JPWO2017002775A1 - 高周波モジュールおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
そこで、この構成によると、シールド壁を形成する際、第1工程で高所側の溝の途中部分までを形成した後、第2工程で当該途中部分に導電性ペーストを充填してシールド壁の第1部分を形成するため、高所側の溝に充填される導電性ペーストが、封止樹脂層の低所側に漏れるのを防止できる。また、第3工程および第4工程により、シールド壁の残りの第2部分を形成したときに、溝に導電性ペーストの未充填領域が形成されるが、当該溝の未充填領域の壁面は、シールド膜で被覆される。したがって、封止樹脂層の段差と交差するシールド壁を形成する場合に、段差の高所側に充填された導電性ペーストが低所側に漏れるという不具合を防止しつつ、部品間のシールド特性を確保できる高周波モジュールを製造することができる。
本発明の第1実施形態にかかる高周波モジュールについて、図1および図2を参照して説明する。なお、図1は高周波モジュールの斜視図、図2は高周波モジュールの平面図である。なお、図2ではシールド膜を図示省略している。
次に、高周波モジュール1aの製造方法について、図3を参照して説明する。なお、図3(a)〜図3(e)は、いずれも、図2のA−A矢視断面図であり、高周波モジュール1aの製造方法の各工程を示す。
次に、シールド壁5を形成するための溝7の変形例について、図4を参照して説明する。なお、図4(a)および図4(b)は、それぞれ溝形状の変形例を示すモジュール1aの斜視図である。また、図4(a)および図4(b)は、いずれもシールド膜6を図示省略している。
次に、封止樹脂層4の上面4aの段差形状の変形例について、図5および図6を参照して説明する。なお、図5(a)〜図5(f)は、いずれも配線基板2の上面2aに垂直であって、かつ、封止樹脂層4の段差と交差する方向の断面図を示している。また、図6は本例にかかる高周波モジュール1aの平面図を示している。また、図5(a)〜図5(f)では、封止樹脂層4と配線基板2以外の構成を図示省略し、図6ではシールド膜6を図示省略している。
次に、本発明の第2実施形態にかかる高周波モジュール1bについて、図7を参照して説明する。なお、図7は高周波モジュール1bを示す図であって、図2のA−A矢視断面図に相当するものである。
次に、高周波モジュール1bの製造方法について説明する。なお、準備工程までは、第1実施形態の高周波モジュール1aの製造方法と同じであるため、これ以降の工程について説明する。
次に、本発明の第3実施形態にかかる高周波モジュール1cについて、図8を参照して説明する。なお、図8(a)は配線基板2の段差形状を示す断面図、図8(b)は高周波モジュール1cの平面図である。なお、図8(a)では配線基板2と封止樹脂層4のみを図示し、図8(b)では封止樹脂層4、シールド壁5および溝70のみを図示している。
次に、本発明の第4実施形態にかかる高周波モジュール1dについて、図9を参照して説明する。なお、図9はシールド膜6を除いた状態の高周波モジュール1dの斜視図である。
2 配線基板
2a 上面(主面)
3a,3b 部品
4 封止樹脂層
4a 上面(反対面)
5,50,51 シールド壁
5a 高所部分(第1部分)
5b 低所部分(第2部分)
6 シールド膜
7 溝
7a 未充填領域
7b 途中部分
7c 残り部分
Claims (12)
- 配線基板と、
前記配線基板の主面に実装された複数の部品と、
前記配線基板の前記主面に積層され、前記複数の部品を覆う封止樹脂層と、
前記封止樹脂層に形成され、前記複数の部品のうち所定の部品と他の部品との間を通る溝と、
前記溝内に配置され、導体で形成されたシールド壁とを備え、
前記封止樹脂層において前記配線基板の前記主面側に位置する面の反対面には、段差が設けられ、
前記溝は、前記配線基板を平面視して前記段差と交差するように配設されていることを特徴とする高周波モジュール。 - 前記シールド壁は、前記封止樹脂層において前記段差の高所側に形成される溝のうち、前記段差に達しない手前までの部分において、前記導体が前記高所の高さまで充填されてなる第1部分と、前記段差の高所側に形成される溝の残り部分において、前記導体が前記段差の低所の高さまで充填されてなる第2部分とで構成され、
前記シールド壁の前記第1部分と前記第2部分の段差により前記溝に前記導体が充填されていない未充填領域が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の高周波モジュール。 - 少なくとも前記封止樹脂層の前記反対面および前記溝の前記未充填領域の壁面を被覆するシールド膜をさらに備えることを特徴とする請求項2に記載の高周波モジュール。
- 前記溝の前記未充填領域の幅が、前記未充填領域以外の幅よりも広く形成されていることを特徴とする請求項2または3に記載の高周波モジュール。
- 前記シールド壁は、前記導体が前記溝全体に充填されてなることを特徴とする請求項1に記載の高周波モジュール。
- 前記段差は、高所から低所に向かって傾斜していることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の高周波モジュール。
- 前記段差は、階段状の角部を面取りしたような形状を有することを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の高周波モジュール。
- 前記平面視で、前記溝と前記段差とが斜めに交差することを特徴とする請求項1ないし7のいずれかに記載の高周波モジュール。
- 前記封止樹脂層の前記段差が、前記平面視で曲面状をなしていることを特徴とする請求項1ないし8のいずれかに記載の高周波モジュール。
- 少なくとも前記封止樹脂層の前記反対面を被覆するシールド膜を備え、
前記シールド壁は、前記段差の高所側に配設された部分と低所側に配設された部分とに分離して設けられ、
前記シールド膜は、前記シールド壁の前記高所側に配設された部分と前記低所側に配設された部分との間の前記溝の壁面をさらに被覆することを特徴とする請求項1に記載の高周波モジュール。 - 配線基板と、前記配線基板の主面に実装された複数の部品と、前記配線基板の前記主面に積層され、前記複数の部品を覆う封止樹脂層とを備え、前記封止樹脂層において前記配線基板の前記主面に接する面の反対面に段差が設けられた部品封止体を準備する準備工程と、
前記封止樹脂層に形成され、前記複数の部品のうち所定の部品と他の部品の間を通り、かつ、前記配線基板を平面視して前記段差と交差するように配設された溝と、該溝に配設されるシールド壁とを形成するシールド壁形成工程と、
成膜技術により、少なくとも前記封止樹脂層の前記反対面を被覆するシールド膜を形成するシールド膜形成工程とを備え、
前記シールド壁形成工程は、
前記封止樹脂層の前記反対面において前記段差の高所側に形成される溝のうち、前記段差の近くまでの途中部分をレーザ加工により形成する第1工程と、
前記第1工程で形成された前記溝の途中部分に導電性ペーストを充填して、前記シールド壁の第1部分を形成する第2工程と、
レーザ加工により前記溝の残り部分を形成する第3工程と、
前記溝の残り部分に、前記封止樹脂層の前記段差の低所側の高さまで導電性ペーストを流し込み、前記シールド壁の第2部分を形成するとともに、導電性ペーストが充填されていない未充填領域を前記溝に形成する第4工程とを備え、
前記シールド膜形成工程で、前記封止樹脂層の前記反対面とともに、前記溝の前記未充填領域の壁面を被覆することを特徴とする高周波モジュールの製造方法。 - 配線基板と、前記配線基板の主面に実装された複数の部品と、前記配線基板の前記主面に積層された前記複数の部品を封止する封止樹脂層とを備え、前記封止樹脂層において前記配線基板の前記主面に接する面の反対面に段差が設けられた部品封止体を準備する準備工程と、
前記封止樹脂層に形成され、前記複数の部品のうち所定の部品と他の部品の間を通り、かつ、前記配線基板の平面視で前記段差と交差するように配設された溝と、該溝に配設されるシールド壁とを形成するシールド壁形成工程と、
成膜技術により、少なくとも前記封止樹脂層の前記反対面を被覆するシールド膜を形成するシールド膜形成工程とを備え、
前記シールド壁形成工程は、
前記溝のうち、前記段差の高所側における前記段差の近くまでの部分と、前記段差の低所側における前記段差の近くまでの部分とをレーザ加工により形成する第5工程と、
前記溝の前記高所側の前記段差の近くまでの部分、および、前記低所側の前記段差の近くまでの部分それぞれに導電性ペーストを充填して、前記封止樹脂層の前記高所側に配設された部分と、前記低所側に配設された部分とに分離した前記シールド壁を形成する第6工程と、
前記第5工程で形成された部分以外の前記溝の残り部分をレーザ加工で形成する第7工程とを備え、
前記シールド膜形成工程で、前記封止樹脂層の前記反対面とともに、前記溝の前記残り部分の壁面を被覆することを特徴とする高周波モジュールの製造方法。
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