JPWO2012073286A1 - 電子部品分類装置 - Google Patents
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Abstract
Description
(1)構成
[全体の配置]
本実施形態の全体構成は次の通りである。すなわち、図1に示すように、ウェハ収納カセット11、12が2台、ウェハ保持ステージ31〜33、旋回アーム51〜53、センシング機構91〜93が各3台、再配列ステージ6が1台配置され、さらに、再配列プレート交換機構14と、再配列プレート回収カセット15が設けられている。
[ウェハ収納カセット]
ウェハ収納カセット11、12は、複数のウェハシート2を多段に収納するする部分である。
図2に示すように、ウェハ保持ステージ31(32、33)は、ウェハシート2を水平に保持する部分であって、ウェハシート2をX軸、Y軸、θ軸の3方向に移動させるウェハ駆動機構71(72、73)が付設されている。ウェハ駆動機構71(72、73)は、ウェハ保持ステージ31(32、33)上のウェハシート2をX軸、Y軸、θ軸の3方向に移動させる。
図2に示すように、旋回アーム51(52、53)は、先端部に吸着ノズル4及びノズル駆動機構41が取り付けられている。旋回アーム51(52、53)は、吸着ノズル4がピックアップポイントA1〜A3及び貼り付けポイントBの上方に達するように往復旋回し、且つ各ポイントA1〜A3、Bにて旋回動作を停止するようになっている。
図1に示すように、センシング機構91〜93は、旋回アーム51〜53が一旦停止する位置で且つ吸着ノズル4の下方に配置されている。すなわち、センシング機構91〜93は、旋回アーム51〜53の旋回軌道上であって、再配列ステージ6に近接して配置されている。
図3に示すように、再配列ステージ6は、再配列ステージ6をX軸及びY軸方向に移動自在な可動ステージであって、再配列プレート駆動機構61が付設されている。本実施形態では、再配列プレート駆動機構61により再配列ステージ6をピッチ移動させ、再配列プレート10の貼り付け対象スペースを、予め決められた貼り付けポイントBに位置させるようになっている。
図1、図3に示す再配列プレート交換機構14は、2つの再配列ステージ6を切り替えるために、再配列ステージ6をX軸及びY軸方向に独立して移動させる機構である。再配列プレート交換機構14において、再配列ステージ6のX軸及びY軸方向の移動は、ピッチ移動といった小さな移動ではなく、図6に示すような大きな移動ストロークを取る。なお、図6では図中上方が前進方向、下方が後退方向とする。
図1に示すように、再配列プレート回収カセット15は、再配列プレート交換機構14とは独立して、その後方に配置されている。再配列プレート回収カセット15は、再配列プレート交換機構14からLEDチップ1の貼り付けが完了した再配列プレート10を回収するものである。
以上のような構成を有する本実施形態の動作について、図1、図4〜図6を参照して説明する。図4は本実施形態の動作の説明図、図5は旋回アーム51〜53の動作順序を示す説明図、図6は再配列プレート交換機構14の動作順序を示す平面図である。
図4に示すように、まず、ウェハ収納カセット11、12からウェハシート2をウェハ保持ステージ31〜33に供給し、再配列プレート10を再配列ステージ6に供給し、載置しておく。この時、旋回アーム51〜53は、吸着ノズル4がピックアップポイントA1〜A3上方に位置した位置で待機している。
続いて、ウェハ保持ステージ31〜33では、ウェハシート2の初期位置決めを行う。ウェハシート2の初期位置決めは、ピックアップ側の画像処理機構81〜83が、ウェハシート2上のLEDチップ1の画像の撮り込み、撮り込んだLEDチップ1の画像を基準にして平行(θ)を出し、ウェハ駆動機構71〜73が前記θの角度分だけウェハ保持ステージ31〜33を振ることで実施する。
上記の状態から、旋回アーム51〜53の吸着ノズル4がピックアップ動作を開始する。なお、下記の各動作の所要時間は一例であって、その設定は各部の動作速度を変更すれば、それに伴って適宜決定される。
ところで、旋回アーム51〜53の旋回動作が停止しているので、吸着ノズル4下方のセンシング機構91〜93は、停止中の吸着ノズル4に吸着されたLEDチップ1の画像を容易に撮り込むことができる。
続いて、ノズル駆動機構41により、吸着ノズル4が貼り付けポイントBまで下降し、LEDチップ1の吸着を解除することにより、再配列プレート10の貼り付け対象スペースにLEDチップ1を貼り付ける。その後、吸着ノズル4はノズル駆動機構41により貼り付けポイントBから上昇する。
吸着ノズル4がLEDチップ1に対するピックアップ動作を開始してから、旋回アーム51〜53の旋回動作における所要時間に関してまとめると、最初に旋回動作を始める旋回アーム51において、吸着ノズル4がピックアップ動作を開始してから、貼り付け動作を終えるまでには、225msかかる(75ms+110ms+40ms)。
1枚の再配列プレート10において、LEDチップ1の貼り付け処理が済むと、再配列プレート交換機構14が2つの再配列ステージ6を切り替える。なお、図6では図中上方が前進方向、下方が後退方向となる。
再配列済みプレート10Aが回収位置14bにある時、再配列プレート回収カセット15がこれを回収する。再配列プレート回収カセット15は再配列プレート交換機構14とは独立して設けられているので、旋回アーム51〜53の旋回動作や、吸着ノズル4による貼り付け動作とは無関係に、再配列済みプレート10Aを確実に回収可能である。
一方、1枚のウェハシート2において、LEDチップ1のピックアップが完了すると、ウェハ収納カセット11、12はウェハ保持ステージ31〜33からウェハシート2を回収して、新しいウェハシート2をウェハ保持ステージ31〜33へ供給する。
以上のような本実施形態によれば、3台の旋回アーム51〜53によりLEDチップ1を順次搬送することで、LEDチップ1の搬送量を3倍に増やすことができる。
なお、本発明は、上記の実施形態に限定されるものではなく、各部材の構成や配置箇所、配置数などは適宜選択可能であり、例えば、図7に示すように、上記実施形態において、ウェハ保持ステージ31〜33に対応してウェハ収納カセット11〜13が3台あってもよい。また、旋回アーム51〜53の長さをそれぞれ変えることで、レイアウトの自由度を高めることが可能である。さらに、電子部品の搬送手段としては、上記のような旋回アーム51〜53に限らず、電子部品を直線的に搬送する方式であってもよく、搬送距離も適宜変更可能である。
2…ウェハシート
3、31〜33…ウェハ保持ステージ
4…吸着ノズル
41…ノズル駆動機構
5、51〜53…旋回アーム
6…再配列ステージ
61…再配列プレート駆動機構
62…画像処理機構(プレース側)
71〜73…ウェハ駆動機構
81〜83…画像処理機構(ピックアップ側)
91〜93…センシング機構
10…再配列プレート
10A…再配列済みプレート
10B…新プレート
11、12…ウェハ収納カセット
14…再配列プレート交換機構
15…再配列プレート回収カセット
A、A1〜A3…ピックアップポイント
B…貼り付けポイント
Claims (8)
- 未分類状態の電子部品が複数配列されたウェハシート上から、所定の分類情報に基づいて前記電子部品をピックアップし、ピックアップした前記電子部品を再配列プレート上に貼り付ける電子部品分類装置において、
前記電子部品を前記ウェハシートから前記再配列プレートまで搬送する搬送手段を複数配置し、複数の前記搬送手段によって前記電子部品を順次搬送するように構成したことを特徴とする電子部品分類装置。 - 前記搬送手段は、電子部品の搬送途中における再配列プレートの直前にて、搬送動作を一旦停止し、別の前記搬送手段が前記再配列プレートから退避した直後に停止した搬送動作を再開するように構成したことを特徴とする請求項1に記載の電子部品分類装置。
- 前記搬送手段による前記電子部品の搬送途中で電子部品の有無を含めてその姿勢情報を取得するセンシング手段と、
前記電子部品を前記再配列プレートに貼り付ける際に前記再配列プレートを所望の位置に移動させる再配列プレート駆動手段とを備え、
前記再配列プレート駆動手段は、前記センシング手段から得た情報に基づいて前記再配列プレートを所望の位置に移動させるように構成したことを特徴とする請求項1又は2に記載の電子部品分類装置。 - 前記ウェハシートを別のウェハシートに交換するウェハシート交換手段を複数設け、
前記ウェハ交換手段は、他のウェハ交換手段とはタイミングをずらしてウェハシートの交換作業を行うように構成したことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の電子部品分類装置。 - 前記ウェハシートを保持するウェハ保持手段を複数備え、
前記ウェハシート交換手段は、複数の前記ウェハ保持手段に対して前記ウェハシートの交換作業を行うように構成したことを特徴とする請求項4に記載の電子部品分類装置。 - 再配列プレートを交換させる再配列プレート交換手段と、
前記再配列プレート交換手段の交換した再配列プレートのうち前記電子部品の再配列作業の終了した再配列プレートを回収する再配列プレート回収手段とを設けたことを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の電子部品分類装置。 - 前記ウェハシート上の前記電子部品に関して、その配列情報を予めデータ化しておき、
前記ウェハシートを所定の方向に移動させるウェハ駆動機構が付設されたウェハ保持手段が設けられ、
前記ウェハ保持手段に近接して前記ウェハシート上の前記電子部品の画像を撮り込む画像処理機構が設置され、
前記ウェハ駆動機構の動作が停止して前記ウェハ保持手段の稼働が停止状態にある時、前記画像処理機構は、前記ウェハシート上の前記電子部品の配列情報を撮り込み、撮り込んだ前記電子部品の配列情報と、予めデータ化しておいた既知の配列情報とを比較して、実際の前記電子部品の配列状態を把握するように構成されたことを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の電子部品分類装置。 - 前記ウェハ保持手段が複数設けられ、
少なくとも1台の前記ウェハ保持手段の稼働が停止状態にあって前記画像処理機構が前記ウェハシート上の前記電子部品の配列情報を撮り込んで実際の前記電子部品の配列状態を把握する時、少なくとも他の一台の前記ウェハ保持手段は、稼働を継続するように構成されたことを特徴とする請求項7に記載の電子部品分類装置。
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