JP6754946B2 - Wavelength converters, projectors and luminaires - Google Patents

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Description

本開示は、波長変換部材、並びに、これを備えたプロジェクタおよび照明装置に関する。 The present disclosure relates to a wavelength conversion member, and a projector and a lighting device including the wavelength conversion member.

従来から、プロジェクタや照明装置において、半導体レーザや発光ダイオードなどの固体光源から出射される励起光を、波長変換部材の蛍光体層により波長変換して、所望の色の光を得ることが行われている。 Conventionally, in projectors and lighting devices, excitation light emitted from a solid-state light source such as a semiconductor laser or a light emitting diode is wavelength-converted by a phosphor layer of a wavelength conversion member to obtain light of a desired color. ing.

また、そのような波長変換部材において、蛍光体層と基板との間にAg(銀)やAl(アルミニウム)などの金属からなる金属反射層を設けて、波長変換部材の光取出し効率を向上させることが行われている。 Further, in such a wavelength conversion member, a metal reflection layer made of a metal such as Ag (silver) or Al (aluminum) is provided between the phosphor layer and the substrate to improve the light extraction efficiency of the wavelength conversion member. Is being done.

特開2016−58638号公報Japanese Unexamined Patent Publication No. 2016-58638

しかしながら、波長変換部材に金属反射層を設けると、マイグレーションにより金属反射層の反射効率が低下するという課題が生じうる。このような反射効率の低下が生じた場合、波長変換部材の光取出し効率が低下してしまう。 However, if the wavelength conversion member is provided with the metal reflection layer, there may be a problem that the reflection efficiency of the metal reflection layer is lowered due to migration. When such a decrease in reflection efficiency occurs, the light extraction efficiency of the wavelength conversion member decreases.

本開示は、マイグレーションによる金属反射層の反射効率の低下が生じにくい波長変換部材を提供することを目的とする。また、本開示は、そのような波長変換部材を備えた、耐久性の高いプロジェクタおよび照明装置を提供することを目的とする。 An object of the present disclosure is to provide a wavelength conversion member in which the reflection efficiency of the metal reflective layer is less likely to decrease due to migration. It is also an object of the present disclosure to provide a highly durable projector and lighting device equipped with such a wavelength conversion member.

本開示の一態様に係る波長変換部材は、基板上に、金属反射層、増反射層、蛍光体層および反射防止層がその順で形成されている。増反射層は、金属反射層が形成された領域の全体に形成され、基板側から順に低屈折率層および高屈折率層を有する。蛍光体層は、金属反射層が形成された領域の一部に形成されている。反射防止層は、金属反射層が形成された領域の全体に形成され、基板側から順に第1低屈折率層、高屈折率層および第2低屈折率層を有する。 In the wavelength conversion member according to one aspect of the present disclosure, a metal reflective layer, a brightening reflective layer, a phosphor layer, and an antireflection layer are formed in this order on a substrate. The hyperrefractive layer is formed in the entire region where the metal reflective layer is formed, and has a low refractive index layer and a high refractive index layer in order from the substrate side. The phosphor layer is formed in a part of the region where the metal reflection layer is formed. The antireflection layer is formed in the entire region where the metal reflection layer is formed, and has a first low refractive index layer, a high refractive index layer, and a second low refractive index layer in order from the substrate side.

本開示の一態様に係るプロジェクタは、上記波長変換部材を備える。 The projector according to one aspect of the present disclosure includes the wavelength conversion member.

本開示の一態様に係る照明装置は、上記波長変換部材を備える。 The lighting device according to one aspect of the present disclosure includes the wavelength conversion member.

本開示に係る波長変換部材は、増反射層および反射防止層が、金属反射層が形成された領域の全体に形成されているため、マイグレーションによる金属反射層の反射効率の低下が生じにくい。 In the wavelength conversion member according to the present disclosure, since the antireflection layer and the antireflection layer are formed in the entire region where the metal reflection layer is formed, the reflection efficiency of the metal reflection layer is unlikely to decrease due to migration.

また、本開示に係るプロジェクタおよび照明装置は、上記波長変換部材を備えているため、耐久性が高い。 Further, since the projector and the lighting device according to the present disclosure include the wavelength conversion member, the durability is high.

実施の形態1に係る波長変換部材を示す斜視図Perspective view which shows the wavelength conversion member which concerns on Embodiment 1. 実施の形態1に係る波長変換部材を示す図1における2−2線断面図2-2 sectional view in FIG. 1 showing a wavelength conversion member according to the first embodiment. 実施の形態1に係るプロジェクタを示す構成図Configuration diagram showing the projector according to the first embodiment 実施の形態2に係る波長変換部材を示す斜視図Perspective view which shows the wavelength conversion member which concerns on Embodiment 2. 実施の形態2に係る照明装置を示す構成図Configuration diagram showing the lighting device according to the second embodiment

以下、本開示に係る波長変換部材、プロジェクタおよび照明装置の実施の形態を、図面に基づき説明する。なお、下記に開示される実施の形態はすべて例示であって、本開示に係る波長変換部材、プロジェクタおよび照明装置に制限を加える意図はない。 Hereinafter, embodiments of the wavelength conversion member, projector, and lighting device according to the present disclosure will be described with reference to the drawings. It should be noted that all the embodiments disclosed below are examples, and there is no intention of imposing restrictions on the wavelength conversion member, the projector, and the lighting device according to the present disclosure.

また、下記に開示される実施の形態では、必要以上の詳細な説明を省略する場合がある。例えば、既によく知られた事項についての詳細な説明や、実質的に同一の構成についての重複する説明を、省略する場合がある。これは、説明が不必要に冗長になるのを避けることで、当業者の理解を容易にするためである。 Further, in the embodiment disclosed below, more detailed description than necessary may be omitted. For example, a detailed description of a well-known matter or a duplicate description of a substantially identical configuration may be omitted. This is to facilitate the understanding of those skilled in the art by avoiding unnecessarily redundant explanations.

[実施の形態1]
(波長変換部材)
図1は、実施の形態1に係る波長変換部材を示す斜視図。図1に示す実施の形態1に係る波長変換部材10は、プロジェクタ用の蛍光体ホイールであって、円板状の基板11の一方の主面(上面)側に、円弧状の蛍光体層15を備える。基板11には円弧状の開口11aが設けられており、この開口11aと蛍光体層15とで円環状のシルエットを形成している。基板11に開口11aが設けられているため、後述する固体光源111aから波長変換部材10へ向けて出射される励起光の一部は、開口11aを介して基板11を通り抜ける。
[Embodiment 1]
(Wavelength conversion member)
FIG. 1 is a perspective view showing a wavelength conversion member according to the first embodiment. The wavelength conversion member 10 according to the first embodiment shown in FIG. 1 is a phosphor wheel for a projector, and has an arcuate phosphor layer 15 on one main surface (upper surface) side of a disk-shaped substrate 11. To be equipped. The substrate 11 is provided with an arcuate opening 11a, and the opening 11a and the phosphor layer 15 form an annular silhouette. Since the substrate 11 is provided with the opening 11a, a part of the excitation light emitted from the solid-state light source 111a described later toward the wavelength conversion member 10 passes through the substrate 11 through the opening 11a.

図2は、実施の形態1に係る波長変換部材を示す図1における2−2線断面図である。図2に示すように、波長変換部材10は、基板11、接着層12、金属反射層13、増反射層14、蛍光体層15および反射防止層16を備える。接着層12、金属反射層13、増反射層14、蛍光体層15および反射防止層16は、基板11上にその順で形成されている。 FIG. 2 is a sectional view taken along line 2-2 in FIG. 1 showing a wavelength conversion member according to the first embodiment. As shown in FIG. 2, the wavelength conversion member 10 includes a substrate 11, an adhesive layer 12, a metal reflective layer 13, a brightening layer 14, a phosphor layer 15, and an antireflection layer 16. The adhesive layer 12, the metal reflective layer 13, the brightening reflective layer 14, the phosphor layer 15, and the antireflection layer 16 are formed on the substrate 11 in that order.

基板11は、蛍光体層15を支持する機能、および、蛍光体層15で発生した熱を外部へ放散させる機能を有する。基板11の材料としては、ガラス、石英、GaN(窒化ガリウム)、サファイア、シリコン、樹脂などが挙げられる。樹脂としては、PEN(ポリエチレンナフタレート)、PET(ポリエチレンテレフタレート)など挙げられる。 The substrate 11 has a function of supporting the phosphor layer 15 and a function of dissipating the heat generated in the phosphor layer 15 to the outside. Examples of the material of the substrate 11 include glass, quartz, GaN (gallium nitride), sapphire, silicon, and resin. Examples of the resin include PEN (polyethylene terephthalate) and PET (polyethylene terephthalate).

接着層12は、金属反射層13の基板11への接着性を高める機能を有する。接着層12は、例えばTi(チタン)からなり、基板11の上面の全体に亘って形成されている。なお、接着層12は、本実施の形態において必須の層ではない。 The adhesive layer 12 has a function of enhancing the adhesiveness of the metal reflective layer 13 to the substrate 11. The adhesive layer 12 is made of, for example, Ti (titanium) and is formed over the entire upper surface of the substrate 11. The adhesive layer 12 is not an essential layer in the present embodiment.

金属反射層13は、蛍光体層15を透過した励起光や、蛍光体層15から基板11側(下側)へと発せられた蛍光を、基板11とは反対側(上側)へ反射させる機能を有する。本実施の形態では、金属反射層13はAgからなり、接着層12の上面の全体に亘って形成されている。なお、金属反射層13は、Agに限定されずAlなどの他の金属で形成されていてもよい。但し、Agは反射率が高いため特に好適である。 The metal reflective layer 13 has a function of reflecting the excitation light transmitted through the phosphor layer 15 and the fluorescence emitted from the phosphor layer 15 to the substrate 11 side (lower side) to the opposite side (upper side) of the substrate 11. Has. In the present embodiment, the metal reflective layer 13 is made of Ag and is formed over the entire upper surface of the adhesive layer 12. The metal reflective layer 13 is not limited to Ag and may be formed of another metal such as Al. However, Ag is particularly suitable because it has a high reflectance.

増反射層14は、金属反射層13と反射防止層16との界面で生じる光の散乱ロスを低減する機能、および、入射光の角度依存性による反射率の低下を防止する機能を有する。増反射層14は、金属反射層13が形成された領域の全体、具体的には金属反射層13の上面の全体に形成されている。 The hyperreflective layer 14 has a function of reducing light scattering loss generated at the interface between the metal reflective layer 13 and the antireflection layer 16 and a function of preventing a decrease in reflectance due to the angle dependence of incident light. The hyperreflective layer 14 is formed over the entire region where the metal reflective layer 13 is formed, specifically, the entire upper surface of the metal reflective layer 13.

増反射層14は、低屈折率層と高屈折率層とが交互に多層に積層された多層膜であって、本実施の形態では基板11側から順に低屈折率層14aおよび高屈折率層14bの2層で構成されている。各層の屈折率は、例えば、低屈折率層14aがd線(587.6nm)において1.5以下であり、高屈折率層14bがd線(587.6nm)において1.5以上である。なお、増反射層14は、2層で構成されるものに限定されず、低屈折率層と高屈折率層とが交互に多層に積層された多層膜であれば、低屈折率層14aおよび高屈折率層14b以外の層が含まれていてもよい。 The high-refractive-index layer 14 is a multilayer film in which low-refractive-index layers and high-refractive-index layers are alternately laminated in multiple layers. It is composed of two layers of 14b. The refractive index of each layer is, for example, 1.5 or less for the low refractive index layer 14a at the d line (587.6 nm) and 1.5 or more for the high refractive index layer 14b at the d line (587.6 nm). The reflective layer 14 is not limited to the one composed of two layers, and if it is a multilayer film in which low refractive index layers and high refractive index layers are alternately laminated in multiple layers, the low refractive index layer 14a and A layer other than the high refractive index layer 14b may be included.

低屈折率層14aの材料としては、例えばSiO(二酸化ケイ素)、Al(酸化アルミニウム)などの比較的軽い元素の酸化物が挙げられる。また、低屈折率層14aの材料は、AlN(窒化アルミニウム)、AlGaN(窒化アルミニウムガリウム)、AlInN(窒化アルミニウムインジウム)などの窒化物であってもよい。 Examples of the material of the low refractive index layer 14a include oxides of relatively light elements such as SiO 2 (silicon dioxide) and Al 2 O 3 (aluminum oxide). Further, the material of the low refractive index layer 14a may be a nitride such as AlN (aluminum nitride), AlGaN (aluminum nitride gallium), and AlInN (aluminum nitride indium).

高屈折率層14bの材料としては、例えばNb(五酸化ニオブ)、TiO(二酸化チタン)、Ti(五酸化チタン)、ZnO(酸化亜鉛)、ZrO(二酸化ジルコニウム)、Ta(五酸化タンタル)、CeO(酸化セリウム)などの比較的重い元素の酸化物が挙げられる。また、高屈折率層14bの材料は、AlON(酸窒化アルミニウム)、GaNなどの窒化物であってもよい。 Examples of the material of the high refractive index layer 14b include Nb 2 O 5 (niobium pentoxide), TiO 2 (titanium dioxide), Ti 3 O 5 (titanium pentoxide), ZnO (zirconium oxide), and ZrO 2 (zirconium dioxide). , Ta 2 O 5 (tantalum pentoxide), CeO 2 (cerium oxide) and other oxides of relatively heavy elements. Further, the material of the high refractive index layer 14b may be a nitride such as AlON (aluminum nitride) or GaN.

好適な一例として、本実施の形態では、低屈折率層14aはSiOで形成されており、高屈折率層14bはNbで形成されている。 As a preferred example, in the present embodiment, the low refractive index layer 14a is formed of SiO 2 , and the high refractive index layer 14b is formed of Nb 2 O 5 .

低屈折率層14aおよび高屈折率層14bは、公知の手法で形成することができる。公知の手法とは、例えば、電子ビーム蒸着法、抵抗加熱蒸着法、反応性プラズマ蒸着法、イオンアシスト蒸着法、スパッタリング法、有機金属気相成長法、分子線エピタキシー法、パルスレーザー堆積法またはイオンプレーティングなどである。 The low refractive index layer 14a and the high refractive index layer 14b can be formed by a known method. Known methods include, for example, electron beam deposition, resistance heating vapor deposition, reactive plasma deposition, ion-assisted deposition, sputtering, metalorganic vapor phase growth, molecular beam epitaxy, pulsed laser deposition or ions. Plating etc.

蛍光体層15は、固体光源111aから波長変換部材へ向けて出射された励起光を蛍光に変換する機能を有する。蛍光体層15は、金属反射層13が形成された領域の一部にのみ形成されている。具体的には、増反射層14の上面に、基板11の外周縁に沿って円弧状に形成されている。 The phosphor layer 15 has a function of converting the excitation light emitted from the solid-state light source 111a toward the wavelength conversion member into fluorescence. The phosphor layer 15 is formed only in a part of the region where the metal reflection layer 13 is formed. Specifically, it is formed on the upper surface of the reflective layer 14 in an arc shape along the outer peripheral edge of the substrate 11.

蛍光体層15は、透明材料からなる封止層15aと、封止層15aの中に分散された蛍光体(蛍光体粒子)15bとを有する。封止層15aの透明材料としては、ガラス樹脂、ガラス、樹脂などが挙げられ、本実施の形態ではガラス樹脂が用いられている。なお、蛍光体層15は、透明材料に蛍光体を分散させたものに限定されず、ガラス中に発光中心をドープしたものや、セラミック蛍光体などであってもよい。 The phosphor layer 15 has a sealing layer 15a made of a transparent material and a phosphor (fluorescent particle) 15b dispersed in the sealing layer 15a. Examples of the transparent material of the sealing layer 15a include glass resin, glass, resin, and the like, and glass resin is used in the present embodiment. The phosphor layer 15 is not limited to a transparent material in which a phosphor is dispersed, and may be a glass in which a light emitting center is doped, a ceramic phosphor, or the like.

蛍光体15bは、紫外光から青色光領域の励起光を吸収し、励起光より長波長の蛍光を発する、少なくとも1種類の蛍光体で構成される。本実施の形態では、固体光源111aは青色の励起光を出射する半導体レーザであり、蛍光体15bは黄色蛍光体で構成されている。青色の励起光が照射された蛍光体15bは、黄色の蛍光を発する。なお、蛍光体15bを構成する蛍光体は黄色蛍光体に限定されず、赤色蛍光体または緑色蛍光体であってもよい。また、蛍光体15bは、発光スペクトルの中心波長が異なる複数種類の蛍光体で構成されていてもよい。 The phosphor 15b is composed of at least one type of phosphor that absorbs excitation light in the blue light region from ultraviolet light and emits fluorescence having a longer wavelength than the excitation light. In the present embodiment, the solid-state light source 111a is a semiconductor laser that emits blue excitation light, and the phosphor 15b is composed of a yellow phosphor. The phosphor 15b irradiated with the blue excitation light emits yellow fluorescence. The phosphor constituting the phosphor 15b is not limited to the yellow phosphor, and may be a red phosphor or a green phosphor. Further, the phosphor 15b may be composed of a plurality of types of phosphors having different central wavelengths in the emission spectrum.

黄色蛍光体としては、例えば、YAl12:Ce3+、(Sr,Ba)SiO:Eu2+、Cax(Si,Al)12(O,N)16:Eu2+などが挙げられる。赤色蛍光体としては、例えば、CaAlSiN:Eu2+、(Ca,Sr)AlSiN:Eu2+、CaSi:Eu2+、(Ca,Sr)Si:Eu2+、KSiF:Mn4+、KTiF:Mn4+などが挙げられる。緑色蛍光体としては、例えば、LuAl12:Ce3+、Y(Ga,Al)12:Ce3+、CaScSi12:Ce3+、CaSc:Eu2+、(Ba,Sr)SiO:Eu2+、BaSi12:Eu2+、(Si,Al)(O,N):Eu2+、(Y,Lu)Al12:Ce3+などが挙げられる。 Examples of the yellow phosphor include Y 3 Al 5 O 12 : Ce 3+ , (Sr, Ba) 2 SiO 4 : Eu 2+ , Cax (Si, Al) 12 (O, N) 16 : Eu 2+, and the like. .. Examples of the red phosphor include CaAlSiN 3 : Eu 2+ , (Ca, Sr) AlSiN 3 : Eu 2+ , Ca 2 Si 5 N 8 : Eu 2+ , (Ca, Sr) 2 Si 5 N 8 : Eu 2+ , KSiF. 6 : Mn 4+ , KTiF 6 : Mn 4+ and the like can be mentioned. Examples of the green phosphor include Lu 3 Al 5 O 12 : Ce 3+ , Y 3 (Ga, Al) 5 O 12 : Ce 3+ , Ca 3 Sc 2 Si 3 O 12 : Ce 3+ , CaSc 2 O 4 : Eu. 2+ , (Ba, Sr) 2 SiO 4 : Eu 2+ , Ba 3 Si 6 O 12 N 2 : Eu 2+ , (Si, Al) 6 (O, N) 8 : Eu 2+ , (Y, Lu) 3 Al 5 O 12 : Ce 3+ and the like can be mentioned.

反射防止層16は、蛍光体層15へ入射する励起光の反射を低減させることで、励起光の蛍光体層15への入射効率を向上させる機能を有する。また、反射防止層16は、蛍光体15bから発せられた蛍光が封止層15aの表面で反射されるのを低減し、これによって蛍光体層15からの蛍光の取出し効率を向上させる機能を有する。 The antireflection layer 16 has a function of improving the incident efficiency of the excitation light on the phosphor layer 15 by reducing the reflection of the excitation light incident on the phosphor layer 15. Further, the antireflection layer 16 has a function of reducing the reflection of the fluorescence emitted from the phosphor 15b on the surface of the sealing layer 15a, thereby improving the efficiency of extracting the fluorescence from the phosphor layer 15. ..

反射防止層16は、金属反射層13が形成された領域の全体に形成されている。また、反射防止層16は、基板11上における蛍光体層15が形成されていない領域において、増反射層14と接触している。特に、本実施の形態では、反射防止層16は、基板11上における蛍光体層15を囲繞する領域の全周に亘って増反射層14と接触している。したがって、蛍光体層15は、その上面15cだけでなく側面15dも反射防止層16によって覆われている。なお、蛍光体層15を囲繞する領域とは、円弧状の蛍光体層15の円弧外側の領域11bと、円弧内側の領域11cと、蛍光体層15と開口11aとの間の領域11d,11eとである。 The antireflection layer 16 is formed over the entire region where the metal reflection layer 13 is formed. Further, the antireflection layer 16 is in contact with the antireflection layer 14 in a region on the substrate 11 where the phosphor layer 15 is not formed. In particular, in the present embodiment, the antireflection layer 16 is in contact with the antireflection layer 14 over the entire circumference of the region surrounding the phosphor layer 15 on the substrate 11. Therefore, not only the upper surface 15c of the phosphor layer 15 but also the side surface 15d is covered with the antireflection layer 16. The regions surrounding the phosphor layer 15 are the regions 11b outside the arc of the arc-shaped phosphor layer 15, the regions 11c inside the arc, and the regions 11d and 11e between the phosphor layer 15 and the openings 11a. And.

反射防止層16は、高屈折率層と低屈折率層とが交互に多層に積層された多層膜である。本実施の形態では、反射防止層16は、基板11側から順に、第1低屈折率層16a、高屈折率層16bおよび第2低屈折率層16cの3層で構成されている。各層の屈折率は、例えば、第1低屈折率層16aが1.5であり、高屈折率層16bが1.9であり、第2低屈折率層16cが1.5である。なお、反射防止層16は、3層で構成されるものに限定されず、高屈折率層と低屈折率層とが交互に3層以上で積層された多層膜であれば、第1低屈折率層16a、高屈折率層16bおよび第2低屈折率層16c以外の層が含まれていてもよい。 The antireflection layer 16 is a multilayer film in which high refractive index layers and low refractive index layers are alternately laminated in multiple layers. In the present embodiment, the antireflection layer 16 is composed of three layers, a first low refractive index layer 16a, a high refractive index layer 16b, and a second low refractive index layer 16c, in this order from the substrate 11 side. The refractive index of each layer is, for example, 1.5 for the first low refractive index layer 16a, 1.9 for the high refractive index layer 16b, and 1.5 for the second low refractive index layer 16c. The antireflection layer 16 is not limited to the one composed of three layers, and if it is a multilayer film in which high refractive index layers and low refractive index layers are alternately laminated with three or more layers, the first low refractive index layer 16 A layer other than the rate layer 16a, the high refractive index layer 16b, and the second low refractive index layer 16c may be included.

第1低屈折率層16aおよび第2低屈折率層16cの材料としては、例えばSiO、Alなどの比較的軽い元素の酸化物が挙げられる。また、第1低屈折率層16aおよび第2低屈折率層16cの材料は、AlN、AlGaN、AlInNなどの窒化物でもよい。第1低屈折率層16aと第2低屈折率層16cとは、同じ材料で形成されていてもよいし、異なる材料で形成されていてもよい。また、第1低屈折率層16aおよび第2低屈折率層16cは、増反射層14の低屈折率層14aと同じ材料で形成されていてもよいし、異なる材料で形成されていてもよい。 Examples of the material of the first low refractive index layer 16a and the second low refractive index layer 16c include oxides of relatively light elements such as SiO 2 and Al 2 O 3 . Further, the material of the first low refractive index layer 16a and the second low refractive index layer 16c may be a nitride such as AlN, AlGaN, or AlInN. The first low refractive index layer 16a and the second low refractive index layer 16c may be formed of the same material or may be formed of different materials. Further, the first low refractive index layer 16a and the second low refractive index layer 16c may be formed of the same material as the low refractive index layer 14a of the brightening reflection layer 14, or may be formed of different materials. ..

高屈折率層16bの材料としては、例えばTiO、Nb、Ti、ZnO、ZrO、Ta、CeOなどの比較的重い元素の酸化物が挙げられる。また、高屈折率層16bの材料は、AlON、GaNなどの窒化物でもよい。反射防止層16の高屈折率層16bは、増反射層14の高屈折率層14bと同じ材料で形成されていてもよいし、異なる材料で形成されていてもよい。 Examples of the material of the high refractive index layer 16b include oxides of relatively heavy elements such as TiO 2 , Nb 2 O 5 , Ti 3 O 5 , ZnO, ZrO 2 , Ta 2 O 5 , and CeO 2 . Further, the material of the high refractive index layer 16b may be a nitride such as AlON or GaN. The high refractive index layer 16b of the antireflection layer 16 may be formed of the same material as the high refractive index layer 14b of the antireflection layer 14, or may be formed of a different material.

好適な一例として、本実施の形態では、第1低屈折率層16aおよび第2低屈折率層16cはSiOで形成されており、高屈折率層16bはTiOで形成されている。 As a preferred example, in the present embodiment, the first low refractive index layer 16a and the second low refractive index layer 16c are formed of SiO 2 , and the high refractive index layer 16b is formed of TiO 2 .

第1低屈折率層16a、高屈折率層16bおよび第2低屈折率層16cは、公知の手法で形成することができる。公知の手法とは、例えば、電子ビーム蒸着法、抵抗加熱蒸着法、反応性プラズマ蒸着法、イオンアシスト蒸着法、スパッタリング法、有機金属気相成長法、分子線エピタキシー法、パルスレーザー堆積法またはイオンプレーティングなどである。 The first low refractive index layer 16a, the high refractive index layer 16b, and the second low refractive index layer 16c can be formed by a known method. Known methods include, for example, electron beam deposition, resistance heating vapor deposition, reactive plasma deposition, ion-assisted deposition, sputtering, metalorganic vapor phase growth, molecular beam epitaxy, pulsed laser deposition or ions. Plating etc.

以上のように、本実施の形態では、金属反射層13が形成された領域の全体に、増反射層14および反射防止層16が形成されている。そのため、HS(硫化水素)やSO(二酸化硫黄)などの腐食ガスが、金属反射層13まで到達しにくい。特に、本実施の形態では、蛍光体層15が形成されていない領域にも反射防止層16が形成されているため、蛍光体層15はその上面15cだけでなく側面15dも、反射防止層16によって覆われている。したがって、腐食ガスが金属反射層13まで到達しにくい。その結果、金属反射層13においてマイグレーションが生じにくく、マイグレーションにより金属反射層13の上面が荒れて金属反射層13の反射効率が低下するといったことが生じにくい。これにより、波長変換部材10は、従来よりもパッシベーション性が向上している。 As described above, in the present embodiment, the antireflection layer 14 and the antireflection layer 16 are formed in the entire region where the metal reflection layer 13 is formed. Therefore, corrosive gases such as H 2 S (hydrogen sulfide) or SO 2 (sulfur dioxide) is less likely to reach the metal reflective layer 13. In particular, in the present embodiment, since the antireflection layer 16 is formed in the region where the phosphor layer 15 is not formed, the antireflection layer 16 is formed not only on the upper surface 15c but also on the side surface 15d of the phosphor layer 15. Covered by. Therefore, it is difficult for the corrosive gas to reach the metal reflective layer 13. As a result, migration is unlikely to occur in the metal reflective layer 13, and it is unlikely that the upper surface of the metal reflective layer 13 is roughened by the migration and the reflection efficiency of the metal reflective layer 13 is lowered. As a result, the wavelength conversion member 10 has improved passivation as compared with the conventional case.

しかも、本実施の形態では、基板11上における蛍光体層15が形成されていない領域において、増反射層14と反射防止層16とが接触している。そのため、より腐食ガスが金属反射層13まで到達しにくい。さらに、本実施の形態では、基板11上における蛍光体層15を囲繞する領域の全周に亘って、増反射層14と反射防止層16とが接触している。そのため、さらに腐食ガスが金属反射層13まで侵入しにくい。したがって、マイグレーションにより金属反射層13の上面が荒れて金属反射層13の反射効率が低下するといったことが特に生じにくい。 Moreover, in the present embodiment, the antireflection layer 14 and the antireflection layer 16 are in contact with each other in the region on the substrate 11 where the phosphor layer 15 is not formed. Therefore, it is more difficult for the corrosive gas to reach the metal reflective layer 13. Further, in the present embodiment, the antireflection layer 14 and the antireflection layer 16 are in contact with each other over the entire circumference of the region surrounding the phosphor layer 15 on the substrate 11. Therefore, the corrosive gas is less likely to penetrate into the metal reflective layer 13. Therefore, it is particularly unlikely that the upper surface of the metal reflective layer 13 is roughened by migration and the reflection efficiency of the metal reflective layer 13 is lowered.

加えて、金属反射層13が銀からなる場合は、金属反射層13において腐食ガスによるマイグレーションがより生じやすい。しかしながら、本実施の形態では、波長変換部材10が上記構成を有するため、銀からなる金属反射層13であるにもかかわらず、腐食ガスによるマイグレーションが生じにくい。 In addition, when the metal reflective layer 13 is made of silver, migration due to corrosive gas is more likely to occur in the metal reflective layer 13. However, in the present embodiment, since the wavelength conversion member 10 has the above configuration, migration due to corrosive gas is unlikely to occur even though the metal reflective layer 13 is made of silver.

また、本実施の形態では、蛍光体層15の封止層15aがガラスおよび樹脂を含有する。そのため、蛍光体層15の上面15cに反射防止層16を直接形成することが可能である。したがって、波長変換部材10では、蛍光体層15からの光取出し効率の向上と、金属反射層13におけるマイグレーションの防止とが、共に達成されている。 Further, in the present embodiment, the sealing layer 15a of the phosphor layer 15 contains glass and resin. Therefore, it is possible to directly form the antireflection layer 16 on the upper surface 15c of the phosphor layer 15. Therefore, in the wavelength conversion member 10, both the improvement of the light extraction efficiency from the phosphor layer 15 and the prevention of migration in the metal reflecting layer 13 are achieved.

(プロジェクタ)
次に、実施の形態1に係るプロジェクタとして、実施の形態1に係る波長変換部材10を備えたプロジェクタについて説明する。
(projector)
Next, as the projector according to the first embodiment, the projector provided with the wavelength conversion member 10 according to the first embodiment will be described.

図3は、実施の形態1に係るプロジェクタを示す構成図である。図3に示すように、プロジェクタ100は、発光装置110、光学ユニット120および制御部130を備える。 FIG. 3 is a configuration diagram showing a projector according to the first embodiment. As shown in FIG. 3, the projector 100 includes a light emitting device 110, an optical unit 120, and a control unit 130.

発光装置110は、プロジェクタ100の光源として動作する装置である。発光装置110は、波長変換部材10、照射部111、ダイクロイックミラー112、第1反射ミラー113、第2反射ミラー114および第3反射ミラー115を備える。 The light emitting device 110 is a device that operates as a light source of the projector 100. The light emitting device 110 includes a wavelength conversion member 10, an irradiation unit 111, a dichroic mirror 112, a first reflection mirror 113, a second reflection mirror 114, and a third reflection mirror 115.

波長変換部材10は、モータ116に取り付けられて回転される。モータ116は、制御部130からの駆動制御信号に基づいて駆動される。 The wavelength conversion member 10 is attached to the motor 116 and rotated. The motor 116 is driven based on a drive control signal from the control unit 130.

照射部111は、蛍光体15bを励起するための励起光を蛍光体層15側から波長変換部材10に照射する。照射部111は、より具体的には、複数の固体光源111aと、固体光源111aから出射した励起光をコリメートするコリメートレンズ111bと、ヒートシンク111cとを備える。 The irradiation unit 111 irradiates the wavelength conversion member 10 with excitation light for exciting the phosphor 15b from the phosphor layer 15 side. More specifically, the irradiation unit 111 includes a plurality of solid-state light sources 111a, a collimating lens 111b that collimates the excitation light emitted from the solid-state light source 111a, and a heat sink 111c.

固体光源111aは、例えば半導体レーザや発光ダイオードなどであり、駆動電流によって駆動されて所定の色(波長)の励起光を出射する。本実施の形態では、固体光源111aとして、360nm以上480nm以下の波長の青色光を出射する半導体レーザが用いられる。固体光源111aの発光制御は、制御部130によって行われる。なお、固体光源111aは、複数個設けられているが、1個であってもよい。 The solid-state light source 111a is, for example, a semiconductor laser or a light emitting diode, and is driven by a driving current to emit excitation light of a predetermined color (wavelength). In the present embodiment, as the solid-state light source 111a, a semiconductor laser that emits blue light having a wavelength of 360 nm or more and 480 nm or less is used. The light emission control of the solid-state light source 111a is performed by the control unit 130. Although a plurality of solid-state light sources 111a are provided, one may be used.

ダイクロイックミラー112は、照射部111から出射される青色光(青色の励起光)を透過するとともに、この青色光よりも長い波長の光を反射する特性を有する。つまり、ダイクロイックミラー112は、波長変換部材10からの黄色光(黄色の蛍光)を反射する。 The dichroic mirror 112 has a property of transmitting blue light (blue excitation light) emitted from the irradiation unit 111 and reflecting light having a wavelength longer than that of the blue light. That is, the dichroic mirror 112 reflects yellow light (yellow fluorescence) from the wavelength conversion member 10.

光学ユニット120は、集光レンズ121、ロッドインテグレータ122、レンズ群123、投射レンズ124および表示素子125を備える。 The optical unit 120 includes a condenser lens 121, a rod integrator 122, a lens group 123, a projection lens 124, and a display element 125.

集光レンズ121は、発光装置110からの光をロッドインテグレータ122の入射端面に集光させる。 The condensing lens 121 condenses the light from the light emitting device 110 on the incident end surface of the rod integrator 122.

ロッドインテグレータ122は、集光レンズ121によって集光された光を入射端面で受けて輝度分布を均一にして出射する。ロッドインテグレータ122は、例えば四角柱であり、ロッドインテグレータ122に入射した光は、媒体内で全反射を繰り返して均一な輝度分布となって出射される。 The rod integrator 122 receives the light collected by the condensing lens 121 at the incident end face and emits the light with a uniform brightness distribution. The rod integrator 122 is, for example, a quadrangular prism, and the light incident on the rod integrator 122 is emitted with a uniform brightness distribution by repeating total internal reflection in the medium.

レンズ群123は、ロッドインテグレータ122から出射される光を表示素子125に入射させる。レンズ群123は、複数のレンズからなるレンズユニットであり、例えばコンデンサレンズおよびリレーレンズなどを備える。 The lens group 123 causes the light emitted from the rod integrator 122 to enter the display element 125. The lens group 123 is a lens unit composed of a plurality of lenses, and includes, for example, a condenser lens and a relay lens.

投射レンズ124は、表示素子125から出力される光をプロジェクタ100の外部に投射するレンズである。投射レンズ124は、1つ又は複数のレンズからなる投射レンズ群(投射ユニット)であり、例えば、両凸レンズ、絞りおよび平凹レンズなどによって構成される。 The projection lens 124 is a lens that projects the light output from the display element 125 to the outside of the projector 100. The projection lens 124 is a projection lens group (projection unit) composed of one or a plurality of lenses, and is composed of, for example, a biconvex lens, an aperture, and a plano-concave lens.

表示素子125は、レンズ群123から出射される光を制御して、映像として出力する。表示素子125は、具体的には、映像素子として用いられるDMD(デジタルミラーデバイス)である。 The display element 125 controls the light emitted from the lens group 123 and outputs it as an image. Specifically, the display element 125 is a DMD (digital mirror device) used as a video element.

制御部130は、発光装置110(照射部111およびモータ116)と、表示素子125とを制御する。制御部130は、具体的には、マイクロコンピュータ、プロセッサ、または専用回路などによって実現される。 The control unit 130 controls the light emitting device 110 (irradiation unit 111 and the motor 116) and the display element 125. Specifically, the control unit 130 is realized by a microcomputer, a processor, a dedicated circuit, or the like.

以上のようなプロジェクタ100において、照射部111から出射された青色光は、ダイクロイックミラー112を透過して波長変換部材10に入射する。このとき、波長変換部材10では、青色光の一部が開口11aを介して基板11を通り抜け、青色光の他の一部が蛍光体層15により黄色光に変換される。なお、このとき、波長変換部材10は、モータ116により回転している。 In the projector 100 as described above, the blue light emitted from the irradiation unit 111 passes through the dichroic mirror 112 and is incident on the wavelength conversion member 10. At this time, in the wavelength conversion member 10, a part of the blue light passes through the substrate 11 through the opening 11a, and the other part of the blue light is converted into yellow light by the phosphor layer 15. At this time, the wavelength conversion member 10 is rotated by the motor 116.

蛍光体層15から発せられた黄色光は、ダイクロイックミラー112で反射して光学ユニット120に導かれる。一方、開口11aを介して基板11を通り抜けた青色光は、第1反射ミラー113、第2反射ミラー114および第3反射ミラー115で順次反射する。そして、第3反射ミラー115で反射した青色光は、ダイクロイックミラー112を透過して、光学ユニット120に導かれる。つまり、光学ユニット120には、青色光と黄色光とが混ざった白色光が入射される。 The yellow light emitted from the phosphor layer 15 is reflected by the dichroic mirror 112 and guided to the optical unit 120. On the other hand, the blue light that has passed through the substrate 11 through the opening 11a is sequentially reflected by the first reflection mirror 113, the second reflection mirror 114, and the third reflection mirror 115. Then, the blue light reflected by the third reflection mirror 115 passes through the dichroic mirror 112 and is guided to the optical unit 120. That is, white light, which is a mixture of blue light and yellow light, is incident on the optical unit 120.

光学ユニット120に入射した白色光は、集光レンズ121、ロッドインテグレータ122およびレンズ群123を通って表示素子125に入射する。そして、制御部130からの映像信号に基づいて画像(映像光)に形成されて、表示素子125から出力される。表示素子125から出力された画像は、投射レンズ124からスクリーンなどの対象物に投射される。 The white light incident on the optical unit 120 enters the display element 125 through the condensing lens 121, the rod integrator 122, and the lens group 123. Then, it is formed into an image (video light) based on the video signal from the control unit 130, and is output from the display element 125. The image output from the display element 125 is projected from the projection lens 124 onto an object such as a screen.

以上で説明したように、本開示は、波長変換部材10を備えたプロジェクタ100として実現することができる。つまり、波長変換部材10を用いることによって、光取出し効率および耐久性を向上させたプロジェクタ100を実現することができる。 As described above, the present disclosure can be realized as a projector 100 provided with a wavelength conversion member 10. That is, by using the wavelength conversion member 10, the projector 100 with improved light extraction efficiency and durability can be realized.

なお、本実施の形態に係るプロジェクタ100は、一例であり、波長変換部材10に例示される本開示に係る波長変換部材は、既存の各種光学系を使用したプロジェクタに使用可能である。 The projector 100 according to the present embodiment is an example, and the wavelength conversion member according to the present disclosure exemplified for the wavelength conversion member 10 can be used for a projector using various existing optical systems.

[実施の形態2]
(波長変換部材)
図4は、実施の形態2に係る波長変換部材を示す斜視図である。図4に示す実施の形態2に係る波長変換部材20は、照明装置用の波長変換部材であって、矩形板状の基板21の一方の主面側に、矩形の蛍光体層25を備える。
[Embodiment 2]
(Wavelength conversion member)
FIG. 4 is a perspective view showing a wavelength conversion member according to the second embodiment. The wavelength conversion member 20 according to the second embodiment shown in FIG. 4 is a wavelength conversion member for a lighting device, and includes a rectangular phosphor layer 25 on one main surface side of a rectangular plate-shaped substrate 21.

図4における2−2線断面図は、図1における2−2線断面図と同様であるため、図2を用いて図4における2−2線断面の説明を行う。 Since the sectional view taken along line 2-2 in FIG. 4 is the same as the sectional view taken along line 2-2 in FIG. 1, the sectional view taken along line 2-2 in FIG. 4 will be described with reference to FIG.

図2に示すように、波長変換部材20は、基板21、接着層22、金属反射層23、増反射層24、蛍光体層25および反射防止層26を備える。波長変換部材20を構成する各構成要素21〜26は、実施の形態1に係る波長変換部材10を構成する同名の各構成要素11〜16と、形状に関する事項を除いて略同様である。したがって、各構成要素21〜26の説明は省略する。 As shown in FIG. 2, the wavelength conversion member 20 includes a substrate 21, an adhesive layer 22, a metal reflective layer 23, a reflective layer 24, a phosphor layer 25, and an antireflection layer 26. The components 21 to 26 constituting the wavelength conversion member 20 are substantially the same as the components 11 to 16 having the same name constituting the wavelength conversion member 10 according to the first embodiment, except for matters relating to the shape. Therefore, the description of each component 21 to 26 will be omitted.

増反射層24は、低屈折率層24aおよび高屈折率層24bで構成されている。増反射層24を構成する各構成要素24a,24bは、実施の形態1に係る増反射層14を構成する同名の各構成要素14a,14bと、形状に関する事項を除いて略同様である。したがって、各構成要素24a,24bの説明は省略する。 The high-refractive index layer 24 is composed of a low refractive index layer 24a and a high refractive index layer 24b. The components 24a and 24b constituting the reflective layer 24 are substantially the same as the components 14a and 14b having the same name constituting the reflective layer 14 according to the first embodiment, except for matters relating to the shape. Therefore, the description of each component 24a and 24b will be omitted.

蛍光体層25は、封止層25aおよび蛍光体25bで構成されている。蛍光体層25を構成する各構成要素25a,25bは、実施の形態1に係る蛍光体層15を構成する同名の各構成要素15a,15bと、形状に関する事項を除いて略同様である。したがって、各構成要素25a,25bの説明は省略する。 The phosphor layer 25 is composed of a sealing layer 25a and a phosphor 25b. The components 25a and 25b constituting the phosphor layer 25 are substantially the same as the components 15a and 15b having the same name constituting the phosphor layer 15 according to the first embodiment, except for matters relating to the shape. Therefore, the description of each component 25a and 25b will be omitted.

反射防止層26は、第1低屈折率層26a、高屈折率層26bおよび第2低屈折率層26cで構成されている。反射防止層26を構成する各構成要素26a〜26cは、実施の形態1に係る反射防止層16を構成する同名の各構成要素16a〜16cと、形状に関する事項を除いて略同様である。したがって、各構成要素26a〜26cの説明は簡略する。 The antireflection layer 26 is composed of a first low refractive index layer 26a, a high refractive index layer 26b, and a second low refractive index layer 26c. The components 26a to 26c constituting the antireflection layer 26 are substantially the same as the components 16a to 16c having the same name constituting the antireflection layer 16 according to the first embodiment, except for matters relating to the shape. Therefore, the description of each component 26a to 26c will be simplified.

反射防止層26は、金属反射層23が形成された領域の全体に形成されている。また、反射防止層26は、基板21上における蛍光体層25が形成されていない領域において、増反射層24と接触している。特に、本実施の形態では、反射防止層26は、基板21上における蛍光体層25を囲繞する領域の全周に亘って増反射層24と接触している。したがって、蛍光体層25は、その上面25cだけでなく側面25dも反射防止層26によって覆われている。なお、蛍光体層25を囲繞する領域とは、具体的には、蛍光体層25の四方外側の領域21b〜21eである。 The antireflection layer 26 is formed over the entire region where the metal reflection layer 23 is formed. Further, the antireflection layer 26 is in contact with the antireflection layer 24 in a region on the substrate 21 where the phosphor layer 25 is not formed. In particular, in the present embodiment, the antireflection layer 26 is in contact with the antireflection layer 24 over the entire circumference of the region surrounding the phosphor layer 25 on the substrate 21. Therefore, not only the upper surface 25c of the phosphor layer 25 but also the side surface 25d is covered with the antireflection layer 26. The region surrounding the phosphor layer 25 is specifically, regions 21b to 21e on all sides of the phosphor layer 25.

以上のように波長変換部材20は、実施の形態1に係る波長変換部材10と略同様の構成を有する。したがって、波長変換部材20は、上記で説明した波長変換部材10が奏する効果と同様の効果を全て奏する。 As described above, the wavelength conversion member 20 has substantially the same configuration as the wavelength conversion member 10 according to the first embodiment. Therefore, the wavelength conversion member 20 exerts all the same effects as those of the wavelength conversion member 10 described above.

(照明装置)
図5は、実施の形態2に係る照明装置を示す構成図である。図5に示すように、照明装置200は、実施の形態2に係る波長変換部材20と、固体光源210と、光学系220とを備える。
(Lighting device)
FIG. 5 is a configuration diagram showing a lighting device according to the second embodiment. As shown in FIG. 5, the lighting device 200 includes a wavelength conversion member 20 according to the second embodiment, a solid-state light source 210, and an optical system 220.

固体光源210としては、例えば、紫外光から青色光領域の励起光を出射する半導体レーザや発光ダイオードなどが挙げられる。本実施の形態では、固体光源210は、GaN系の材料を用いた約460nmの青色光を発光する半導体レーザである。 Examples of the solid-state light source 210 include a semiconductor laser and a light emitting diode that emit excitation light in the blue light region from ultraviolet light. In the present embodiment, the solid-state light source 210 is a semiconductor laser that emits blue light of about 460 nm using a GaN-based material.

固体光源210から波長変換部材20に向けて出射された青色光(青色の励起光)は、その一部が蛍光体層25により黄色光(黄色の蛍光)に変換される。金属反射膜23は、蛍光体層25から発せられた黄色光や、蛍光体層25で変換されなかった青色光を、光学系220に向けて反射させる。この結果、反射した青色光と黄色光とが混色し、波長変換部材10からは白色光が出力され、この白色光が光学系220で発散され照明光となる。 A part of the blue light (blue excitation light) emitted from the solid-state light source 210 toward the wavelength conversion member 20 is converted into yellow light (yellow fluorescence) by the phosphor layer 25. The metal reflective film 23 reflects the yellow light emitted from the phosphor layer 25 and the blue light not converted by the phosphor layer 25 toward the optical system 220. As a result, the reflected blue light and yellow light are mixed, white light is output from the wavelength conversion member 10, and this white light is diverged by the optical system 220 to become illumination light.

以上で説明したように、本開示は、波長変換部材20を備えた照明装置200として実現することができる。つまり、波長変換部材20を用いることによって、光取出し効率および耐久性を向上させた照明装置200を実現することができる。 As described above, the present disclosure can be realized as a lighting device 200 including a wavelength conversion member 20. That is, by using the wavelength conversion member 20, it is possible to realize the lighting device 200 having improved light extraction efficiency and durability.

[変形例]
以上、実施の形態1および実施の形態2に係る波長変換部材10,20、プロジェクタ100および照明装置200について説明したが、本開示は、上記実施の形態に限定されない。本開示の趣旨を逸脱しない限り、当業者が思いつく各種変形を上記実施の形態に施したものも、本開示の範囲内に含まれる。
[Modification example]
Although the wavelength conversion members 10, 20, the projector 100 and the lighting device 200 according to the first and second embodiments have been described above, the present disclosure is not limited to the above-described embodiment. As long as it does not deviate from the gist of the present disclosure, various modifications that can be conceived by those skilled in the art are also included in the scope of the present disclosure.

例えば、上記実施の形態では、プロジェクタ用および照明装置用の波長変換部材について説明したが、波長変換部材の用途はそれらに限定されない。例えば、本開示に係る波長変換部材は、ディスプレイなどのその他の用途に用いられてもよい。 For example, in the above-described embodiment, the wavelength conversion members for projectors and lighting devices have been described, but the applications of the wavelength conversion members are not limited thereto. For example, the wavelength conversion member according to the present disclosure may be used for other purposes such as a display.

また、上記実施の形態では、図2を用いて波長変換部材の積層構造を例示したが、本開示の積層構造は図2に示す積層構造に限定されない。例えば、図2に示す積層構造と同様の機能を実現できる範囲で、図2に示す積層構造の層間に別の層が設けられてもよい。 Further, in the above embodiment, the laminated structure of the wavelength conversion member is illustrated with reference to FIG. 2, but the laminated structure of the present disclosure is not limited to the laminated structure shown in FIG. For example, another layer may be provided between the layers of the laminated structure shown in FIG. 2 as long as the same function as that of the laminated structure shown in FIG. 2 can be realized.

上記実施の形態では、積層構造の各層を構成する主たる材料について例示しているが、上記積層構造と同様の機能を実現できる範囲であれば、各層に他の材料が含まれていてもよい。 In the above embodiment, the main materials constituting each layer of the laminated structure are illustrated, but other materials may be contained in each layer as long as the same functions as those of the laminated structure can be realized.

本開示に係る波長変換部材は、プロジェクタや照明装置などの波長変換された光を利用する装置に広く利用可能である。 The wavelength conversion member according to the present disclosure can be widely used in devices that utilize wavelength-converted light, such as projectors and lighting devices.

10,20 波長変換部材
11,21 基板
11a 開口
11b 円弧外側の領域
11c 円弧内側の領域
11d,11e 開口との間の領域
12,22 接着層
13,23 金属反射層
14,24 増反射層
14a,24a 低屈折率層
14b,24b 高屈折率層
15,25 蛍光体層
15a,25a 封止層
15b,25b 蛍光体
15c,25c 上面
15d,25d 側面
16,26 反射防止層
16a,26a 第1低屈折率層
16b,26b 高屈折率層
16c,26c 第2低屈折率層
21b〜21e 四方外側の領域
100 プロジェクタ
110 発光装置
111 照射部
111a,210 固体光源
111b コリメートレンズ
111c ヒートシンク
112 ダイクロイックミラー
113 第1反射ミラー
114 第2反射ミラー
115 第3反射ミラー
116 モータ
120 光学ユニット
121 集光レンズ
122 ロッドインテグレータ
123 レンズ群
124 投射レンズ
125 表示素子
130 制御部
200 照明装置
220 光学系
10,20 Wavelength conversion member 11,21 Substrate 11a Aperture 11b Area outside the arc 11c Area inside the arc 11d, 11e Area between the opening 12,22 Adhesive layer 13,23 Metal reflection layer 14,24 Reflective layer 14a, 24a Low refractive index layer 14b, 24b High refractive index layer 15,25 Fluorescent material layer 15a, 25a Encapsulating layer 15b, 25b Fluorescent material 15c, 25c Top surface 15d, 25d Side surface 16,26 Antireflection layer 16a, 26a First low reflectance Rate layer 16b, 26b High refractive index layer 16c, 26c Second low refractive index layer 21b to 21e Square outer region 100 Projector 110 Light emitting device 111 Irradiating part 111a, 210 Solid light source 111b Collimating lens 111c Heat sink 112 Dycroic mirror 113 First reflection Mirror 114 2nd reflection mirror 115 3rd reflection mirror 116 Motor 120 Optical unit 121 Condensing lens 122 Rod integrator 123 Lens group 124 Projection lens 125 Display element 130 Control unit 200 Lighting device 220 Optical system

Claims (7)

基板上に、金属反射層、増反射層、蛍光体層および反射防止層がその順で形成され、
前記増反射層は、前記金属反射層が形成された領域の全体に形成され、前記基板側から順に低屈折率層および高屈折率層を有し、
前記蛍光体層は、前記金属反射層が形成された領域の一部に形成され、
前記反射防止層は、前記金属反射層が形成された領域の全体に形成され、前記基板側から順に第1低屈折率層、高屈折率層および第2低屈折率層を有することを特徴とする波長変換部材。
A metal reflective layer, a brightening layer, a phosphor layer, and an antireflection layer are formed on the substrate in this order.
The hyperrefractive layer is formed in the entire region where the metal reflective layer is formed, and has a low refractive index layer and a high refractive index layer in order from the substrate side.
The phosphor layer is formed in a part of the region where the metal reflection layer is formed, and the phosphor layer is formed.
The antireflection layer is formed in the entire region where the metal reflection layer is formed, and has a first low refractive index layer, a high refractive index layer, and a second low refractive index layer in this order from the substrate side. Wavelength conversion member.
前記反射防止層は、前記基板上における前記蛍光体層が形成されていない領域において前記増反射層と接触していることを特徴とする請求項1に記載の波長変換部材。 The wavelength conversion member according to claim 1, wherein the antireflection layer is in contact with the brightening reflection layer in a region on the substrate where the phosphor layer is not formed. 前記反射防止層は、前記基板上における前記蛍光体層を囲繞する領域の全周に亘って前記増反射層と接触していることを特徴とする請求項1又は2に記載の波長変換部材。 The wavelength conversion member according to claim 1 or 2, wherein the antireflection layer is in contact with the antireflection layer over the entire circumference of a region surrounding the phosphor layer on the substrate. 前記金属反射層は、銀からなることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の波長変換部材。 The wavelength conversion member according to any one of claims 1 to 3, wherein the metal reflective layer is made of silver. 前記蛍光体層は、ガラスおよび樹脂を含有する封止層と、前記封止層の中に分散された蛍光体とを有することを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の波長変換部材。 The wavelength conversion according to any one of claims 1 to 4, wherein the phosphor layer has a sealing layer containing glass and a resin, and a phosphor dispersed in the sealing layer. Element. 請求項1から5のいずれかに記載の波長変換部材を備えることを特徴とするプロジェクタ。 A projector comprising the wavelength conversion member according to any one of claims 1 to 5. 請求項1から5のいずれかに記載の波長変換部材を備えることを特徴とする照明装置。 A lighting device comprising the wavelength conversion member according to any one of claims 1 to 5.
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