JPWO2019008964A1 - 干渉計、フーリエ変換分光装置及び成分分析装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の第1実施形態に係る成分分析装置100の構成図である。本実施形態に係る成分分析装置100は、フーリエ変換分光装置200と、フーリエ変換された電気信号に基づいて、成分分析を行う分析部30と、を備える。フーリエ変換分光装置200は、干渉計10と、電気信号をフーリエ変換する変換部20と、を備える。干渉計10は、試料300で反射された光又は試料300を透過した光について干渉光を形成して、干渉光を受光素子で受光し、電気信号として出力する。成分分析装置100は、干渉計10によって干渉光を形成し、フーリエ変換分光装置200の変換部20によって干渉光の電気信号をフーリエ変換してスペクトル分解し、分析部30によって試料300に含まれる化学的成分を分析する。
図4は、本発明の第2実施形態に係る干渉計10aの構成図である。本実施形態に係る干渉計10aは、第1実施形態に係る干渉計10と比較して、第2偏光素子がウォラストンプリズム(Wollaston prism)18で構成され、受光素子として第1素子17aと第2素子17bを含む点で相違する。それら以外の構成について、第2実施形態に係る干渉計10aは、第1実施形態に係る干渉計10と同様の構成を有する。以下では、主に相違点について説明する。なお、本実施形態に係る干渉計10aにおいても、第1偏光素子13、複屈折結晶14、ウォラストンプリズム18、第1素子17a及び第2素子17bは、直線的に配置される。もっとも、第1素子17a及び第2素子17bは、受光面を僅かに傾けて配置されてもよい。
図6は、本発明の第3実施形態に係る干渉計10bの構成図である。本実施形態に係る干渉計10bは、第1実施形態に係る干渉計10と比較して、スリット11を備えず、第3偏光素子19を備える点で相違する。それら以外の構成について、第3実施形態に係る干渉計10bは、第1実施形態に係る干渉計10と同様の構成を有する。以下では、主に相違点について説明する。
Claims (8)
- 入射された光のうち所定の偏光を通過させる第1偏光素子と、
前記第1偏光素子の後段に配置され、前記第1偏光素子から出射された光の入射方向を回転軸として回転可能に配置された複屈折結晶と、
前記複屈折結晶の後段に配置され、前記複屈折結晶から出射された光のうち所定の偏光を通過させる第2偏光素子と、
前記第2偏光素子の後段に配置され、前記第2偏光素子から出射された光を電気信号に変換する受光素子と、を備え、
前記第1偏光素子、前記複屈折結晶、前記第2偏光素子及び前記受光素子は、直線的に配置される、
干渉計。 - 前記第1偏光素子は、前記入射された光のうち第1方向の直線偏光を通過させ、
前記第2偏光素子は、前記複屈折結晶から出射された光のうち第2方向の直線偏光を通過させ、
前記第1方向と前記第2方向は、同じ方向又は直交する方向である、
請求項1に記載の干渉計。 - 前記第2偏光素子は、前記複屈折結晶から出射された光のうち2種類の偏光を分離して異なる方向に出射し、
前記受光素子は、前記第2偏光素子により分離された2種類の偏光のうち一方を受光する第1素子と、他方を受光する第2素子とを含む、
請求項1に記載の干渉計。 - 前記第1偏光素子は、前記入射された光のうち第1方向の直線偏光を通過させ、
前記第2偏光素子は、前記複屈折結晶から出射された光のうち第2方向の直線偏光と第3方向の直線偏光を分離して異なる方向に出射し、
前記第1方向と前記第2方向は、同じ方向又は直交する方向であり、
前記第1方向と前記第3方向は、同じ方向又は直交する方向であり、
前記第2方向と前記第3方向は、直交する方向である、
請求項3に記載の干渉計。 - 前記第1偏光素子と前記複屈折結晶の間に配置され、前記第1偏光素子から出射された光のうち2種類の偏光を分離して同じ方向に出射する第3偏光素子をさらに備える、
請求項1から4のいずれか一項に記載の干渉計。 - 前記受光素子は、シングルチャンネルセンサを一列に並べたラインセンサ又はシングルチャンネルセンサをマトリクス状に並べたエリアセンサを含む、
請求項1から5のいずれか一項に記載の干渉計。 - 請求項1から6のいずれか一項に記載の干渉計と、
前記電気信号をフーリエ変換する変換部と、
を備えるフーリエ変換分光装置。 - 請求項7に記載のフーリエ変換分光装置と、
フーリエ変換された前記電気信号に基づいて、成分分析を行う分析部と、
を備える成分分析装置。
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