JPWO2014132358A1 - Defective member determination device and method - Google Patents
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Abstract
電子部品実装装置では、撮影されたダイDの画像のうち不良マークMの有無を検索する検索領域内で、該検索領域よりも小さいサイズの判定領域を当てはめる。検索領域は検索領域用フレームF1に囲まれた領域であり、判定領域は判定領域用フレームF2により囲まれた領域である。そして、判定領域に含まれるドットのグレースケール平均値と閾値とを比較することにより不良マークMの有無を判定する。In the electronic component mounting apparatus, a determination area having a size smaller than the search area is applied in the search area for searching for the presence or absence of the defect mark M in the photographed image of the die D. The search area is an area surrounded by the search area frame F1, and the determination area is an area surrounded by the determination area frame F2. Then, the presence or absence of the defective mark M is determined by comparing the gray scale average value of the dots included in the determination region with a threshold value.
Description
本発明は、不良部材判定装置及びその方法に関する。 The present invention relates to a defective member determination apparatus and method.
電子部品実装装置を用いてダイを基板に搭載するにあたり、そのダイが不良品か否かを不良マークの有無によって判断する不良ダイ判定装置が知られている。例えば、特許文献1では、ウェハに形成された複数のダイに回路パターンを形成し、形成後、各ダイの表面検査を行い、不良箇所があるダイには不良マークをインク等で付し、その後、ダイを取り出し、不良品のダイを廃棄し、良品のダイのみを基板へ実装することが開示されている。ここで、不良マークは印刷装置で印字されることもあるが、作業者がペンで書くこともある。
2. Description of the Related Art When mounting a die on a substrate using an electronic component mounting apparatus, there is known a defective die determination apparatus that determines whether or not the die is a defective product based on the presence or absence of a defective mark. For example, in
ところで、不良ダイの判定方法としては、各ダイに対して撮影を行った撮影領域のうち不良マークの有無を検索する検索領域について、その検索領域に含まれるドットのグレースケール値の平均値と所定の閾値とを比較することにより不良マークの有無を判定する方法が考えられる。例えば、白色のダイが不良品だったならば黒色の不良マークを付けることになっている場合、不良マークは黒又は濃いグレーのグレースケール値を持つドットの集合となるため、検索領域に含まれるドットのグレースケール値の平均値が所定の閾値を超えたならば不良マークありと判定する。 By the way, as a method for determining a defective die, an average value of gray scale values of dots included in the search area and a predetermined value are searched for a search area for searching for the presence / absence of a defective mark among the shooting areas shot for each die. A method of determining the presence / absence of a defective mark by comparing with a threshold value of the above can be considered. For example, if a white die is defective, a black defect mark is to be added, and the defect mark is a set of dots having a grayscale value of black or dark gray, and is therefore included in the search area. If the average value of the gray scale values of dots exceeds a predetermined threshold value, it is determined that there is a defective mark.
しかしながら、ダイに付される不良マークは、常にダイの決まった位置に付されるわけではなく、例えばダイの中央に付されていたりダイの隅に付されていたりする。そのため、検索領域をダイとほぼ同じ大きさに広くする必要がある。その際、不良マークが細かったり小さかったりすると、検索領域に含まれるドットのグレースケール値の平均値が小さくなり、不良マークが存在するにもかかわらず、その平均値が所定の閾値を下回り、不良マークなしと誤判定することがある。 However, the defect mark attached to the die is not always attached to a fixed position of the die, and is attached to, for example, the center of the die or the corner of the die. For this reason, it is necessary to widen the search area to be approximately the same size as the die. At this time, if the defect mark is thin or small, the average value of the gray scale values of the dots included in the search area becomes small, and the average value falls below a predetermined threshold even though there is a defect mark. It may be erroneously determined that there is no mark.
本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、部材に付された不良マークの誤検知の発生を抑えることを主目的とする。 The present invention has been made to solve such a problem, and a main object thereof is to suppress the occurrence of erroneous detection of a defective mark attached to a member.
本発明の不良部材判定装置は、
実装機に用いられる部材に対して不良マークが付されているか否かを判定する不良部材判定装置であって、
前記部材を撮影する撮影手段と、
前記撮影手段によって撮影された前記部材の画像のうち不良マークの有無を検索する検索領域内で、該検索領域よりも小さいサイズの判定領域を当てはめ、該判定領域に含まれるドットのグレースケール値と前記判定領域に含まれるドット数とを利用して前記不良マークの有無を判定する判定手段と、
を備えたものである。The defective member determination device of the present invention is
A defective member determination device for determining whether or not a defect mark is attached to a member used in a mounting machine,
Photographing means for photographing the member;
In the search area for searching for the presence or absence of a defective mark in the image of the member imaged by the imaging means, a determination area having a size smaller than the search area is applied, and the grayscale value of the dots included in the determination area Determination means for determining the presence or absence of the defective mark using the number of dots included in the determination area;
It is equipped with.
本発明の不良部材判定装置では、撮影された部材の画像のうち不良マークの有無を検索する検索領域内で、該検索領域よりも小さいサイズの判定領域を当てはめ、該判定領域に含まれるドットの色情報(例えばRGB値とかグレースケール値など)と判定領域に含まれるドット数とを利用して不良マークの有無を判定する。不良マークのドットの色情報は、撮影された部材の下地のドットの色情報と区別可能である。ここで、判定領域が検索領域と同じサイズの場合には、付された不良マークの大きさが判定領域に比べて小さすぎると、判定領域に含まれるドット数に占める不良マークのドット数の割合が小さくなりすぎて不良マークが存在するにもかかわらず不良マークなしと判定するおそれがある。これに対して、本発明では、判定領域が検索領域よりも小さなサイズのため、そのようなおそれは解消される。したがって、部材に付された不良マークの誤検知の発生を抑えることができる。 In the defective member determination apparatus of the present invention, a determination region having a size smaller than the search region is applied in a search region for searching for the presence or absence of a defective mark in the image of the photographed member, and the dots included in the determination region are detected. The presence or absence of a defective mark is determined using color information (for example, RGB value or gray scale value) and the number of dots included in the determination area. The color information of the defective mark dot can be distinguished from the color information of the underlying dot of the photographed member. Here, when the determination area is the same size as the search area, if the size of the attached defect mark is too small compared to the determination area, the ratio of the number of defective mark dots to the number of dots included in the determination area May become too small to determine that there is no defective mark despite the presence of a defective mark. On the other hand, in the present invention, since the determination area is smaller than the search area, such a fear is eliminated. Therefore, it is possible to suppress the occurrence of erroneous detection of a defective mark attached to the member.
なお、「判定領域」は、例えば、検索領域内に隈なく当てはめていってもよいし、検索領域内の不良マークが存在する可能性の高い場所(1又は複数)に判定領域を当てはめてもよい。また、「部材」とは、実装機に用いられるものであればよく、例えば、ウェハに採取可能に複数形成されたダイであってもよいし、大判の板材に採取可能に複数形成された基板であってもよい。 Note that the “determination area” may be applied to the search area, for example, or may be applied to a place (one or more) where there is a high possibility that a defect mark exists in the search area. Good. In addition, the “member” may be anything used in a mounting machine, and may be, for example, a plurality of dies formed so as to be collected on a wafer, or a plurality of substrates formed so as to be collected on a large plate material. It may be.
本発明の不良部材判定装置において、前記判定手段は、前記判定領域に含まれるドットのグレースケール値の平均値と所定の閾値とを比較することにより前記不良マークの有無を判定してもよい。判定領域に含まれるドットのグレースケール値の平均値は、判定領域に含まれるドットのグレースケール値(色情報)と判定領域に含まれるドット数とを用いて算出される。こうすれば、部材に付された不良マークがかすれていたとしても、精度よく不良マークありと判定することができる。 In the defective member determination apparatus of the present invention, the determination unit may determine the presence or absence of the defective mark by comparing an average value of gray scale values of dots included in the determination region with a predetermined threshold value. The average grayscale value of the dots included in the determination area is calculated using the grayscale value (color information) of the dots included in the determination area and the number of dots included in the determination area. In this way, even if the defect mark attached to the member is faint, it can be accurately determined that there is a defect mark.
本発明の不良部材判定装置は、更に、前記検索領域及び前記判定領域の少なくとも一方のサイズ又は形状の設定を変更する設定変更手段を備えていてもよい。こうすれば、部材のサイズや形状に応じて検索領域のサイズや形状の設定を変更したり、不良マークのサイズや形状に応じて判定領域のサイズや形状の設定を変更したりすることができる。 The defective member determination apparatus of the present invention may further include setting change means for changing the setting of the size or shape of at least one of the search area and the determination area. In this way, it is possible to change the size and shape of the search area according to the size and shape of the member, and to change the size and shape of the determination area according to the size and shape of the defective mark. .
本発明の不良部材判定装置において、前記判定手段は、前記部材の前記検索領域に含まれるドットの色情報に基づいて不良マーク候補部を設定し、該不良マーク候補部に対して前記判定領域を当てはめて前記不良マークの有無を判定してもよい。こうすれば、判定領域を検索領域内に隈なく当てはめていく場合に比べて、短時間で判定を行うことができる。 In the defective member determination apparatus of the present invention, the determination unit sets a defective mark candidate portion based on color information of dots included in the search region of the member, and sets the determination region for the defective mark candidate portion. It may be determined whether or not the defective mark exists. In this way, it is possible to make a determination in a shorter time than in the case where the determination region is fully applied within the search region.
本発明の不良部材判定装置において、前記判定手段は、前記部材の画像に予め設定された除外領域については前記検索領域から除外してもよい。こうすれば、予め不良マークと混同しそうな領域(例えば不良マークと同等の色情報を持つ領域)については除外領域に設定しておくことができるため、不良マークの誤検知の発生を抑える効果が高まる。除外領域は、部材に形成された回路パターンに基づいて設定されていてもよい。回路パターンは、予め不良マークと混同しそうな領域の一つであるため、これを除外領域に設定しておくことにより、不良マークの誤検知の発生を抑える効果が高まる。 In the defective member determination apparatus of the present invention, the determination unit may exclude an excluded area preset in the image of the member from the search area. In this way, an area that is likely to be confused with a defective mark in advance (for example, an area having color information equivalent to that of a defective mark) can be set as an excluded area, which is effective in suppressing the occurrence of erroneous detection of a defective mark. Rise. The exclusion region may be set based on a circuit pattern formed on the member. Since the circuit pattern is one of the areas that are likely to be confused with the defective mark in advance, setting this as an excluded area increases the effect of suppressing the occurrence of erroneous detection of the defective mark.
本発明の不良部材判定方法は、
実装機に用いられる部材に対して不良マークが付されているか否かを判定する不良部材判定方法であって、
(a)前記部材を撮影するステップと、
(b)前記ステップ(a)で撮影した前記部材の画像のうち不良マークの有無を検索する検索領域内で、該検索領域よりも小さいサイズの判定領域を当てはめ、該判定領域に含まれるドットの色情報と前記判定領域に含まれるドット数とを利用して前記不良マークの有無を判定するステップと、
を含むものである。The defective member determination method of the present invention is
A defective member determination method for determining whether or not a defect mark is attached to a member used in a mounting machine,
(A) photographing the member;
(B) In the search area for searching for the presence or absence of a defective mark in the image of the member photographed in step (a), a determination area having a size smaller than the search area is applied, and the dots included in the determination area Determining the presence or absence of the defective mark using color information and the number of dots included in the determination area;
Is included.
本発明の不良部材判定方法では、各部材の検索領域内で、検索領域よりも小さいサイズの判定領域を当てはめ、該判定領域に含まれるドットのグレースケール値の平均値と所定の閾値とを比較することにより不良マークの有無を判定する。ここで、判定領域が検索領域と同じサイズの場合には、付された不良マークの大きさが検索領域に比べて小さすぎると、判定領域に含まれるドットのグレースケール値の平均値が閾値を下回るほど小さな値となり、不良マークが存在するにもかかわらず不良マークなしと判定されるおそれがある。これに対して、本発明では、判定領域が検索領域よりも小さなサイズのため、そのようなおそれは解消される。したがって、部材に付された不良マークの誤検知の発生を抑えることができる。 In the defective member determination method of the present invention, a determination region having a size smaller than the search region is applied within the search region of each member, and the average value of the gray scale values of the dots included in the determination region is compared with a predetermined threshold value. Thus, the presence or absence of a defective mark is determined. Here, in the case where the determination area is the same size as the search area, if the size of the attached defect mark is too small compared to the search area, the average value of the gray scale values of the dots included in the determination area is set to the threshold value. The smaller the value is, the smaller the value is, and there is a possibility that it is determined that there is no defective mark despite the presence of the defective mark. On the other hand, in the present invention, since the determination area is smaller than the search area, such a fear is eliminated. Therefore, it is possible to suppress the occurrence of erroneous detection of a defective mark attached to the member.
本発明の好適な実施形態を図面を参照しながら以下に説明する。図1は電子部品実装装置10の斜視図、図2はウェハパレット50の斜視図、図3はウェハWの全体図、図4は電子部品実装装置10の制御に関わる構成を示すブロック図である。なお、本実施形態において、左右方向(X軸)、前後方向(Y軸)及び上下方向(Z軸)は、図1に示した通りとする。
Preferred embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 is a perspective view of the electronic
電子部品実装装置10は、図1に示すように、基板16を搬送する基板搬送装置18と、XY平面を移動可能なヘッド24と、ヘッド24と一体化されたマークカメラ44と、ウェハWを搬送するウェハパレット50と、各種の制御を司るコントローラ60(図4参照)とを備えている。
As shown in FIG. 1, the electronic
基板搬送装置18は、筐体12に取り付けられ、図1の前後に間隔を開けて設けられ左右方向に延びる支持板20,20と、両支持板20,20の互いに対向する面に設けられたコンベアベルト22,22(図2では片方のみ図示)とを備えている。コンベアベルト22,22は、支持板20,20の左右に設けられた駆動輪及び従動輪に無端状となるように架け渡されている。基板16は、一対のコンベアベルト22,22の上面に乗せられて左から右へと搬送される。この基板16は、裏面側に多数立設された支持ピン23によって支持される。
The
ヘッド24は、X軸スライダ26の前面に取り付けられている。X軸スライダ26は、前後方向にスライド可能なY軸スライダ30の前面に、左右方向にスライド可能となるように取り付けられている。Y軸スライダ30は、前後方向に延びる左右一対のガイドレール32,32にスライド可能に取り付けられている。なお、ガイドレール32,32は、筐体12に固定されている。Y軸スライダ30の前面には、左右方向に延びる上下一対のガイドレール28,28が設けられ、このガイドレール28,28にX軸スライダ26が左右方向にスライド可能に取り付けられている。ヘッド24は、X軸スライダ26が左右方向に移動するのに伴って左右方向に移動し、Y軸スライダ30が前後方向に移動するのに伴って前後方向に移動する。なお、各スライダ26,30は、それぞれ駆動モータ(図示せず)により駆動される。また、ヘッド24は、Z軸モータ34を内蔵し、Z軸に沿って延びるボールネジ36に取り付けられたホルダ42と一体化された吸着ノズル40の高さをZ軸モータ34によって調整する。この吸着ノズル40は、圧力を利用して、ノズル先端に部品を吸着したり、ノズル先端に吸着している部品を離したりするものである。
The
マークカメラ44は、X軸スライダ26の後面に取り付けられている。そのため、マークカメラ44は、ヘッド24と一体となって移動する。このマークカメラ44は、カメラ下方を撮影するようにレンズが下向きに取り付けられている。そのため、マークカメラ44がウェハWの上方に位置決めされた状態では、ウェハWを構成するダイDを撮影することが可能となる。
The
ウェハパレット50は、図2に示すように、円形穴52aが開けられた矩形状のパレット本体52と、その円形穴52aを塞ぐように伸張された状態でグリップリング54により固定された伸縮可能な粘着シート56とを備えている。粘着シート56の上面には、多数のダイDが形成されたウェハWが貼り付けられている。ダイDは、ウェハWを裁断する前にパターン印刷によって回路が形成され、その後、ウェハWを裁断することにより形成されたものである。粘着シート56の下方には、図示しない突き上げピンが配置されている。この突き上げピンは、ダイDが吸着ノズル40に吸着される際に、そのダイDを粘着シート56の下方から上方へ突き上げることにより粘着シート56からのダイDの剥離を容易にする役割を果たす。
As shown in FIG. 2, the
図3にウェハWの全体図を示す。図3では、ダイDは正方形(又は長方形)である。ウェハWの外縁付近では、ダイDの形状に欠けができることからダイDは形成されていない。また、ウェハWには、良好なダイDと不良なダイDとが含まれている。不良なダイDは、外観検査においてパターン印刷された回路に不良箇所がみつかったものであり、検査員又は検査機によってインク等で不良マークMが付されている。不良マークMは、ダイDのどの位置に付されるか決まっておらず、また、どのような大きさ、形状であるかも決まっていない。良好なダイDには、こうした不良マークMは付されていない。 FIG. 3 shows an overall view of the wafer W. In FIG. 3, the die D is square (or rectangular). In the vicinity of the outer edge of the wafer W, the die D is not formed because the shape of the die D is chipped. Further, the wafer W includes a good die D and a bad die D. The defective die D is a circuit where a defective portion is found in a circuit printed with a pattern in appearance inspection, and a defect mark M is attached with ink or the like by an inspector or an inspection machine. The position of the defect mark M on the die D is not determined, and it is not determined what size and shape it is. Such a defective mark M is not attached to a good die D.
コントローラ60は、図4に示すように、CPU60aを中心とするマイクロプロセッサとして構成されており、処理プログラムを記憶するROM60b、各種データを記憶するHDD60c、作業領域として用いられるRAM60d、外部装置と電気信号のやり取りを行うための入出力インタフェース60eなどを備えており、これらはバス60fを介して接続されている。このコントローラ60は、基板搬送装置18、X軸スライダ26、Y軸スライダ30、ヘッド24、マークカメラ44などと信号のやり取りが可能なように接続されている。
As shown in FIG. 4, the
次に、電子部品実装装置10を用いて電子部品であるダイDを基板16へ実装する場合について説明する。電子部品実装装置10のコントローラ60は、ウェハWの中の所定のダイDの真上に吸着ノズル40が来るようにX軸スライダ26及びY軸スライダ30を制御する。続いて、コントローラ60は、ヘッド24のZ軸モータ34を制御してボールネジ36により吸着ノズル40を下降させ、吸着ノズル40の先端に負圧を付与する。すると、粘着シート56からダイDが吸着ノズル40の先端に吸着される。続いて、コントローラ60は、ウェハパレット50の図示しない突き上げピンを駆動して、吸着ノズル40に吸着されたダイDを粘着シート56の下方から上方へ突き上げる。吸着ノズル40は、図示しないバネによって支持されているため、突き上げられた分、そのバネが縮んで上昇する。このように、ダイDを下から突き上げることにより、粘着シート56からダイDが容易に剥離する。その後、コントローラ60は、吸着ノズル40を上昇させ、ダイDが基板16の所定位置の真上に来るように各スライダ26,30を制御し、その位置で吸着ノズル40を下降させると共に吸着ノズル40に正圧を供給する。すると、ダイDが吸着ノズル40から離れ、基板16の所定位置に実装される。このようにしてダイDが基板16に実装されるが、ウェハWには、図3に示すように良好なダイDと不良なダイDとが存在する。そのため、不良なダイDすなわち不良マークMが付されたダイDは、基板16へ実装されることなく廃棄される。
Next, the case where the die D which is an electronic component is mounted on the
ダイDに不良マークMが付されているか否かは、マークカメラ33が撮影したダイDの画像を利用してコントローラ60が判断する。具体的には、コントローラ60は、図5の不良ダイ判定処理ルーチンを実行することにより不良マークMが付されたダイD(不良ダイ)か否かを判定する。このルーチンは、HDD60cに格納されている。本実施形態では、ダイDは銀色であり、不良マークは黒インクで付されているものとする。
Whether or not the defect mark M is attached to the die D is determined by the
不良ダイ判定処理が開始されると、コントローラ60のCPU60aは、まず、ウェハWの撮影画像を取得する(ステップS100)。具体的には、ウェハWの真上にマークカメラ44が位置するようにX軸スライダ26及びY軸スライダ30を駆動制御し、その位置でマークカメラ44のシャッタを作動させて撮影を行ったあと、マークカメラ44からウェハWの全体の画像を取得する。
When the defective die determination process is started, the
次に、コントローラ60のCPU60aは、ウェハWの中から対象となる一つのダイDを設定する(ステップS110)。対象となるダイDの設定手順は、特に限定するものではないが、例えば、図3のウェハWの左上から右に向かって順に設定していき、右上まで終了したら今度は一段下がって左から右に向かって順に設定していくという手順を繰り返すようにしてもよい。
Next, the
次に、コントローラ60のCPU60aは、対象となるダイDの撮影画像に検索領域を設定し(ステップS120)、その検索領域内のドットのグレースケール値を取得する(ステップS130)。本実施形態では、図6に示すように、検索領域を設定するための検索領域用フレームF1がダイDと同じ形状、大きさに設定され、そのフレームF1に関する情報がHDD60cに記憶されている。ダイDの撮影画像のうち検索領域用フレームF1で囲まれた領域が検索領域となる。グレースケール値とは、画像を白から黒までの明暗だけで表現したときの値であり、例えば4ビット(16階調)の場合には0〜15の値を取ることができ、8ビット(256階調)の場合には0〜255の値を取ることができる。なお、最小値(つまりゼロ)は黒を表し、最大値は白を表す。
Next, the
次に、コントローラ60のCPU60aは、検索領域内のグレースケール値に基づいて不良マーク候補部を設定する(ステップS140)。具体的には、検索領域内のグレースケール値の中から、その値が黒又は黒に近いグレーのドットの集合を探しだし、そのうち最も大きな集合を不良マーク候補部とする。256階調の場合、グレースケール値が0〜G(Gは例えば50とか60)のドットであって互いに隣接しているドットの数を、黒又は黒に近いグレーのドットの集合としてもよい。図7は、不良マーク候補部の設定に関する説明図である。図7(a)は不良マークMの付いていないダイDであり、大小2つの黒い円形部分d1,d2を有している。この場合、大きな円形部分d1が不良マーク候補部に設定される。一方、図7(b)は不良マークMの付いているダイDであり、円形部分d1,d2のほかに不良マークMを有している。この場合、不良マークMが不良マーク候補部に設定される。
Next, the
次に、コントローラ60のCPU60aは、不良マーク候補部を含むように判定領域を設定する(ステップS150)。本実施形態では、判定領域を設定するための判定領域用フレームF2(図6参照)が予め設定され、HDD60cに記憶されている。判定領域用フレームF2は、検索領域用フレームF1よりもサイズが小さい。検査員や検査機が不良マークMを黒色インクで付した場合、不良マークMの大きさや形状にバラツキが生じる。判定領域用フレームF2は、経験上、そのようにばらつく不良マークMの中から最小の不良マークMminを定め、その最小の不良マークMminを囲むことのできる大きさ、形状となるように設定されている。CPU60aは、不良マーク候補部の中央のドットが判定領域用フレームF2の中心と一致するように判定領域用フレームF2をセットし、その判定領域用フレームF2で囲まれた領域を判定領域として設定する。図8は、判定領域の設定に関する説明図である。図8(a)は不良マークMの付いていないダイDに設定された判定領域、図8(b)は最小の不良マークMminの付いているダイDに設定された判定領域を示す。
Next, the
次に、コントローラ60のCPU60aは、判定領域に含まれるドットのグレースケール値の平均値(グレースケール平均値)を算出する(ステップS160)。そして、グレースケール平均値と閾値とを比較し(ステップS170)、グレースケール平均値が閾値を超えていれば今回のダイDを不良ダイとしてHDD60cに記憶し(ステップS180)、グレースケール平均値が閾値以下ならば今回のダイDを正常ダイとしてHDD60cに記憶する(ステップS185)。グレースケール平均値は、判定領域に含まれるドットのグレースケール値の総和を判定領域に含まれるドット数で除した値である。閾値は、以下のようにして設定した値である。すなわち、予め、不良マークを付けた複数のダイDのグレースケール平均値と不良マークを付けていない複数のダイDのグレースケール平均値とを算出し、両方のグレースケール平均値を明確に区別し得る値を求め、その値を閾値と閾値とした。なお、閾値はHDD60cに記憶されている。前出の図8(a)では、グレースケール平均値が閾値以下となるため良好なダイと判定され、図8(b)では、グレースケール平均値が閾値を超えるため不良なダイと判定される。図9に、比較的大きな不良マークMが付いているダイDを示す。この場合、不良マークMの中央のドットが判定領域用フレームF2の中心と一致するように判定領域用フレームF2がセットされ、グレースケール平均値が閾値を超えるため不良なダイと判定される。
Next, the
次に、コントローラ60のCPU60aは、ウェハWに含まれるすべてのダイDについて処理が終了したか否かを確認し(ステップS190)、未処理のダイDが残っていたならば、再びステップS110に戻り、すべてのダイDについて処理が終了したならば、このルーチンを終了する。
Next, the
ここで、本実施形態の構成要素と本発明の構成要素との対応関係を明らかにする。本実施形態の電子部品実装装置10が本発明の不良部材判定装置に相当し、マークカメラ44が撮影手段に相当し、コントローラ60が判定手段に相当する。なお、本実施形態では、電子部品実装装置10の動作を説明することにより本発明の不良部材判定方法の一例も明らかにしている。
Here, the correspondence between the components of the present embodiment and the components of the present invention will be clarified. The electronic
以上説明した実施形態の電子部品実装装置10によれば、撮影されたダイDの画像のうち不良マークMの有無を検索する検索領域内で、該検索領域よりも小さいサイズの判定領域を当てはめ、該判定領域に含まれるドットのグレースケール平均値と閾値とを比較することにより不良マークMの有無を判定する。ここで、図10に示すように、判定領域用フレームF2が検索領域用フレームF1と同じ(つまり判定領域が検索領域と同じ)場合には、最小の不良マークMminの大きさが判定領域に比べて小さすぎるため、判定領域のグレースケール平均値が小さくなりすぎて閾値を超えないことがあり、不良マークMが存在するにもかかわらず不良マークMなしと判定するおそれがある。これに対して、本実施形態では、判定領域が検索領域よりも小さなサイズのため、そのようなおそれは解消される。したがって、ダイDに付された不良マークMの誤検知の発生を抑えることができる。
According to the electronic
また、グレースケール平均値と閾値とを比較することにより不良マークMの有無を判定しているため、ダイDに付された不良マークMがかすれていて黒色のドットが不連続だったとしても、精度よく不良マークありと判定することができる。 Moreover, since the presence or absence of the defective mark M is determined by comparing the gray scale average value and the threshold value, even if the defective mark M attached to the die D is blurred and the black dots are discontinuous, It can be determined that there is a defective mark with high accuracy.
更に、ダイDの検索領域に含まれるドットのグレースケール値に基づいて不良マーク候補部を設定し、該不良マーク候補部に対して判定領域を当てはめて不良マークMの有無を判定するため、判定領域を検索領域内に隈なく当てはめていく場合に比べて、短時間で判定を行うことができる。 Further, a defect mark candidate part is set based on the gray scale value of the dot included in the search area of the die D, and the determination area is applied to the defect mark candidate part to determine the presence or absence of the defect mark M. It is possible to make a determination in a shorter time compared to the case where the region is applied to the search region.
なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。 It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and it goes without saying that the present invention can be implemented in various modes as long as it belongs to the technical scope of the present invention.
例えば、上述した実施形態において、検索領域用フレームF1のサイズや形状を設定変更可能としてもよい。こうすれば、実装しようとするダイDのサイズや形状に応じて検索領域のサイズや形状を変更することができるため、不良マークMの誤検知の発生をより効果的に抑えることができる。あるいは、判定領域用フレームF2のサイズや形状を設定変更可能としてもよい。こうすれば、ダイDに付される不良マークMのサイズや形状に応じて判定領域のサイズや形状を変更することができるため、不良マークMの誤検知の発生をより効果的に抑えることができる。 For example, in the embodiment described above, the size and shape of the search area frame F1 may be set and changed. In this way, the size and shape of the search area can be changed according to the size and shape of the die D to be mounted, so that the occurrence of erroneous detection of the defective mark M can be suppressed more effectively. Alternatively, the size and shape of the determination area frame F2 may be set and changed. In this way, since the size and shape of the determination area can be changed according to the size and shape of the defect mark M attached to the die D, the occurrence of erroneous detection of the defect mark M can be more effectively suppressed. it can.
上述した実施形態では、検索領域用フレームF1はダイDと同じ形状、大きさとしたが、ダイDの画像に予め設定された除外領域を除外するように検索領域用フレームF1を設定してもよい。その一例を図11に示す。ここでは、ダイDに複数の円形状の回路パターンPが形成され、この回路パターンPのドットのグレースケール値が不良マークMと同等だったとする。この場合、回路パターンPを囲む領域を除外領域とし、この除外領域を除外するように検索領域用フレームF1を設定する。こうすれば、予め不良マークMと混同しそうな領域を検索領域から除外しておくことができるため、不良マークMの誤検知の発生を抑える効果が高まる。 In the above-described embodiment, the search area frame F1 has the same shape and size as the die D. However, the search area frame F1 may be set so as to exclude an exclusion area preset in the image of the die D. . An example is shown in FIG. Here, it is assumed that a plurality of circular circuit patterns P are formed on the die D, and the gray scale values of the dots of the circuit patterns P are equivalent to the defect mark M. In this case, an area surrounding the circuit pattern P is set as an excluded area, and the search area frame F1 is set so as to exclude the excluded area. In this way, an area that is likely to be confused with the defective mark M can be excluded from the search area in advance, and the effect of suppressing the occurrence of erroneous detection of the defective mark M is enhanced.
上述した実施形態では、実装機に用いられる部材としてダイDを例示したが、図12に示すように複数の子基板116aが一体的に結合されてなる多面取り基板116を実装機に用いられる部材としてもよい。子基板116aは、最終的には多面取り基板116から切り離されるものである。多面取り基板116は、図1の基板16に相当するものであり、基板搬送装置18によって左から右へと搬送されるものである。この多面取り基板116には、図12に示すように、子基板116aとは別の位置にマーク領域117が設けられている。マーク領域117は、子基板116aの数だけマーク欄117aが設けられ、左側のマーク欄117aは左側の子基板116aに対応し、中央のマーク欄117aは中央の子基板116aに対応し、右側のマーク欄117aは右側の子基板116aに対応する。そして、いずれかの子基板116aが不良な子基板だった場合には、それに対応するマーク欄117aに不良マークが付される。各マーク欄117aは、検索領域に相当し、マーク欄117aよりも小さなサイズの判定領域用フレームF3により判定領域が設定される。このような多面取り基板116についても、電子部品実装装置10へ供給する前に、マーク領域117の撮影画像を取得し、各マーク欄117aに不良マークが付されているか否かを図5のフローチャートと同様にして判定してもよい。また、マーク領域117を設ける代わりに、子基板116aごとにマーク欄117aを設けてもよい。
In the above-described embodiment, the die D is exemplified as a member used in the mounting machine. However, as shown in FIG. 12, a member used in the mounting machine is a
上述した実施形態では、グレースケール平均値が閾値を超えるか否かによってダイDに不良マークMが付されているか否かを判定したが、判定領域に含まれるドットのグレースケール値と判定領域に含まれるドット数を利用したパラメータであれば、特にグレースケール平均値に限定されるものではない。例えば、判定領域に含まれるドットのうち不良マークMの色又はそれに近い色(例えばグレースケール値が0〜60のもの)のドットの数を判定領域に含まれるドット数で除した値と閾値とを比較することにより不良マークMの有無を判定してもよい。 In the above-described embodiment, it is determined whether or not the defect mark M is attached to the die D depending on whether or not the gray scale average value exceeds the threshold value. However, the gray scale value of the dot included in the determination area and the determination area are determined. The parameters are not particularly limited to the gray scale average value as long as the number of dots included is used. For example, a value obtained by dividing the number of dots of the color of the defective mark M or a color close to it (for example, a gray scale value of 0 to 60) among the dots included in the determination region by the number of dots included in the determination region, The presence / absence of the defect mark M may be determined by comparing.
上述した実施形態では、ダイDの下地を銀色、不良マークMを黒インクで付されているものとしたが、不良マークMはグレースケールで表したときにダイDの下地と区別できるのであればどのような色でもよい。例えば、ダイDの下地が黒色の場合には不良マークMは白インクで付けるものとしてもよい。 In the above-described embodiment, the base of the die D is silver and the defect mark M is black ink. However, if the defect mark M can be distinguished from the base of the die D when expressed in grayscale. Any color is acceptable. For example, when the base of the die D is black, the defect mark M may be attached with white ink.
上述した実施形態では、不良マークMのグレースケール値を利用したが、グレースケール値の代わりに他の色情報、例えばRGB値を利用してもよい。 In the above-described embodiment, the gray scale value of the defect mark M is used, but other color information such as RGB values may be used instead of the gray scale value.
本発明は、例えば電子部品実装装置に利用可能である。 The present invention can be used, for example, in an electronic component mounting apparatus.
10 電子部品実装装置、12 筐体、18 基板搬送装置、20 支持板、22 コンベアベルト、23 支持ピン、24 ヘッド、26 X軸スライダ、28 ガイドレール、30 Y軸スライダ、32 ガイドレール、33 マークカメラ、34 Z軸モータ、36 ボールネジ、40 吸着ノズル、42 ホルダ、44 マークカメラ、50 ウェハパレット、52 パレット本体、52a 円形穴、54 グリップリング、56 粘着シート、60 コントローラ、60a CPU、60b ROM、60c HDD、60d RAM、60e 入出力インタフェース、60f バス、116 多面取り基板、116a 子基板、117 マーク領域、117a マーク欄、d1,d2 円形部分、D ダイ、F1 検索領域用フレーム、F2 判定領域用フレーム、F3 判定領域用フレーム、M 不良マーク、W ウェハ。
DESCRIPTION OF
Claims (7)
前記部材を撮影する撮影手段と、
前記撮影手段によって撮影された前記部材の画像のうち不良マークの有無を検索する検索領域内で、該検索領域よりも小さいサイズの判定領域を当てはめ、該判定領域に含まれるドットの色情報と前記判定領域に含まれるドット数とを利用して前記不良マークの有無を判定する判定手段と、
を備えた不良部材判定装置。A defective member determination device for determining whether or not a defect mark is attached to a member used in a mounting machine,
Photographing means for photographing the member;
In the search area for searching for the presence or absence of a defective mark in the image of the member imaged by the imaging means, a determination area having a size smaller than the search area is applied, and the dot color information included in the determination area and the color information Determination means for determining the presence or absence of the defective mark using the number of dots included in the determination area;
The defective member determination apparatus provided with.
請求項1に記載の不良部材判定装置。The determination means determines the presence or absence of the defective mark by comparing an average value of gray scale values of dots included in the determination region with a predetermined threshold;
The defective member determination apparatus according to claim 1.
更に、前記検索領域及び前記判定領域の少なくとも一方のサイズ又は形状の設定を変更する設定変更手段
を備えた不良部材判定装置。The defective member determination device according to claim 1 or 2,
Furthermore, the defective member determination apparatus provided with the setting change means to change the setting of the size or shape of at least one of the said search area | region and the said determination area | region.
請求項1〜3のいずれか1項に記載の不良部材判定装置。The determination unit sets a defective mark candidate portion based on color information of dots included in the search region of the member, and determines the presence or absence of the defective mark by applying the determination region to the defective mark candidate portion. To
The defective member determination apparatus of any one of Claims 1-3.
請求項1〜4のいずれか1項に記載の不良部材判定装置。The determination means excludes an exclusion area preset in the image of the member from the search area,
The defective member determination apparatus of any one of Claims 1-4.
請求項5に記載の不良部材判定装置。The exclusion area is set based on a circuit pattern formed on the member.
The defective member determination apparatus according to claim 5.
(a)前記部材を撮影するステップと、
(b)前記ステップ(a)で撮影した前記部材の画像のうち不良マークの有無を検索する検索領域内で、該検索領域よりも小さいサイズの判定領域を当てはめ、該判定領域に含まれるドットの色情報と前記判定領域に含まれるドット数とを利用して前記不良マークの有無を判定するステップと、
を含む不良部材判定方法。A defective member determination method for determining whether or not a defect mark is attached to a member used in a mounting machine,
(A) photographing the member;
(B) In the search area for searching for the presence or absence of a defective mark in the image of the member photographed in step (a), a determination area having a size smaller than the search area is applied, and the dots included in the determination area Determining the presence or absence of the defective mark using color information and the number of dots included in the determination area;
A defective member determination method including:
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