JPWO2014109333A1 - Wavelength conversion device, illumination optical system, and electronic apparatus using the same - Google Patents

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Abstract

本発明の照明光学系は、青色光を発するアレイ光源20と、青色光を反射する反射領域52、青色光に基づき赤色光を発光する第1の蛍光体領域54および緑色光を発光する第2の蛍光体領域56を含む蛍光体ホイール50と、アレイ光源20からの青色光を透過し、蛍光体ホイール50からの赤色光および緑色光を反射するダイクロイックミラー30と、蛍光体ホイール50からの青色光を反射する反射ミラー40と、光軸C1を有し、アレイ光源20からの青色光を集光する前群レンズL1、L2と、光軸C1とシフトされた光軸C2を有し、前群レンズL1、L2からの青色光を蛍光体ホイール50の表面に集光する後群レンズL3、L4とを有する。The illumination optical system of the present invention includes an array light source 20 that emits blue light, a reflection region 52 that reflects blue light, a first phosphor region 54 that emits red light based on blue light, and a second light that emits green light. The phosphor wheel 50 including the phosphor region 56, the dichroic mirror 30 that transmits the blue light from the array light source 20, and reflects the red light and the green light from the phosphor wheel 50, and the blue color from the phosphor wheel 50. A reflection mirror 40 for reflecting light, an optical axis C1, front group lenses L1 and L2 for condensing blue light from the array light source 20, and an optical axis C2 shifted from the optical axis C1; And rear group lenses L3 and L4 that collect blue light from the group lenses L1 and L2 on the surface of the phosphor wheel 50.

Description

本発明は、青色帯域のレーザ光を発するレーザ光源を用いた照明光学系に関し、特にプロジェクタや光学機器等の電子装置等の光源に用いられる照明光学系に関する。  The present invention relates to an illumination optical system using a laser light source that emits laser light in a blue band, and more particularly to an illumination optical system used for a light source of an electronic device such as a projector or an optical apparatus.

プロジェクタの光源ユニットに、青色レーザ発光器を光源に利用したのが知られている(特許文献1)。この光源ユニットは、青色レーザ発光器と、蛍光体ホイールと、複数の反射ミラーやダイクロイックミラーとを備えて構成される。蛍光体ホイールは、モータによって回転される円板形状を有し、蛍光体ホイールには、青色帯域の光を透過する透過部、および青色帯域の光を赤色帯域および緑色帯域の光を発する蛍光体層がそれぞれ形成されている。  It is known that a blue laser emitter is used as a light source for a light source unit of a projector (Patent Document 1). The light source unit includes a blue laser emitter, a phosphor wheel, and a plurality of reflecting mirrors and dichroic mirrors. The phosphor wheel has a disk shape rotated by a motor, and the phosphor wheel has a transmission part that transmits blue band light, and a phosphor that emits blue band light in red band and green band. Each layer is formed.

特許第4711154号公報Japanese Patent No. 4711154

上記特許文献1に示される光源ユニットは、蛍光体ホイールが青色帯域の光を透過する構成であるため、その光学系のレイアウト等に制約が生じてしまい、必ずしも光源ユニットの小型化、省スペース化に適しているとはいえなかった。  Since the light source unit shown in Patent Document 1 has a configuration in which the phosphor wheel transmits blue band light, the optical system layout and the like are limited, and the light source unit is not necessarily reduced in size and space. It was not suitable for.

そこで、本発明は、光学部品の点数を減らし、省スペース、軽量化、低コスト化を図る波長変換デバイス、照明光学系およびこれを用いた電子装置を提供することを目的とする。  SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a wavelength conversion device, an illumination optical system, and an electronic apparatus using the same that reduce the number of optical components to save space, reduce weight, and reduce costs.

本発明に係る波長変換デバイスは、照明光学系に用いられるものであって、入射された青色帯域の光に基づき青色帯域と異なる波長の光を発光する波長変換領域を含み、1つの波長変換領域は、回転中心に同心円状に形成され、前記波長変換領域は、半径方向にn組(nは、2以上の整数)形成される。好ましくは前記1つの波長変換領域は、青色帯域の光に基づき赤色帯域の光を発光する第1の蛍光体領域と、青色帯域の光に基づき緑色帯域の光を発光する第2の蛍光体領域とを含む。  A wavelength conversion device according to the present invention is used in an illumination optical system, and includes a wavelength conversion region that emits light having a wavelength different from that of the blue band based on incident blue band light. Are formed concentrically at the center of rotation, and the wavelength conversion region is formed in n sets (n is an integer of 2 or more) in the radial direction. Preferably, the one wavelength conversion region includes a first phosphor region that emits red band light based on blue band light, and a second phosphor region that emits green band light based on blue band light. Including.

さらなる本発明に係る波長変換デバイスは、第1の波長帯域の光を反射する反射領域、少なくとも第1の波長帯域の光に基づき第2の波長帯域の光を発光する第1の蛍光体領域および第3の波長帯域の光を発光する第2の蛍光体領域を含む第1の回転部材と、前記反射領域から反射された第1の波長帯域の光を透過する第1の透過領域、前記第1の蛍光体領域から出力された第2の波長帯域の光を透過する第2の透過領域、および前記第2の蛍光体領域から出力された第3の波長帯域の光を透過する第3の透過領域を含む第2の回転部材とを含む。  The wavelength conversion device according to the present invention further includes a reflection region that reflects light in the first wavelength band, a first phosphor region that emits light in the second wavelength band based on at least light in the first wavelength band, and A first rotating member including a second phosphor region that emits light in a third wavelength band; a first transmission region that transmits light in the first wavelength band reflected from the reflection region; A second transmission region that transmits light in the second wavelength band output from the first phosphor region, and a third that transmits light in the third wavelength band output from the second phosphor region. And a second rotating member including a transmission region.

さらなる本発明に係る波長変換デバイスは、第1の波長帯域の光を反射する反射領域、少なくとも第1の波長帯域の光に基づき第2の波長帯域の光を発光する第1の蛍光体領域を含む第1の回転部材と、前記反射領域から反射された第1の波長帯域の光を透過する第1の透過領域、前記第1の蛍光体領域から出力された第2の波長帯域の光から第3の波長帯域の光を抽出する第1の抽出領域、および第2の波長帯域の光から第4の波長帯域の光を抽出する第2の抽出領域とを含む第2の回転部材とを含む。  The wavelength conversion device according to the present invention further includes a reflection region that reflects light in the first wavelength band, and a first phosphor region that emits light in the second wavelength band based on at least light in the first wavelength band. A first rotation member including a first transmission region that transmits light in the first wavelength band reflected from the reflection region, and light in the second wavelength band output from the first phosphor region. A second rotating member including a first extraction region for extracting light in the third wavelength band and a second extraction region for extracting light in the fourth wavelength band from the light in the second wavelength band; Including.

本発明に係る照明光学系は、上記構成の波長変換デバイスと、波長変換デバイスにn組の青色帯域の光線束を入射させる光学系とを有する。好ましくは、前記光学系は、n組の波長変換領域の各々に青色帯域の光線束を集光させるn組のレンズを含み、青色帯域の光線束の光軸は、レンズの光軸と異なる。本発明に係るプロジェクタおよび内視鏡は、上記構成の照明光学系を用いて構成される。  An illumination optical system according to the present invention includes the wavelength conversion device having the above-described configuration and an optical system that causes n sets of light beams in the blue band to enter the wavelength conversion device. Preferably, the optical system includes n sets of lenses for condensing a blue-band light bundle in each of the n sets of wavelength conversion regions, and an optical axis of the blue-band light bundle is different from an optical axis of the lens. The projector and the endoscope according to the present invention are configured using the illumination optical system having the above configuration.

本発明によれば、部品点数を削減し、小型化、軽量化、低コスト化を図った照明光学系およびそれを用いた電子装置を提供することができる。  According to the present invention, it is possible to provide an illumination optical system in which the number of parts is reduced, which is reduced in size, weight, and cost, and an electronic apparatus using the illumination optical system.

本発明の第1の実施例に係る照明光学系の原理を説明する図である。It is a figure explaining the principle of the illumination optical system which concerns on the 1st Example of this invention. 図1に示すアレイ光源の構成例を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows the structural example of the array light source shown in FIG. 図3(A)は、本実施例の蛍光体ホイールの平面図、図3(B)は、そのX−X線断面図である。3A is a plan view of the phosphor wheel of the present embodiment, and FIG. 3B is a cross-sectional view taken along the line XX. 図4(A)は、本実施例による蛍光体ホイールにより青色帯域の光が反射される様子を説明する図、図4(B)は、本実施例による蛍光体ホイールにより赤色帯域/緑色帯域の光が反射される様子を説明する図である。FIG. 4A is a diagram illustrating a state in which light in the blue band is reflected by the phosphor wheel according to the present embodiment, and FIG. 4B is a diagram illustrating the red band / green band by the phosphor wheel according to the present embodiment. It is a figure explaining a mode that light is reflected. 図5(A)は、本発明の第2の実施例に係る照明光学系の原理を説明する図、図5(B)は、第2の実施例に用いられる蛍光体ホイールの平面図、図5(C)は、第2の実施例により合成されるR、G、Bの光の合成輝度を説明する図である。FIG. 5A is a diagram for explaining the principle of an illumination optical system according to the second embodiment of the present invention, and FIG. 5B is a plan view of a phosphor wheel used in the second embodiment, FIG. FIG. 5C is a diagram for explaining the combined luminance of the R, G, and B lights combined according to the second embodiment. 蛍光体の発光変化効率と照射エネルギー密度との関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between the light emission change efficiency of a fluorescent substance, and irradiation energy density. 本発明の第1、第2の実施例に適用可能な蛍光体ホイールの変形例を説明する図である。It is a figure explaining the modification of the fluorescent substance wheel applicable to the 1st, 2nd Example of this invention. 本発明の第1、第2の実施例に適用可能な蛍光体ホイールの変形例を説明する図である。It is a figure explaining the modification of the fluorescent substance wheel applicable to the 1st, 2nd Example of this invention. 本発明の第3の実施例に係る照明光学系の原理を説明する図である。It is a figure explaining the principle of the illumination optical system which concerns on the 3rd Example of this invention. 本発明の第4の実施例に係る照明光学系の原理を説明する図である。It is a figure explaining the principle of the illumination optical system which concerns on the 4th Example of this invention. 図10の蛍光体ホイールの構成を示し、図10(A)は、第2のホイール部材の平面図、図10(B)は、第1のホイール部材の平面図、図10(C)は、第2のホイール部材の変形例を示す平面図である。FIG. 10A shows a configuration of the phosphor wheel in FIG. 10, FIG. 10A is a plan view of the second wheel member, FIG. 10B is a plan view of the first wheel member, and FIG. It is a top view which shows the modification of a 2nd wheel member. 緑色帯域とそこに含まれる青色帯域の光強度と角度との関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between the light intensity of a green zone | band and the blue zone | band included therein, and an angle. 本発明の第4の実施例による蛍光体ホイールを用いたときの緑色帯域と青色帯域の光の光強度と角度との関係を示すグラフである。It is a graph which shows the relationship between the light intensity and angle of the light of a green zone | band and a blue zone | band when the fluorescent substance wheel by the 4th Example of this invention is used. 第2のホイール部材の青色透過領域、赤色透過領域および緑色透過領域における選択される波長の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the wavelength selected in the blue transmission area | region of a 2nd wheel member, a red transmission area | region, and a green transmission area | region. 本発明の第4の実施例に係る第2のホイール部材の変形例を説明する図である。It is a figure explaining the modification of the 2nd wheel member concerning the 4th example of the present invention. 本発明の第4の実施例に係る第2のホイール部材の変形例を説明する図である。It is a figure explaining the modification of the 2nd wheel member concerning the 4th example of the present invention. 本発明の第4の実施例に係る第2のホイール部材の変形例を説明する図である。It is a figure explaining the modification of the 2nd wheel member concerning the 4th example of the present invention. 本発明の第4の実施例に係る照明光学系の変形例を示す図である。It is a figure which shows the modification of the illumination optical system which concerns on the 4th Example of this invention. 本発明の第4の実施例に係る照明光学系の変形例を示す図である。It is a figure which shows the modification of the illumination optical system which concerns on the 4th Example of this invention. 本発明の第5の実施例に係る照明光学系を示す図である。It is a figure which shows the illumination optical system which concerns on the 5th Example of this invention. 図21(A)は、第5の実施例による第1のホイール部材の平面図、図21(B)は、第2のホイール部材の平面図である。FIG. 21A is a plan view of a first wheel member according to the fifth embodiment, and FIG. 21B is a plan view of a second wheel member. 本発明の第6の実施例に係る照明光学系の原理を説明する図である。It is a figure explaining the principle of the illumination optical system which concerns on the 6th Example of this invention. 図23(A)は、第6の実施例の蛍光体ホイールの平面図、図23(B)は、図23(A)のX−X線断面図である。FIG. 23A is a plan view of the phosphor wheel of the sixth embodiment, and FIG. 23B is a cross-sectional view taken along the line XX of FIG. 本発明の第7の実施例に係る照明光学系の原理を説明する図である。It is a figure explaining the principle of the illumination optical system which concerns on the 7th Example of this invention. 本発明の第7の実施例に係る蛍光体ホイールの概略断面図である。It is a schematic sectional drawing of the phosphor wheel which concerns on the 7th Example of this invention. レーザ光を分割する他の方法を説明する図である。It is a figure explaining the other method of dividing | segmenting a laser beam. 本発明の第6の実施例に係る照明光学系の変形例を説明する図である。It is a figure explaining the modification of the illumination optical system which concerns on the 6th Example of this invention.

次に、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。本発明の好ましい態様では、照明光学系には、波長が短い青色光を発する半導体発光素子として、青色レーザ素子または青色発光ダイオードをアレイ化したアレイ光源が利用される。さらに好ましい態様では、照明光学系は、DLPまたはDMDのような光変調デバイスにより光を反射するプロジェクタに利用される。なお、図面のスケールは、発明の特徴を分かり易くするために強調しており、必ずしも実際のデバイスのスケールと同一ではないことに留意すべきである。  Next, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In a preferred aspect of the present invention, the illumination optical system uses a blue laser element or an array light source in which blue light emitting diodes are arrayed as a semiconductor light emitting element that emits blue light having a short wavelength. In a further preferred aspect, the illumination optical system is used in a projector that reflects light by a light modulation device such as DLP or DMD. It should be noted that the scale of the drawings is emphasized for easy understanding of the features of the invention and is not necessarily the same as the scale of an actual device.

図1は、本発明の第1の実施例に係る照明光学系の基本原理を説明する図である。なお、以下の説明で、赤色帯域の光、緑色帯域の光、青色帯域の光を、便宜上、R、G、Bと略すことがある。  FIG. 1 is a diagram for explaining the basic principle of an illumination optical system according to the first embodiment of the present invention. In the following description, red band light, green band light, and blue band light may be abbreviated as R, G, and B for convenience.

本実施例の照明光学系10は、励起光としての青色帯域のレーザ光を出射するアレイ光源20と、アレイ光源20からのレーザ光を集光する前群レンズL1、L2と、前群レンズL1、L2によって集光されたレーザ光を蛍光体ホイール50上に集光する後群レンズL3、L4と、青色帯域の光を透過し、赤色帯域および緑色帯域の光を反射するダイクロイックミラー30と、ダイクロイックミラー30の後部に配され、ダイクロイックミラー30と同一角度に配された反射ミラー40と、円板状の蛍光体ホイール50と、蛍光体ホイール50を回転するモータ60と、ダイクロイックミラー30によって反射された赤色帯域および緑色帯域の光、および反射ミラー40によって反射された青色帯域の光を集光するレンズL5と、集光レンズL5によって集光された光を透過するライトトンネル70とを含んで構成される。ライトトンネル70を出射した光は、図示しないDMD等の空間変調デバイスや光ファイバ等へと導かれる。なお、集光レンズL5およびライトトンネル70は、必ずしも必須ではなく、適用される電子装置の光源に応じた光学系に置換または変更することができる。  The illumination optical system 10 of the present embodiment includes an array light source 20 that emits blue band laser light as excitation light, front group lenses L1 and L2 that condense the laser light from the array light source 20, and a front group lens L1. , Rear group lenses L3 and L4 for condensing the laser light collected by L2 on the phosphor wheel 50, a dichroic mirror 30 that transmits light in the blue band and reflects light in the red band and green band, Reflected by a reflection mirror 40 disposed at the rear of the dichroic mirror 30 and at the same angle as the dichroic mirror 30, a disk-shaped phosphor wheel 50, a motor 60 that rotates the phosphor wheel 50, and the dichroic mirror 30. L5 that collects the red band light and the green band light that has been reflected, and the blue band light that has been reflected by the reflecting mirror 40, and a condensing lens 5 by configured to include a light tunnel 70 that transmits the light collected. The light emitted from the light tunnel 70 is guided to a spatial modulation device such as DMD (not shown), an optical fiber, or the like. The condensing lens L5 and the light tunnel 70 are not necessarily essential, and can be replaced or changed to an optical system according to the light source of the applied electronic device.

アレイ光源20は、青色帯域のレーザ光を出射する半導体レーザ素子(または青色発光ダイオード)をアレイ状に複数含んで構成される。複数の半導体レーザ素子は、一次元または二次元に配列され、複数の半導体レーザ素子を同時に駆動することで、各半導体レーザ素子から一斉にレーザ光が出射される。  The array light source 20 includes a plurality of semiconductor laser elements (or blue light-emitting diodes) that emit blue-band laser light in an array. The plurality of semiconductor laser elements are arranged one-dimensionally or two-dimensionally, and the plurality of semiconductor laser elements are driven at the same time, so that laser light is emitted from each semiconductor laser element all at once.

図2は、アレイ光源の一構成例を示す概略断面図である。同図に示すように、複数の半導体レーザ素子を搭載する基板は、熱伝導性の高い金属材料、例えばアルミニウムのような材料によって構成された支持部材22によって支持される。また、支持部材22の表面には、各半導体レーザ素子から出射されたレーザ光をそれぞれコリメートするレンズ24が取り付けられる。さらに支持部材22と対向する側には、反射ミラー26が配置され、反射ミラー26は、各半導体レーザ素子から出射された青色帯域の光を一定方向に反射し、レーザ光線束Lbを生成する。  FIG. 2 is a schematic cross-sectional view showing one configuration example of the array light source. As shown in the figure, a substrate on which a plurality of semiconductor laser elements are mounted is supported by a support member 22 made of a metal material having high thermal conductivity, such as aluminum. A lens 24 for collimating the laser light emitted from each semiconductor laser element is attached to the surface of the support member 22. Further, a reflection mirror 26 is disposed on the side facing the support member 22, and the reflection mirror 26 reflects blue band light emitted from each semiconductor laser element in a certain direction to generate a laser beam bundle Lb.

前群レンズL1は、例えば平凸レンズから構成され、アレイ光源20からのレーザ光線束Lbを集光し、前群レンズL2は、例えば凹レンズから構成され、前群レンズL1、L2によりアレイ光源20からのレーザ光線Lbを平行光に集光する。前群レンズL1、L2の光軸C1は、レンズL1、L2の中心である。前群レンズL1、L2は、アレイ光源20からのレーザ光線束Lbを集光することができる光学系であれば良く、前群レンズを構成するレンズの数は、1つであってもよいし、あるいは3つ以上であってもよい。さらにレンズは、球面レンズ、非球面レンズのいずれであってもよい。  The front group lens L1 is composed of, for example, a plano-convex lens and condenses the laser beam Lb from the array light source 20, and the front group lens L2 is composed of, for example, a concave lens, and the front group lenses L1 and L2 from the array light source 20 The laser beam Lb is condensed into parallel light. The optical axis C1 of the front group lenses L1 and L2 is the center of the lenses L1 and L2. The front group lenses L1 and L2 may be any optical system that can collect the laser beam bundle Lb from the array light source 20, and the number of lenses constituting the front group lens may be one. Or three or more. Further, the lens may be either a spherical lens or an aspheric lens.

後群レンズL3、L4は、例えば凸レンズ、凹レンズ等の球面レンズや非球面レンズの組合せから構成され、前群レンズL1、L2で集光されたレーザ光線束Lbを蛍光体ホイール50上にさらに集光する。後群レンズL3、L4の光軸C2は、レンズL3、L4の中心である。後群レンズL3、L4は、レーザ光線束Lbを蛍光体ホイール50上に集光することができる光学系であれば良く、後群レンズを構成するレンズの数は、1つであってもよいし、あるいは3つ以上であってもよい。ここで留意すべき点は、本実施例の照明光学系10は、後群レンズL3、L4の光軸C2を、前群レンズL1、L2の光軸C1からシフトさせた光学系であり、前群レンズL1、L2によって集光されたレーザ光は、後群レンズL3の片側半分に入射されるように、光軸C1、C2のシフトが調整される。  The rear group lenses L3 and L4 are composed of, for example, a combination of a spherical lens such as a convex lens and a concave lens, or an aspheric lens, and the laser beam bundle Lb collected by the front group lenses L1 and L2 is further collected on the phosphor wheel 50. Shine. The optical axis C2 of the rear group lenses L3 and L4 is the center of the lenses L3 and L4. The rear group lenses L3 and L4 may be any optical system that can focus the laser beam bundle Lb on the phosphor wheel 50, and the number of lenses constituting the rear group lens may be one. Or three or more. It should be noted that the illumination optical system 10 of this embodiment is an optical system in which the optical axis C2 of the rear group lenses L3 and L4 is shifted from the optical axis C1 of the front group lenses L1 and L2. The shifts of the optical axes C1 and C2 are adjusted so that the laser beams condensed by the group lenses L1 and L2 are incident on one half of the rear group lens L3.

ダイクロイックミラー30は、光軸C1、C2上に配され、光軸C1、C2に対しほぼ45度の角度で交差する。ダイクロイックミラー30は、青色帯域の光を透過し、赤色帯域および緑色帯域の光を反射する光学的性質を有する。このため、前群レンズL1、L2によって集光された青色帯域の光は、ダイクロイックミラー30を透過し、後群レンズL3、L4の片側半分に入射される。また、ダイクロイックミラー30は、後述するように蛍光体ホイール50によって反射された赤色帯域および緑色帯域の光を光軸に対しほぼ直角に反射する。  The dichroic mirror 30 is disposed on the optical axes C1 and C2, and intersects the optical axes C1 and C2 at an angle of approximately 45 degrees. The dichroic mirror 30 has an optical property of transmitting blue band light and reflecting red band and green band light. For this reason, the light in the blue band collected by the front lens groups L1 and L2 passes through the dichroic mirror 30 and enters one half of the rear lens groups L3 and L4. Further, the dichroic mirror 30 reflects light in the red band and the green band reflected by the phosphor wheel 50 almost at right angles to the optical axis, as will be described later.

ダイクロイックミラー30と同角度で配された反射ミラー40は、ダイクロイックミラー30の後部に位置し、蛍光体ホイール50で正規反射された青色帯域の光を、光軸C1、C2と直交する方向に反射する。反射ミラー40は、すべての波長を反射する全反射ミラー、もしくは青色帯域の光を反射し赤色および緑色帯域の光を透過するダイクロイックミラーによって構成することができる。反射ミラー40を後者のダイクロイックミラーから構成した場合には、反射ミラー40をダイクロイックミラー30の後方に配置してもよいし、その前方に配置してもよい。より好ましくは、反射ミラー40は、前群レンズL1、L2により集光されたレーザ光Lbを遮らないように位置され、かつ集光レンズL5の光軸に一致する。但し、レーザ光Lbが反射ミラー40にオーバーラップする位置関係であってもよい。  The reflection mirror 40 disposed at the same angle as the dichroic mirror 30 is located at the rear part of the dichroic mirror 30 and reflects the blue band light normally reflected by the phosphor wheel 50 in a direction orthogonal to the optical axes C1 and C2. To do. The reflection mirror 40 can be configured by a total reflection mirror that reflects all wavelengths, or a dichroic mirror that reflects light in the blue band and transmits light in the red and green bands. When the reflection mirror 40 is composed of the latter dichroic mirror, the reflection mirror 40 may be disposed behind or in front of the dichroic mirror 30. More preferably, the reflection mirror 40 is positioned so as not to block the laser light Lb collected by the front lens groups L1 and L2, and coincides with the optical axis of the condenser lens L5. However, the positional relationship may be such that the laser beam Lb overlaps the reflection mirror 40.

集光レンズL5は、ダイクロイックミラー30および反射ミラー40で反射された光を集光し、集光した光をライトトンネル70へ入射させる。レンズL5の光軸C3は、レンズL5の中心であり、光軸C3は、反射ミラー40とダイクロイックミラー30の光軸と同一であり、かつ光軸C1、C2と直交する。従って、ダイクロイックミラー30および反射ミラー40で反射された光は、集光レンズL5によって同一光路上に集光される。  The condensing lens L5 condenses the light reflected by the dichroic mirror 30 and the reflecting mirror 40 and makes the collected light enter the light tunnel 70. The optical axis C3 of the lens L5 is the center of the lens L5, and the optical axis C3 is the same as the optical axes of the reflection mirror 40 and the dichroic mirror 30, and is orthogonal to the optical axes C1 and C2. Therefore, the light reflected by the dichroic mirror 30 and the reflection mirror 40 is condensed on the same optical path by the condenser lens L5.

上記したように後群レンズL3、L4は、ダイクロイックミラー30と蛍光体ホイール50との間に配され、ダイクロイックミラー30を透過した青色帯域の光を、蛍光体ホイール50の表面に集光する。蛍光体ホイール50は、図3に示すように、モータ60によって一定速度で回転される円板状の回転体であって、その表面には、円周方向に、青色帯域の光を反射する反射領域52、青色帯域の光によって励起されて赤色帯域の光を発光する第1の蛍光体領域54、青色帯域の光によって励起されて緑色帯域の光を発光する第2の蛍光体領域56を含んでいる。反射領域52、第1の蛍光体領域54、および第2の蛍光体領域56は、半径方向に一定の幅を有し、この幅は、後群レンズL3、L4によって集光されたスポットPの径よりも幾分大きい。また、反射領域52、第1の蛍光体領域54、および第2の蛍光体領域56の円周方向の長さ、すなわちそれぞれの内角は、要求されるR、G、Bの輝度等に応じて適宜選択される。  As described above, the rear lens groups L3 and L4 are arranged between the dichroic mirror 30 and the phosphor wheel 50, and condense the light in the blue band transmitted through the dichroic mirror 30 on the surface of the phosphor wheel 50. As shown in FIG. 3, the phosphor wheel 50 is a disk-like rotating body that is rotated at a constant speed by a motor 60, and the surface thereof reflects the light in the blue band in the circumferential direction. The region 52 includes a first phosphor region 54 that emits light in the red band when excited by light in the blue band, and a second phosphor region 56 that emits light in the green band when excited by light in the blue band. It is out. The reflection region 52, the first phosphor region 54, and the second phosphor region 56 have a certain width in the radial direction, and this width is the width of the spot P collected by the rear group lenses L3 and L4. Somewhat larger than the diameter. In addition, the circumferential lengths of the reflection region 52, the first phosphor region 54, and the second phosphor region 56, that is, the respective inner angles thereof, depend on the required R, G, B luminances, etc. It is selected appropriately.

好ましい態様では、蛍光体ホイール50は、ガラス、樹脂または金属から構成された基材を含む。好ましい例では、回転体の表面は、R、G、Bの波長の光を反射する反射鏡を構成し、第1の蛍光体領域54および第2の蛍光体領域56は、当該反射鏡の表面に積層された蛍光体層54a、54bを含んで構成される。また、基材の表面に少なくとも青色帯域の光を反射する反射層を形成してもよい。さらに、反射領域52は、入射した青色帯域の光を微小に拡散させるようにするため、その表面に凹凸を形成するものであってもよい。  In a preferred embodiment, the phosphor wheel 50 includes a base material made of glass, resin, or metal. In a preferred example, the surface of the rotator constitutes a reflecting mirror that reflects light of R, G, and B wavelengths, and the first phosphor region 54 and the second phosphor region 56 are the surfaces of the reflecting mirror. The phosphor layers 54a and 54b are laminated. Further, a reflective layer that reflects at least blue band light may be formed on the surface of the substrate. Further, the reflection region 52 may be formed with irregularities on its surface so as to diffuse the incident blue band light minutely.

第1の蛍光体領域54は、上記したように、基材の表面に、青色帯域のレーザ光によって励起され、赤色帯域の光を発光する蛍光体層54aを含む。蛍光体層54aは、基材の表面に形成されてもよいし、基材の表面に反射層を形成し、当該反射層上に形成されるものでもよい。なお、図3(B)に示される蛍光体層54aは、その厚さがより誇張して示されていることに留意すべきである。同様に、第2の蛍光体領域56は、青色帯域の光によって励起され、緑色帯域の光を発光する蛍光体層56aを含む。蛍光体層54a、56aを構成する蛍光体材料には、YAG(イットリウム・アルミニウム・ガーネット)系、TAG(テルビウム・アルミニウム・ガーネット)系、サイアロン系、BOS(バリウム・オルソシリケート)系、窒化化合物系が知られている。蛍光体層54a、56aは、例えば、蛍光体材料と樹脂材料やセラミック材料に混ぜ合わせたものを基材表面の塗布したり、蛍光体材料を混ぜ合わせたシート状のものと基材表面に貼り付けるようにしてもよい。こうして、蛍光体ホイール50の表面には、スポットPの青色帯域の光が照射され、蛍光体ホイール50が回転されることで、反射領域52、第1および第2の蛍光体領域54、56がスポットPで光学的に走査される。  As described above, the first phosphor region 54 includes the phosphor layer 54a that is excited by the blue band laser light and emits the red band light on the surface of the base material. The phosphor layer 54a may be formed on the surface of the base material, or may be formed on the reflective layer by forming a reflective layer on the surface of the base material. It should be noted that the thickness of the phosphor layer 54a shown in FIG. 3B is exaggerated. Similarly, the second phosphor region 56 includes a phosphor layer 56a that is excited by blue band light and emits green band light. The phosphor materials constituting the phosphor layers 54a and 56a include YAG (yttrium, aluminum, garnet), TAG (terbium, aluminum, garnet), sialon, BOS (barium orthosilicate), and nitride compounds. It has been known. The phosphor layers 54a and 56a are, for example, applied on the surface of the base material mixed with a phosphor material and a resin material or a ceramic material, or pasted on the surface of the base material and a sheet-like material mixed with the phosphor material. You may make it attach. Thus, the surface of the phosphor wheel 50 is irradiated with the light in the blue band of the spot P, and the phosphor wheel 50 is rotated so that the reflection region 52 and the first and second phosphor regions 54 and 56 are formed. The spot P is optically scanned.

なお、上記の例では、蛍光体ホイール50には、赤色帯域および緑色帯域の光を発光させるための蛍光体層54a、56aが形成されたが、青色レーザ光によって励起される光は、必ずしも赤色帯域および緑色帯域の光に限定されるものではない。例えば、黄色、マゼンタ、シアンの帯域の光が励起されるような蛍光体層を形成するものであってもよい。  In the above example, the phosphor wheel 50 is formed with the phosphor layers 54a and 56a for emitting light in the red band and the green band. However, the light excited by the blue laser light is not necessarily red. It is not limited to light in the band and the green band. For example, a phosphor layer that excites light in the yellow, magenta, and cyan bands may be formed.

次に、R、G、Bの光がシーケンシャルに生成される動作を図4を参照して説明する。図4(A)は、蛍光体ホイール50の反射領域52によって青色帯域の光が正規反射された状態を示している。すなわち、前群レンズL1、L2からの平行な光線束Lbは、ダイクロイックミラー30を透過し、後群レンズL3、L4の光軸C2からシフトされた片側半分に入射される。この光線束Lbは、後群レンズL3、L4によって蛍光体ホイール50の反射領域52を照射する。このとき、光線束Lbは正規反射され、すなわち光軸C2に対する光線束Lbの入射角と反射角は略等しい。従って、蛍光体ホイール50で反射された光線束Lbは、後群レンズL3、L4の反対側から出射され、さらにその光Lbは、ダイクロイックミラー30を透過して、反射ミラー40によってほぼ直角に反射され、集光レンズL5によって集光される。  Next, an operation of sequentially generating R, G, and B light will be described with reference to FIG. FIG. 4A shows a state in which blue band light is regularly reflected by the reflection region 52 of the phosphor wheel 50. That is, the parallel light bundles Lb from the front lens groups L1 and L2 are transmitted through the dichroic mirror 30 and incident on one half of the rear lens groups L3 and L4 shifted from the optical axis C2. The light beam Lb irradiates the reflection region 52 of the phosphor wheel 50 by the rear lens groups L3 and L4. At this time, the light beam Lb is regularly reflected, that is, the incident angle and the reflection angle of the light beam Lb with respect to the optical axis C2 are substantially equal. Accordingly, the light beam Lb reflected by the phosphor wheel 50 is emitted from the opposite side of the rear lens groups L3 and L4, and the light Lb passes through the dichroic mirror 30 and is reflected by the reflecting mirror 40 at a substantially right angle. And condensed by the condenser lens L5.

図4(B)は、蛍光体ホイール50の第1または第2の蛍光体領域54、56によって赤色帯域または緑色帯域の光が反射される状態を示している。すなわち、図4(A)のときと同様に、青色帯域の光線束Lbが第1の蛍光体領域54を照射する。光線束Lbによって励起された蛍光体層54aは、赤色帯域の光を発光する。このとき、赤色帯域の光は、ランバーシアン状(均一拡散)に広がる光となる。ランバーシアン状に反射された赤色帯域の光Lrは、レンズL4、L3によって集光され、さらにその光は、ダイクロイックミラー30によってほぼ直角に反射され、集光レンズL5に入射される。この動作は、第2の蛍光体領域56が緑色帯域の光Lgを発光するときも同様である。  FIG. 4B shows a state in which red band or green band light is reflected by the first or second phosphor regions 54 and 56 of the phosphor wheel 50. That is, as in the case of FIG. 4A, the light flux Lb in the blue band irradiates the first phosphor region 54. The phosphor layer 54a excited by the light beam Lb emits light in the red band. At this time, the light in the red band becomes light spreading in a Lambertian shape (uniform diffusion). The red band light Lr reflected in a Lambertian shape is condensed by the lenses L4 and L3, and further reflected by the dichroic mirror 30 at a substantially right angle and is incident on the condensing lens L5. This operation is the same when the second phosphor region 56 emits green band light Lg.

こうして、青色帯域のレーザ光源を用いて、R、G、Bのレーザ光線束がシーケンシャルに生成され、これがライトトンネル70からデジタルミラーデバイス(DMD)等に向けられる。ここには詳細に示さないが、DMDは、複数のミラー素子が二次元アレイ状に形成され、各ミラー素子は、デジタル画像データに従い第1の角度または第2の角度に傾斜され、DMDによって反射されたR、G、Bの光は、投射画像を生成する。  In this way, R, G, and B laser beam bundles are sequentially generated using the blue-band laser light source and directed from the light tunnel 70 to a digital mirror device (DMD) or the like. Although not shown in detail here, the DMD has a plurality of mirror elements formed in a two-dimensional array, and each mirror element is tilted to the first angle or the second angle according to the digital image data and reflected by the DMD. The R, G, and B light generated generates a projection image.

このように、本実施例によれば、蛍光体ホイール50が、R、G、Bのすべてを反射させ、かつダイクロイックミラー30および反射ミラー40が選択的にR、G、Bの光を反射させるようにしたので、照明光学系10に必要な光学部材を低減させ、コンパクトな構成を得ることができる。特に、ダイクロイックミラー30と反射ミラー40は、同方向に重複するように配置され、ダイクロイックミラー30と蛍光体ホイール50の間に後群レンズL3、L4を介在させる構成であるため、省スペース化がより促進される。  Thus, according to the present embodiment, the phosphor wheel 50 reflects all of R, G, and B, and the dichroic mirror 30 and the reflection mirror 40 selectively reflect R, G, and B light. Since it did in this way, the optical member required for the illumination optical system 10 can be reduced, and a compact structure can be obtained. In particular, the dichroic mirror 30 and the reflection mirror 40 are arranged so as to overlap in the same direction, and the rear group lenses L3 and L4 are interposed between the dichroic mirror 30 and the phosphor wheel 50, so that space saving is achieved. More promoted.

次に、本発明の第2の実施例について説明する。図5は、第2の実施例に係る照明光学系10Aの原理を示す図である。第2の実施例は、第1の実施例で用いたダイクロイックミラー30、反射ミラー40および後群レンズLを2組備え、ビームスプリッターで分離された2つの光線束からそれぞれR、G、Bを生成し、それらを最後に合成するものである。但し、蛍光体ホイールは、複数用いるのではなく単数であり、その表面には、円周方向に2組の反射領域、第1および第2の蛍光体領域が形成される。また、後群レンズLは、単一のレンズによって構成されている。  Next, a second embodiment of the present invention will be described. FIG. 5 is a diagram showing the principle of the illumination optical system 10A according to the second embodiment. In the second embodiment, two sets of the dichroic mirror 30, the reflection mirror 40, and the rear group lens L used in the first embodiment are provided, and R, G, and B are respectively obtained from two beam bundles separated by the beam splitter. Generated and synthesized at the end. However, a plurality of phosphor wheels are used instead of a single one, and two sets of reflection regions and first and second phosphor regions are formed on the surface in the circumferential direction. Further, the rear lens group L is constituted by a single lens.

同図に示すように、前群レンズL1、L2からの平行な光線束Lbは、ビームスプリッター200によって2つの光線束Lb1、Lb2に分離される。分離された光線束Lb1については、第1の実施例のときと同様に、ダイクロイックミラー30、後群レンズL、蛍光体ホイール50A、ダイクロイックミラー30または反射ミラー40を経由して、R、G、Bの光が集光レンズL5に入射される。光線束Lb1は、図5(B)に示すように、蛍光体ホイール50Aの外周側にフォーカスされ、そのスポットPで反射領域52、第1および第2の蛍光体領域54、56を光学的に走査する。  As shown in the figure, the parallel light bundles Lb from the front lens groups L1 and L2 are separated into two light bundles Lb1 and Lb2 by the beam splitter 200. As for the separated light bundle Lb1, as in the first embodiment, R, G, and R via the dichroic mirror 30, the rear group lens L, the phosphor wheel 50A, the dichroic mirror 30 or the reflection mirror 40 are used. The B light is incident on the condenser lens L5. As shown in FIG. 5B, the light beam Lb1 is focused on the outer peripheral side of the phosphor wheel 50A, and the reflection region 52, the first and second phosphor regions 54, 56 are optically moved at the spot P. Scan.

もう一方の光線束Lb2は、反射ミラー210によってほぼ直角に反射され、光線束Lb1と平行にされる。反射ミラー210の中心または光軸C4は、後群レンズLAの光軸C2からシフトされ、光線束Lb2は、ダイクロイックミラー30Aを介して後群レンズLAの片側半分に入射される。入射した光線束Lb2は、後群レンズLAによって蛍光体ホール50Aの内周側のスポットQにフォーカスされ、スポットQによって、反射領域82、第1および第2の蛍光体領域84、86を光学的に走査する。蛍光体ホイール50Aで反射された青色帯域の光Lb2は、ダイクロイックミラー30Aを介して反射ミラー40Aによってほぼ直角に反射され、蛍光体ホイール50Aで反射された赤色帯域の光および緑色帯域の光は、ダイクロイックミラー30Aによってほぼ直角に反射され、集光レンズL5に入射される。図5(C)は、スポットPおよびスポットQのR、G、Bの輝度を合成したときの合成輝度を表している。蛍光体ホイール80A上の外周側の反射領域52、第1および第2の蛍光体領域54、56の配列と、内周側の反射領域82、第1および第2の蛍光体領域84、86の配列は、R、G、Gが生成されるタイミングが同期するように調整される。  The other light beam Lb2 is reflected substantially at right angles by the reflecting mirror 210 and is made parallel to the light beam Lb1. The center of the reflection mirror 210 or the optical axis C4 is shifted from the optical axis C2 of the rear group lens LA, and the light beam Lb2 is incident on one half of the rear group lens LA via the dichroic mirror 30A. The incident light bundle Lb2 is focused on the spot Q on the inner peripheral side of the phosphor hole 50A by the rear group lens LA, and the reflection region 82 and the first and second phosphor regions 84 and 86 are optically reflected by the spot Q. To scan. The light Lb2 in the blue band reflected by the phosphor wheel 50A is reflected almost at right angles by the reflecting mirror 40A via the dichroic mirror 30A, and the light in the red band and the green band reflected by the phosphor wheel 50A is The light is reflected at a substantially right angle by the dichroic mirror 30A and enters the condenser lens L5. FIG. 5C represents the combined luminance when the luminances of R, G, and B of the spot P and the spot Q are combined. The arrangement of the reflection region 52 on the outer peripheral side on the phosphor wheel 80A, the first and second phosphor regions 54 and 56, the reflection region 82 on the inner peripheral side, and the first and second phosphor regions 84 and 86 The arrangement is adjusted so that the timings at which R, G, and G are generated are synchronized.

図6に、蛍光体の発光変換量と励起光の照射エネルギー密度との関係を示す。蛍光体の特性として、光の照射エネルギー密度の増加に伴い、発光変換効量が増加する線形領域(変換効率が一定)、発光変換量が飽和する飽和領域(変換効率が低下)、発光変換量が劣化する劣化領域をもつことが知られている。このため、第1および第2の蛍光体層54、56、84、86に一定以上のエネルギーの青色光が照射されると、発光変換量が飽和ないし劣化し、蛍光体が熱損傷または熱劣化してしまう。熱損傷等を防止するためには、蛍光体層ないし蛍光体ホイールを冷却する必要がある。さらに、蛍光体は、経時変化によっても発光変換効率が劣化する。  FIG. 6 shows the relationship between the emission conversion amount of the phosphor and the irradiation energy density of the excitation light. As characteristics of the phosphor, a linear region in which the luminescence conversion efficiency increases (conversion efficiency is constant) with increasing light irradiation energy density, a saturated region in which the luminescence conversion amount is saturated (conversion efficiency decreases), and luminescence conversion amount. Is known to have a degradation region in which the degradation occurs. For this reason, when the first and second phosphor layers 54, 56, 84, 86 are irradiated with blue light having a certain energy or more, the light emission conversion amount is saturated or deteriorated, and the phosphor is thermally damaged or deteriorated. Resulting in. In order to prevent thermal damage or the like, it is necessary to cool the phosphor layer or phosphor wheel. Furthermore, the phosphor has a deterioration in light emission conversion efficiency even with a change with time.

第2の実施例では、励起光としての青色帯域の光の照射エネルギーを高くしても、青色帯域の光を2分割し、蛍光体ホイール上に2組の蛍光体層を形成するようにしたので、蛍光体層に照射される照射エネルギーを実質的に半減させることができる。これにより、蛍光体を線形領域で使用することが可能になり、発光変換量が劣化するのを防止することができる。同時に、蛍光体層の熱損傷または熱劣化を抑制することができ、蛍光体の寿命を延ばすことが可能になる。  In the second embodiment, even when the irradiation energy of the blue band light as the excitation light is increased, the blue band light is divided into two, and two sets of phosphor layers are formed on the phosphor wheel. Therefore, the irradiation energy with which the phosphor layer is irradiated can be substantially halved. As a result, the phosphor can be used in a linear region, and deterioration of the light emission conversion amount can be prevented. At the same time, thermal damage or thermal deterioration of the phosphor layer can be suppressed, and the lifetime of the phosphor can be extended.

なお、第2の実施例では、光線束Lbを2つに分離する例を示したが、光線束Lbをn個に分割し、n組のダイクロイックミラー、反射ミラー、レンズ、n組の反射領域および蛍光体領域が形成された蛍光体ホイールにより照明光学系を形成するようにしてもよい。  In the second embodiment, an example in which the light bundle Lb is separated into two is shown. However, the light bundle Lb is divided into n pieces, and n sets of dichroic mirrors, reflection mirrors, lenses, and n sets of reflection areas. The illumination optical system may be formed by a phosphor wheel in which the phosphor region is formed.

次に、本実施例の蛍光体ホイールのいくつかの構成例について図7を参照して説明する。
図7(A)は、蛍光体ホイール300の平面図、図7(B)は、そのX−X線断面図である。図7(C1)ないし(C4)は、第1の蛍光体領域320の種々の変形例を示し、図7(D1)ないし(D3)は、反射領域310の種々の変形例を示している。
Next, some structural examples of the phosphor wheel of the present embodiment will be described with reference to FIG.
FIG. 7A is a plan view of the phosphor wheel 300, and FIG. 7B is a sectional view taken along line XX. 7 (C1) to (C4) show various modifications of the first phosphor region 320, and FIGS. 7 (D1) to (D3) show various modifications of the reflection region 310. FIG.

図7(C1)において、蛍光体ホイール300を構成する円板状のガラスまたは樹脂等の基材322には、ドーナツ形状の反射層324が形成され、反射層324上には、第1の蛍光体320Aが形成される。第1の蛍光体320Aは、青色光で励起されて赤色光を発光する。反射層324を設けることで蛍光体の発光効率は向上するが、反射層324がR、G、Bのすべての波長を反射するものであると、第1の蛍光体320Aを透過した青色光が反射層324によって反射され、赤色と青色が混色してしまうおそれがある。  In FIG. 7C 1, a doughnut-shaped reflection layer 324 is formed on a base material 322 such as a disk-shaped glass or resin constituting the phosphor wheel 300, and the first fluorescence is formed on the reflection layer 324. A body 320A is formed. The first phosphor 320A emits red light when excited by blue light. Although the luminous efficiency of the phosphor is improved by providing the reflective layer 324, if the reflective layer 324 reflects all wavelengths of R, G, and B, the blue light transmitted through the first phosphor 320A can be reduced. There is a possibility that red and blue colors are mixed by being reflected by the reflective layer 324.

そこで、図7(C2)に示すように、第1の蛍光体320Aの直下には、蛍光発光色を反射し、青色光を吸収するかまたは透過するダイクロイックミラー326をコーティングする。より好ましくは、R、G、(Y)を反射し、青色光を透過または吸収する層326を形成する。第2の蛍光体330の場合も同様である。これにより、蛍光発光色と青色光との混色を防止することができる。  Therefore, as shown in FIG. 7C2, a dichroic mirror 326 that reflects the fluorescent emission color and absorbs or transmits blue light is coated immediately below the first phosphor 320A. More preferably, a layer 326 that reflects R, G, and (Y) and transmits or absorbs blue light is formed. The same applies to the second phosphor 330. Thereby, the color mixture of the fluorescence emission color and the blue light can be prevented.

また、図7(C3)に示すように、基材322Aの端部が厚くなるようにし反射層324に傾斜を持たせるようにしてもよい。このような傾斜を持たせることで、第1の蛍光体320Aを透過した青色光が蛍光発光色と混色しないようにすることができる。すなわち、レンズ70の半面から入射された青色光は、一定の大きさの入射角を有するため、反射層324が傾斜されることで、青色光は、入射した方向に向けて反射されることになるため、反射ミラー60に入射されない。第2の蛍光体領域330の場合も同様である。  Further, as shown in FIG. 7C3, the reflection layer 324 may be inclined so that the end portion of the base material 322A is thickened. By providing such an inclination, it is possible to prevent the blue light transmitted through the first phosphor 320A from being mixed with the fluorescent color. That is, since the blue light incident from the half surface of the lens 70 has a certain incident angle, the blue light is reflected toward the incident direction by tilting the reflective layer 324. Therefore, it does not enter the reflection mirror 60. The same applies to the second phosphor region 330.

また、図7(C4)に示すように、基材322の側面に、蛍光体層320Aを超える高さの反射部材328を形成するようにしてもよい。この場合、蛍光体層320Aを透過した青色光は、反射層324によって反射されるが、反射部材328によって反射ミラー60へ向かう青色光が反射されるため、蛍光発光色との混色が防止される。第2の蛍光体領域330の場合も同様である。  As shown in FIG. 7 (C4), a reflective member 328 having a height exceeding the phosphor layer 320A may be formed on the side surface of the base material 322. In this case, the blue light transmitted through the phosphor layer 320A is reflected by the reflection layer 324, but since the blue light traveling toward the reflection mirror 60 is reflected by the reflection member 328, color mixing with the fluorescent color is prevented. . The same applies to the second phosphor region 330.

他方、図7(D1)に示すように、青色光を反射する反射領域310は、基材312の表面に反射層314を形成することで、基材312の材料にかかわらず、青色光が効率よく反射される。また、図7(D2)に示すように、反射領域310の表面には、拡散領域316が形成されるようにしてもよい。青色レーザ光がコヒーレント光であるため、スペックルが発生する。これを除去するために、凹凸を有する拡散面にすることでコヒーレント成分を除去することができる。さらに、図7(D3)に示すように、反射領域310の基材312Aの厚さが端部に向けて薄くなるように傾斜を持たせることで反射面314を傾斜させ、青色光と蛍光体発光色の光軸をできるだけ離し、混色を防止することができる。  On the other hand, as shown in FIG. 7D1, the reflective region 310 that reflects blue light has a reflective layer 314 formed on the surface of the base material 312 so that the blue light is efficient regardless of the material of the base material 312. Reflected well. Further, as shown in FIG. 7D2, a diffusion region 316 may be formed on the surface of the reflection region 310. Since the blue laser light is coherent light, speckle is generated. In order to remove this, the coherent component can be removed by using a diffusing surface having irregularities. Further, as shown in FIG. 7 (D3), the reflecting surface 314 is inclined by providing an inclination so that the thickness of the base material 312A of the reflecting region 310 becomes thinner toward the end portion, so that blue light and phosphor It is possible to prevent color mixing by separating the optical axes of the emission colors as much as possible.

なお、上記図7(C1)ないし(D3)に示す1つもしくはそれ以上の組合せにより蛍光体ホイールを構成することが可能である。  Note that the phosphor wheel can be configured by one or more combinations shown in FIGS. 7C1 to 7D3.

蛍光体ホイールのさらなる変形例を図8に示す。図8(A)に示すように、蛍光体ホイールの基材400上に赤、緑、または黄色等を発光させるための蛍光体層410が形成されるが、その表面が滑らかであると、励起光である青色帯域の光線束Lbがその表面で正規反射(光軸C2に関し、入射角θ1=出射角θ2)が生じしまう。正規反射が生じると、その光Lb’は、ダイクロイックミラー30を介して反射ミラー40によって反射されるため、赤色帯域や緑色帯域の光に青色帯域の光が混色してしまう。  A further modification of the phosphor wheel is shown in FIG. As shown in FIG. 8A, a phosphor layer 410 for emitting red, green, yellow, or the like is formed on the phosphor wheel base material 400. When the surface is smooth, excitation occurs. The light beam Lb in the blue band, which is light, undergoes regular reflection on its surface (incident angle θ1 = exit angle θ2 with respect to the optical axis C2). When regular reflection occurs, the light Lb ′ is reflected by the reflection mirror 40 via the dichroic mirror 30, so that the light in the blue band is mixed with the light in the red band and the green band.

その対策として、図8(B)に示すように、蛍光体層410の表面に、凹凸状の起伏を有する拡散面420を形成することで、青色帯域の光が正規反射されるのを防止する。あるいは、他の対策として、図8(C)に示すように、蛍光体層410の表面に、青色帯域の光の反射を防止する反射防止膜430を形成したり、図8(D)に示すように、蛍光体層410上に、拡散面もしくは反射防止膜が表面に形成された透明部材440を形成することが望ましい。  As a countermeasure against this, as shown in FIG. 8B, a diffused surface 420 having irregularities is formed on the surface of the phosphor layer 410, thereby preventing regular reflection of light in the blue band. . Alternatively, as another countermeasure, as shown in FIG. 8C, an antireflection film 430 for preventing reflection of light in the blue band is formed on the surface of the phosphor layer 410, or as shown in FIG. As described above, it is desirable to form the transparent member 440 having the diffusion surface or the antireflection film formed on the phosphor layer 410.

次に、本発明の第3の実施例について説明する。第1、第2の実施例では、ダイクロイックミラー30によって反射されたR、Gの光と、反射ミラー40によって反射されたBの光とが同一光路を進行するように構成したが、第3の実施例では、反射ミラーの光軸がダイクロイックミラーの光軸からシフトされたものである。  Next, a third embodiment of the present invention will be described. In the first and second embodiments, the R and G lights reflected by the dichroic mirror 30 and the B light reflected by the reflecting mirror 40 travel along the same optical path. In the embodiment, the optical axis of the reflecting mirror is shifted from the optical axis of the dichroic mirror.

蛍光体ホイールによって正規反射された青色帯域の光は、レーザ光そのものの光であり、スペックルが発生する。これを抑制するため、青色帯域の光Lbを反射する反射ミラー40の光軸をダイクロイックミラー30の光軸からずらし、青色帯域の光の光路上にスペックル除去光学系を設け、その光学系を通過後に、ダイクロイックミラー等で同一光路に合成する。  The blue band light regularly reflected by the phosphor wheel is the laser light itself, and speckles are generated. In order to suppress this, the optical axis of the reflection mirror 40 that reflects the light Lb in the blue band is shifted from the optical axis of the dichroic mirror 30, and a speckle removal optical system is provided on the optical path of the blue band light. After passing, they are combined in the same optical path by a dichroic mirror or the like.

図9は、第3の実施例の原理を説明する図である。同図に示すように、反射ミラー40は、その光軸がダイクロイックミラー30の光軸からシフトされるように配置される。反射ミラー40で反射された青色帯域の光Lbは、スペックル除去光学系500を介して、反射ミラー510によって直角に反射され、さらにその光Lbは、ダイクロイックミラー520によって直角に反射され、集光レンズL5に入射される。ダイクロイックミラー520は、ダイクロイックミラー30と同一の光軸を有し、ダイクロイックミラー520は、ダイクロイックミラー30で反射された赤色帯域の光Lrおよび緑色帯域の光Lgを透過し、青色帯域の光Lbを反射する。こうして、スペックル除去された青色帯域の光Lb、および蛍光光Lr、Lgが集光レンズL5を介してライトトンネル70に集光される。  FIG. 9 is a diagram for explaining the principle of the third embodiment. As shown in the figure, the reflection mirror 40 is arranged such that its optical axis is shifted from the optical axis of the dichroic mirror 30. The light Lb in the blue band reflected by the reflection mirror 40 is reflected at a right angle by the reflection mirror 510 via the speckle removal optical system 500, and further, the light Lb is reflected by the dichroic mirror 520 at a right angle to collect the light. The light enters the lens L5. The dichroic mirror 520 has the same optical axis as the dichroic mirror 30, and the dichroic mirror 520 transmits the red band light Lr and the green band light Lg reflected by the dichroic mirror 30, and transmits the blue band light Lb. reflect. In this way, the speckle-removed blue band light Lb and the fluorescent lights Lr and Lg are condensed on the light tunnel 70 via the condenser lens L5.

なお、図9に示す例では、スペックル除去光学系500を、反射ミラー40と反射ミラー510の間に介在させたが、スペックル除去光学系500を省略してもよい。この場合、反射ミラー40を拡散面にしたり、蛍光体ホイールの青色帯域の光を反射する面を拡散面にすることが望ましい。  In the example shown in FIG. 9, the speckle removing optical system 500 is interposed between the reflecting mirror 40 and the reflecting mirror 510, but the speckle removing optical system 500 may be omitted. In this case, it is desirable that the reflecting mirror 40 be a diffusing surface, or a surface that reflects light in the blue band of the phosphor wheel be a diffusing surface.

次に、本発明の第4の実施例に係る照明光学系について説明する。図10は、第3の実施例に係る照明光学系10Bの原理を説明する図である。本実施例に係る照明光学系10Bは、第1の実施例で説明したアレイ光源20(図1を参照)からの青色帯域のレーザ光Lbを反射するダイクロイックミラー600と、集光レンズ610と、蛍光体ホイール620と、蛍光体ホイール620を回転するモータ60と、蛍光体ホイール620から出力された青色帯域のレーザ光Lbを反射し、赤色帯域および緑色帯域の光Lr、Lgを透過するダイクロイックミラー630と、蛍光体ホイール620で蛍光発色された赤色帯域および緑色帯域の光Lr、Lgを反射し、青色帯域の光を透過するダイクロイックミラー640とを含んで構成される。  Next, an illumination optical system according to the fourth example of the present invention will be described. FIG. 10 is a diagram illustrating the principle of the illumination optical system 10B according to the third example. The illumination optical system 10B according to the present embodiment includes a dichroic mirror 600 that reflects the laser light Lb in the blue band from the array light source 20 (see FIG. 1) described in the first embodiment, a condensing lens 610, Phosphor wheel 620, motor 60 for rotating phosphor wheel 620, and dichroic mirror that reflects blue band laser light Lb output from phosphor wheel 620 and transmits red band and green band lights Lr and Lg 630 and a dichroic mirror 640 that reflects light Lr and Lg in the red band and green band that are fluorescently developed by the phosphor wheel 620 and transmits light in the blue band.

本実施例において特徴的な点は、蛍光体ホイール620が2枚のホイール部材を含み、一方のホイール部材620−1によって青色帯域、赤色帯域および緑色帯域の光を発生させ、他方のホイール部材620−2によって蛍光発色された赤色帯域および緑色帯域の光に含まれる青色帯域の光を効果的に除去する。これにより、赤色帯域および緑色帯域の光に青色帯域の光が混色するのを防止する。  A characteristic point in the present embodiment is that the phosphor wheel 620 includes two wheel members, and one wheel member 620-1 generates light in a blue band, a red band, and a green band, and the other wheel member 620. -2 effectively removes light in the blue band included in the light in the red band and green band that are fluorescently colored by -2. This prevents light in the blue band from being mixed with light in the red and green bands.

アレイ光源20から出力された青色帯域のレーザ光Lbは、ダイクロイックミラー600によってほぼ直角に反射される。ダイクロイックミラー600によって反射された青色帯域のレーザ光Lbは、シフト光学系となるように集光レンズ610の光軸からシフトされて集光レンズ610の片側半分に入射され、入射された光Lbは、蛍光体ホイール620上に集光される。これにより、回転される蛍光体ホイール620は青色帯域のレーザ光Lbによって光学的に走査され、その結果、蛍光体ホイール620からは、青色帯域の光Lb、赤色帯域の光Lr、緑色帯域の光Lgが順次出力される。蛍光体ホイール620によって正規反射された青色帯域の光Lbは、集光レンズ610の反対側の半分に入射され、ダイクロイックミラー630に集光される。ダイクロイックミラー630は、青色帯域の光Lbをほぼ直角方向に反射する。蛍光体ホイール620で蛍光発色された赤色帯域および緑色帯域の光Lr、Lgは、ランバーシアン状に均一に拡散された光となって集光レンズ610によって集光される。集光された光Lg、Lrは、ダイクロイックミラー600、630を透過し、ダイクロイックミラー640によってほぼ直角方向に反射される。  The blue-band laser light Lb output from the array light source 20 is reflected by the dichroic mirror 600 at a substantially right angle. The laser light Lb in the blue band reflected by the dichroic mirror 600 is shifted from the optical axis of the condenser lens 610 so as to be a shift optical system, and is incident on one half of the condenser lens 610. The incident light Lb is The light is condensed on the phosphor wheel 620. As a result, the rotating phosphor wheel 620 is optically scanned with the blue band laser light Lb. As a result, the phosphor wheel 620 emits blue band light Lb, red band light Lr, and green band light. Lg is sequentially output. The blue band light Lb regularly reflected by the phosphor wheel 620 is incident on the opposite half of the condensing lens 610 and collected on the dichroic mirror 630. The dichroic mirror 630 reflects the light Lb in the blue band in a substantially right angle direction. The red band and green band lights Lr and Lg that are fluorescently colored by the phosphor wheel 620 are uniformly diffused in a Lambertian pattern and are collected by the condenser lens 610. The condensed lights Lg and Lr are transmitted through the dichroic mirrors 600 and 630 and reflected by the dichroic mirror 640 in a substantially right angle direction.

蛍光体ホイール620は、同期して回転される2つの第1および第2のホイール部材620−1、620−2を含み、両ホイール部材は連結部材622によって連結される。これらのホイール部材620−1、620−2の平面図を図11(A)、(B)に示す。第1のホイール部材620−1は、実質的に第1の実施例の蛍光体ホイールと同様の構成を有しており、すなわち、青色帯域の光を反射する青色反射領域620−1B、青色帯域の光によって励起されて赤色帯域の光を蛍光発色する赤色蛍光領域620−1R、および青色帯域の光によって励起されて緑色帯域の光を蛍光発色する緑色蛍光領域620−1Gを含んで構成される。  The phosphor wheel 620 includes two first and second wheel members 620-1 and 620-2 that are rotated in synchronization with each other, and both wheel members are connected by a connecting member 622. Plan views of these wheel members 620-1 and 620-2 are shown in FIGS. The first wheel member 620-1 has substantially the same configuration as the phosphor wheel of the first embodiment, that is, the blue reflection region 620-1B that reflects light in the blue band, and the blue band. And a red fluorescent region 620-1R that emits red color light when excited by the light of the blue light, and a green fluorescent region 620-1G that emits green color light when excited by the blue band light. .

第2のホイール部材620−2は、第1のホイール部材620−1と同軸上に取付けられ、第1のホイール部材620−1と一緒に回転される。好ましくは、第2のホイール部材620−2は、第1のホイール部材620−1よりも半径(または直径)が小さく、第2のホイール部材620−2の周縁が集光レンズ610の光軸C1に重複しないように、第2のホイール部材620の外径が選択される。第2のホイール部材620−2のエッジが、第1のホイール部材620−1から出射された光の光路上に存在すると、当該エッジが映し出されてしまうことがある。これを解消するために、他の好ましい例では、第2のホイール部材620−2’は、その周縁が集光レンズ610の光軸C1を越えてもよく、その場合には、図11(C)に示すように、第2のホイール部材620の円周部分は、R、G、Bお光を透過する透明領域620−2Cから構成され、この透明領域620−2Cは、青色帯域の光Lbを透過し、かつ第1のホイール部材で蛍光発色された赤色帯域および緑色帯域の光Lr、Lgを透過する。  The second wheel member 620-2 is mounted coaxially with the first wheel member 620-1, and is rotated together with the first wheel member 620-1. Preferably, the second wheel member 620-2 has a smaller radius (or diameter) than the first wheel member 620-1, and the periphery of the second wheel member 620-2 is the optical axis C1 of the condenser lens 610. The outer diameter of the second wheel member 620 is selected so as not to overlap. If the edge of the second wheel member 620-2 exists on the optical path of the light emitted from the first wheel member 620-1, the edge may be reflected. In order to solve this problem, in another preferred example, the second wheel member 620-2 ′ may have a peripheral edge that exceeds the optical axis C1 of the condenser lens 610. ), The circumferential portion of the second wheel member 620 includes a transparent region 620-2C that transmits R, G, and B light, and the transparent region 620-2C includes the light Lb in the blue band. And the light Lr and Lg in the red band and the green band that are fluorescently colored by the first wheel member.

第2のホイール部材620−2には、第1のホイール部材620−1の青色反射領域620−1B、赤色蛍光領域620−1R、緑色蛍光領域620−1Gにそれぞれ対応する位置に、青色帯域の光を透過する青色透過領域620−2B、青色帯域の光を反射し赤色帯域の光を透過する赤色透過領域620−2R、青色帯域の光を反射し緑色帯域の光を透過する緑色透過領域620−2Gとが形成される。好ましい態様では、青色反射領域620−1B、赤色蛍光領域620−1R、緑色蛍光領域620−1Gのそれぞれの内角は、青色透過領域620−2B、赤色透過領域620−2R、緑色透過領域620−2Gの内角に等しく、すなわち、青色反射領域620−1Bで反射された青色帯域の光が青色透過領域620−2Bに入射され、赤色蛍光領域620−1Rで蛍光発色された赤色帯域の光が赤色透過領域620−2Rに入射され、緑色蛍光領域620−1Gで蛍光発色された緑色帯域の光が緑色透過領域620−2Gに入射されるような関係にある。  The second wheel member 620-2 has a blue band at positions corresponding to the blue reflective region 620-1B, the red fluorescent region 620-1R, and the green fluorescent region 620-1G of the first wheel member 620-1. Blue transmissive region 620-2B that transmits light, red transmissive region 620-2R that reflects blue band light and transmits red band light, and green transmissive region 620 that reflects blue band light and transmits green band light. -2G is formed. In a preferred embodiment, the interior angles of the blue reflective region 620-1B, the red fluorescent region 620-1R, and the green fluorescent region 620-1G are the blue transmissive region 620-2B, the red transmissive region 620-2R, and the green transmissive region 620-2G. That is, the blue band light reflected by the blue reflection area 620-1B is incident on the blue transmission area 620-2B, and the red band light fluorescently developed by the red fluorescence area 620-1R is transmitted through red. The green band light that is incident on the region 620-2R and fluorescently developed in the green fluorescent region 620-1G is incident on the green transmission region 620-2G.

図11(B)の第1のホイール部材620−1上のP1は、集光レンズ610によって集光された青色帯域のレーザ光Lbのスポット径を表している。図11(A)の第2のホイール部部材620−2上のP2は、第1のホイール部材620−1から出力された光のスポット径を表している。赤色帯域および緑色帯域の光Lr、Lgは、蛍光発色により均一に拡散されるため、それらのスポットP2の径は、青色帯域の光Lbのスポット径P2よりも大きくなる。また、図11(C)に示すP3は、集光レンズ610から第2のホイール部材に入射される青色帯域の光Lbを表している。  P <b> 1 on the first wheel member 620-1 in FIG. 11B represents the spot diameter of the blue band laser light Lb collected by the condenser lens 610. P2 on the second wheel member 620-2 in FIG. 11A represents the spot diameter of the light output from the first wheel member 620-1. Since the light Lr and Lg in the red band and the green band are uniformly diffused by fluorescent color development, the diameter of the spot P2 is larger than the spot diameter P2 of the light Lb in the blue band. Further, P3 shown in FIG. 11C represents the blue band light Lb incident from the condenser lens 610 to the second wheel member.

青色透過領域620−2Bは、第1のホイール部材620−1で反射された青色帯域の光Lbをそのまま透過する透明な材料から構成されるか、あるいは開口ないし貫通孔であることができる。赤色透過領域620−2Rは、蛍光発色された赤色帯域の光を透過し、少なくとも青色帯域の光を反射する光学フィルタ(例えば、ダイクロイックミラーやダイクロイックフィルタ)から構成される。緑色透過領域620−2Gは、蛍光発色された緑色帯域の光を透過し、少なくとも青色帯域の光を反射する光学フィルタ(例えば、ダイクロイックミラーやダイクロイックフィルタ)から構成される。例えば、第2のホイール部材620−2は、ガラス基板上に、赤色帯域、緑色帯域の光をそれぞれ透過する光学フィルムや光学ミラーを貼付したり、あるいは、ガラス基板上にそのような光学フィルタを構成する材料を蒸着することで形成されすることができる。  The blue transmissive region 620-2B may be made of a transparent material that directly transmits the light Lb in the blue band reflected by the first wheel member 620-1, or may be an opening or a through hole. The red transmission region 620-2R is configured by an optical filter (for example, a dichroic mirror or a dichroic filter) that transmits the fluorescently colored red band light and reflects at least the blue band light. The green transmission region 620-2G is configured by an optical filter (for example, a dichroic mirror or a dichroic filter) that transmits the fluorescently colored green band light and reflects at least the blue band light. For example, the second wheel member 620-2 is affixed with an optical film or an optical mirror that transmits light in the red band and the green band on the glass substrate, or such an optical filter on the glass substrate. It can be formed by vapor-depositing the constituent material.

赤色蛍光領域620−1R、緑色蛍光領域620−1Gは、青色帯域のレーザ光Lbによって励起された赤色帯域の光、緑色帯域の光を蛍光発色するが、青色帯域の光Lbの変換効率は100%ではない。すなわち、青色帯域のレーザ光Lbの一部は、赤色蛍光領域620−1Rの表面で正規反射され、さらには赤色蛍光領域620−1Rの内部に進行したレーザ光Lbの一部は、蛍光発色に利用されずに赤色蛍光領域620−1Rの表面から反射される。これは、緑色蛍光領域620−1Gについても同様である。その結果、蛍光発色された赤色帯域の光が第1のホイール部材620−1から出力されるとき、その表面で正規反射された青色帯域の光、および蛍光発色に利用されなかった青色帯域の光も同時に出力される。緑色帯域の光が出力されるときも、その表面で正規反射された青色帯域の光、および蛍光発色に利用されなかった青色帯域の光が同時に出力される。  The red fluorescent region 620-1R and the green fluorescent region 620-1G fluorescently develop red band light and green band light excited by the blue band laser light Lb, but the conversion efficiency of the blue band light Lb is 100. %is not. That is, part of the laser light Lb in the blue band is regularly reflected on the surface of the red fluorescent region 620-1R, and further, part of the laser light Lb that has traveled inside the red fluorescent region 620-1R becomes fluorescent. Reflected from the surface of the red fluorescent region 620-1R without being used. The same applies to the green fluorescent region 620-1G. As a result, when the fluorescence-colored red band light is output from the first wheel member 620-1, the blue-band light regularly reflected on the surface thereof and the blue-band light not used for the fluorescence color development. Are also output at the same time. Even when the green band light is output, the blue band light regularly reflected on the surface and the blue band light not used for fluorescence development are simultaneously output.

図12は、緑色帯域の光が出力されたときに含まれる青色帯域の光を説明するグラフであり、縦軸は光強度比率、横軸は、蛍光体ホイールの表面と成す角度(表面と直角方向が90度)である。但し、図12は、蛍光体ホイールが第1のホイール部材のみを含むときの緑色帯域の光成分を示すものであり、本実施例のような第2のホイール部材を含む蛍光体ホイールから出力される緑色帯域の光成分を表すものではないことに留意すべきである。  FIG. 12 is a graph illustrating blue band light included when green band light is output. The vertical axis represents the light intensity ratio, and the horizontal axis represents the angle formed with the surface of the phosphor wheel (perpendicular to the surface). Direction is 90 degrees). However, FIG. 12 shows the light component of the green band when the phosphor wheel includes only the first wheel member, and is output from the phosphor wheel including the second wheel member as in this embodiment. It should be noted that it does not represent the light component of the green band.

図12に示すように、蛍光体ホイールから蛍光発色される緑色帯域の光Lgは、ランバーシアン状に均一拡散される光となるため、角度依存性が少ないことがわかる。このような均一拡散された緑色帯域の光Lgは、集光レンズ610によって集光される。これに対し、蛍光体ホイールから出力される不所望な青色帯域の光Lnは、上記したように蛍光領域の表面で正規反射された角度依存性のある光成分と、蛍光領域内で蛍光発色に利用されなかった拡散された光の成分の合成である。このため、不所望な青色帯域の光Lnは、角度依存性のある光強度を有し、すなわち、正規反射される方向(角度90度の近傍)の近傍に大きな光強度を有する。なお、Lg+Lnは、両成分の光が合成されたときの強度を表している。  As shown in FIG. 12, it can be seen that the light Lg in the green band that is fluorescently developed from the phosphor wheel becomes light that is uniformly diffused in a Lambertian shape, and therefore has little angle dependency. The uniformly diffused green band light Lg is condensed by the condenser lens 610. On the other hand, the undesired blue band light Ln output from the phosphor wheel is converted into a fluorescent color within the fluorescent region and the angle-dependent light component regularly reflected on the surface of the fluorescent region as described above. A synthesis of components of diffused light that were not utilized. For this reason, the undesired blue band light Ln has an angle-dependent light intensity, that is, a large light intensity in the vicinity of the direction of regular reflection (in the vicinity of an angle of 90 degrees). Lg + Ln represents the intensity when the light of both components is combined.

本実施例では、このような不所望な青色帯域の光Lnを効果的に除去するため、蛍光体ホイール620は、青色帯域の光Lnをカットするための第2のホイール部材620−2を含む。第1のホイール部材620−1の緑色蛍光領域620−1Gから出力された緑色帯域の光Lgは、第2のホイール部材620−2の緑色透過領域620−2Gを透過するが、緑色帯域の光Lgに含まれる不所望な青色帯域の光Lnは、緑色透過領域620−2Gによって反射される。同様に、赤色蛍光領域620−1Rから出力された赤色帯域の光Lrは、赤色透過領域620−2Rを透過するが、赤色帯域の光Lrに含まれる不所望な青色帯域の光Lnは、赤色透過領域620−2Rによって反射される。  In the present embodiment, the phosphor wheel 620 includes a second wheel member 620-2 for cutting the blue band light Ln in order to effectively remove such unwanted blue band light Ln. . The green band light Lg output from the green fluorescent region 620-1G of the first wheel member 620-1 passes through the green transmissive region 620-2G of the second wheel member 620-2, but the green band light. Undesired blue band light Ln included in Lg is reflected by the green transmission region 620-2G. Similarly, the red band light Lr output from the red fluorescent region 620-1R passes through the red transmission region 620-2R, but the undesired blue band light Ln included in the red band light Lr is red. Reflected by the transmissive region 620-2R.

図13は、本実施例による第2のホイール部材620−2を設けたときのダイクロイックミラー630、640から出力される緑色帯域の光Lgの成分を示すグラフである。蛍光発色される緑色帯域の光Lgの光強度はほとんど変わらないが、不所望の青色帯域の光Lnのうち、約0〜90度の範囲内の正規反射された光、および蛍光発色に利用されなかった光の成分が第2のホイール部材620−2によって取り除かれる。さらに、約90〜180度の範囲内の不所望の青色帯域の光Lnは、第2のホイール部材620−2を透過するが、これらの光は、ダイクロイックミラー600によって反射され、かつダイクロイックミラー640を透過するため、緑色帯域の光Lgに混色されない。この原理は、赤色帯域の光Lrについても同様である。このように本実施例では、蛍光発色される赤色帯域および緑色帯域の光に不所望な青色帯域の光Lnが混色されるのを効果的に防止することができる。  FIG. 13 is a graph showing components of the green band light Lg output from the dichroic mirrors 630 and 640 when the second wheel member 620-2 according to the present embodiment is provided. The light intensity of the green light Lg that is fluorescently colored is almost the same, but of the unwanted blue band light Ln, it is used for regularly reflected light within a range of about 0 to 90 degrees, and for fluorescent color development. The missing light component is removed by the second wheel member 620-2. Further, the undesired blue band light Ln within the range of about 90 to 180 degrees is transmitted through the second wheel member 620-2, but the light is reflected by the dichroic mirror 600 and is dichroic mirror 640. Therefore, the green band light Lg is not mixed. This principle is the same for the red band light Lr. As described above, in this embodiment, it is possible to effectively prevent the light Ln in the undesired blue band from being mixed with the light in the red band and the green band that are fluorescently colored.

次に、第2のホイール部材の種々の変形例について説明する。上記の例では、第2のホイール部材620−2の機能は、青色帯域の光の混色を防止することを主としたが、第2のホイール部材は、同時に、R、G、Bのそれぞれの色を補正する機能を備えることができる。  Next, various modifications of the second wheel member will be described. In the above example, the function of the second wheel member 620-2 is mainly to prevent the color mixing of the light in the blue band, but the second wheel member can be used for each of R, G, and B at the same time. A function of correcting the color can be provided.

第2のホイール部材620−2に形成される青色透過領域620−2Bは、開口または貫通孔から構成される例を示したが、色の補正機能を持たせる場合には、青色透過領域620−2Bは、青色帯域内の選択された波長範囲λb1〜λb2を透過する光学フィルタまたは光学ミラー等から構成される。赤色透過領域620−2R、および緑色透過領域620−2Gも同様に、それぞれ選択された波長範囲λr1〜λr2、λg1〜λg2を透過するような光学フィルタまたは光学ミラーから構成される。例えば、図14に示すように、青色透過領域620−2Bは、450nm帯域を選択的に透過し、赤色透過領域620−2Rは、630nm帯域を選択的に透過し、緑色透過領域620−2Gは、520nm帯域を選択的に透過するように構成される。もし、蛍光体ホイール620が黄色帯域の光を蛍光発色する蛍光領域を含むならば、第2のホイール部材の黄色透過領域は、550nm帯域を選択的に透過するように構成される。  The blue transmissive region 620-2B formed in the second wheel member 620-2 has been shown as an example of an opening or a through-hole. However, when a color correction function is provided, the blue transmissive region 620- 2B includes an optical filter or an optical mirror that transmits the selected wavelength range λb1 to λb2 in the blue band. Similarly, the red transmissive region 620-2R and the green transmissive region 620-2G are configured by optical filters or optical mirrors that transmit the selected wavelength ranges λr1 to λr2 and λg1 to λg2, respectively. For example, as shown in FIG. 14, the blue transmission region 620-2B selectively transmits the 450 nm band, the red transmission region 620-2R selectively transmits the 630 nm band, and the green transmission region 620-2G It is configured to selectively transmit the 520 nm band. If the phosphor wheel 620 includes a fluorescent region that fluoresces yellow band light, the yellow transmission region of the second wheel member is configured to selectively transmit the 550 nm band.

また、上記実施例では、第2のホイール部材620−2を第1のホイール部材620−1に近接させ、かつ集光レンズ610の入射面側に配置する例を示したが、第2のホイール部材620−2は、赤色帯域および緑色帯域の光路上であれば任意の位置に挿入されてもよい。図15は、第2のホイール部材620−2を、集光レンズ610とダイクロイックミラー630との間に配置した例を示す。この場合にも、第1および第2のホイール部材620−1、620−2は、連結部材622によって結合され同時に回転される。  Moreover, in the said Example, although the 2nd wheel member 620-2 was adjoined to the 1st wheel member 620-1 and the example arrange | positioned at the entrance plane side of the condensing lens 610 was shown, the 2nd wheel was shown. The member 620-2 may be inserted at an arbitrary position as long as it is on the optical path of the red band and the green band. FIG. 15 shows an example in which the second wheel member 620-2 is disposed between the condenser lens 610 and the dichroic mirror 630. Also in this case, the first and second wheel members 620-1 and 620-2 are coupled by the connecting member 622 and are simultaneously rotated.

図16は、本実施例の照明光学系の他の構成例である。第2のホイール部材620−2を、集光レンズ610とダイクロイックミラー630との間に配置させた場合、第2のホイール部材620−2に入射される光のスポット径が大きくなり、その分だけ光量の損失が増える。そこで、図16に示すように、2つの集光レンズ650、660の間に第2のホイール部材620−2を配置させ、第2のホイール部材620−2へ入射される光のスポット径を小さくすることで、光量の損出を抑制することが可能になる。  FIG. 16 shows another configuration example of the illumination optical system of the present embodiment. When the second wheel member 620-2 is disposed between the condensing lens 610 and the dichroic mirror 630, the spot diameter of the light incident on the second wheel member 620-2 is increased, and accordingly. Light loss increases. Therefore, as shown in FIG. 16, the second wheel member 620-2 is disposed between the two condenser lenses 650 and 660, and the spot diameter of the light incident on the second wheel member 620-2 is reduced. By doing so, it becomes possible to suppress the loss of the light amount.

図17は、第2のホイール部材の他の変形例を示している。図17(A)に示すように、第2のホイール部材620−2は、半径方向に複数の組の透過領域を備える。図示する例では、最外周の第1組が、第1の青色透過領域620−2B、緑色透過領域620−2G、および赤色透過領域620−2Rを含み、それより内周の第2組が、第2の青色透過領域620−2B’、緑色透過領域620−2G’、および赤色透過領域620−2R’を含んでいる。例えば、第1組と第2組の透過領域は、それぞれが異なる波長帯域を選択するように構成される。  FIG. 17 shows another modification of the second wheel member. As shown in FIG. 17A, the second wheel member 620-2 includes a plurality of sets of transmission regions in the radial direction. In the illustrated example, the first set on the outermost periphery includes a first blue transmission region 620-2B, a green transmission region 620-2G, and a red transmission region 620-2R. A second blue transmissive region 620-2B ′, a green transmissive region 620-2G ′, and a red transmissive region 620-2R ′ are included. For example, the first set and the second set of transmission regions are configured to select different wavelength bands.

蛍光体ホイール620は、図17(B)に示すように水平方向Hに移動可能であり、蛍光体ホイール620が位置d1にあるとき、第1のホイール部材620−1から出射された光は、第2のホイール部材620−2の第1組の透過領域にスポットP2で照射され、蛍光体ホイール620が位置d2にあるとき、第1のホイール部材620−1から出射された光は、第2のホイール部材620−2の第2組の透過領域にスポットP2’で照射される。このような切替を可能にすることで、R、G、Bの色の選択ないし微調整を容易に行うことができる。  The phosphor wheel 620 is movable in the horizontal direction H as shown in FIG. 17B, and when the phosphor wheel 620 is at the position d1, the light emitted from the first wheel member 620-1 is When the first set of transmission regions of the second wheel member 620-2 are irradiated with the spot P2 and the phosphor wheel 620 is at the position d2, the light emitted from the first wheel member 620-1 is second. The second transmission region of the wheel member 620-2 is irradiated with the spot P2 ′. By enabling such switching, it is possible to easily select or fine-tune the colors of R, G, and B.

なお上記実施例では、アレイ光源20からのレーザ光Lbが入射される側と、レーザ光Lb、Lr、Lgが出射される側とが対向する例を示しているが、図18に示すようにダイクロイックミラー600の向きを反転させれば、レーザ光Lbの入射側とレーザ光Lb、Lr、Lgの出射側とを同一側にできることは勿論である。さらに他の光学系を用いることで、当業者であれば、レーザ光Lbの入射方向、レーザ光Lb、Lr、Lgの出射方向を適宜変更可能であることを理解し得る。また上記実施例では、ダイクロイックミラー630を前側に、ダイクロイックミラー640を後側に配置したが、この順序は逆であってもよい。さらに第4の実施例に係る照明光学系は、第1ないし第3の実施例で説明した照明光学系と組み合わせて用いることも勿論可能である。  In the above embodiment, an example is shown in which the side on which the laser light Lb from the array light source 20 is incident and the side on which the laser light Lb, Lr, and Lg are emitted face each other, as shown in FIG. Of course, if the direction of the dichroic mirror 600 is reversed, the incident side of the laser beam Lb and the emission side of the laser beams Lb, Lr, and Lg can be made the same side. Further, by using other optical systems, those skilled in the art can understand that the incident direction of the laser beam Lb and the emitting directions of the laser beams Lb, Lr, and Lg can be appropriately changed. In the above embodiment, the dichroic mirror 630 is disposed on the front side and the dichroic mirror 640 is disposed on the rear side. However, this order may be reversed. Furthermore, the illumination optical system according to the fourth embodiment can of course be used in combination with the illumination optical system described in the first to third embodiments.

また、上記実施例では、第1のホイール部材620−1が青色帯域の光Lbを第2のホイール部材側に向けて反射させる例を示したが、これに限らず、青色帯域の光Lbは、第1のホイール部材620−1を透過されてもよい。この場合、第1のホイール部材620−1の青色反射領域620−1Bは、青色帯域の光lbを透過する材料、もしくは貫通孔ないし開口から構成される。図19は、第1のホイール部材620−1が青色帯域の光Lbを透過するときの照明光学系を示している。第1のホイール部材620−1を透過した青色帯域の光Lbは、例えば全反射ミラー630Aによって所望の方向に取り出される。  Moreover, in the said Example, although the 1st wheel member 620-1 showed the example which reflects the light Lb of blue band toward the 2nd wheel member side, it is not restricted to this, The light Lb of blue band is The first wheel member 620-1 may be transmitted. In this case, the blue reflection region 620-1B of the first wheel member 620-1 is made of a material that transmits the light lb in the blue band, or a through hole or opening. FIG. 19 shows an illumination optical system when the first wheel member 620-1 transmits the light Lb in the blue band. The light Lb in the blue band that has passed through the first wheel member 620-1 is extracted in a desired direction by, for example, the total reflection mirror 630A.

次に、本発明の第5の実施例について説明する。上記実施例では、蛍光体ホイールは、青色帯域のレーザ光によって励起される複数の光(上記実施例では、赤色帯域の光および緑色帯域の光)を出力する例を示したが、第5の実施例では、第1のホイール部材によって単一の光が蛍光発色されるようにし、当該蛍光発色された光から複数の光を第2のホイール部材によって分離または抽出するものである。好ましい態様では、第1のホイール部材は、アレイ光源からの青色帯域のレーザ光Lbを反射しまたは透過するような青色発生領域と、青色帯域のレーザ光Lbによって励起されることで黄色帯域の光を蛍光発色する黄色蛍光領域とを含む。黄色帯域の光を発色させる蛍光物質は、赤色帯域または緑色帯域を蛍光発色させる蛍光物質よりも比較的変換効率が高く、そのため、黄色帯域の光の出力が高い利点がある。但し、本発明は、蛍光発色する物質は、黄色帯域に限らず、他の帯域であってもよく、シアン、またはマゼンタであってもよい。  Next, a fifth embodiment of the present invention will be described. In the above embodiment, the phosphor wheel outputs an example of outputting a plurality of lights excited by the laser beam in the blue band (in the above embodiment, the light in the red band and the light in the green band). In the embodiment, single light is fluorescently colored by the first wheel member, and a plurality of lights are separated or extracted from the fluorescently colored light by the second wheel member. In a preferred embodiment, the first wheel member includes a blue generation region that reflects or transmits the blue band laser light Lb from the array light source, and the yellow band light by being excited by the blue band laser light Lb. And a yellow fluorescent region that fluoresces. A fluorescent substance that develops light in the yellow band has a relatively higher conversion efficiency than a fluorescent substance that develops fluorescence in the red or green band, and thus has an advantage of high output of light in the yellow band. However, in the present invention, the fluorescent material is not limited to the yellow band, but may be another band, cyan, or magenta.

図20は、本発明の第5の実施例に係る照明光学系を示す図である。第5の実施例に係る照明光学系10Cでは、上記したように、蛍光体ホイール720は、単一の蛍光色を出力する第1のホイール部材720−1と、単一の蛍光色から複数の波長帯域の光を分離または抽出する第2のホイール部材720−2とを含んでいる。これ以外の構成は、図10(第4の実施例)と同一であるので、説明を省略する。図20(B)は、蛍光体ホイール720の部分拡大図であり、第1および第2のホイール部材720−1、720−2は、それぞれほぼ同径を有している。蛍光体ホイールの回転中心をC6、第1および第2のホイール部材720−1、720−2の中心C6からエッジまでの半径をr1、青色帯域の光Lbが第1のホイール部材720−1を照射したときのスポット径のほぼ中心から回転中心C6までの半径をr2、回転中心C6から第2のホイール部材720−2の波長を選択する領域のエッジまでの半径をr3とする。722は、第1および第2のホイール部材720−1、720−2の連結部材である。  FIG. 20 is a diagram showing an illumination optical system according to the fifth example of the present invention. In the illumination optical system 10C according to the fifth example, as described above, the phosphor wheel 720 includes the first wheel member 720-1 that outputs a single fluorescent color, and a plurality of single fluorescent colors. And a second wheel member 720-2 for separating or extracting light in the wavelength band. Other configurations are the same as those in FIG. 10 (fourth embodiment), and thus the description thereof is omitted. FIG. 20B is a partially enlarged view of the phosphor wheel 720, and the first and second wheel members 720-1 and 720-2 have substantially the same diameter. The center of rotation of the phosphor wheel is C6, the radius from the center C6 to the edge of the first and second wheel members 720-1 and 720-2 is r1, and the light Lb in the blue band passes through the first wheel member 720-1. The radius from the approximate center of the spot diameter when irradiated to the rotation center C6 is r2, and the radius from the rotation center C6 to the edge of the region for selecting the wavelength of the second wheel member 720-2 is r3. Reference numeral 722 denotes a connecting member for the first and second wheel members 720-1 and 720-2.

図21(A)は、第1のホイール部材の平面図、図20(B)は、第2のホイール部材の平面図である。第1のホイール部材720−1には、青色帯域の光を反射する青色反射領域720−1Bと、青色帯域の光によって励起され黄色帯域の光を蛍光発色する黄色蛍光領域720−1Yとが形成される。従って、アレイ光源20からのレーザ光Lbは、回転される第1のホイール部材720−1の青色反射領域720−1Bおよび黄色蛍光領域720−1Yを光学的に走査し、第1のホイール部材720−1からは青色帯域の光と黄色帯域の光が順次出力される。  FIG. 21A is a plan view of the first wheel member, and FIG. 20B is a plan view of the second wheel member. The first wheel member 720-1 is formed with a blue reflective region 720-1B that reflects light in the blue band and a yellow fluorescent region 720-1Y that is excited by the light in the blue band and emits fluorescence in the yellow band. Is done. Therefore, the laser light Lb from the array light source 20 optically scans the blue reflection region 720-1B and the yellow fluorescent region 720-1Y of the rotated first wheel member 720-1, and the first wheel member 720 is scanned. From -1, blue band light and yellow band light are sequentially output.

第2のホイール部材720−2は、アレイ光源からの青色帯域の光および青色反射領域720−1Bからの青色帯域の光を透過する青色透過領域720−2Bと、黄色帯域の光から赤色帯域の光を発生させる赤色発生領域720−2R、および黄色帯域の光から緑色帯域の光を発生させる緑色発生領域720−2Gとを含んでいる。  The second wheel member 720-2 includes a blue transmission region 720-2B that transmits blue band light from the array light source and blue band light from the blue reflection region 720-1B, and a yellow band light to red band light. It includes a red color generation region 720-2R that generates light and a green color generation region 720-2G that generates light in the green band from light in the yellow band.

青色透過領域720−2Bは、例えば、開口または貫通孔、あるいは少なくとも青色帯域の光を透過する透明な材料から構成される。赤色発生領域720−2Rは、少なくとも2つの特性の異なる領域を含む。すなわち、赤色発生領域720−2Rは、r1−r2間の領域では青色帯域の光を透過し、かつ黄色帯域に含まれる赤色帯域の光を透過する光学フィルタから構成され、r2−r3間の領域では青色帯域の光を反射し、かつ黄色帯域に含まれる緑色帯域の光を反射し、かつ黄色帯域に含まれる赤色帯域の光を透過する光学フィルタから構成される。
緑色発生領域720−2Gは、r1−r2間の領域では青色帯域の光を透過し、かつ黄色帯域に含まれる緑色帯域の光を透過する光学フィルタから構成され、r2−r3間の領域では青色帯域の光を反射し、かつ黄色帯域に含まれる赤色帯域の光を反射し、かつ黄色帯域に含まれる緑色帯域の光を透過する光学フィルタから構成される。
The blue transmissive region 720-2B is made of, for example, an opening or a through-hole, or a transparent material that transmits at least blue band light. The red color generation region 720-2R includes at least two regions having different characteristics. That is, the red generation region 720-2R is configured by an optical filter that transmits blue band light and transmits red band light included in the yellow band in the region between r1 and r2, and is a region between r2 and r3. Is configured by an optical filter that reflects light in the blue band, reflects light in the green band included in the yellow band, and transmits light in the red band included in the yellow band.
The green generation region 720-2G includes an optical filter that transmits blue band light in the region between r1 and r2 and transmits green band light included in the yellow band, and blue in the region between r2 and r3. The optical filter reflects light in the band, reflects light in the red band included in the yellow band, and transmits light in the green band included in the yellow band.

このように第5の実施例によれば、蛍光発色の強度が大きな蛍光材料を利用し、かつ混色の少ないR、G、Bの光を得ることができる。なお、本発明の第5の実施例は、第1ないし第4の実施例と組み合わせることが可能であり、またそこに記載した技術を適用することが可能である。  As described above, according to the fifth embodiment, it is possible to obtain R, G, and B light using a fluorescent material having a high intensity of fluorescent color and having little color mixing. The fifth embodiment of the present invention can be combined with the first to fourth embodiments, and the technique described therein can be applied.

次に、本発明の第6の実施例について説明する。本実施例の照明光学系10Dは、アレイ光源(図2を参照)から出射される励起光としての青色帯域のレーザ光Lbを集光する前群レンズL1、L2と、前群レンズL1、L2によって集光されたレーザ光Lbの一部を透過し、残りを直角方向に反射する第1のビームスプリッターBS1と、青色帯域の光を透過し少なくとも赤色帯域の光を反射する第1のダイクロイックミラー820と、集光レンズL3と、第1のビームスプリッターBS1で反射されたレーザ光Lbの一部を透過し、残りを直角方向に反射する第2のビームスプリッターBS2と、青色帯域の光および赤色帯域の光を透過し少なくとも緑色帯域の光を反射する第2のダイクロイックミラー830と、集光レンズL4と、青色帯域の光を透過し赤色帯域および緑色帯域の光を反射する第3のダイクロイックミラー840と、少なくとも赤色帯域および緑色帯域の光を反射する反射ミラー850と、集光レンズL3、L4と対向する位置に配された蛍光体ホイール860と、蛍光体ホイール860を回転駆動させる駆動モータ870とを含んで構成される。  Next, a sixth embodiment of the present invention will be described. The illumination optical system 10D of the present embodiment includes front group lenses L1 and L2 that condense blue band laser light Lb as excitation light emitted from an array light source (see FIG. 2), and front group lenses L1 and L2. A first beam splitter BS1 that transmits part of the laser beam Lb collected by the laser beam and reflects the remainder in a right angle direction, and a first dichroic mirror that transmits blue band light and reflects at least red band light. 820, a condenser lens L3, a second beam splitter BS2 that transmits part of the laser light Lb reflected by the first beam splitter BS1, and reflects the rest in a right angle direction, and light in the blue band and red A second dichroic mirror 830 that transmits light in the band and reflects light in the green band; a condenser lens L4; and transmits light in the blue band and light in the red band and green band. A third dichroic mirror 840 that reflects, a reflecting mirror 850 that reflects at least light in the red band and green band, a phosphor wheel 860 disposed at a position facing the condenser lenses L3 and L4, and a phosphor wheel 860 And a drive motor 870 that rotationally drives the motor.

前群レンズL1は、例えば凸レンズ等から構成され、前群レンズL2は、例えば凹レンズから構成され、前群レンズL1、L2は、アレイ光源からのレーザ光線Lbを平行光に集光する。前群レンズL1、L2の光軸C1は、レンズL1、L2の中心である。この例では、前群レンズとして2つの組合せレンズを用いているが、前群レンズは、アレイ光源からのレーザ光Lbを集光することができる光学系であれば良く、前群レンズを構成するレンズの数は、1つであってもよいし、あるいは3つ以上であってもよい。さらに前群レンズは、球面レンズ、非球面レンズのいずれから構成されるものであってもよい。さらに前群レンズは、プリズム等の光学部材を含むものであってもよい。  The front group lens L1 is composed of, for example, a convex lens, the front group lens L2 is composed of, for example, a concave lens, and the front group lenses L1, L2 condense the laser beam Lb from the array light source into parallel light. The optical axis C1 of the front group lenses L1 and L2 is the center of the lenses L1 and L2. In this example, two combination lenses are used as the front group lens. However, the front group lens only needs to be an optical system capable of condensing the laser light Lb from the array light source, and constitutes the front group lens. The number of lenses may be one, or three or more. Further, the front lens group may be composed of either a spherical lens or an aspheric lens. Further, the front lens group may include an optical member such as a prism.

第1のビームスプリッターBS1は、光軸C1上に配置され、レーザ光Lbの一部、例えば、1/3の光を光軸C1の方向に透過し、残りの2/3の光を光軸C1と直角の方向に反射する。  The first beam splitter BS1 is disposed on the optical axis C1, transmits a part of the laser light Lb, for example, 1/3 light in the direction of the optical axis C1, and transmits the remaining 2/3 light to the optical axis. Reflects in a direction perpendicular to C1.

第1のダイクロイックミラー20は、光軸C1上に配置され、第1のビームスプリッターBS1を透過したレーザ光Lbを光軸C1の方向に透過する。また、後述するように、第1のダイクロイックミラー820は、蛍光体ホイール860によって発光された赤色帯域の光を光軸C1と直交する光軸C4の方向に反射する。  The first dichroic mirror 20 is disposed on the optical axis C1, and transmits the laser light Lb transmitted through the first beam splitter BS1 in the direction of the optical axis C1. As will be described later, the first dichroic mirror 820 reflects the light in the red band emitted by the phosphor wheel 860 in the direction of the optical axis C4 orthogonal to the optical axis C1.

集光レンズL3は、第1のダイクロイックミラー820と蛍光体ホイール860との間に配置され、集光レンズL3の中心は、光軸C1に一致する。集光レンズL3は、第1のダイクロイックミラー820を透過したレーザ光Lbを蛍光体ホイール860上に集光する。また、蛍光体ホイール860によって発せられた赤色帯域の光Lrを第1のダイクロイックミラー820上に集光する。図の例では、集光レンズL3は、1つのレンズを用いて構成されるが、集光レンズL3は、レーザ光Lbを蛍光体ホイール860に集光しかつ蛍光体ホイール860から発せられる赤色帯域の光Lrを集光できる光学系であれば良く、集光レンズL3を構成するレンズの数は、複数の組合せレンズであってもよい。さらに集光レンズL3は、球面レンズ、非球面レンズのいずれから構成されるものであってもよい。さらに集光レンズは、プリズム等の光学部材を含むものであってもよい。  The condenser lens L3 is disposed between the first dichroic mirror 820 and the phosphor wheel 860, and the center of the condenser lens L3 coincides with the optical axis C1. The condensing lens L3 condenses the laser light Lb transmitted through the first dichroic mirror 820 on the phosphor wheel 860. Further, the red band light Lr emitted by the phosphor wheel 860 is condensed on the first dichroic mirror 820. In the example shown in the figure, the condensing lens L3 is configured by using one lens, but the condensing lens L3 condenses the laser light Lb on the phosphor wheel 860 and is emitted from the phosphor wheel 860. As long as it is an optical system that can collect the light Lr, the number of lenses constituting the condenser lens L3 may be a plurality of combination lenses. Further, the condensing lens L3 may be composed of either a spherical lens or an aspheric lens. Furthermore, the condensing lens may include an optical member such as a prism.

第2のビームスプリッターBS2は、光軸C1と直交する光軸C3上に配置され、第1のビームスプリッターBS1で反射されたレーザ光Lbの一部、例えば、1/3の光を光軸C3の方向に透過し、残りの2/3の光を光軸C3と直交する方向に反射する。  The second beam splitter BS2 is disposed on the optical axis C3 orthogonal to the optical axis C1, and a part of the laser light Lb reflected by the first beam splitter BS1, for example, 1/3 light is applied to the optical axis C3. And the remaining 2/3 of the light is reflected in a direction orthogonal to the optical axis C3.

第2のダイクロイックミラー830は、光軸C4上に配置され、第2のビームスプリッターBS2で反射されたレーザ光Lbを光軸C4と直交する方向に透過し、かつ第1のダイクロイックミラー820で反射された赤色帯域の光Lrを光軸C4の方向に透過する。また、後述するように、第2のダイクロイックミラー830は、蛍光体ホイール860によって発光された緑色帯域の光を光軸C4の方向に反射する。  The second dichroic mirror 830 is disposed on the optical axis C4, transmits the laser light Lb reflected by the second beam splitter BS2 in a direction orthogonal to the optical axis C4, and reflects by the first dichroic mirror 820. The red light Lr thus transmitted is transmitted in the direction of the optical axis C4. As will be described later, the second dichroic mirror 830 reflects the light in the green band emitted by the phosphor wheel 860 in the direction of the optical axis C4.

集光レンズL4は、第2のダイクロイックミラー830と蛍光体ホイール860との間に配置され、集光レンズL4の光軸C2は、集光レンズL4の中心である。この光軸C2は、光軸C1と平行である。集光レンズL4は、第2のダイクロイックミラー830を透過したレーザ光Lbを蛍光体ホイール860上に集光し、蛍光体ホイール860によって発せられた緑色帯域の光Lgを第2のダイクロイックミラー830上に集光する。図の例では、集光レンズL4は、1つのレンズを用いて構成されるが、集光レンズL4は、レーザ光Lbを蛍光体ホイール860に集光しかつ蛍光体ホイール860からの緑色帯域の光Lgを集光できる光学系であれば良く、集光レンズL4を構成するレンズの数は、複数の組合せレンズであってもよい。さらに集光レンズL4は、球面レンズ、非球面レンズのいずれから構成されるものであってもよい。さらに集光レンズは、プリズム等の光学部材を含むものであってもよい。  The condenser lens L4 is disposed between the second dichroic mirror 830 and the phosphor wheel 860, and the optical axis C2 of the condenser lens L4 is the center of the condenser lens L4. The optical axis C2 is parallel to the optical axis C1. The condensing lens L4 condenses the laser light Lb transmitted through the second dichroic mirror 830 on the phosphor wheel 860, and the green band light Lg emitted by the phosphor wheel 860 on the second dichroic mirror 830. Condensed to In the illustrated example, the condensing lens L4 is configured by using one lens, but the condensing lens L4 condenses the laser light Lb on the phosphor wheel 860 and has a green band from the phosphor wheel 860. Any optical system that can collect the light Lg may be used, and the number of lenses constituting the condenser lens L4 may be a plurality of combination lenses. Further, the condensing lens L4 may be constituted by either a spherical lens or an aspheric lens. Furthermore, the condensing lens may include an optical member such as a prism.

反射ミラー850は、第2のダイクロイックミラー30を透過した赤色帯域の光Lrおよび第2のダイクロイックミラー830で反射された緑色帯域の光Lgを光軸C4と直交する方向に反射する。  The reflection mirror 850 reflects the red band light Lr transmitted through the second dichroic mirror 30 and the green band light Lg reflected by the second dichroic mirror 830 in a direction orthogonal to the optical axis C4.

第3のダイクロイックミラー840は、光軸C3上に配置され、第2のビームスプリッターBS2を透過したレーザ光Lbを光軸C3の方向に透過し、反射ミラー850で反射された赤色帯域および緑色帯域の光Lr、Lgを光軸C3の方向に反射する。これにより、第3のダイクロイックミラー840からは、R、G、Bの光が取り出され、これを合成することで白色光を得ることができる。第3のダイクロイックミラー840から出射された白色光は、その後、R、G、Bに分離され、例えば液晶プロジェクタの光源に利用することができる。なお、図22の例では、光軸C3の方向にR/G/Bの光を取り出しているが、ミラー等の光学部材を用いて光軸C3と直交する方向、あるいはその他の任意の方向にR/G/Bの光を取り出すことが可能である。  The third dichroic mirror 840 is disposed on the optical axis C3, transmits the laser light Lb transmitted through the second beam splitter BS2 in the direction of the optical axis C3, and is reflected by the reflection mirror 850 and is reflected in the red band and the green band. Are reflected in the direction of the optical axis C3. Thereby, R, G, and B light is extracted from the third dichroic mirror 840, and white light can be obtained by synthesizing the light. The white light emitted from the third dichroic mirror 840 is then separated into R, G, and B, and can be used, for example, as a light source for a liquid crystal projector. In the example of FIG. 22, R / G / B light is extracted in the direction of the optical axis C3. However, in the direction orthogonal to the optical axis C3 using an optical member such as a mirror, or any other direction. R / G / B light can be extracted.

次に、蛍光体ホイールについて説明する。蛍光体ホイール860は、集光レンズL4、L5と対向する位置に配され、青色レーザ光Lbが照射されたとき赤色帯域および緑色帯域の光を発光する。蛍光体ホイール860の表面には、青色帯域のレーザ光によって励起され、赤色帯域の光を発光する環状の第1の蛍光体領域862Rと、青色帯域のレーザ光によって励起され、緑色帯域の光を発光する環状の第2の蛍光体領域862Gとが形成される。第1および第2の蛍光体領域862R、862Bは、同心円状に配置され、図の例では、第1の蛍光体領域862Rは、第2の蛍光体領域862Gよりも外周側に形成されるが、この関係は、反対であってもよい。  Next, the phosphor wheel will be described. The phosphor wheel 860 is disposed at a position facing the condenser lenses L4 and L5, and emits light in the red band and the green band when irradiated with the blue laser light Lb. The surface of the phosphor wheel 860 is excited by the blue band laser light and emits red band light, and the annular first phosphor region 862R is excited by the blue band laser light and emits the green band light. An annular second phosphor region 862G that emits light is formed. The first and second phosphor regions 862R and 862B are arranged concentrically, and in the example shown in the figure, the first phosphor region 862R is formed on the outer peripheral side with respect to the second phosphor region 862G. This relationship may be the opposite.

第1の蛍光体領域862Rは、半径方向に一定の幅を有し、好ましくは、当該半径方向の幅の中心が光軸C1に一致する。集光レンズL3は、青色帯域のレーザ光Lbが第1の蛍光体領域862Rの幅内に収まるように、レーザ光LbのスポットPのサイズを調整する。第2の蛍光体領域862Gも同様に、半径方向に一定の幅を有し、好ましくは、当該半径方向の幅の中心が光軸C2に一致する。集光レンズL4は、青色帯域のレーザ光Lbが第2の蛍光体領域862Gの幅内に収まるように、レーザ光LbをスポットQのサイズを調整する。  The first phosphor region 862R has a certain width in the radial direction, and preferably the center of the radial width coincides with the optical axis C1. The condensing lens L3 adjusts the size of the spot P of the laser light Lb so that the laser light Lb in the blue band falls within the width of the first phosphor region 862R. Similarly, the second phosphor region 862G has a constant width in the radial direction, and preferably the center of the radial width coincides with the optical axis C2. The condenser lens L4 adjusts the size of the spot Q of the laser beam Lb so that the laser beam Lb in the blue band falls within the width of the second phosphor region 862G.

蛍光体ホイール860は、駆動モータ870により一定速度で回転され、第1および第2の蛍光体領域862R、862GがスポットP、Qによって光学的に連続的に走査される。第1の蛍光体領域862Rは、レーザ光Lbによって励起された赤色帯域の光Lrをランバーシアン状(均一拡散)に放射する。その放射された光Lrは、集光レンズL3によって第1のダイクロイックミラー820に集光され、そこで光軸C1と直交する光軸C4の方向に反射される。第2の蛍光体領域862Gは、レーザ光Lbによって励起された緑色帯域の光Lgをランバーシアン状(均一拡散)に放射する。その放射された光Lgは、集光レンズL4によって第2のダイクロイックミラー830へ集光され、そこで光軸C2と直交する光軸C4の方向に反射される。  The phosphor wheel 860 is rotated at a constant speed by a driving motor 870, and the first and second phosphor regions 862R and 862G are optically continuously scanned by the spots P and Q. The first phosphor region 862R emits red band light Lr excited by the laser light Lb in a Lambertian shape (uniform diffusion). The emitted light Lr is condensed on the first dichroic mirror 820 by the condenser lens L3, and is reflected in the direction of the optical axis C4 orthogonal to the optical axis C1. The second phosphor region 862G emits the green band light Lg excited by the laser light Lb in a Lambertian shape (uniform diffusion). The emitted light Lg is condensed by the condenser lens L4 onto the second dichroic mirror 830, where it is reflected in the direction of the optical axis C4 orthogonal to the optical axis C2.

第1および第2の蛍光体領域862R、862Gを構成する蛍光体材料には、例えば、YAG(イットリウム・アルミニウム・ガーネット)系、TAG(テルビウム・アルミニウム・ガーネット)系、サイアロン系、BOS(バリウム・オルソシリケート)系、窒化化合物系が知られている。第1および第2の蛍光体領域862R、862Gは、例えば、蛍光体材料と樹脂材料やセラミック材料に混ぜ合わせたものを基材表面の塗布したり、蛍光体材料を混ぜ合わせたシート状のものと基材表面に貼り付けるようにしてもよい。  Examples of the phosphor material constituting the first and second phosphor regions 862R and 862G include YAG (yttrium, aluminum, garnet), TAG (terbium, aluminum, garnet), sialon, BOS (barium Orthosilicate) and nitride compounds are known. The first and second phosphor regions 862R and 862G are, for example, sheet-like ones obtained by applying a mixture of a phosphor material and a resin material or a ceramic material on the surface of the base material, or mixing a phosphor material. And may be affixed to the substrate surface.

図23(A)は、蛍光体ホイールの平面図、図23(B)は、蛍光体ホイールのX−X線断面図である。図中のP、Qで示す円は、集光レンズL3、L4によって集光された青色帯域の光Lbのスポットを表している。  FIG. 23A is a plan view of the phosphor wheel, and FIG. 23B is a cross-sectional view of the phosphor wheel taken along line XX. Circles indicated by P and Q in the figure represent spots of light Lb in the blue band collected by the condenser lenses L3 and L4.

蛍光体ホイール860は、円盤状の支持基板866の表面に、青色帯域、赤色帯域および緑色帯域の光を反射する反射層864と、反射層864上に形成された第1および第2の蛍光体領域862R、862Gとを含む。支持基板866は、特にその材料を制限されないが、例えば、金属材料、樹脂材料、ガラス材料などから構成される。なお、蛍光体ホイール860は、レーザ光Lbの照射により温度が高くなるため、支持基板866は、放熱特性に優れた材料または形状を有することが望ましい。また、支持基板866は、円形状であることが望ましいが、必ずしもこのような形状に限定されるものではなく、例えば、多角形上、楕円形状であってもよい。  The phosphor wheel 860 includes a reflective layer 864 that reflects light in the blue band, the red band, and the green band on the surface of the disc-shaped support substrate 866, and first and second phosphors formed on the reflective layer 864. Regions 862R and 862G. The material of the support substrate 866 is not particularly limited, and is made of, for example, a metal material, a resin material, a glass material, or the like. Note that since the temperature of the phosphor wheel 860 is increased by irradiation with the laser light Lb, the support substrate 866 desirably has a material or a shape excellent in heat dissipation characteristics. The support substrate 866 is preferably circular, but is not necessarily limited to such a shape, and may be, for example, a polygonal or elliptical shape.

第1の蛍光体領域862Rがレーザ光Lbによって照射されると、蛍光体材料がレーザ光Lbによって励起され、赤色帯域の光Lrが発光される。赤色帯域の光Lrは、発光点から等方的にランバーシアン状に拡散するため、その一部の光が支持基板866へ向けて進行する。しかし、このような光Lrは、蛍光体ホイール860の裏面側に透過することなく反射層864によって反射されため、赤色帯域の光Lrを効率よく取り出すことができる。第2の蛍光体領域862Bで発光された緑色帯域の光Lgもまた同様に反射層864によって反射されるので、緑色帯域の光Lgを効率よく取り出すことができる。  When the first phosphor region 862R is irradiated with the laser light Lb, the phosphor material is excited by the laser light Lb, and the red band light Lr is emitted. Since the red band light Lr isotropically diffuses in a Lambertian shape from the light emitting point, a part of the light travels toward the support substrate 866. However, since such light Lr is reflected by the reflective layer 864 without being transmitted to the back side of the phosphor wheel 860, the red band light Lr can be efficiently extracted. Similarly, the green band light Lg emitted from the second phosphor region 862B is also reflected by the reflective layer 864, so that the green band light Lg can be efficiently extracted.

また、青色帯域の光Lbの一部は、第1および第2の蛍光体領域862R、862Gにおいて赤色帯域および緑色帯域の波長変換に寄与することなく、第1および第2の蛍光体領域862R、862Gを透過するものがある。しかし、このような透過したレーザ光Lbは、反射層864によって反射されて、再び第1および第2の蛍光体領域862R、862Gに戻され、波長変換に利用されることになるので、変換効率を向上させることができる。  A part of the light Lb in the blue band does not contribute to wavelength conversion of the red band and the green band in the first and second phosphor regions 862R and 862G, and the first and second phosphor regions 862R, Some of them pass through 862G. However, such transmitted laser light Lb is reflected by the reflective layer 864 and returned again to the first and second phosphor regions 862R and 862G, and is used for wavelength conversion. Can be improved.

さらに、図23(C)に示すように、蛍光体ホイール860の表面の全面、または第1および第2の蛍光体領域862R、862G上に、青色帯域Lbの光の反射を防止する反射防止膜868を形成することができる。これにより、青色帯域の光Lbが、第1および第2の蛍光体領域862R、862Gの表面で反射されるのが抑制され、蛍光体による変換効率を向上させることができる。  Furthermore, as shown in FIG. 23C, an antireflection film that prevents reflection of light in the blue band Lb on the entire surface of the phosphor wheel 860 or on the first and second phosphor regions 862R and 862G. 868 can be formed. Thereby, the light Lb in the blue band is suppressed from being reflected from the surfaces of the first and second phosphor regions 862R and 862G, and the conversion efficiency by the phosphor can be improved.

このように本実施例によれば、アレイ光源から発せられた青色帯域の光を利用して、赤色帯域および緑色帯域の光を生成することができる。蛍光体ホイールに形成される蛍光体材料を適宜選択することで、波長変換される光は、黄色帯域や他の帯域の光であることができる。さらに、青色帯域の光Lbは、レーザ光そのものでありコヒーレント光であるため、スペックルが発生する。このスペックル対策として、青色帯域のレーザ光の光路上に、拡散板等の光学部材を設置することができる。拡散板は、例えば、表面に凹凸が形成された拡散面を含み、コヒーレント成分を除去または緩和することができる。例えば、第1のビームスプリッターの表面に拡散面を形成したり、あるいはレーザ光Lbの光路上にスペックル除去光学系を追加することができる。  Thus, according to the present embodiment, it is possible to generate light in the red band and the green band by using the light in the blue band emitted from the array light source. By appropriately selecting the phosphor material formed on the phosphor wheel, the light subjected to wavelength conversion can be light in the yellow band or other bands. Furthermore, since the blue band light Lb is laser light itself and coherent light, speckles are generated. As a measure against this speckle, an optical member such as a diffusion plate can be installed on the optical path of the laser beam in the blue band. The diffusing plate includes, for example, a diffusing surface having irregularities formed on the surface, and can remove or alleviate the coherent component. For example, a diffusion surface can be formed on the surface of the first beam splitter, or a speckle removal optical system can be added on the optical path of the laser light Lb.

さらに上記実施例では、図23に示すように、スポットP、Qの位置で蛍光体ホイール60を光学的に走査する例を示したが、ビームスプリッター等を追加することで、分割される青色帯域の光Lbの数をさらに増加し(例えば、4つ)、スポットP、Qの数を増加させることが可能である。この場合、追加されたスポットP、Qの照射によって発光されたR、Gの光を集光するための光学系を追加する必要があるが、他方、蛍光体ホイール860の蛍光体材料は熱等によって劣化するため、レーザ光Lbの分割する数を増加させることで1つのスポットの照射エネルギーを低減し、蛍光体ホイールの寿命を向上させることができる。  Further, in the above embodiment, as shown in FIG. 23, an example in which the phosphor wheel 60 is optically scanned at the positions of the spots P and Q has been shown, but the blue band to be divided by adding a beam splitter or the like. It is possible to further increase the number of the light beams Lb (for example, four) and increase the number of spots P and Q. In this case, it is necessary to add an optical system for collecting R and G light emitted by irradiation of the added spots P and Q. On the other hand, the phosphor material of the phosphor wheel 860 is heat or the like. Therefore, the irradiation energy of one spot can be reduced and the life of the phosphor wheel can be improved by increasing the number of divisions of the laser beam Lb.

次に、本発明の第7の実施例に係る照明光学系の原理について図24を参照して説明する。第1の照明光学系10Eでは、蛍光体ホイール860は、青色帯域の光によって励起された赤色帯域および緑色帯域の光を入射面側から反射するように構成されたが、第7の照明光学系10Eでは、青色帯域の光によって励起された赤色帯域および緑色帯域の光を出射面側から放射するように構成される。なお、図22に示す構成と同一のものについては同一参照番号を附し、その説明を省略する。  Next, the principle of the illumination optical system according to the seventh example of the present invention will be described with reference to FIG. In the first illumination optical system 10E, the phosphor wheel 860 is configured to reflect the light in the red band and the green band excited by the light in the blue band from the incident surface side. 10E is configured to emit red band and green band light excited by blue band light from the exit surface side. The same components as those shown in FIG. 22 are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted.

図24に示すように、蛍光体ホイール860Aの表面は、集光レンズL3によって青色帯域のレーザ光Lbによって照射される。このレーザ光Lbは、蛍光体ホイール860Aの出射面側に形成された第1の蛍光体領域862Rに入射され、そこで赤色帯域の光を励起させる。その結果、蛍光体ホイール860Aの出射面側から赤色帯域の光Lrがランバーシアン状に放射される。同様に集光レンズL4によって集光された青色帯域の光は、第2の蛍光体領域862Gを照射し、第2の蛍光体領域862Gで励起された緑色帯域の光が蛍光体ホイール860Aの出射面側から出射される。  As shown in FIG. 24, the surface of the phosphor wheel 860A is irradiated with the laser light Lb in the blue band by the condenser lens L3. The laser light Lb is incident on the first phosphor region 862R formed on the emission surface side of the phosphor wheel 860A, and excites the red band light there. As a result, red band light Lr is emitted in a Lambertian shape from the emission surface side of the phosphor wheel 860A. Similarly, the blue band light condensed by the condenser lens L4 irradiates the second phosphor region 862G, and the green band light excited by the second phosphor region 862G is emitted from the phosphor wheel 860A. The light is emitted from the surface side.

図25は、第8の実施例による蛍光体ホイールの構成を示す概略断面図である。蛍光体ホイール860Aは、青色帯域の光を透過し、赤色帯域および緑色帯域の光を反射するダイクロイックミラー864Aと、ダイクロイックミラー864Aの裏面に形成された第1および第2の蛍光体領域862R、862Gとを有する。青色帯域の光Lbは、ダイクロイックミラー864Aを介して、第1の蛍光体領域862Rに入射され、そこで励起された赤色帯域の光Lrが蛍光体ホイール860Aの出射面側から放出される。一部の赤色帯域の光Lrは、ダイクロイックミラー864Aによって反射され、蛍光体ホイール860Aの出射面側から放出される。第2の蛍光体領域862Gで励起された緑色帯域の光も同様に、蛍光体ホイール860Aの出射面側から取り出される。  FIG. 25 is a schematic sectional view showing the structure of the phosphor wheel according to the eighth embodiment. The phosphor wheel 860A transmits the blue band light and reflects the red band and green band light, and the first and second phosphor regions 862R and 862G formed on the back surface of the dichroic mirror 864A. And have. The blue band light Lb is incident on the first phosphor region 862R via the dichroic mirror 864A, and the red band light Lr excited there is emitted from the emission surface side of the phosphor wheel 860A. A part of the red band light Lr is reflected by the dichroic mirror 864A and emitted from the emission surface side of the phosphor wheel 860A. Similarly, the light in the green band excited by the second phosphor region 862G is extracted from the emission surface side of the phosphor wheel 860A.

蛍光体ホイール860Aの出射面側から放出された赤色帯域の光Lrは、集光レンズL5によって集光された後、少なくとも赤色帯域の光を反射する反射ミラー820Aによって光軸C4方向に反射される。反射ミラー820Aは、第6の実施例のときと同様にダイクロイックミラーから構成されてもよい。また、蛍光体ホイール860Aの出射面側から放出された緑色帯域の光Lbは、集光レンズL6によって集光された後、第2のダイクロイックミラー830によって光軸C4方向に反射される。こうして、第3のダイクロイックミラー840は、光軸C3方向に、R/G/Bの光を放射する。  The red band light Lr emitted from the emission surface side of the phosphor wheel 860A is collected by the condenser lens L5 and then reflected in the optical axis C4 direction by the reflection mirror 820A that reflects at least the red band light. . The reflection mirror 820A may be composed of a dichroic mirror as in the sixth embodiment. The green band light Lb emitted from the emission surface side of the phosphor wheel 860A is collected by the condenser lens L6 and then reflected by the second dichroic mirror 830 in the direction of the optical axis C4. Thus, the third dichroic mirror 840 emits R / G / B light in the direction of the optical axis C3.

次に、レーザ光を分離する他の方法を図26に示す。図22、図24に示す照明光学系では、ビームスプリッターによりレーザ光を分離したが、レーザ光の分離は、これ以外の光学系を用いて行うことが可能である。図26に示すように、レーザ光Lbが光軸Cに向かって進行するとき、光軸Cに対し、それらの光軸が平行となるように2つの凸レンズ900、910を配置させ、レーザ光Lbを、それぞれのレンズ900、910の片側半分に入射させる。これにより、レーザ光Lbは、レンズ900、910によってそれぞれ集光され、レーザ光Lb1、Lb2に分離される。レンズ900、910の大きさが同一であり、かつレンズ900、910が光軸Cに関して線対称に配置されれば、レーザ光Lbは、それぞれ1/2のレーザ光Lb1、Lb2に分離される。  Next, another method for separating laser light is shown in FIG. In the illumination optical systems shown in FIGS. 22 and 24, the laser light is separated by the beam splitter, but the laser light can be separated by using other optical systems. As shown in FIG. 26, when the laser light Lb travels toward the optical axis C, the two convex lenses 900 and 910 are arranged so that the optical axes are parallel to the optical axis C, and the laser light Lb. Is incident on one half of each of the lenses 900 and 910. Thereby, the laser beam Lb is condensed by the lenses 900 and 910, respectively, and separated into the laser beams Lb1 and Lb2. If the sizes of the lenses 900 and 910 are the same and the lenses 900 and 910 are arranged symmetrically with respect to the optical axis C, the laser beam Lb is separated into ½ laser beams Lb1 and Lb2, respectively.

次に、第6の実施例の変形例について図27を参照して説明する。第6および第7の実施例では、青色帯域、赤色帯域および緑色帯域の光を合成する例を示したが、本発明は、このような照明光学系に限定されるものではない。すなわち、図27に示すように、本発明の照明光学系10Fは、R、G、Bの光をそれぞれ個別に取り出すように構成するものであってもよい。  Next, a modification of the sixth embodiment will be described with reference to FIG. In the sixth and seventh embodiments, an example in which light in a blue band, a red band, and a green band is combined has been shown, but the present invention is not limited to such an illumination optical system. That is, as shown in FIG. 27, the illumination optical system 10F of the present invention may be configured to extract R, G, and B light individually.

図27に示す照明光学系10Fでは、第1のダイクロイックミラー820は、図22のときの向きを180度回転させている。従って、蛍光体ホイール860で発光された赤色帯域の光Lrは、第1のダイクロイックミラー820によって光軸C4の方向に反射する。つまり、図22のときと180度反対の方向に赤色帯域の光Lrが反射される。また、図27に示すように、反射ミラー850および第3のダイクロイックミラー840を省略すれば、それぞれ青色帯域の光Lb、および緑色帯域の光Lgを個別に取り出すことができる。なお、当業者であれば明らかであるように、個別に取り出された青色帯域の光Lb、赤色帯域の光Lrおよび緑色帯域の光Lgは、レンズ、ミラー、プリズム等の光学系を用いて所望の方向へ向けられたり、あるいはそれらの光を合成することも可能である。  In the illumination optical system 10F shown in FIG. 27, the first dichroic mirror 820 rotates the direction in FIG. 22 by 180 degrees. Therefore, the red band light Lr emitted from the phosphor wheel 860 is reflected by the first dichroic mirror 820 in the direction of the optical axis C4. That is, the light Lr in the red band is reflected in a direction 180 degrees opposite to that in FIG. Further, as shown in FIG. 27, if the reflection mirror 850 and the third dichroic mirror 840 are omitted, the light Lb in the blue band and the light Lg in the green band can be extracted individually. As will be apparent to those skilled in the art, the individually extracted blue band light Lb, red band light Lr, and green band light Lg may be obtained using an optical system such as a lens, mirror, or prism. It is possible to be directed in the direction of or to synthesize their light.

上記実施例では、蛍光体ホイール860/860Aには、赤色帯域および緑色帯域の光を発光させるための第1および第2の蛍光体領域862R、862Gが形成されたが、青色レーザ光によって励起され、波長変換される光は、必ずしも赤色帯域および緑色帯域の光に限定されるものではない。例えば、黄色、マゼンタ、シアンの帯域の光が励起されるような蛍光体層を含むものであってもよい。また、ダイクロイックミラーは、ダイクロイックフィルターと同義であり、反射層、反射ミラー、反射防止膜は、反射部材、反射フィルターなどと同義である。  In the above embodiment, the phosphor wheel 860 / 860A is formed with the first and second phosphor regions 862R and 862G for emitting light in the red band and the green band, but is excited by the blue laser light. The light subjected to wavelength conversion is not necessarily limited to light in the red band and green band. For example, it may include a phosphor layer that excites light in the yellow, magenta, and cyan bands. A dichroic mirror is synonymous with a dichroic filter, and a reflective layer, a reflective mirror, and an antireflection film are synonymous with a reflective member, a reflective filter, and the like.

本発明に係る照明光学系は、種々の電子装置の光源に適用することができる。例えば、プロジェクタ、リアプロジェクタ、内視鏡、照明機器などの光源に用いることができる。  The illumination optical system according to the present invention can be applied to light sources of various electronic devices. For example, it can be used for a light source such as a projector, a rear projector, an endoscope, and an illumination device.

以上、本発明の好ましい実施の形態について詳述したが、本発明は、特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。  The preferred embodiment of the present invention has been described in detail above, but the present invention is not limited to the specific embodiment, and various modifications can be made within the scope of the present invention described in the claims. Deformation / change is possible.

10、10A、10B、10C:照明光学系、20:アレイ光源、30、30A:ダイクロイックミラー、40:反射ミラー、50、50A:蛍光体ホイール、52、82:反射領域、54、84:蛍光体領域(R)、56、86:蛍光体領域(G)、60:モータ、70:ライトトンネル、200:ビームスプリッター、210:反射ミラー、L1、L2:前群レンズ、L3、L4:後群レンズ、L5:集光レンズ、312、322:基材、316:拡散面、324、314:反射層、326:ダイクロイックミラー、328:反射部材、600:ダイクロイックミラー、610:集光レンズ、620:蛍光体ホイール、620−1:第1のホイール部材、
620−1B:青色反射領域、620−1R:赤色蛍光領域、620−1G:緑色蛍光領域、
620−2:第2のホイール部材、620−2B:青色透過領域、620−2R:赤色透過領域、620−2G:緑色透過領域、630:ダイクロイックミラー、640:ダイクロイックミラー、720:蛍光体ホール、720−1:第1のホイール部材、720−1B:青色反射領域、720−1Y:黄色蛍光領域、720−2:第2のホイール部材、720−2B:青色透過領域、720−2R:赤色発生領域、720−2G:緑色発生領域
10, 10A, 10B, 10C: illumination optical system, 20: array light source, 30, 30A: dichroic mirror, 40: reflection mirror, 50, 50A: phosphor wheel, 52, 82: reflection region, 54, 84: phosphor Region (R), 56, 86: Phosphor region (G), 60: Motor, 70: Light tunnel, 200: Beam splitter, 210: Reflecting mirror, L1, L2: Front group lens, L3, L4: Rear group lens , L5: condenser lens, 312, 322: base material, 316: diffusing surface, 324, 314: reflective layer, 326: dichroic mirror, 328: reflective member, 600: dichroic mirror, 610: condenser lens, 620: fluorescence Body wheel, 620-1: first wheel member,
620-1B: Blue reflection region, 620-1R: Red fluorescence region, 620-1G: Green fluorescence region,
620-2: second wheel member, 620-2B: blue transmission region, 620-2R: red transmission region, 620-2G: green transmission region, 630: dichroic mirror, 640: dichroic mirror, 720: phosphor hole, 720-1: First wheel member, 720-1B: Blue reflection region, 720-1Y: Yellow fluorescent region, 720-2: Second wheel member, 720-2B: Blue transmission region, 720-2R: Red color generation Area, 720-2G: Green generation area

Claims (25)

照明光学系に用いられる波長変換デバイスであって、
入射された青色帯域の光に基づき青色帯域と異なる波長の光を発光する波長変換領域を含み、1つの波長変換領域は、回転中心に同心円状に形成され、前記波長変換領域は、半径方向にn組(nは、2以上の整数)形成される、波長変換デバイス。
A wavelength conversion device used in an illumination optical system,
Including a wavelength conversion region that emits light having a wavelength different from that of the blue band based on incident blue band light, and one wavelength conversion region is formed concentrically around the rotation center, and the wavelength conversion region is formed in a radial direction. A wavelength conversion device in which n sets (n is an integer of 2 or more) are formed.
前記1つの波長変換領域は、青色帯域の光に基づき赤色帯域の光を発光する第1の蛍光体領域と、青色帯域の光に基づき緑色帯域の光を発光する第2の蛍光体領域とを含む、請求項1に記載の波長変換デバイス。The one wavelength conversion region includes: a first phosphor region that emits red band light based on blue band light; and a second phosphor region that emits green band light based on blue band light. The wavelength conversion device according to claim 1, comprising: n組の波長変換領域の各波長変換領域から発光される赤色帯域の光および緑色帯域の光がそれぞれ同期されるように、第1の蛍光体領域および第2の蛍光体領域が配列される、請求項2に記載の波長変換デバイス。The first phosphor region and the second phosphor region are arranged so that the light in the red band and the light in the green band emitted from each wavelength conversion region of the n sets of wavelength conversion regions are respectively synchronized. The wavelength conversion device according to claim 2. 前記波長変換領域は、青色帯域の光を反射する領域を含む、請求項1ないし3いずれか1つに記載の波長変換デバイス。The wavelength conversion device according to claim 1, wherein the wavelength conversion region includes a region that reflects light in a blue band. 第1および第2の蛍光体領域の裏面には、青色帯域の光を吸収する吸収領域が形成される、請求項4に記載の波長変換デバイス。The wavelength conversion device according to claim 4, wherein an absorption region that absorbs light in a blue band is formed on the back surfaces of the first and second phosphor regions. 第1および第2の蛍光体領域の裏面には、青色帯域の光を透過する透過領域が形成される、請求項4に記載の波長変換デバイス。The wavelength conversion device according to claim 4, wherein a transmissive region that transmits light in a blue band is formed on the back surfaces of the first and second phosphor regions. 第1および第2の蛍光体領域の裏面には、赤色帯域および緑色帯域の光を反射するための反射領域が形成される、請求項1ないし6いずれか1つに記載の波長変換デバイス。The wavelength conversion device according to any one of claims 1 to 6, wherein a reflection region for reflecting light in a red band and a green band is formed on the back surfaces of the first and second phosphor regions. 第1および第2の蛍光体領域の表面には、青色帯域の光を拡散する拡散面が形成される、請求項4または5に記載の波長変換デバイス。6. The wavelength conversion device according to claim 4, wherein a diffusion surface for diffusing light in a blue band is formed on the surfaces of the first and second phosphor regions. 前記反射する領域は、周縁方向に向けて傾斜される、請求項46に記載の波長変換デバイス。The wavelength conversion device according to claim 46, wherein the reflective region is inclined toward a peripheral direction. 第1の波長帯域の光を反射する反射領域、少なくとも第1の波長帯域の光に基づき第2の波長帯域の光を発光する第1の蛍光体領域および第3の波長帯域の光を発光する第2の蛍光体領域を含む第1の回転部材と、
前記反射領域から反射された第1の波長帯域の光を透過する第1の透過領域、前記第1の蛍光体領域から出力された第2の波長帯域の光を透過する第2の透過領域、および前記第2の蛍光体領域から出力された第3の波長帯域の光を透過する第3の透過領域を含む第2の回転部材と、
を含む波長変換デバイス。
A reflective region that reflects light in the first wavelength band, a first phosphor region that emits light in the second wavelength band based on at least light in the first wavelength band, and light in the third wavelength band are emitted. A first rotating member including a second phosphor region;
A first transmission region that transmits light in the first wavelength band reflected from the reflection region; a second transmission region that transmits light in the second wavelength band output from the first phosphor region; And a second rotating member including a third transmission region that transmits light in the third wavelength band output from the second phosphor region,
Including wavelength conversion device.
前記第2の透過領域は、第1の波長帯域の光を反射し、前記第3の透過領域は、第1の波長帯域の光を反射する、請求項10に記載の波長変換デバイス。The wavelength conversion device according to claim 10, wherein the second transmission region reflects light in the first wavelength band, and the third transmission region reflects light in the first wavelength band. 前記第2の透過領域は、第2の波長帯域の中から選択された波長を透過し、前記第3の透過領域は、第3の波長帯域の中から選択された波長を透過する、請求項10または11に記載の波長変換デバイス。The second transmission region transmits a wavelength selected from a second wavelength band, and the third transmission region transmits a wavelength selected from a third wavelength band. The wavelength conversion device according to 10 or 11. 前記第2の回転部材は、第1の透過領域、第2の透過領域および第3の透過領域を含む組を半径方向にn組有する、請求項10ないし12いずれか1つに記載の波長変換デバイス。13. The wavelength conversion according to claim 10, wherein the second rotating member includes n sets in the radial direction including a first transmission region, a second transmission region, and a third transmission region. device. 第1の波長帯域は青色帯域、第2の波長帯域は赤色帯域、第3の波長帯域は緑色帯域である、請求項10ないし13いずれか1つに記載の波長変換デバイス。The wavelength conversion device according to claim 10, wherein the first wavelength band is a blue band, the second wavelength band is a red band, and the third wavelength band is a green band. 第1の波長帯域の光を反射する反射領域、少なくとも第1の波長帯域の光に基づき第2の波長帯域の光を発光する第1の蛍光体領域を含む第1の回転部材と、
前記反射領域から反射された第1の波長帯域の光を透過する第1の透過領域、前記第1の蛍光体領域から出力された第2の波長帯域の光から第3の波長帯域の光を抽出する第1の抽出領域、および第2の波長帯域の光から第4の波長帯域の光を抽出する第2の抽出領域とを含む第2の回転部材と、
を含む波長変換デバイス。
A first rotating member that includes a reflective region that reflects light in the first wavelength band, and a first phosphor region that emits light in the second wavelength band based on at least light in the first wavelength band;
A first transmission region that transmits light in the first wavelength band reflected from the reflection region, and light in a third wavelength band from light in the second wavelength band that is output from the first phosphor region. A second rotating member including a first extraction region to be extracted and a second extraction region for extracting light in the fourth wavelength band from light in the second wavelength band;
Including wavelength conversion device.
前記第1の抽出領域は、第1の波長帯域の光を反射する領域を含み、前記第2の抽出領域は、第1の波長帯域の光を反射する領域を含む、請求項15に記載お波長変換デバイス。16. The first extraction region includes a region that reflects light in a first wavelength band, and the second extraction region includes a region that reflects light in a first wavelength band. Wavelength conversion device. 第1の波長帯域は、青色帯域であり、第2の波長帯域は、黄色帯域であり、第3の波長帯域は、赤色帯域であり、第4の波長帯域は、緑色帯域である、請求項15または16に記載の波長変換デバイス。The first wavelength band is a blue band, the second wavelength band is a yellow band, the third wavelength band is a red band, and the fourth wavelength band is a green band. The wavelength conversion device according to 15 or 16. 請求項1ないし9いずれか1つに記載の波長変換デバイスと、
前記波長変換デバイスにn組の青色帯域の光線束を入射させる光学系とを有する照明光学系。
The wavelength conversion device according to any one of claims 1 to 9,
And an optical system that makes n sets of light beams in the blue band incident on the wavelength conversion device.
前記光学系は、n組の波長変換領域の各々に青色帯域の光線束を集光させるn組のレンズを含む、請求項18に記載の照明光学系。19. The illumination optical system according to claim 18, wherein the optical system includes n sets of lenses that collect a light flux in a blue band in each of the n sets of wavelength conversion regions. 青色帯域の光線束の光軸は、レンズの光軸と異なる、請求項19に記載の照明光学系。The illumination optical system according to claim 19, wherein the optical axis of the light flux in the blue band is different from the optical axis of the lens. 前記光学系は、光源からの青色帯域の光を透過し、赤色帯域の光および緑色帯域の光を反射するダイクロイック部材を含む、請求項18ないし20いずれか1つに記載の照明光学系。The illumination optical system according to any one of claims 18 to 20, wherein the optical system includes a dichroic member that transmits blue band light from a light source and reflects red band light and green band light. 請求項10ないし17いずれか1つに記載の波長変換デバイスと、
前記波長変換デバイスに第1の波長帯域の光を供給する第1の光学系と、
前記波長変換デバイスからの光を出力する第2の光学系と、
を有する照明光学系。
A wavelength conversion device according to any one of claims 10 to 17,
A first optical system for supplying light of a first wavelength band to the wavelength conversion device;
A second optical system that outputs light from the wavelength conversion device;
An illumination optical system.
前記第1の光学系の第1の光軸は、前記第2の光学系の第2の光軸からシフトされている、請求項22に記載の照明光学系。
The illumination optical system according to claim 22, wherein the first optical axis of the first optical system is shifted from the second optical axis of the second optical system.
請求項18ないし23いずれか1つに記載の照明光学系を含むプロジェクタ。A projector comprising the illumination optical system according to any one of claims 18 to 23. 請求項18ないし23いずれか1つに記載の照明光学系を含む内視鏡。
An endoscope including the illumination optical system according to any one of claims 18 to 23.
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