比較例4では、第一の粉末を含まない。具体的に、表2に示す配合割合で、原料を配合した他は、[実施例1〜6]と同様にして、磁性樹脂スラリーを得た。得られた磁性樹脂シートを用いてグリニス値、ボラタイル量、DMA−Tg、表面抵抗値及び磁性特性を測定した。その結果を表2に示す。
[Examples 7 and 8, Comparative Examples 1 to 4]
In Examples 7 and 8 and Comparative Examples 1 and 2, the particle size ratio of the first powder to the second powder (hereinafter, simply referred to as simply) is maintained while maintaining the content (53.0% by volume) of the magnetic powder of Example 4. By changing the particle size ratio), a particle size ratio that satisfies the Q value of the magnetic material, which is essential for functioning as a high-frequency inductor component, that is, a particle size ratio in which the Q value of the magnetic material at 100 MHz is 20 or more is examined. It was. Comparative Example 3 and Comparative Example 4 do not contain the first powder. Specifically, a magnetic resin slurry was obtained in the same manner as in [Examples 1 to 6] except that the raw materials were blended in the blending ratios shown in Table 2. Using the obtained magnetic resin sheet, the greenis value, the amount of volatile, DMA-Tg, the surface resistance value and the magnetic characteristics were measured. The results are shown in Table 2.

Figure 2019112002
Figure 2019112002

表2から明らかなように、実数部(μ’)及びグリニス値は、粒径比が大きくなるにつれて、低下する傾向にあった。虚数部(μ”)は、粒径比が大きくなると低下し、粒径比が4.3(実施例4)を超えるとほぼ一定となる傾向にあった。磁性材料のQ値は、粒径比が大きくなると、高くなり、粒径比が4.3(実施例4)を超えると低下する傾向であった。また、比較例3では、合金鉄粉末を含まないので、磁性材料のQ値は20未満であった。比較例4では、合金鉄粉末の平均粒径が5μm未満でなかったので、磁性材料のQ値は20未満であった。実施例4,7,8、比較例1〜4の中で、磁性材料のQ値が最も高く、グリニス値が良好であるのは、粒径比が4.3の実施例4であった。 As is clear from Table 2, the real part (μ') and the greenis value tended to decrease as the particle size ratio increased. The imaginary part (μ ”) tended to decrease as the particle size ratio increased, and became almost constant when the particle size ratio exceeded 4.3 (Example 4). The Q value of the magnetic material tended to be substantially constant. As the ratio increased, it tended to increase, and when the particle size ratio exceeded 4.3 (Example 4), it tended to decrease. Further, in Comparative Example 3, since the alloy iron powder was not contained, the Q value of the magnetic material was Was less than 20. In Comparative Example 4, the Q value of the magnetic material was less than 20 because the average particle size of the alloy iron powder was not less than 5 μm. Examples 4, 7, 8 and Comparative Example 1. In Example 4 having a particle size ratio of 4.3, the magnetic material having the highest Q value and the best Grinis value among the materials to 4).

[実施例9〜13、比較例5]
実施例9〜13では、実施例4の磁性粉末のコンテント(53.0体積%)及び粒径比(4.3)を維持しながら、非磁性粉末に対する磁性粉末の質量比(以下、質量比)を変えて、高周波インダクタ部品としての良好な性能を発揮する磁性材料のQ値を満たす第一の質量比、すなわち100MHzでの磁性材料のQ値が33以上の質量比の検討を行った。比較例5では、非磁性粉末を含まない。具体的に、表3に示す配合割合で、原料を配合した他は、[実施例1〜6]と同様にして、磁性樹脂スラリーを得た。得られた磁性樹脂シートを用いてグリニス値、ボラタイル量、DMA−Tg、表面抵抗値及び磁性特性を測定した。その結果を表3に示す。
[Examples 9 to 13, Comparative Example 5]
In Examples 9 to 13, the mass ratio (hereinafter, mass ratio) of the magnetic powder to the non-magnetic powder is maintained while maintaining the content (53.0% by volume) and the particle size ratio (4.3) of the magnetic powder of Example 4. ) Was changed, and the first mass ratio satisfying the Q value of the magnetic material exhibiting good performance as a high-frequency inductor component, that is, the mass ratio in which the Q value of the magnetic material at 100 MHz was 33 or more was examined. Comparative Example 5 does not contain non-magnetic powder. Specifically, a magnetic resin slurry was obtained in the same manner as in [Examples 1 to 6] except that the raw materials were blended in the blending ratios shown in Table 3. Using the obtained magnetic resin sheet, the greenis value, the amount of volatile, DMA-Tg, the surface resistance value and the magnetic characteristics were measured. The results are shown in Table 3.

Figure 2019112002
Figure 2019112002

表3から明らかなように、質量比が小さくなるにつれて、グリニス値は低下し、磁性材料のQ値は高くなる傾向であった。一方、比較例5は、非磁性粉末を含まないので、磁性材料のQ値は20未満であった。実施例4,9〜13、比較例5の中で、磁性材料のQ値が33以上であるのは、質量比が4.0〜5.7の範囲内である実施例11〜13であった。この実施例11〜13の中で、磁性材料のQ値及びグリニス値のバランスが最もとれているのは、質量比が4.7の実施例12であった。 As is clear from Table 3, as the mass ratio decreased, the greenis value tended to decrease and the Q value of the magnetic material tended to increase. On the other hand, in Comparative Example 5, since the non-magnetic powder was not contained, the Q value of the magnetic material was less than 20. Among Examples 4, 9 to 13 and Comparative Example 5, the Q value of the magnetic material is 33 or more in Examples 11 to 13 having a mass ratio in the range of 4.0 to 5.7. It was. In Examples 11 to 13, the best balance between the Q value and the Grinnis value of the magnetic material was found in Example 12 having a mass ratio of 4.7.

[実施例14,15]
実施例14,15では、粒径比を4.3、質量比を6.0に維持しながら、他の磁性粉末としてフェライト粉末を添加し、フェライト粉末の添加による磁性材料のQ値の変化を調べた。具体的に、表4に示す配合割合で、原料を配合した他は、[実施例1〜6]と同様にして、磁性樹脂スラリーを得た。得られた磁性樹脂シートを用いてグリニス値、ボラタイル量、DMA−Tg、表面抵抗値及び磁性特性を測定した。その結果を表4に示す。
[Examples 14 and 15]
In Examples 14 and 15, while maintaining the particle size ratio at 4.3 and the mass ratio at 6.0, ferrite powder was added as another magnetic powder, and the change in the Q value of the magnetic material due to the addition of the ferrite powder was changed. Examined. Specifically, a magnetic resin slurry was obtained in the same manner as in [Examples 1 to 6] except that the raw materials were blended in the blending ratios shown in Table 4. Using the obtained magnetic resin sheet, the greenis value, the amount of volatile, DMA-Tg, the surface resistance value and the magnetic characteristics were measured. The results are shown in Table 4.

Figure 2019112002
Figure 2019112002

表4から明らかなように、第一の粉末全体に対するフェライト粉末の混合割合が約6質量%である実施例14,15では実施例11よりも磁性材料のQ値が下がったが、20以上であった。これらの結果から、フェライト粉末を含む磁性材料のQ値は、フェライト粉末を含まない磁性材料よりも低くなることがわかった。さらに磁性樹脂スラリーは、微粒のフェライト粉末の混合割合を少量含んでいても、高周波インダクタ部品として機能するために必須である磁性材料のQ値を満たすことがわかった。 As is clear from Table 4, in Examples 14 and 15 in which the mixing ratio of the ferrite powder to the entire first powder was about 6% by mass, the Q value of the magnetic material was lower than that in Example 11, but it was 20 or more. there were. From these results, it was found that the Q value of the magnetic material containing ferrite powder was lower than that of the magnetic material not containing ferrite powder. Furthermore, it was found that the magnetic resin slurry satisfies the Q value of the magnetic material, which is indispensable for functioning as a high-frequency inductor component, even if it contains a small amount of fine ferrite powder mixed.

[実施例16]
実施例16では、溶剤を含有させずに、磁性樹脂ペーストを得た。具体的には、表5に示す原料を、表5に示す配合割合で混合し、均一になるよう混練することによって、磁性樹脂ペーストを得た。原料の混合及び混練には、公知の混合機及び混練機を用いた。
[Example 16]
In Example 16, a magnetic resin paste was obtained without containing a solvent. Specifically, the raw materials shown in Table 5 were mixed at the blending ratios shown in Table 5 and kneaded so as to be uniform to obtain a magnetic resin paste. A known mixer and kneader were used for mixing and kneading the raw materials.

Figure 2019112002
Figure 2019112002

表5から明らかなように、溶剤を含有させずに作製された実施例16のチクソ指数は3.8であり、Q値は20以上であった。この結果から、磁性樹脂組成物が溶剤を含有しないペースト状の磁性樹脂ペーストであっても、流動性に優れ、かつ高周波インダクタ部品として機能するために必須である磁性材料のQ値を満たすことがわかった。 As is clear from Table 5, the Chixo index of Example 16 prepared without containing a solvent was 3.8, and the Q value was 20 or more. From this result, even if the magnetic resin composition is a paste-like magnetic resin paste containing no solvent, it is possible to satisfy the Q value of the magnetic material which is excellent in fluidity and is essential for functioning as a high frequency inductor component. all right.

以上述べた実施形態から明らかなように、本発明に係る第1の態様の複合磁性粉末は、 第一の粉末を含む磁性粉末と、第二の粉末を含む非磁性粉末とを含有する。第一の粉末が、合金鉄粉末からなり、第二の粉末が、アルミナ粉末及びシリカ粉末の少なくとも1種からなる。第一の粉末の平均粒径が、5μm未満であり、かつ第二の粉末の平均粒径の3倍以上30倍以下である。 As is clear from the above-described embodiment, the composite magnetic powder of the first aspect according to the present invention contains a magnetic powder containing the first powder and a non-magnetic powder containing the second powder. The first powder is made of ferroalloy powder and the second powder is made of at least one of alumina powder and silica powder. The average particle size of the first powder is less than 5 μm, and is 3 times or more and 30 times or less the average particle size of the second powder.

第1の態様によれば、高周波帯での磁性材料のQ値を高くすることができる。 According to the first aspect, the Q value of the magnetic material in the high frequency band can be increased.

本発明に係る第2の態様の複合磁性粉末では、第1の態様において、磁性粉末の混合割合が、非磁性粉末1質量部に対して、4質量部以上19質量部以下である。 In the composite magnetic powder of the second aspect according to the present invention, in the first aspect, the mixing ratio of the magnetic powder is 4 parts by mass or more and 19 parts by mass or less with respect to 1 part by mass of the non-magnetic powder.

第2の態様によれば、100MHzでの磁性材料のQ値と、処理前の磁性材料の流動性とのバランスをとることができる。 According to the second aspect, the Q value of the magnetic material at 100 MHz and the fluidity of the magnetic material before the treatment can be balanced.

本発明に係る第3の態様の複合磁性粉末では、第1又は第2の態様において、磁性粉末が絶縁処理されている。 In the composite magnetic powder of the third aspect according to the present invention, the magnetic powder is insulated in the first or second aspect.

第3の態様によれば、磁性材料のQ値をより高くすることができる。 According to the third aspect, the Q value of the magnetic material can be made higher.

本発明に係る第4の態様の磁性樹脂組成物は、第1乃至第3のいずれか1つの態様の複合磁性粉末と、硬化性樹脂及び熱可塑性樹脂からなる群から選択される少なくとも一種の樹脂と、を含有する。 The magnetic resin composition of the fourth aspect according to the present invention is at least one resin selected from the group consisting of the composite magnetic powder of any one of the first to third aspects, a curable resin and a thermoplastic resin. And contains.

第4の態様によれば、高周波帯での高いQ値を有する磁性材料を得ることができる。 According to the fourth aspect, a magnetic material having a high Q value in the high frequency band can be obtained.

本発明に係る第5の態様の磁性樹脂組成物では、第4の態様において、複合磁性粉末の含有量が、磁性樹脂組成物の固形分全体の70質量%以上99.5質量%以下である。 In the magnetic resin composition of the fifth aspect according to the present invention, in the fourth aspect, the content of the composite magnetic powder is 70% by mass or more and 99.5% by mass or less of the total solid content of the magnetic resin composition. ..

第5の態様によれば、高周波インダクタ用途に好適に用いることのできる磁性材料を得ることができる。 According to the fifth aspect, a magnetic material that can be suitably used for high frequency inductor applications can be obtained.

本発明に係る第6の態様の磁性樹脂組成物では、第4又は第5の態様において、磁性樹脂組成物の硬化物又は固化物は、周波数100MHzでのQ値が20以上である。 In the magnetic resin composition of the sixth aspect according to the present invention, in the fourth or fifth aspect, the cured product or solidified product of the magnetic resin composition has a Q value of 20 or more at a frequency of 100 MHz.

第6の態様によれば、高周波インダクタ用途に好適に用いることのできる磁性材料を得ることができる。 According to the sixth aspect, it is possible to obtain a magnetic material that can be suitably used for high frequency inductor applications.

本発明に係る第7の態様の磁性樹脂ペーストでは、第4乃至第6のいずれか1つの態様の磁性樹脂組成物が、ペースト状である。 In the magnetic resin paste of the seventh aspect according to the present invention, the magnetic resin composition of any one of the fourth to sixth aspects is in the form of a paste.

第7の態様によれば、良好な流動性を有する磁性材料を得ることができる。 According to the seventh aspect, a magnetic material having good fluidity can be obtained.

本発明に係る第8の態様の磁性樹脂粉末では、第4乃至第6のいずれか1つの態様の磁性樹脂組成物が、粉状である。 In the magnetic resin powder of the eighth aspect according to the present invention, the magnetic resin composition of any one of the fourth to sixth aspects is in the form of powder.

第8の態様によれば、粉状の磁性材料を得ることができる。 According to the eighth aspect, a powdery magnetic material can be obtained.

本発明に係る第9の態様の磁性樹脂スラリーでは、第4乃至第6のいずれか1つの態様の磁性樹脂組成物が、溶剤をさらに含有し、スラリー状である。 In the magnetic resin slurry of the ninth aspect according to the present invention, the magnetic resin composition of any one of the fourth to sixth aspects further contains a solvent and is in the form of a slurry.

第9の態様によれば、良好な流動性を有する磁性材料を得ることができる。 According to the ninth aspect, a magnetic material having good fluidity can be obtained.

本発明に係る第10の態様の磁性樹脂シートでは、第4乃至第6のいずれか1つの態様の磁性樹脂組成物が、シート状である。 In the magnetic resin sheet of the tenth aspect according to the present invention, the magnetic resin composition of any one of the fourth to sixth aspects is in the form of a sheet.

第10の態様によれば、均一な厚みを有する磁性材料を得ることができる。 According to the tenth aspect, a magnetic material having a uniform thickness can be obtained.

本発明に係る第11の態様の磁性樹脂シートでは、第10の態様において、厚みが10μm以上500μm以下である。 The magnetic resin sheet of the eleventh aspect according to the present invention has a thickness of 10 μm or more and 500 μm or less in the tenth aspect.

第11の態様によれば、一定の厚みを有する磁性材料を得ることができる。 According to the eleventh aspect, a magnetic material having a certain thickness can be obtained.

本発明に係る第12の態様の金属箔付磁性樹脂シートは、第10又は第11の態様の磁性樹脂シートと、磁性樹脂シートの少なくとも一方の面に積層された、厚みが5μm以下の金属箔とを備える。 The magnetic resin sheet with a metal foil according to the twelfth aspect of the present invention is a metal foil having a thickness of 5 μm or less, which is laminated on at least one surface of the magnetic resin sheet of the tenth or eleventh aspect and the magnetic resin sheet. And.

第12の態様によれば、金属箔付きの磁性材料を得ることができる。 According to the twelfth aspect, a magnetic material with a metal foil can be obtained.

本発明に係る第13の態様の磁性プリプレグは、繊維質基材と、第4乃至第6のいずれか1つの態様の磁性樹脂組成物又は磁性樹脂組成物の半硬化物と、を備える。 The magnetic prepreg according to the thirteenth aspect according to the present invention includes a fibrous base material and a magnetic resin composition or a semi-cured product of the magnetic resin composition according to any one of the fourth to sixth aspects.

第13の態様によれば、曲げ強度に優れた磁性材料を得ることができる。 According to the thirteenth aspect, a magnetic material having excellent bending strength can be obtained.

本発明に係る第14の態様のインダクタ部品は、コイル状配線と、コイル状配線を被覆する絶縁層とを備え、絶縁層が、第4乃至第6のいずれか1つの態様の磁性樹脂組成物の硬化物又は固化物で成形されている。 The inductor component of the fourteenth aspect according to the present invention includes a coiled wiring and an insulating layer covering the coiled wiring, and the insulating layer is a magnetic resin composition of any one of the fourth to sixth aspects. It is molded from the cured product or solidified product of.

第14の態様によれば、高周波インダクタ部品として好適に用いることができるインダクタ部品を得ることができる。 According to the fourteenth aspect, an inductor component that can be suitably used as a high frequency inductor component can be obtained.

1 磁性樹脂シート
2 フィルム
3 磁性樹脂スラリー層
8 金属箔
10 大径磁性粒子
11 複数の大径磁性粒子同士が近接して形成された見かけ上ひと塊の大きな粒子
20 小径非磁性粒子
21 小径非磁性粒子からなる層
30 金属箔付磁性樹脂シート
40 磁性プリプレグ
41 磁性樹脂組成物
42 繊維質基材
1 Magnetic resin sheet 2 Film 3 Magnetic resin slurry layer 8 Metal foil 10 Large-diameter magnetic particles 11 Large particles that are apparently a mass formed by a plurality of large-diameter magnetic particles in close proximity 20 Small-diameter non-magnetic particles 21 Small-diameter non-magnetic particles Layer composed of particles 30 Magnetic resin sheet with metal foil 40 Magnetic prepreg 41 Magnetic resin composition 42 Fibrous base material

Claims (14)

第一の粉末を含む磁性粉末と、
第二の粉末を含む非磁性粉末とを含有し、
前記第一の粉末が、合金鉄粉末からなり、
前記第二の粉末が、アルミナ粉末及びシリカ粉末の少なくとも1種からなり、
前記第一の粉末の平均粒径が、5μm未満であり、かつ前記第二の粉末の平均粒径の3倍以上30倍以下である
複合磁性粉末。
Magnetic powder containing the first powder and
Containing with non-magnetic powder, including a second powder,
The first powder is composed of ferroalloy powder.
The second powder comprises at least one of alumina powder and silica powder.
A composite magnetic powder in which the average particle size of the first powder is less than 5 μm and is 3 times or more and 30 times or less the average particle size of the second powder.
前記磁性粉末の混合割合が、前記非磁性粉末1質量部に対して、4質量部以上19質量部以下である
請求項1に記載の複合磁性粉末。
The composite magnetic powder according to claim 1, wherein the mixing ratio of the magnetic powder is 4 parts by mass or more and 19 parts by mass or less with respect to 1 part by mass of the non-magnetic powder.
前記磁性粉末が絶縁処理されている
請求項1又は2に記載の複合磁性粉末。
The composite magnetic powder according to claim 1 or 2, wherein the magnetic powder is insulated.
請求項1乃至3のいずれか1項に記載の複合磁性粉末と、
硬化性樹脂及び熱可塑性樹脂からなる群から選択される少なくとも一種の樹脂と、を含有する
磁性樹脂組成物。
The composite magnetic powder according to any one of claims 1 to 3 and
A magnetic resin composition containing at least one resin selected from the group consisting of a curable resin and a thermoplastic resin.
前記複合磁性粉末の含有量が、前記磁性樹脂組成物の固形分全体の70質量%以上99.5質量%以下である
請求項4に記載の磁性樹脂組成物。
The magnetic resin composition according to claim 4, wherein the content of the composite magnetic powder is 70% by mass or more and 99.5% by mass or less of the total solid content of the magnetic resin composition.
前記磁性樹脂組成物の硬化物又は固化物は、周波数100MHzでのQ値が20以上である
請求項4又は5に記載の磁性樹脂組成物。
The magnetic resin composition according to claim 4 or 5, wherein the cured product or solidified product of the magnetic resin composition has a Q value of 20 or more at a frequency of 100 MHz.
請求項4乃至6のいずれか1項に記載の磁性樹脂組成物が、ペースト状である
磁性樹脂ペースト。
A magnetic resin paste in which the magnetic resin composition according to any one of claims 4 to 6 is in the form of a paste.
請求項4乃至6のいずれか1項に記載の磁性樹脂組成物が、粉状である
磁性樹脂粉末。
The magnetic resin composition according to any one of claims 4 to 6 is a powdery magnetic resin powder.
請求項4乃至6のいずれか1項に記載の磁性樹脂組成物が、溶剤をさらに含有し、スラリー状である
磁性樹脂スラリー。
A magnetic resin slurry in which the magnetic resin composition according to any one of claims 4 to 6 further contains a solvent and is in the form of a slurry.
請求項4乃至6のいずれか1項に記載の磁性樹脂組成物が、シート状である
磁性樹脂シート。
A magnetic resin sheet in which the magnetic resin composition according to any one of claims 4 to 6 is in the form of a sheet.
厚みが10μm以上500μm以下である
請求項10に記載の磁性樹脂シート。
The magnetic resin sheet according to claim 10, wherein the thickness is 10 μm or more and 500 μm or less.
請求項10又は11に記載の磁性樹脂シートと、
前記磁性樹脂シートの少なくとも一方の面に積層された、厚みが5μm以下の金属箔とを備える
金属箔付磁性樹脂シート。
The magnetic resin sheet according to claim 10 or 11.
A magnetic resin sheet with a metal foil, comprising a metal foil having a thickness of 5 μm or less laminated on at least one surface of the magnetic resin sheet.
繊維質基材と、
請求項4乃至6のいずれか1項に記載の磁性樹脂組成物又は前記磁性樹脂組成物の半硬化物と、を備える
磁性プリプレグ。
With a fibrous base material
A magnetic prepreg comprising the magnetic resin composition according to any one of claims 4 to 6 or a semi-cured product of the magnetic resin composition.
コイル状配線と、
コイル状配線を被覆する絶縁層とを備え、
前記絶縁層が、請求項4乃至6のいずれか1項に記載の磁性樹脂組成物の硬化物又は固化物で成形されている
インダクタ部品。
With coiled wiring
With an insulating layer that covers the coiled wiring,
An inductor component in which the insulating layer is formed of a cured product or solidified product of the magnetic resin composition according to any one of claims 4 to 6.
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