JPWO2013046351A1 - 太陽電池及び太陽電池の製造方法 - Google Patents

太陽電池及び太陽電池の製造方法 Download PDF

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Abstract

太陽電池10は、光電変換部11と、光電変換部11の受光面上に形成されためっき用端子部14と、めっき用端子部14を用いた電解めっきにより受光面上に形成されためっき電極とを備え、めっき用端子部14は、受光面上において、めっき電極の配線材接続部17から離間した位置に形成されている。めっき電極には、例えば、複数のフィンガー部31と、フィンガー部31に交差して形成され配線材接続部17を含むバスバー部34とが含まれる。

Description

本発明は、太陽電池及び太陽電池の製造方法に関する。
太陽電池は、光電変換部と、光電変換部の主面上に形成された電極とを備える。この電極の形成方法として、電解めっき法が知られている(特許文献1参照)。特許文献1には、電源装置の電極が接続される前面電極端子が、分枝形状の電極からキャリアを収集する共通電極に連結された太陽電池が開示されている。
特開2002‐217430号公報
ところで、共通電極には、太陽電池のモジュール化に際して、複数の太陽電池を電気的に接続する配線材が取り付けられる。このとき、前面電極端子が共通電極に連結された形態では、前面電極端子との連結部分で共通電極の厚みが局部的に変化するため、取り付け時の応力が当該連結部分に集中して太陽電池が割れる恐れがある。
本発明に係る太陽電池は、光電変換部と、光電変換部の主面上に設けられためっき端子部と、めっき端子部を用いた電解めっきにより主面上に形成されためっき電極とを備え、めっき電極は、配線材が接続される配線材接続部を含み、めっき端子部は、主面上において、配線材接続部から離間した位置に設けられる。
本発明に係る太陽電池の製造方法は、電解めっきにより光電変換部の主面上にめっき電極を形成する電極形成工程を備え、電極形成工程では、主面上において、めっき電極の配線材接続部となる領域から離間した位置をめっき端子部として電解めっきを行う。
本発明に係る太陽電池及びその製造方法によれば、太陽電池の割れを抑制することができる。
本発明に係る第1の実施形態である太陽電池を受光面側から見た平面図である。 図1のA‐A断面を模式的に示す図である。 図1のB‐B断面を模式的に示す図である。 本発明に係る第1の実施形態である太陽電池の製造方法を説明するための図である。 本発明に係る第1の実施形態である太陽電池の製造方法を説明するための図である。 本発明に係る第1の実施形態である太陽電池の変形例を示す図である。 本発明に係る第1の実施形態である太陽電池の他の変形例を示す図である。 本発明に係る第2の実施形態である太陽電池を受光面側から見た平面図である。 本発明に係る第3の実施形態である太陽電池を受光面側から見た平面図である。 本発明に係る第4の実施形態である太陽電池を受光面側から見た平面図である。 図10のD部拡大図である。 本発明に係る第5の実施形態である太陽電池を受光面側から見た平面図である。 本発明に係る第6の実施形態である太陽電池を受光面側から見た平面図である。
図面を参照して、本発明に係る実施形態を詳細に説明する。
本発明は、以下の実施形態に限定されない。また、実施形態において参照する図面は、模式的に記載されたものであり、図面に描画された構成要素の寸法比率などは、現物と異なる場合がある。具体的な寸法比率等は、以下の説明を参酌して判断されるべきである。
図1〜図3を参照し、第1の実施形態である太陽電池10の構成について詳説する。
図1は、太陽電池10を受光面側から見た平面図である。図2は、図1のA‐A断面図であって、フィンガー部31の長手方向に沿って太陽電池10を厚み方向に切断した断面を示す。図3は、図1のB‐B断面図であって、フィンガー部31に直交する方向に沿って太陽電池10を厚み方向に切断した断面を示す。
太陽電池10は、太陽光を受光することでキャリア(電子及び正孔)を生成する光電変換部11と、光電変換部11の受光面上に形成された受光面電極12と、光電変換部11の裏面上に形成された裏面電極13とを備える。太陽電池10では、光電変換部11で生成されたキャリアが受光面電極12及び裏面電極13により収集される。また、太陽電池10は、いずれも光電変換部11の受光面上に、めっき端子部14と、コーティング層15とを備える。本実施形態では、受光面電極12の一部が、電解めっきにより形成されるめっき電極である。
ここで、「受光面」とは、太陽電池10の外部から太陽光が主に入射する主面を意味する。例えば、太陽電池10に入射する太陽光のうち50%超過〜100%が受光面側から入射する。また、「裏面」とは、受光面と反対側の主面を意味する。なお、太陽電池10の厚み方向に沿った面であって、主面に垂直な面が側面である。
めっき端子部14とは、めっき電極を形成する電解めっき工程において、図示しない電源装置の電極が接続された部分である。つまり、めっき端子部14は、電解めっき工程の電極端子の接続跡と言える。めっき端子部14は、通常、めっき層を有するが、その厚みは、めっき電極の厚みよりも薄い(図2参照)。具体的に、その厚みは、めっき電極の厚みの50%以下である。詳しくは後述するが、めっき端子部14は、金属めっき層の厚みの他にも、めっき電極から独立して形成されていること、その直径がフィンガー部31の幅よりも大きいこと等の特徴的な形態を有する。
光電変換部11は、例えば、半導体の基板20と、基板20の受光面側に形成された非晶質半導体層21と、基板20の裏面側に形成された非晶質半導体層22とを有する。非晶質半導体層21及び非晶質半導体層22は、それぞれ基板20の受光面及び裏面の略全域を覆うように形成することが好ましい。なお、本明細書において、「略全域」とは、実質的に対象物の全域、例えば、95%〜100%の領域を示す。
基板20の具体例としては、n型単結晶シリコン基板が挙げられる。非晶質半導体層21は、例えば、i型非晶質シリコン層と、p型非晶質シリコン層とが順に形成された層構造である。非晶質半導体層22は、例えば、i型非晶質シリコン層と、n型非晶質シリコン層とが順に形成された層構造である。なお、光電変換部11は、n型単結晶シリコン基板の受光面上にi型非晶質シリコン層と、n型非晶質シリコン層とが順に形成され、n型単結晶シリコン基板の裏面上に、i型非晶質シリコン層と、p型非晶質シリコン層とが順に形成された構造でもよい。
受光面電極12は、光電変換部11の受光面上に形成される透明導電層30を含むことが好適である。透明導電層30としては、酸化インジウム(In23)や酸化亜鉛(ZnO)等の金属酸化物に、錫(Sn)やアンチモン(Sb)等をドープした透明導電性酸化物(TCO)を適用できる。透明導電層30は、非晶質半導体層21上の略全域に形成されてもよいが、図1に示す形態では、非晶質半導体層21上において、その端縁部を除く全域に形成されている。
さらに、受光面電極12は、複数(例えば、50本)のフィンガー部31と、複数(例えば、2本)のバスバー部34とを含んで構成される。フィンガー部31は、透明導電層30上の広範囲に形成される細線状の電極である。バスバー部34は、フィンガー部31よりも幅が太く本数の少ない電極であって、主にフィンガー部31からキャリアを収集する。フィンガー部31及びバスバー部34は、互いに交差して配置され電気的に接続されている。フィンガー部31及びバスバー部34の厚みは、略同等(実質的に同等とみなせる状態を含む)であり、例えば、30μm〜50μmとすることが好ましい。
本実施形態では、2本のバスバー部34が所定の間隔を空けて互いに平行に配置され、これに略直交して複数のフィンガー部31が配置される。フィンガー部31には、バスバー部34の各々から受光面の端縁側に延びる第1フィンガー部32と、2本のバスバー部34を接続する第2フィンガー部33とがあり、バスバー部34に略直交する方向に2本の第1フィンガー部32と1本の第2フィンガー部33とが並んで配置されている。具体的には、2本の第1フィンガー部32は、2本のバスバー部34から光電変換部11の端部にそれぞれ延在して配置される。1本の第2フィンガー部33は、2本のバスバー部34の間に配置される。本明細書において、「略直交」とは、実質的に直交しているとみなせる状態を含み、例えば、フィンガー部31とバスバー部34とがなす角度が90°±5°の状態である。
また、本実施形態では、フィンガー部31及びバスバー部34が、めっき電極である(以下、「めっき電極」とは、特に断らない限り、フィンガー部31及びバスバー部34を意味する)。めっき電極は、めっき端子部14を用いた電解めっきにより透明導電層30上に形成される。めっき電極は、例えば、ニッケル(Ni)や銅(Cu)、銀(Ag)等の金属から構成されるが、ニッケルめっき層と、銅めっき層との積層構造が好適である。
裏面電極13は、非晶質半導体層22上に形成される透明導電層40と、透明導電層40上に形成される金属層41と、金属層41上に形成される複数のバスバー部42とを含んで構成される。金属層41は、光の反射率が高く、且つ高い導電性を有する銀(Ag)等の金属材料からなる薄膜である。バスバー部42は、導電性ペーストを用いて形成できる。なお、裏面電極13は、金属層41をフィンガー部に変更して、当該フィンガー部とバスバー部42とを電解めっきにより形成してもよい。
太陽電池10は、例えば、同一平面上に複数個並べられ、受光面側及び裏面側のそれぞれをカバーする保護部材と、各保護部材の間に設けられる充填材とを用いてモジュール化される。このとき、太陽電池10同士を電気的に接続する配線材16が、バスバー部34,42に取り付けられる。配線材16は、例えば、導電性接着剤を用いて、隣接する一方の太陽電池10のバスバー部34に接続され、他方の太陽電池10のバスバー部42に接続される。
配線材16は、バスバー部34上に接続される。即ち、バスバー部34は、配線材16が接続される配線材接続部17を含む。さらに、図1に示す形態では、配線材16の幅がバスバー部34の幅よりも太く、配線材16は、フィンガー部31上の一部に跨って設けられる。めっき電極のうち、配線材16で覆われた部分が配線材接続部17であり、この場合、バスバー部34の全体と、フィンガー部31のバスバー部34の近傍が配線材接続部17である。
以下、太陽電池10の透明導電層30上の構成、即ちめっき端子部14、コーティング層15、フィンガー部31、及びバスバー部34について、さらに詳説する。
透明導電層30上には、絶縁性のコーティング層15が形成されている。詳しくは後述するが、コーティング層15の開口部に、めっき端子部14及びめっき電極が形成される。コーティング層15は、めっき端子部14が設けられた領域、及びめっき電極が形成された領域を除く略全域に形成されることが好適であり、本実施形態では、非晶質半導体層21の端縁部上にも形成される(図2参照)。コーティング層15の厚みは、例えば、20〜30μmとし、例えば、めっき電極の厚みよりもやや薄く設定される(図3参照)。
コーティング層15は、後述の電解めっき工程においてマスクとして機能する。コーティング層15を構成する材料は、電解めっき工程で金属めっきが堆積しない材料であれば特に限定されないが、生産性や充填材との密着性等の観点から、エポキシ樹脂等を含む光硬化性樹脂であることが好ましい。
めっき端子部14は、透明導電層30上において、めっき電極の配線材接続部17から離間した位置に設けられる。ここで、「離間」とは、めっき端子部14と配線材接続部17とが重ならないことを意味する。配線材接続部17の局部的な厚みの増加を抑制する観点から、めっき端子部14と配線材接続部17とはある程度離れていることが好適であり、両者の距離は、1mm以上が好ましく、2mm以上がより好ましく、3mm以上が特に好ましい。
めっき端子部14の形状は、特に限定されず、例えば、平面視略円形状とする。めっき端子部14のサイズは、例えば、直径が0.1mm〜1.0mm程度であって、その直径はフィンガー部31の幅よりも大きい。
めっき端子部14は、1つであっても電解めっき可能であるが、めっき電極の厚みの均一化、電解めっき工程の時間短縮等の観点から、複数設けられることが好適である。図1に例示する形態では、4つのめっき端子部14が、略矩形状を呈する受光面の端縁部上に設けられている。より詳しくは、各めっき端子部14は、受光面の各角部の近傍において、受光面の中心Pからの距離が略同等となる位置に設けられている。さらに、受光面の端縁部に沿って隣に位置するめっき端子部14同士の間隔は、いずれも略同等である。また、対角に位置する2つのめっき端子部14は、中心Pを通る同一直線上に位置する。
めっき端子部14は、フィンガー部31に近接して設けられることが好適である。換言すると、配線材接続部17から離れて位置するめっき端子部14の近傍にまでフィンガー部31を形成することが好適である。めっき端子部14とフィンガー部31とは接触しておらず、両者の間には隙間が設けられる。この隙間は、例えば、0.1mm〜3.0mm程度が好ましい。
めっき端子部14は、複数のフィンガー部31のうち、バスバー部34の長手方向の端部からバスバー部34の長さの略1/4の範囲内に接続されるフィンガー部31に近接して設けられることが好適である。めっき端子部14は、例えば、バスバー部34の長手方向端部に接続される第1フィンガー部32eに近接した位置に設けられる。なお、第1フィンガー部32eは、第1フィンガー部32の列の端に配置されたフィンガー部である(実施形態では、この列の中央に配置されたフィンガー部を「第1フィンガー部32c」とする)。
めっき端子部14は、第1フィンガー部32eと同一直線上に設けることができる。めっき端子部14は、例えば、第1フィンガー部32eのバスバー部34と反対側に位置する端部との間に隙間を設けて、第1フィンガー部32eの延長線上に設けられる。
次に、図4及び図5を適宜参照しながら、上記構成を備えた太陽電池10の製造工程、特に受光面電極12の形成工程について詳説する。
ここでは、ニッケルめっき、及び銅めっきにより、めっき電極を形成するものとして説明する。また、太陽電池10の受光面上には、めっき端子部14が存在するが、電解めっき工程後にめっき端子部14が設けられた部分をカットする工程を追加することも可能である。
太陽電池10の製造工程では、まず、光電変換部11が公知の方法により製造される(光電変換部11の製造工程について詳しい説明は省略する)。光電変換部11が準備されると、光電変換部11の受光面上に受光面電極12を、光電変換部11の裏面上に裏面電極13をそれぞれ形成する。本実施形態では、裏面電極13を形成した後、受光面電極12を形成するが、この形成順序は特に限定されない。
裏面電極13の形成工程では、非晶質半導体層22上に透明導電層40を形成し、続けて、透明導電層40上に金属層41を形成する。透明導電層40及び金属層41は、例えば、スパッタリング法を用いて形成することができる。透明導電層40は、30nm〜200nm程度の厚みで形成することができ、金属層41は、0.1μm〜5μm程度の厚みで形成することができる。
続いて、金属層41上にバスバー部42を形成する。バスバー部42は、例えば、金属層41上に導電性ペーストをスクリーン印刷した後、焼成することにより形成できる。バスバー部42は、0.5mm〜3.0mm程度の幅、10μm〜50μm程度の厚みで形成することができる。なお、裏面電極13は、バスバー部42を設けない構造としてもよい。
受光面電極12の形成工程は、光電変換部11の受光面上に透明導電層30を形成する工程と、透明導電層30上にマスクを形成するマスク形成工程と、電解めっきにより、マスクが形成された透明導電層30上にめっき電極を形成する電解めっき工程とを含む。透明導電層30は、例えば、透明導電層40と同様の方法により、非晶質半導体層21上の端縁部を除く全域に形成される。
マスク形成工程では、透明導電層30上に、マスクとして光硬化性樹脂からなるコーティング層15を形成する。マスク形成工程では、例えば、受光面上の全域にパターニングしたコーティング層15を形成する。パターニングしたコーティング層15は、公知の方法により形成できる。例えば、受光面上に光硬化性樹脂からなる薄膜層をスピンコート、スプレー等により形成した後、フォトリソプロセスによりパターニングしたコーティング層15を形成する。また、スクリーン印刷等の印刷法を用いて、パターニングしたコーティング層15を形成してもよい。
コーティング層15は、めっき端子部14を設ける領域の透明導電層30を露出させる端子用開口18と、めっき電極を形成する領域の透明導電層30を露出させる電極用開口とを有するようにパターニングされる。電極用開口は、フィンガー部31を形成する領域を露出させるフィンガー用開口35と、バスバー部34を形成する領域を露出させるバスバー用開口38とを含む。
本実施形態では、所定の間隔をあけて互いに平行に形成された2つのバスバー用開口38と、これに略直交して複数のフィンガー用開口35とが形成される。そして、端子用開口18は、バスバー用開口38から離れた位置であって、フィンガー用開口35に近接して形成される。また、端子用開口18は、バスバー用開口38の長手方向端部に連通するフィンガー用開口35のうち、バスバー用開口38から受光面の端縁部側に延びる第1フィンガー用開口36に近接して、第1フィンガー用開口36と同一直線上に形成される。
また、コーティング層15には、透明導電層30上の端縁部であって、透明導電層30上の各角部の近傍に4つの端子用開口18が形成されている。各端子用開口18は、中心Pからの距離が略同等となる位置に、且つ端縁部に沿って隣に位置する端子用開口18同士の間隔が略同等となるように形成されている。また、対角に位置する2つの端子用開口18は、中心Pを通る同一直線上に形成されている。
本実施形態では、コーティング層15を電解めっき工程後に除去しないが、電解めっき工程後にマスクを除去してもよい。なお、受光面電極12の形成工程では、透明導電層30上において、めっき電極の配線材接続部17となる領域から離間した位置をめっき端子部14として電解めっきを行う。
電解めっき工程では、コーティング層15が形成された光電変換部11を陰極、ニッケル板を陽極として電解めっきを行う。光電変換部11には、端子用開口18から露出した透明導電層30上の領域に、電源装置の電極が接続される。つまり、かかる露出領域をめっき端子部14として電解めっきを行う。電解めっきは、光電変換部11の裏面上に金属めっき層が堆積しないように裏面上を絶縁被覆(例えば、裏面上を覆う絶縁樹脂層を形成し、電解めっき工程後に除去する)した状態で、光電変換部11と、ニッケル板とをめっき液に浸漬し、両者の間に電流を印加することで行う。めっき液には、硫酸ニッケルや塩化ニッケルを含有する公知のニッケルめっき液を用いることができる。
こうして、フィンガー用開口35、バスバー用開口38から露出した透明導電層30上にニッケルめっき層が形成される。また、電源装置の電極が接続されためっき端子部14にも、薄いニッケルめっき層が形成される。
続いて、銅板を陽極とし、硫酸銅やシアン化銅を含有する公知の銅めっき液を用いて、電解めっきを行う。これにより、先に形成されたニッケルめっき層上に銅めっき層が形成されて、ニッケルめっき層と、銅めっき層とから構成されるフィンガー部31、及びバスバー部34が形成される。めっき端子部14においても、ニッケルめっき層上に、銅めっき層が形成される。なお、金属めっき層の厚みは、印加する電流量(電流×時間)により調整することができる。
以上のようにして、受光面上にめっき電極が形成された太陽電池10が製造される。上記マスク形成工程でパターニングされたコーティング層15をマスクとして上記電解めっきを行うことで、配線材接続部17における局部的な厚みの増加を抑制できる。これにより、配線材16の取り付け時に発生する応力が光電変換部11の一部に集中することがなく、太陽電池10の割れを抑制できる。なお、めっき端子部14と配線材接続部17とを重ねると、配線材接続部17の厚みが局部的に減少する場合もあるが、上記製造工程によれば、この局部的な厚みの減少についても抑制できる。
また、複数のめっき端子部14が、受光面上の一部に偏ることなく、受光面の端縁部上に対称性良く設けられる。これにより、めっき電極を迅速に形成できると共に、各めっき電極の厚みが均等になり易い。
さらに、めっき端子部14とフィンガー部31との間に隙間を設けることで、電源装置の電極をめっき端子部14から取り外すときに、フィンガー部31が剥離することを防止できる。つまり、電源装置の電極を取り外すときには、めっき端子部14の金属めっき層の一部が電極にくっついて剥離することが想定されるが、この剥離に起因してフィンガー部31が剥離することはない。
次に、太陽電池10の変形例を図6及び図7に示す。
図6に示す形態では、めっき端子部14に最も近接する第1フィンガー部32exの幅が、他の第1フィンガー部32、第2フィンガー部33,33eの幅よりも太くなっている。めっき端子部14に近い領域では、通常、金属めっきの堆積量が多くなるが、第1フィンガー用開口の幅を太くすることで第1フィンガー部32exの厚みを低減できる。第1フィンガー部32exの厚みは、例えば、他の第1フィンガー部32、第2フィンガー部33,33eの厚みと略同等である。
図6に示す形態は、第1フィンガー部32exに対応する第1フィンガー用開口の幅を、他の第1フィンガー用開口の幅よりも太くすることで形成される。即ち、マスク形成工程において、端子用開口に最も近接する第1フィンガー用開口の幅が、他の第1フィンガー用開口の幅よりも太くなるようにパターニングしたコーティング層15xを形成する。
図7に示す形態では、めっき端子部14の近傍に形成された第1フィンガー部32yの幅が、めっき端子部14に近づくほど太くなっている。つまり、めっき端子部14に最も近接する第1フィンガー部32eyの幅が最も太く、第1フィンガー部32eyから離れるほど細くなる。例えば、めっき端子部14から数えて10本目まで、又は5本目までの第1フィンガー部32yの幅をめっき端子部14に近づくほど太くする。そして、めっき端子部14からの距離が遠い第1フィンガー部(例えば、めっき端子部14から数えて11本目の第1フィンガー部)は、隣り合う第1フィンガー部(例えば、めっき端子部14から数えて12本目の第1フィンガー部)との間で略同等の幅に設定できる。
図7に示す形態は、端子用開口の近傍に位置する第1フィンガー用開口の幅を、端子用開口に近づくほど太くなるようにパターニングしたコーティング層15yを用いて形成される。一方、全ての第1フィンガー部について、めっき端子部14からの距離が近くなるほど、その幅を太くしてもよい。また、第2フィンガー部33,33eの幅を、めっき端子部14からの距離に応じて変更してもよい。
図6及び図7に示す形態によれば、めっき端子部14からの距離に応じて電極用開口の幅を変更することで、各めっき電極の厚みをより均等化し易くなる。このため、配線材接続部17の凹凸をさらに抑制できる。
次に、図8〜図13を参照し、第2〜第6の実施形態である太陽電池50〜90の構成について詳説する。
ここでは、第1の実施形態とこれから説明する実施形態との相違点について詳説する。また、第1の実施形態とこれから説明する実施形態と同様の構成要素には同一の符号を付して重複する説明を省略する。また、太陽電池50〜90では、太陽電池10と同様に、受光面電極のフィンガー部、及びバスバー部が、太陽電池10と同様の電極形成工程を経て形成されるめっき電極である。
図8は、第2の実施形態である太陽電池50を受光面側から見た平面図である。
太陽電池50では、めっき端子部51が、第1フィンガー部52nに近接して同一直線上に設けられている。第1フィンガー部52nは、バスバー部34から受光面の端縁側に延びる複数の第1フィンガー部52のうち、列の最端の第1フィンガー部52eと、列の中央の第1フィンガー部52cとの間に配置されている。より詳しくは、第1フィンガー部52nは、第1フィンガー部52eと第1フィンガー部52cとの真ん中よりも、第1フィンガー部52e寄りに配置されている。つまり、受光面の端から1辺の長さの1/4程度の範囲内に、めっき端子部51が設けられている。なお、4つのめっき端子部51は、めっき端子部14と同様に、中心Pからの距離が略同等で、端縁部に沿っためっき端子部51同士の間隔が略同等となる位置に設けられている。太陽電池50によれば、例えば、受光面の端と、受光面の中央とに流れる電流量を略同等とすることができ、各めっき電極の厚みを均等化し易い。
図9は、第3の実施形態である太陽電池60を受光面側から見た平面図である。
太陽電池60は、第1フィンガー部52n上に、めっき端子部61が設けられた形態である。つまり、めっき端子部61は、第1フィンガー部52nの一部を構成している。このため、めっき端子部61の金属めっきにより収集されたキャリアを、第1フィンガー部52nを通して回収できる。太陽電池60は、例えば、第1フィンガー部52nに対応する第1フィンガー開口に重なって形成された端子用開口を有するマスクパターンを用いて製造できる。
図10は、第4の実施形態である太陽電池70を受光面側から見た平面図であり、図11は、図10のD部拡大図である。
太陽電池70では、2本のバスバー部34を繋ぐ複数の第2フィンガー部72のうち、その列の最端に配置された第2フィンガー部72eと同一直線上に、2つのめっき端子部71が設けられている。第2フィンガー部72eは、めっき端子部71の周囲に形成された環状の隙間である環状部74を囲んで形成されている。これにより、第2フィンガー部72eのうち、2つのめっき端子部71の間にある部分が、2本のバスバー部34から延びた部分と繋がり、各めっき端子部71の間の領域からキャリアを回収できる。この構造は、例えば、第2フィンガー部72eに対応する第2フィンガー用開口と、めっき端子部71に対応する端子用開口とが重なり、2つの開口を隔てる環状部74を有するように、コーティング層73をパターニングすることで形成できる。
図12は、第5の実施形態である太陽電池80を受光面側から見た平面図である。
太陽電池80は、太陽電池10に設けられた4つのめっき端子部14に加えて、受光面の中心Pに5つ目のめっき端子部81を設けた形態である。めっき端子部81は、第2フィンガー部82cと同一直線上に設けられている。第2フィンガー部82cは、環状部74を介してめっき端子部81の周囲を囲んで形成されている。
図13は、第6の実施形態である太陽電池90を受光面側から見た平面図である。
太陽電池90は、第1フィンガー部92eに近接して、めっき端子部91が設けられた形態であるが、めっき端子部91と第1フィンガー部92eとは同一直線上に位置していない。めっき端子部91は、第1フィンガー部92eと、その隣に配置された第1フィンガー部92nとの間に設けられている。
なお、上記各実施形態は、発明の目的を損なわない範囲で適宜設計変更できる。
例えば、上記各実施形態を組み合わせた形態としてもよい。具体的には、第1実施形態のめっき端子部14を、第2実施形態のように、第1フィンガー部32e上に形成した形態としてもよい。或いは、第2〜第6の実施形態において、めっき端子部からの距離に応じてフィンガー開口の幅を変更することで、めっき端子部に近づくほど、フィンガー部の幅を太くしてもよい。
また、上記では、受光面電極が、フィンガー部と、バスバー部とを含んで構成されるものとして説明したが、バスバー部を設けない形態としてもよい。この場合、フィンガー部に配線材が接続されるため、めっき端子部は、フィンガー部の配線材接続部から離間した位置に形成される。
また、上記では、4つ以上のめっき端子部が設けられた形態を例示したが、めっき端子部の数は、特に限定されず、例えば、2つでもよい。この場合、一方のめっき端子部と、他方のめっき端子部とが、いずれも受光面の中心からの距離を略同等として、且つ当該中心を通る同一直線上に設けられることが好適である。
10 太陽電池、11 光電変換部、12 受光面電極、13 裏面電極、14 めっき端子部、15 コーティング層、16 配線材、17 配線材接続部、18 端子用開口、20 半導体基板、21,22 非晶質半導体層、30,40 透明導電層、31,31c,31e フィンガー部、32,32c,32e 第1フィンガー部、33,33c,33e 第2フィンガー部、34,42 バスバー部、35 フィンガー用開口、36 第1フィンガー用開口、37 第2フィンガー用開口、38 バスバー用開口、41 金属層、74 環状部、P 受光面の中心。

Claims (13)

  1. 光電変換部と、
    前記光電変換部の主面上に設けられためっき端子部と、
    前記めっき端子部を用いた電解めっきにより前記主面上に形成されためっき電極と、
    を備え、
    前記めっき電極は、配線材が接続される配線材接続部を含み、
    前記めっき端子部は、前記主面上において、前記配線材接続部から離間した位置に設けられた太陽電池。
  2. 請求項1に記載の太陽電池であって、
    前記めっき端子部は、第1めっき端子部と、第2めっき端子部と、を含み、
    前記第1めっき端子部と前記第2めっき端子部とは、前記主面の中心からの距離が同等であり、且つ前記中心を通る同一直線上に設けられた太陽電池。
  3. 請求項1又は2に記載の太陽電池であって、
    前記めっき端子部は、前記主面の端縁部上に4つ以上設けられ、
    前記めっき端子部の各々は、前記主面の中心からの距離が同等であり、且つ前記端縁部に沿って隣に位置する前記めっき端子部同士の間隔が同等である太陽電池。
  4. 請求項1〜3のいずれか1項に記載の太陽電池であって、
    前記めっき電極は、複数のフィンガー部と、前記フィンガー部に交差して形成され前記配線材接続部を含むバスバー部と、を含み、
    前記めっき端子部は、前記フィンガー部上に、又は前記フィンガー部に近接した位置に、設けられた太陽電池。
  5. 請求項4に記載の太陽電池であって、
    前記めっき端子部は、複数の前記フィンガー部のうち、前記バスバー部の長手方向の端部から前記バスバー部の長さの略1/4の範囲内に接続される前記フィンガー部上に、又は当該フィンガー部に近接した位置に、設けられた太陽電池。
  6. 請求項4に記載の太陽電池であって、
    前記めっき端子部が設けられた前記フィンガー部の幅、又は前記めっき端子部に最も近接する前記フィンガー部の幅は、他の前記フィンガー部の幅よりも太い太陽電池。
  7. 請求項6に記載の太陽電池であって、
    前記めっき端子部の近傍に形成された前記フィンガー部の幅は、前記めっき端子部に近づくほど太くなる太陽電池。
  8. 請求項1〜3のいずれか1項に記載の太陽電池であって、
    前記主面上の前記めっき端子部が設けられた領域及び前記めっき電極が形成された領域を除く全域にコーティング層が形成された太陽電池。
  9. 請求項8に記載の太陽電池であって、
    前記コーティング層は、前記主面上の前記めっき端子部の周囲に環状に形成され、
    環状に形成された前記コーティング層の周囲に前記めっき電極が形成された太陽電池。
  10. 電解めっきにより光電変換部の主面上にめっき電極を形成する電極形成工程を備え、
    前記電極形成工程では、前記主面上において、前記めっき電極の配線材接続部となる領域から離間した位置をめっき端子部として前記電解めっきを行う太陽電池の製造方法。
  11. 請求項10に記載の太陽電池の製造方法であって、
    前記電極形成工程は、
    前記主面上に透明導電層を形成する工程と、
    前記透明導電層上にマスクを形成するマスク形成工程と、
    前記電解めっきにより、前記マスクが形成された前記透明導電層上に前記めっき電極を形成する工程と、
    を含み、
    前記マスク形成工程では、
    前記透明導電層上のフィンガー部を形成する領域を露出させるフィンガー用開口と、前記透明導電層上のバスバー部を形成する領域を露出させるバスバー用開口とを有し、且つ前記フィンガー用開口と重なって形成される前記端子用開口、又は前記フィンガー用開口に近接して形成される前記端子用開口を有するようにパターニングした前記マスクを形成する太陽電池の製造方法。
  12. 請求項11に記載の太陽電池の製造方法であって、
    前記マスク形成工程では、前記端子用開口と重なる前記フィンガー用開口の幅、又は前記端子用開口に最も近接する前記フィンガー用開口の幅が、他の前記フィンガー用開口の幅よりも太くなるようにパターニングした前記マスクを形成する太陽電池の製造方法。
  13. 請求項11に記載の太陽電池の製造方法であって、
    前記マスク形成工程では、前記端子用開口の近傍に位置する前記フィンガー用開口の幅が、前記端子用開口に近づくほど太くなるようにパターニングした前記マスクを形成する太陽電池の製造方法。
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