JPWO2008038454A1 - 超音波探触子及び超音波撮像装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2 固定電極
3 可動電極
4 絶縁膜
5 絶縁膜
6 ダイアフラム層
7 空隙層
8,8a,8b,8c 支持部
9 中間層
10 補強部
11 支持壁
13 結線
25 絶縁膜
26 ダイアフラム層
100,100b,100c,100d,100e,100f,100g,100h 超音波トランスデューサ
101 連結部
200 従来型の超音波トランスデューサ
210 音響レンズ
220 音響整合層
230 バッキング材
240 導電性膜
1000 超音波トランスデューサアレイ
2000 超音波探触子
この式(1)のように静電気力は同じ印加電圧、同じ電極面積に対しては、電極間の距離dが小さいほど大きくなるという性質を持つ。従って、従来型の超音波トランスデューサの構造では、ダイアフラムの中心部付近の静電気力が強く、周辺部はそれに対して小さくなる。
式(2)から分かるとおり、受信感度Grも、同じ直流印加電圧Vdc、同じ静電容量を持つ超音波トランスデューサでは、電極間距離dが小さいほど高い値となる。
(10.5−2.5)/((2.5+10.5)/2)*100=123%
となり、超音波撮像用のものとして十分な幅を有している。また、感度の大きさは、曲線30の方が曲線31に対し約2dBほど高く、本発明による効果が現れている。
(9.2−2.2)/((9.2+2.2)/2)*100=122%
である。感度の大きさは、曲線40の方が41に対して約1dBほど高く、本発明による効果が現れている。
Claims (10)
- 基板上に複数の超音波トランスデューサが設けられ、
各超音波トランスデューサは、前記基板に設けられた固定電極と、周縁部が支持壁によって前記基板に固定されたダイアフラム層と、前記固定電極と前記ダイアフラム層の間に形成された空隙層と、前記ダイアフラム層の一部に支持部を介して固定され前記空隙層の中に配置された可動電極とを有することを特徴とする超音波探触子。 - 請求項1記載の超音波探触子において、前記可動電極は絶縁層で覆われていることを特徴とする超音波探触子。
- 請求項1記載の超音波探触子において、前記支持部は、前記可動電極の面に平行な方向の幅が前記可動電極の幅より小さいことを特徴とする超音波探触子。
- 請求項1記載の超音波探触子において、前記固定電極の上に絶縁膜が形成されていることを特徴とする超音波探触子。
- 請求項1記載の超音波探触子において、前記支持部を複数有することを特徴とする超音波探触子。
- 請求項1記載の超音波探触子において、前記支持部は、前記可動電極の面に平行な断面の形状が円形又は多角形であることを特徴とする超音波探触子。
- 請求項1記載の超音波探触子において、前記可動電極は、前記ダイアフラムに対向する側の面に剛性を高めるための補強部材が設けられていることを特徴とする超音波探触子。
- 請求項1記載の超音波探触子において、前記可動電極は、周縁部の一部が前記支持壁と結合していることを特徴とする超音波探触子。
- 請求項1記載の超音波探触子において、前記ダイアフラム層の形状は円形又は多角形であることを特徴とする超音波探触子。
- 被検体に超音波を送受波する超音波探触子と、
前記超音波探触子によって得られた信号から画像を作成する画像作成部と、
前記画像を表示する表示部と、
被検体の測定部位の深さに応じて前記超音波探触子の焦点を制御する制御部とを備える超音波撮像装置において、
前記超音波探触子は、請求項1〜9のいずれか1項に記載の超音波探触子であることを特徴とする超音波撮像装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008536292A JP4776691B2 (ja) | 2006-09-28 | 2007-07-25 | 超音波探触子及び超音波撮像装置 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006264160 | 2006-09-28 | ||
JP2006264160 | 2006-09-28 | ||
PCT/JP2007/064544 WO2008038454A1 (fr) | 2006-09-28 | 2007-07-25 | Sonde à ultrasons et dispositif d'imagerie à ultrasons |
JP2008536292A JP4776691B2 (ja) | 2006-09-28 | 2007-07-25 | 超音波探触子及び超音波撮像装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2008038454A1 true JPWO2008038454A1 (ja) | 2010-01-28 |
JP4776691B2 JP4776691B2 (ja) | 2011-09-21 |
Family
ID=39229894
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008536292A Expired - Fee Related JP4776691B2 (ja) | 2006-09-28 | 2007-07-25 | 超音波探触子及び超音波撮像装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20100232257A1 (ja) |
JP (1) | JP4776691B2 (ja) |
WO (1) | WO2008038454A1 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102405653B (zh) * | 2009-04-21 | 2015-06-03 | 株式会社日立医疗器械 | 超声波探头 |
JP5560928B2 (ja) * | 2010-06-10 | 2014-07-30 | コニカミノルタ株式会社 | 超音波探触子および超音波診断装置 |
KR101630759B1 (ko) | 2010-12-14 | 2016-06-16 | 삼성전자주식회사 | 초음파 변환기의 셀, 채널 및 이를 포함하는 초음파 변환기 |
JP2012204874A (ja) * | 2011-03-23 | 2012-10-22 | Olympus Corp | 超音波照射装置 |
KR101761819B1 (ko) | 2011-08-24 | 2017-07-26 | 삼성전자주식회사 | 초음파 변환기 및 그 제조 방법 |
JP6150458B2 (ja) * | 2012-02-21 | 2017-06-21 | キヤノン株式会社 | 超音波装置 |
JP6334937B2 (ja) * | 2013-02-07 | 2018-05-30 | キヤノンメディカルシステムズ株式会社 | 超音波診断装置 |
JP6252279B2 (ja) * | 2013-03-29 | 2017-12-27 | セイコーエプソン株式会社 | 超音波トランスデューサー装置およびプローブ並びに電子機器および超音波画像装置 |
US9821340B2 (en) | 2014-07-28 | 2017-11-21 | Kolo Medical Ltd. | High displacement ultrasonic transducer |
JP6699854B2 (ja) * | 2016-03-15 | 2020-05-27 | 新日本無線株式会社 | Mems素子 |
JP7153985B2 (ja) * | 2018-09-05 | 2022-10-17 | 株式会社日立製作所 | 静電容量型デバイスおよび圧電型デバイス |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5335286A (en) * | 1992-02-18 | 1994-08-02 | Knowles Electronics, Inc. | Electret assembly |
US6795374B2 (en) * | 2001-09-07 | 2004-09-21 | Siemens Medical Solutions Usa, Inc. | Bias control of electrostatic transducers |
US20040190377A1 (en) * | 2003-03-06 | 2004-09-30 | Lewandowski Robert Stephen | Method and means for isolating elements of a sensor array |
JP4370120B2 (ja) * | 2003-05-26 | 2009-11-25 | オリンパス株式会社 | 超音波内視鏡および超音波内視鏡装置 |
US7030536B2 (en) * | 2003-12-29 | 2006-04-18 | General Electric Company | Micromachined ultrasonic transducer cells having compliant support structure |
US7285897B2 (en) * | 2003-12-31 | 2007-10-23 | General Electric Company | Curved micromachined ultrasonic transducer arrays and related methods of manufacture |
WO2005084284A2 (en) * | 2004-02-27 | 2005-09-15 | Georgia Tech Research Corporation | Multiple element electrode cmut devices and fabrication methods |
JP2006122344A (ja) * | 2004-10-28 | 2006-05-18 | Toshiba Corp | 超音波画像診断装置 |
JP4503423B2 (ja) * | 2004-11-29 | 2010-07-14 | 富士フイルム株式会社 | 容量性マイクロマシン超音波振動子及びその製造方法、並びに、超音波トランスデューサアレイ |
-
2007
- 2007-07-25 US US12/438,388 patent/US20100232257A1/en not_active Abandoned
- 2007-07-25 JP JP2008536292A patent/JP4776691B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2007-07-25 WO PCT/JP2007/064544 patent/WO2008038454A1/ja active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20100232257A1 (en) | 2010-09-16 |
JP4776691B2 (ja) | 2011-09-21 |
WO2008038454A1 (fr) | 2008-04-03 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110628 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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