JPWO2009081522A1 - Test equipment and measuring equipment - Google Patents
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Abstract
被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスを載置するパフォーマンスボードと、パフォーマンスボードの外部に設けられ、被試験デバイスに印加される印加電圧をセンス配線を介して受け取り、受け取った印加電圧に基づいて被試験デバイスに与える電源電圧を調整する電源ユニットと、印加電圧を、電源ユニットの内部においてセンス配線を介して受け取り、受け取った印加電圧の電圧値を測定する電圧レベル測定部と、電圧レベル測定部における測定結果に基づいて、被試験デバイスの良否を判定する判定部とを備える試験装置を提供する。A test apparatus for testing a device under test, which is a performance board on which the device under test is placed and a voltage applied to the device under test that is provided outside the performance board and receives the received voltage via a sense wiring. A power supply unit that adjusts the power supply voltage applied to the device under test based on the applied voltage, a voltage level measuring unit that receives the applied voltage via a sense wiring inside the power supply unit, and measures the voltage value of the received applied voltage; A test apparatus is provided that includes a determination unit that determines pass / fail of a device under test based on a measurement result in a voltage level measurement unit.
Description
本発明は、試験装置および測定装置に関する。本出願は、下記の日本出願に関連し、下記の日本出願からの優先権を主張する出願である。文献の参照による組み込みが認められる指定国については、下記の出願に記載された内容を参照により本出願に組み込み、本出願の一部とする。
1.特願2007−331107 出願日 2007年12月21日The present invention relates to a test apparatus and a measurement apparatus. This application is related to the following Japanese application and claims priority from the following Japanese application. For designated countries where incorporation by reference of documents is permitted, the contents described in the following application are incorporated into this application by reference and made a part of this application.
1. Japanese Patent Application No. 2007-331107 Application Date December 21, 2007
IC、LSI、あるいはメモリ等の被試験デバイスの端子に対して電圧を与えたときに、当該端子に予定している電流が流れるか否かを測定することのできる試験装置が知られている(例えば特許文献1を参照)。
このような試験装置において、例えば被試験デバイスの電源電圧を測定する場合には、電源ユニットに加え、電圧測定ユニットを試験装置に実装する必要があった。
そこで本発明の1つの側面においては、上記の課題を解決することのできる試験装置および測定装置を提供することを目的とする。この目的は請求の範囲における独立項に記載の特徴の組み合わせにより達成される。また従属項は本発明の更なる有利な具体例を規定する。In such a test apparatus, for example, when measuring the power supply voltage of a device under test, it is necessary to mount a voltage measurement unit in the test apparatus in addition to the power supply unit.
Accordingly, an object of one aspect of the present invention is to provide a test apparatus and a measurement apparatus that can solve the above-described problems. This object is achieved by a combination of features described in the independent claims. The dependent claims define further advantageous specific examples of the present invention.
本発明の第1の態様によると、被試験デバイスを試験する試験装置であって、被試験デバイスを載置するパフォーマンスボードと、パフォーマンスボードの外部に設けられ、被試験デバイスに印加される印加電圧をセンス配線を介して受け取り、受け取った印加電圧に基づいて被試験デバイスに与える電源電圧を調整する電源ユニットと、印加電圧を、電源ユニットの内部においてセンス配線を介して受け取り、受け取った印加電圧の電圧値を測定する電圧レベル測定部と、電圧レベル測定部における測定結果に基づいて、被試験デバイスの良否を判定する判定部とを備える試験装置を提供する。 According to the first aspect of the present invention, there is provided a test apparatus for testing a device under test, a performance board on which the device under test is placed, and an applied voltage that is provided outside the performance board and applied to the device under test. A power supply unit that adjusts the power supply voltage applied to the device under test based on the received applied voltage, and the applied voltage is received via the sense wiring inside the power supply unit. A test apparatus is provided that includes a voltage level measurement unit that measures a voltage value, and a determination unit that determines the quality of a device under test based on a measurement result in the voltage level measurement unit.
なお、上記の発明の概要は、本発明の必要な特徴の全てを列挙したものではなく、これらの特徴群のサブコンビネーションもまた、発明となりうる。 The above summary of the invention does not enumerate all the necessary features of the present invention, and sub-combinations of these feature groups can also be the invention.
10 試験装置
20 装置本体
30 パフォーマンスボード
40 ケーブル
42 シールド
50 電源ユニット
100 電源基板
110 バッファ
120 電圧生成部
122 電圧発生器
124 反転増幅器
126 電流バッファ
130 測定切替部
131、132、133 端子
140 電圧レベル測定部
200 電流検出部
202 電流検出用抵抗
204 差動回路
300 判定部
401 フォース配線
402 センス配線
411、412 スイッチ
450−1〜450−n 信号線
500−1〜500−n 試験ユニット
800 被試験デバイス
810、811、812 端子DESCRIPTION OF
図1は、本発明の実施形態に係る試験装置10の回路構成を示す。図1に示すように、試験装置10は、被試験デバイス800を試験するための装置であり、装置本体20と、パフォーマンスボード30とを備える。
FIG. 1 shows a circuit configuration of a
装置本体20には、電源基板100および判定部300を有する電源ユニット50と、複数の試験ユニット500−1〜500−nとが設けられる。パフォーマンスボード30には、被試験デバイス800が載置されている。装置本体20とパフォーマンスボード30とは、ケーブル40および複数の信号線450−1〜450−nにより電気的に接続されている。
The apparatus
ケーブル40は、フォース配線401およびセンス配線402と、当該フォース配線401およびセンス配線402の周囲に設けられたシールド42とを有する。フォース配線401およびセンス配線402は、それぞれの一端が被試験デバイス800の端子810に電気的に接続されており、それぞれの他端が電源ユニット50に電気的に接続されている。また、フォース配線401およびセンス配線402の装置本体20側の部分には、それぞれスイッチ411、412が設けられている。これらスイッチ411、412は、電源ユニット50を使用しないときに当該電源ユニット50と被試験デバイス800とを電気的に遮断し、電源ユニット50を使用するときに当該電源ユニット50と被試験デバイス800とを電気的に接続する。
The
一方、複数の信号線450−1〜450−nは、それぞれの一端が被試験デバイス800の端子810とは異なる端子に電気的に接続されており、それぞれの他端が複数の試験ユニット500−1〜500−nにおける対応する試験ユニットに電気的に接続されている。本例では、信号線450−1の両端がそれぞれ被試験デバイス800の端子811および試験ユニット500−1と電気的に接続されており、信号線450−nの両端がそれぞれ被試験デバイス800の端子812および試験ユニット500−nと電気的に接続されている。
On the other hand, one end of each of the signal lines 450-1 to 450-n is electrically connected to a terminal different from the
電源ユニット50は、被試験デバイス800の端子810に対してフォース配線401を介して電源電圧を与えるとともに、被試験デバイス800の当該端子810に印加される印加電圧をセンス配線402を介して受け取り、受け取った印加電圧に基づいて電源電圧を調整する機能を有する。
The
電源基板100の基板上には、電圧生成部120、測定切替部130、電圧レベル測定部140、および電流検出部200が形成される。フォース配線401の上記他端は、電圧生成部120の出力端子に接続されており、センス配線402の上記他端は、バッファ110の非反転入力端子に接続されている。
On the substrate of the
電圧生成部120は、バッファ110、電圧発生器122、反転増幅器124、および、電流バッファ126を有する。電圧発生器122は、抵抗を介して反転増幅器124の反転入力端子に接続されており、所定の大きさの電圧を出力する。
The
バッファ110は、その出力端子と反転入力端子とが負帰還接続されている。また、バッファ110の出力端子は、抵抗を介して反転増幅器124の反転入力端子と接続されており、さらに、当該出力端子は、測定切替部130を介して電圧レベル測定部140の入力端にも接続されている。バッファ110は、被試験デバイス800の端子810に印加されている印加電圧をセンス配線402を介して受け取ると、受け取った当該印加電圧に応じた調整用電圧を反転増幅器124に出力する。本例において、バッファ110は、ボルテージフォロア回路であり、受け取った印加電圧と略等しい大きさの調整用電圧を反転増幅器124に出力する。
The
反転増幅器124は、反転入力端子がバッファ110の出力端子、および電圧発生器122とそれぞれ抵抗を介して接続されており、非反転入力端子が接地されている。この反転増幅器124は、電圧発生器122が出力する電圧を所定の増幅率で反転増幅した電圧を電源電圧として出力する。この電源電圧は、被試験デバイス800の端子810に印加すべき電圧(印加電圧)に対応する大きさに設定される。
The inverting
反転増幅器124は、印加電圧の大きさが変動することによりバッファ110が出力する調整用電圧の大きさが変動すると、その変動を緩和するべく被試験デバイス800に与える電源電圧の大きさを調整する。例えば、上記調整用電圧が小さくなる方向に変動すると、反転増幅器124は、電源電圧の大きさを大きくする。また、上記調整用電圧が大きくなる方向に変動すると、反転増幅器124は、電源電圧の大きさを小さくする。
When the magnitude of the adjustment voltage output from the
反転増幅器124の出力端子と端子810との間には、本例のように電流バッファ126がさらに設けられてもよい。この電流バッファ126は、反転増幅器124からの電源電圧の大きさに応じた電源電流を被試験デバイス800の端子810に流す。
A
電流検出部200は、電流バッファ126と端子810との間に設けられる。この電流検出部200は、フォース配線401を伝送する電源電流の電流値を検出するとともに、その検出結果に応じた信号を出力する。電流検出部200の具体的な構成については、下記にて別途詳述する。
The
測定切替部130は、端子131、132、133を有し、端子131および端子132の間を接続した状態と、端子131および端子133の間を接続した状態とを切り替えることができる。本例において、測定切替部130は、電源ユニット50が被試験デバイス800の端子810に印加されている印加電圧を測定する場合と、被試験デバイス800の端子810に流れる電源電流を測定する場合とに応じて、端子131および端子132の間を接続した状態と、端子131および端子133の間を接続した状態とを切り替える。例えば、電源ユニット50が上記印加電圧を測定する場合、測定切替部130は、端子131および端子132の間を接続した状態に切り替える。これにより、電圧レベル測定部140の入力端にバッファ110の出力端が接続され、上記調整用電圧がバッファ110から電圧レベル測定部140に入力される。
The measurement switching unit 130 includes
一方、電源ユニット50が上記電源電流を測定する場合、測定切替部130は、端子131および端子133の間を接続した状態に切り替える。これにより、電圧レベル測定部140の入力端が電流検出部200の出力端が接続され、当該電流検出部200から出力される上記信号が電圧レベル測定部140に入力される。電圧レベル測定部140は、測定切替部130が端子131および端子132の間を接続した状態に切り替えているときはバッファ110からの調整用電圧を測定し、測定切替部130が端子131および端子133の間を接続した状態に切り替えているときは差動回路204からの信号を測定する。
On the other hand, when the
なお、測定切替部130は、例えば所定の期間毎に、端子131および端子132の間を接続した状態と、端子131および端子133の間を接続した状態とを交互に切り替えてもよい。この場合、電圧レベル測定部140は、所定の期間毎にバッファ110からの調整用電圧および差動回路204からの信号を交互に測定することができる。電圧レベル測定部140は、バッファ110からの調整用電圧および差動回路204からの信号の各々の測定結果を判定部300に出力する。
Note that the measurement switching unit 130 may alternately switch between a state in which the
判定部300は、電圧レベル測定部140からの上記測定結果に基づいて、被試験デバイス800の良否を判定する。例えば、判定部300は、反転増幅器124が電源電圧の出力中に電圧レベル測定部140からの上記測定結果の検出する。そして、判定部300は、上記測定結果に基づいて被試験デバイス800の端子810に印加されている印加電圧および当該端子810に流れる電源電流を算出する。
The
そして、判定部300は、算出した電源電流が、予め定められた範囲よりも大きいまたは小さい状態が予め定められた時間幅よりも長い間続いた場合は、被試験デバイス800を不良と判定し、上記調整用電圧が当該時間幅よりも短い間に予め定められた範囲内の値となった場合は、被試験デバイス800を良と判定する。
Then, the
また、判定部300は、算出した印加電圧が予め定められた範囲よりも大きいまたは小さい状態が予め定められた時間幅よりも長い間続いた場合は、電源ユニット50による被試験デバイス800への電圧の印加が失敗したと判定し、あるいは被試験デバイス800を不良と判定し、算出した印加電圧が当該時間幅よりも短い間に予め定められた範囲内の値となった場合は、被試験デバイス800への当該電圧の印加が成功したと判定し、あるいは被試験デバイス800を良と判定する。なお、判定部300は、判定結果をデータとして記憶し、また、ディスプレイ等の表示部に表示させてもよい。
In addition, the
図2は、電流検出部200の回路構成の一例を示す。電流検出部200は、電流バッファ126と被試験デバイス800の端子810との間のフォース配線401上に設けられる電流検出用抵抗202と、差動回路204とを有する。差動回路204は、差動入力端子の各々が電流検出用抵抗202の両端の一方に接続されており、出力端子が測定切替部130を介して電圧レベル測定部140の入力端に接続されている。差動回路204は、電流検出用抵抗202の両端の電位差を検出し、その電位差に応じた信号を電圧レベル測定部140へと出力する。
FIG. 2 shows an example of the circuit configuration of the
以上において試験装置10について説明したが、本例において、電圧レベル測定部140は、被試験デバイス800の端子810に印加されている印加電圧をセンス配線402を介して直接受け取り、その測定結果を判定部300へ出力してもよい。この場合、判定部300は、電圧レベル測定部140から受け取った印加電圧に基づいて、被試験デバイス800の良否を判定する。また、電圧レベル測定部140は、被試験デバイス800の論理回路の動作を停止させて静止状態で差動回路204からの信号を測定してよい。この場合、判定部300は、電圧レベル測定部140から受け取った当該信号の測定結果に基づいて、上記論理状態における電源電流、すなわち静止(quiescent)電流(IDDQ)を算出し、算出した当該静止電流に基づいて被試験デバイス800の良否を判定する。
Although the
本実施形態の他の例として、判定部300が電圧レベル測定部140および電圧生成部120とともに電源基板100に一体に設けられてもよい。また、さらに他の例として、電圧レベル測定部140が電源ユニット50の内部において電源基板100と別個に設けられてもよい。また、さらに他の例として、電圧レベル測定部140は、電源ユニット50の外部に設けられてもよい。
As another example of the present embodiment, the
このように、本実施形態の試験装置10は、被試験デバイス800の端子810に印加されている印加電圧を測定する電圧レベル測定部140が電圧生成部120とともに電源基板100に一体に設けられた電源ユニット50を備えているので、当該印加電圧を測定するために被試験デバイス800の端子810に専用の測定装置を別途接続することなく印加電圧を測定することができる。また、電源ユニット50は、電流検出部200および電圧レベル測定部140により、被試験デバイス800の端子810に流れる電源電流を測定することもできるので、当該電源電流を測定するために当該端子810に専用の測定装置を別途接続することなく電源電流を測定することができる。
As described above, in the
以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されない。上記実施の形態に、多様な変更または改良を加えることが可能であることが当業者に明らかである。その様な変更または改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、請求の範囲の記載から明らかである。 As mentioned above, although this invention was demonstrated using embodiment, the technical scope of this invention is not limited to the range as described in the said embodiment. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications or improvements can be added to the above-described embodiment. It is apparent from the scope of the claims that the embodiments added with such changes or improvements can be included in the technical scope of the present invention.
請求の範囲、明細書、および図面中において示した装置、システム、プログラム、および方法における動作、手順、ステップ、および段階等の各処理の実行順序は、特段「より前に」、「先立って」等と明示しておらず、また、前の処理の出力を後の処理で用いるのでない限り、任意の順序で実現しうることに留意すべきである。請求の範囲、明細書、および図面中の動作フローに関して、便宜上「まず、」、「次に、」等を用いて説明したとしても、この順で実施することが必須であることを意味するものではない。 The execution order of each process such as operations, procedures, steps, and stages in the apparatus, system, program, and method shown in the claims, the description, and the drawings is particularly “before” or “prior”. It should be noted that they can be implemented in any order unless the output of the previous process is used in the subsequent process. Regarding the operation flow in the claims, the description, and the drawings, even if it is described using “first”, “next”, etc. for the sake of convenience, it means that it is essential to carry out in this order. is not.
Claims (8)
前記被試験デバイスを載置するパフォーマンスボードと、
前記パフォーマンスボードの外部に設けられ、前記被試験デバイスに印加される印加電圧をセンス配線を介して受け取り、受け取った前記印加電圧に基づいて出力する電源電圧を調整する電源ユニットと、
前記印加電圧を前記センス配線を介して受け取り、受け取った前記印加電圧の電圧値を測定する電圧レベル測定部と、
前記電圧レベル測定部における測定結果に基づいて、前記被試験デバイスの良否を判定する判定部と
を備える試験装置。A test apparatus for testing a device under test,
A performance board on which the device under test is placed;
A power supply unit that is provided outside the performance board, receives an applied voltage applied to the device under test via a sense wiring, and adjusts a power supply voltage to be output based on the received applied voltage;
A voltage level measuring unit that receives the applied voltage via the sense wiring and measures a voltage value of the received applied voltage;
A test apparatus comprising: a determination unit that determines pass / fail of the device under test based on a measurement result in the voltage level measurement unit.
前記センス配線を介して前記印加電圧を受け取り、受け取った前記印加電圧に応じた調整用電圧を出力するバッファと、
前記調整用電圧に応じた前記電源電圧を生成する電圧生成部と
を有し、
前記電圧レベル測定部は、前記バッファが出力する前記調整用電圧の電圧値を測定する
請求項1に記載の試験装置。The power supply unit is
A buffer that receives the applied voltage via the sense wiring and outputs a voltage for adjustment according to the received applied voltage;
A voltage generation unit that generates the power supply voltage according to the adjustment voltage;
The test apparatus according to claim 1, wherein the voltage level measurement unit measures a voltage value of the adjustment voltage output from the buffer.
前記バッファおよび前記電圧生成部が形成される電源基板を更に有し、
前記電圧レベル測定部は、前記電源基板に設けられる
請求項2に記載の試験装置。The power supply unit is
A power supply board on which the buffer and the voltage generator are formed;
The test apparatus according to claim 2, wherein the voltage level measurement unit is provided on the power supply board.
請求項2に記載の試験装置。The test apparatus according to claim 2, wherein the power supply unit further includes a measurement switching unit that switches whether to connect an output terminal of the buffer and an input terminal of the voltage level measurement unit.
前記電源ユニットの内部において、前記フォース配線を伝送する電源電流の電流値を検出する電流検出部と
を更に備える
請求項4に記載の試験装置。Force wiring for supplying the device under test with the power supply voltage generated inside the power supply unit;
The test apparatus according to claim 4, further comprising: a current detection unit configured to detect a current value of a power supply current transmitted through the force wiring inside the power supply unit.
前記電源ユニットの内部における前記フォース配線上に設けられた電流検出用抵抗と、
前記電流検出用抵抗の両端の電位差を検出する差動回路と
を有し、
前記測定切替部は、前記印加電圧を測定する場合に、前記電圧レベル測定部の入力端に前記バッファの出力端を接続し、前記電源電流を測定する場合に、前記電圧レベル測定部の入力端に前記差動回路の出力端を接続する
する請求項5に記載の試験装置。The current detector is
A current detection resistor provided on the force wiring inside the power supply unit;
A differential circuit for detecting a potential difference between both ends of the current detection resistor,
The measurement switching unit connects the output terminal of the buffer to the input terminal of the voltage level measurement unit when measuring the applied voltage, and when measuring the power supply current, the input terminal of the voltage level measurement unit. The test apparatus according to claim 5, wherein the output terminal of the differential circuit is connected to the test apparatus.
前記判定部は、前記電圧レベル測定部における測定結果に基づいて、前記被試験デバイスに印加される前記印加電圧および前記電源電流を算出する
請求項6に記載の試験装置。The measurement switching unit switches which of the buffer and the differential circuit is connected to the input terminal of the voltage level measurement unit every predetermined period,
The test apparatus according to claim 6, wherein the determination unit calculates the applied voltage and the power supply current applied to the device under test based on a measurement result in the voltage level measurement unit.
前記被測定デバイスを載置するパフォーマンスボードと、
前記パフォーマンスボードの外部に設けられ、前記被測定デバイスに印加される印加電圧をセンス配線を介して受け取り、受け取った前記印加電圧に基づいて前記被測定デバイスに与える電源電圧を調整する電源ユニットと、
前記印加電圧を、前記電源ユニットの内部において前記センス配線を介して受け取り、受け取った前記印加電圧の電圧値を測定する電圧レベル測定部と
を備える測定装置。A measuring apparatus for measuring an applied voltage applied to a device under test,
A performance board on which the device under test is placed;
A power supply unit that is provided outside the performance board, receives an applied voltage applied to the device under measurement via a sense wiring, and adjusts a power supply voltage applied to the device under measurement based on the received applied voltage;
A measurement apparatus comprising: a voltage level measurement unit that receives the applied voltage through the sense wiring inside the power supply unit and measures a voltage value of the received applied voltage.
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