JPWO2005109420A1

JPWO2005109420A1 - Optical pickup adjusting device and adjusting method

Info

Publication number: JPWO2005109420A1
Application number: JP2006513062A
Authority: JP
Inventors: 健司福井; 勲小谷; 高橋　宏和; 宏和高橋; 直樹西島; 直計森下; 英行森島
Original assignee: Pulstec Industrial Co Ltd
Current assignee: Pulstec Industrial Co Ltd
Priority date: 2004-05-12
Filing date: 2005-05-11
Publication date: 2008-03-21
Anticipated expiration: 2025-05-11
Also published as: CN1934634A; CN1934633A; JP4692484B2; JPWO2005109419A1; WO2005109419A1; CN100440344C; WO2005109420A1; CN100446099C; JP4692483B2

Abstract

光ピックアップの調整装置は、フォーカスエラー信号生成回路８４、フォーカスサーボ制御回路８５およびドライブ回路８６により、シャックハートマンセンサ６０に入射するレーザ光の一部を用いて対物レンズ１４をフォーカスサーボ制御する。また、光ピックアップの調整装置は、位置計算回路９４、Ｘ−Ｙ方向サーボ制御回路９５およびドライブ回路９６，９７により、シャックハートマンセンサ６０に入射するレーザ光の一部を用いて対物レンズ１４の図示Ｘ軸方向およびコリメーティングレンズ４１の図示Ｙ軸方向の２方向サーボ制御する。In the optical pickup adjusting device, the focus error signal generation circuit 84, the focus servo control circuit 85, and the drive circuit 86 perform focus servo control of the objective lens 14 using part of the laser light incident on the Shack Hartman sensor 60. In addition, the optical pickup adjusting apparatus uses the position calculation circuit 94, the X-Y direction servo control circuit 95, and the drive circuits 96 and 97 to display the objective lens 14 using a part of the laser light incident on the Shack Hartman sensor 60. Two-way servo control is performed in the X-axis direction and the Y-axis direction of the collimating lens 41 in the figure.

Description

本発明は、光ピックアップに搭載される対物レンズもしくはコリメーティングレンズの傾き、またはレーザ光源とコリメーティングレンズとの相対位置を調整するために利用される光ピックアップの調整装置およびその調整方法に関する。 The present invention relates to an optical pickup adjusting device and an adjusting method used for adjusting an inclination of an objective lens or a collimating lens mounted on an optical pickup or a relative position between a laser light source and a collimating lens. .

光ピックアップは、光ディスク装置などに組み込まれ、光ディスクなどの記録媒体（以下、単に「光ディスク」という）に対して情報の記録または再生を行うものである。この光ピックアップの組み立て工程において、理想的には対物レンズより出射されるレーザ光の光軸に対して光ディスクが垂直な姿勢となるように調整されている。これは、光ディスクに対して垂直にレーザ光を照射することにより、いわゆるコマ収差の発生を抑えて、光ディスクに対する情報の記録または再生の精度の向上を図るものである。また、対物レンズを透過したレーザ光に含まれる非点収差成分を対物レンズを傾けることにより補正し、光ディスクに対して情報の記録または再生の精度の向上を図ることも可能である。
この光ピックアップの対物レンズの傾きの調整は、光ピックアップの対物レンズを介して出射されるレーザ光を観測装置によって観測し、同観測結果に基づいて行われている。このような光ピックアップの対物レンズの傾きを調整する工程に用いられる光ピックアップの調整装置として、特開平１０−９１９６８号公報に示されるような観測装置として干渉計を用いた調整装置がある。この干渉計を用いた調整装置においては、対物レンズを介して光ディスクと等価な光学特性をもつ模擬部材にレーザ光を照射し、同模擬部材を透過したレーザ光は干渉計に導かれる。干渉計内に導かれたレーザ光は、ビームスプリッタにより分割され、異なる２つの光路にそれぞれ導かれたのち再び合成されて干渉縞を形成し、１つのＣＣＤ撮像素子により受光される。このＣＣＤ撮像素子からのビデオ信号は、コンピュータ装置に入力される。コンピュータ装置は、ビデオ信号から干渉縞データを作成し、解析してモニタ上に干渉縞と解析結果を表示する。そして、作業者は、このモニタ上に表示された干渉縞の本数、曲がり具合および解析結果に基づいて、これらが所定の状態となるように対物レンズの傾きを調整する。
また、上記干渉計を用いた調整装置とは別の観測装置を用いた光ピックアップの調整装置として特開２００１−２７３６４３号公報に示されるようなスポットアナライザを用いた調整装置がある。このスポットアナライザを用いた調整装置においては、光ディスクと等価な光学特性をもつ模擬部材上に対物レンズを介して形成される光スポットを、スポットアナライザである顕微鏡およびＣＣＤ撮像素子により撮像し、これを２値化してモニタ上に表示させている。そして、作業者は、このモニタ上に表示される光スポットの、０次光画像の真円度および１次回折光によるリング状画像の均一性を目視により判断し、これらが所定の状態となるように対物レンズの傾きを調整する。
ところで、近年、光ディスクの記録容量を更に高めるため、光ディスクの記録密度を高密度化することが望まれている。一般に光ディスクの記録密度は、光ディスクの記録面に形成される光スポットの径の大きさにより決定され、より小さな光スポットを光ディスクの記録面に形成することにより光ディスクの記録密度を高めることができる。この光スポットの径の大きさは、波長／開口数により求められることから、光ディスクに照射されるレーザ光の波長を短くするとともにレーザ光を集光する対物レンズの開口数を大きくすることによって、光スポットの径を小さくすることができる。
しかし、レーザ光の波長を短くする場合には、可干渉性の低いレーザ光を用いることが望ましいため、干渉計を用いた調整装置は不適であるという問題がある。また、開口数の大きな対物レンズを製作することは一般的に困難であり、特にスポットアナライザを用いた調整装置においては、１次回折光によるリング状画像を得ることが可能な高開口数の対物レンズの製作は極めて困難である。さらに、スポットアナライザを用いた調整装置においては、模擬部材に形成される光スポットの径が小さくなるに従ってモニタ上に表示される光スポット画像も小さくなるため、作業者の目視による０次光画像および１次回折光によるリング状画像の判断が困難となり、対物レンズの傾き調整が実質的にできないという問題もある。The optical pickup is incorporated in an optical disk device or the like, and records or reproduces information on a recording medium such as an optical disk (hereinafter simply referred to as “optical disk”). In the assembly process of the optical pickup, the optical disk is ideally adjusted so as to be vertical to the optical axis of the laser light emitted from the objective lens. This is intended to improve the accuracy of information recording or reproduction with respect to the optical disc by suppressing the occurrence of so-called coma aberration by irradiating the optical disc with the laser beam perpendicularly. It is also possible to correct the astigmatism component contained in the laser light transmitted through the objective lens by tilting the objective lens, thereby improving the accuracy of recording or reproducing information on the optical disc.
The adjustment of the tilt of the objective lens of the optical pickup is performed based on the observation result obtained by observing laser light emitted through the objective lens of the optical pickup with an observation device. As an optical pickup adjusting device used in the step of adjusting the tilt of the objective lens of the optical pickup, there is an adjusting device using an interferometer as an observation device as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-91968. In this adjustment apparatus using an interferometer, a simulated member having optical characteristics equivalent to that of an optical disk is irradiated with laser light through an objective lens, and the laser light transmitted through the simulated member is guided to the interferometer. The laser light guided into the interferometer is split by a beam splitter, guided to two different optical paths, and then combined again to form an interference fringe, which is received by one CCD image sensor. The video signal from the CCD image sensor is input to a computer device. The computer apparatus creates interference fringe data from the video signal, analyzes it, and displays the interference fringe and the analysis result on the monitor. Then, based on the number of interference fringes displayed on the monitor, the degree of bending, and the analysis result, the operator adjusts the inclination of the objective lens so that they are in a predetermined state.
Further, as an optical pickup adjusting device using an observation device different from the adjusting device using the interferometer, there is an adjusting device using a spot analyzer as disclosed in JP-A-2001-273634. In the adjustment apparatus using this spot analyzer, a light spot formed through an objective lens on a simulated member having an optical characteristic equivalent to that of an optical disk is picked up by a microscope and a CCD image pickup device which are spot analyzers. It is binarized and displayed on the monitor. Then, the operator visually determines the roundness of the zero-order light image and the uniformity of the ring-shaped image due to the first-order diffracted light of the light spot displayed on the monitor so that these are in a predetermined state. Adjust the tilt of the objective lens.
Incidentally, in recent years, in order to further increase the recording capacity of the optical disc, it is desired to increase the recording density of the optical disc. Generally, the recording density of an optical disc is determined by the size of the diameter of a light spot formed on the recording surface of the optical disc, and the recording density of the optical disc can be increased by forming a smaller light spot on the recording surface of the optical disc. Since the size of the diameter of the light spot is determined by the wavelength / numerical aperture, by shortening the wavelength of the laser light irradiated on the optical disc and increasing the numerical aperture of the objective lens for condensing the laser light, The diameter of the light spot can be reduced.
However, when shortening the wavelength of the laser beam, it is desirable to use a laser beam with low coherence, so that there is a problem that an adjustment device using an interferometer is unsuitable. In addition, it is generally difficult to manufacture an objective lens having a large numerical aperture. Particularly in an adjusting device using a spot analyzer, an objective lens having a high numerical aperture capable of obtaining a ring-shaped image by first-order diffracted light. Is extremely difficult to manufacture. Further, in the adjusting device using the spot analyzer, the light spot image displayed on the monitor becomes smaller as the diameter of the light spot formed on the simulation member becomes smaller. There is also a problem that it is difficult to determine a ring-shaped image using the first-order diffracted light, and the tilt of the objective lens cannot be substantially adjusted.

本発明は、前記問題に対処するためになされたもので、その目的は、レーザ光の可干渉性に影響されることなく、光ピックアップに搭載される対物レンズもしくはコリメーティングレンズの傾き、またはレーザ光源とコリメーティングレンズとの相対位置の調整が可能な光ピックアップの調整装置を提供することにある。
前記目的を達成するため、本発明の特徴は、ハウジングと、ハウジングに収容されてレーザ光を出射するレーザ光源と、ハウジングに収容されて前記出射されたレーザ光を平行光束に変換する第１のコリメーティングレンズと、ハウジングに組み付けられて前記変換されたレーザ光を集光する対物レンズと、レーザ光に対する対物レンズの傾角を調整するための傾角調整機構とを有する光ピックアップを支持する支持部を備え、光ピックアップにおける対物レンズの傾角を調整するために利用される光ピックアップの調整装置において、レーザ光源から出射されて第１のコリメーティングレンズおよび対物レンズを介したレーザ光を平行光束に変換する第２のコリメーティングレンズと、第２のコリメーティングレンズによって平行光束に変換されたレーザ光の波面収差を計測するシャックハートマンセンサとを設けたことにある。
この場合、シャックハートマンセンサを、例えば、２次元格子状に配列された複数のレンズからなり、第２のコリメーティングレンズから出射されたレーザ光を入射して各レンズごとにレーザ光をそれぞれ集光させるレンズアレイと、レンズアレイを構成する複数のレンズによるレーザ光の集光位置に配置され、複数のレンズによって形成される複数の点像を撮像する撮像器とで構成するとよい。また、撮像器により撮像された複数の点像を表示するモニタ装置を備えるとよい。
このように構成した本発明によれば、第１のコリメーティングレンズおよび対物レンズを介して光ピックアップから出射されるレーザ光は、第２のコリメーティングレンズによって平行光束に変換されてシャックハートマンセンサに入射し、シャックハートマンセンサによりレーザ光の波面収差が計測されて、この計測された収差に基づいて計算された波面の様子がモニタ装置上に表示される。このレーザ光の波面収差は、レーザ光の可干渉性とは無関係に計測できるため、レーザ光の可干渉性に影響されることなく対物レンズの傾きを調整することができる。また、前記波面の状態を観察しているため、対物レンズの開口数に影響されることなく対物レンズの傾きを調整することができる。
また、本発明の他の特徴は、対物レンズとシャックハートマンセンサとの間に、光ディスクを模擬するための模擬部材を備えたことにある。この模擬部材は、例えばガラス、プラスチック等の透明な部材により構成される。この場合、模擬部材の光路長は、例えば、光ピックアップが適用される光ディスクの光路長に等しいものとするとよい。また、この場合、模擬部材を保持する模擬部材保持器を設けるとよい。
このように構成した本発明の他の特徴によれば、対物レンズから出射したレーザ光は模擬部材を介してシャックハートマンセンサに入射することになる。これにより、光ディスクのデータ記録面上に照射されるレーザ光と等価な光路長を有するレーザ光が、シャックハートマンセンサに入射することになり、光ディスクに照射されるレーザ光と等価な波面収差の計測ができる。
また、本発明の他の特徴は、模擬部材を透過するレーザ光の光軸に対する模擬部材の傾きを調整するために模擬部材保持器の姿勢を変化させることが可能な模擬部材傾き調整機構を備えたことにある。
このように構成した本発明の他の特徴によれば、模擬部材を透過するレーザ光の光軸に対して模擬部材の傾きを垂直になるように調整することができるため、対物レンズの傾き調整精度を向上させることができる。
また、本発明の他の特徴は、模擬部材保持器は、異なる光路長を有する複数の模擬部材を保持し、対物レンズから出射されるレーザ光の透過位置に複数の模擬部材の１つを選択的に配置させることが可能な模擬部材切替機構を備えたことにある。
このように構成した本発明の他の特徴によれば、異なる光学特性を有する複数の模擬部材の中から必要とする光路長を有する模擬部材を即座に光ピックアップから出射されるレーザ光の光軸上に配置させることができ、作業効率を向上させることができる。
また、本発明の他の特徴は、模擬部材保持器は、レーザ光を模擬部材を介さずに透過させる開口部を有するようにしたことにある。
このように構成した本発明の他の特徴によれば、模擬部材を有しない１つの開口部を設けることにより、模擬部材を介さずレーザ光を支持部に照射させるような場合にも速やかに対応することができる。
また、本発明の他の特徴は、支持部を、互いに直交する２つの軸線回りにそれぞれ回転させるように構成したことにある。この場合、例えば、支持部に設けた反射部にレーザ光を照射して、反射部からの反射光を用いて支持部のレーザ光の光軸に対する傾角を検出する傾角検出装置を設けるとよい。また、この場合、傾角検出装置をオートコリメータで構成し、さらに、オートコリメータによるレーザ光の反射光の点像を表示するモニタ装置を備えるとよい。オートコリメータは、支持部に向けてレーザ光を照射するレーザ光照射光学系と、支持部に設けた反射部によるレーザ光の反射光を受光するレーザ光受光光学系とから構成するとよい。
このように構成した本発明の他の特徴によれば、オートコリメータのレーザ光照射光学系から出射されたレーザ光を支持部に設けた反射部により反射させ、反射光をオートコリメータのレーザ光受光光学系により受光して、受光結果をモニタ装置に点像として表示させている。このため、モニタ装置に表示される点像の位置を確認しながら互いに直交する２つの軸線回りにそれぞれ回転させることが可能な移動機構により、支持部の２つの軸線回りの傾きを簡単に調整することができる。
また、本発明の他の特徴は、模擬部材にレーザ光を照射して、同模擬部材からの反射光を用いて模擬部材のレーザ光の光軸に対する傾角を検出する傾角検出装置を備えたことにある。この場合、例えば、傾角検出装置をオートコリメータで構成し、さらに、オートコリメータによるレーザ光の反射光の点像を表示するモニタ装置を備えるとよい。オートコリメータは、模擬部材に向けてレーザ光を照射するレーザ光照射光学系と、レーザ光照射光学系によって、模擬部材によるレーザ光の反射光を受光するレーザ光受光光学系とから構成するとよい。
このように構成した本発明の他の特徴によれば、オートコリメータのレーザ光照射光学系から出射されたレーザ光を模擬部材により反射させ、反射光をオートコリメータのレーザ光受光光学系により受光して、受光結果をモニタ装置に点像として表示させている。このため、モニタ装置に表示される点像の位置を確認しながら模擬部材の傾きを簡単に調整することができる。
また、本発明の他の特徴は、支持部に設けた反射部にレーザ光を照射して、反射部からの反射光を用いて支持部のレーザ光の光軸に対する傾角を検出することを可能とし、かつ模擬部材にレーザ光を照射して、模擬部材からの反射光を用いて模擬部材のレーザ光の光軸に対する傾角を検出することを可能とする傾角検出装置を備えたことにある。この場合、例えば、傾角検出装置をオートコリメータで構成し、さらに、オートコリメータによるレーザ光の反射光の点像を表示するモニタ装置を備えるとよい。オートコリメータは、反射部または模擬部材に向けてレーザ光を照射するレーザ光照射光学系と、レーザ光照射光学系によって、反射部または模擬部材によるレーザ光の反射光を受光するレーザ光受光光学系とから構成するとよい。
このように構成した本発明の他の特徴によれば、１つのオートコリメータによって、支持部および模擬部材の傾きを調整できるようになるため、光ピックアップの調整装置の構成を簡単にすることができる。
また、本発明の他の特徴は、シャックハートマンセンサに取り込まれるレーザ光の光軸とシャックハートマンセンサの光軸とのずれ、および対物レンズによるレーザ光の焦点位置とシャックハートマンセンサにレーザ光を的確に入射させるための焦点位置とのずれのうちの少なくとも一方のずれを検出するずれ検出器を備えたことにある。この場合、例えば、前記少なくとも一方のずれを表示するモニタ装置を備えるとよい。また、例えば、支持部を、互いに直交する３つの軸線方向に移動させることが可能な移動機構を備えるようにするとよい。
このように構成した本発明の他の特徴によれば、シャックハートマンセンサに取り込まれるレーザ光の光軸とシャックハートマンセンサの光軸とのずれ、および対物レンズによるレーザ光の焦点位置とシャックハートマンセンサにレーザ光を的確に入射させるための焦点位置とのずれがモニタ装置に表示される。これにより、モニタ装置の表示を確認しながら、移動機構により、支持部を互いに直交する３つの軸線方向に移動させて、シャックハートマンセンサにレーザ光を正確に導くことができる。
また、本発明の他の特徴は、光ピックアップは、対物レンズをレーザ光の光軸方向に駆動するフォーカスアクチュエータを有しており、さらに、シャックハートマンセンサに入射されるレーザ光の一部を取り出す第１ビームスプリッタと、第１ビームスプリッタにより取り出されたレーザ光を受光する受光素子と、受光素子によるレーザ光の受光に基づいて対物レンズによるレーザ光の焦点位置とシャックハートマンセンサにレーザ光を的確に入射させるための焦点位置とのずれを検出して、検出結果によりフォーカスアクチュエータを駆動制御するフォーカスサーボ制御回路とを備えたことにある。
このように構成した本発明の他の特徴によれば、対物レンズによるレーザ光の焦点位置とシャックハートマンセンサにレーザ光を的確に入射させるための焦点位置とのずれに基づいて、対物レンズをフォーカスサーボ制御できるため、シャックハートマンセンサにレーザ光を的確に入射させることができるとともに、対物レンズの傾き調整を安定的に行うことができる。
また、本発明の他の特徴は、光ピックアップは、対物レンズをレーザ光の光軸と直交する平面内の一方向に駆動するトラッキングアクチュエータを有しており、さらに、第２のコリメーティングレンズをレーザ光の光軸と直交する平面内の前記一方向とは異なる他方向に駆動するコリメーティングアクチュエータと、シャックハートマンセンサに入射されるレーザ光の一部を取り出す第２ビームスプリッタと、第２ビームスプリッタにより取り出されたレーザ光を受光する受光素子と、受光素子によるレーザ光の受光に基づいてシャックハートマンセンサに取り込まれるレーザ光の光軸とシャックハートマンセンサの光軸とのずれを検出して、検出結果によりトラッキングアクチュエータおよびコリメーティングアクチュエータとを駆動制御する２方向サーボ制御回路とを備えたことにある。
このように構成した本発明の他の特徴によれば、シャックハートマンセンサに取り込まれるレーザ光の光軸とシャックハートマンセンサの光軸とのずれに基づいて、対物レンズをレーザ光の光軸と直交する平面内の２方向にサーボ制御できる。これにより、シャックハートマンセンサに入射するレーザ光を同平面内における所定の位置に保持することができるため、精度よくレーザ光の波面収差が計測できるとともに、対物レンズの傾き調整を安定的に行うことができる。
さらに、本発明の他の特徴は、ハウジングと、ハウジングに収容されてレーザ光を出射するレーザ光源と、ハウジングに収容されて前記出射されたレーザ光を平行光束に変換する第１のコリメーティングレンズと、第１のコリメーティングレンズに対する前記レーザ光源からのレーザ光の入射角、またはレーザ光源と第１のコリメーティングレンズとの相対位置を調整するための調整機構とを有する光ピックアップを支持する支持部を備え、光ピックアップにおける第１のコリメーティングレンズに対する前記レーザ光源からのレーザ光の入射角、またはレーザ光源と第１のコリメーティングレンズとの相対位置を調整するために利用される光ピックアップの調整装置において、レーザ光源から出射されて第１のコリメーティングレンズを介したレーザ光の波面収差を計測するシャックハートマンセンサを設けたことにある。
この場合も、シャックハートマンセンサを、２次元格子状に配列された複数のレンズからなり、第１のコリメーティングレンズにより変換された平行光束を入射して各レンズごとにレーザ光をそれぞれ集光させるレンズアレイと、レンズアレイを構成する複数のレンズによるレーザ光の集光位置に配置され、複数のレンズによって形成される複数の点像を撮像する撮像器とで構成するとよい。また、撮像器により撮像された複数の点像を表示するモニタ装置を備えるとよい。
このように構成した本発明の他の特徴によれば、第１のコリメーティングレンズによって平行光束に変換されたレーザ光がシャックハートマンセンサに入射し、シャックハートマンセンサにより、レーザ光の波面収差が計測されてモニタ装置上に表示される。このレーザ光の波面収差は、レーザ光の可干渉性とは無関係に計測できるため、レーザ光の可干渉性に影響されることなく、光ピックアップにおける第１のコリメーティングレンズに対する前記レーザ光源からのレーザ光の入射角、またはレーザ光源と第１のコリメーティングレンズとの相対位置を調整することができる。
また、本発明の前記他の特徴においても、支持部を、互いに直交する２つの軸線回りにそれぞれ回転させるように構成するとさらによい。この場合、例えば、支持部に設けた反射部にレーザ光を照射して、反射部からの反射光を用いて支持部のレーザ光の光軸に対する傾角を検出する傾角検出装置を設けるとよい。また、この場合、傾角検出装置をオートコリメータで構成し、さらに、オートコリメータによるレーザ光の反射光の点像を表示するモニタ装置を備えるとよい。オートコリメータは、支持部に向けてレーザ光を照射するレーザ光照射光学系と、支持部に設けた反射部によるレーザ光の反射光を受光するレーザ光受光光学系とから構成するとよい。
このように構成した本発明の他の特徴によれば、オートコリメータのレーザ光照射光学系から出射されたレーザ光を支持部に設けた反射部により反射させ、同反射光をオートコリメータのレーザ光受光光学系により受光して、同受光結果をモニタ装置に点像として表示させている。このため、モニタ装置に表示される点像の位置を確認しながら互いに直交する２つの軸線回りにそれぞれ回転させることが可能な移動機構により、支持部の２つの軸線回りの傾きを簡単に調整することができる。
また、本発明は装置の発明として実施できるばかりでなく、方法の発明としても実施できるものである。The present invention has been made in order to cope with the above-described problem, and its purpose is not affected by the coherence of the laser light, but the inclination of the objective lens or collimating lens mounted on the optical pickup, or An object of the present invention is to provide an adjusting device for an optical pickup capable of adjusting a relative position between a laser light source and a collimating lens.
To achieve the above object, the present invention is characterized in that a housing, a laser light source that is accommodated in the housing and emits laser light, and a first light that is accommodated in the housing and converts the emitted laser light into a parallel light beam. A support portion that supports an optical pickup having a collimating lens, an objective lens that is assembled to the housing and collects the converted laser light, and an inclination adjustment mechanism that adjusts an inclination angle of the objective lens with respect to the laser light. And an optical pickup adjusting device that is used to adjust the tilt angle of the objective lens in the optical pickup. The laser beam emitted from the laser light source and passed through the first collimating lens and the objective lens is converted into a parallel light flux. The second collimating lens to be converted and the second collimating lens are converted into parallel light fluxes. It has been in the provision and Shack Hartmann sensor for measuring the wavefront aberration of the laser beam.
In this case, the Shack-Hartmann sensor is composed of, for example, a plurality of lenses arranged in a two-dimensional lattice, and the laser light emitted from the second collimating lens is incident to collect the laser light for each lens. It is good to comprise with the lens array made to light and the image pick-up device which is arrange | positioned in the condensing position of the laser beam by the some lens which comprises a lens array, and images several point images formed by several lenses. Moreover, it is good to provide the monitor apparatus which displays the some point image imaged with the imaging device.
According to the present invention configured as described above, the laser light emitted from the optical pickup via the first collimating lens and the objective lens is converted into a parallel light beam by the second collimating lens, and the Shack Hartmann The light is incident on the sensor, the wavefront aberration of the laser light is measured by the Shack Hartman sensor, and the state of the wavefront calculated based on the measured aberration is displayed on the monitor device. Since the wavefront aberration of the laser light can be measured regardless of the coherence of the laser light, the tilt of the objective lens can be adjusted without being affected by the coherence of the laser light. Further, since the state of the wavefront is observed, the tilt of the objective lens can be adjusted without being affected by the numerical aperture of the objective lens.
Another feature of the present invention is that a simulation member for simulating an optical disk is provided between the objective lens and the Shack Hartman sensor. The simulated member is made of a transparent member such as glass or plastic. In this case, the optical path length of the simulation member is preferably equal to the optical path length of the optical disc to which the optical pickup is applied, for example. In this case, a simulation member holder for holding the simulation member may be provided.
According to another feature of the present invention configured as described above, the laser light emitted from the objective lens is incident on the Shack Hartman sensor via the simulation member. As a result, a laser beam having an optical path length equivalent to the laser beam irradiated onto the data recording surface of the optical disc is incident on the Shack-Hartmann sensor, and measurement of wavefront aberration equivalent to the laser beam irradiated to the optical disc is performed. Can do.
Another feature of the present invention includes a simulated member tilt adjustment mechanism that can change the posture of the simulated member holder in order to adjust the tilt of the simulated member with respect to the optical axis of the laser beam transmitted through the simulated member. That is.
According to another feature of the present invention configured as described above, since the inclination of the simulation member can be adjusted to be perpendicular to the optical axis of the laser light transmitted through the simulation member, the inclination of the objective lens can be adjusted. Accuracy can be improved.
Another feature of the present invention is that the simulation member holder holds a plurality of simulation members having different optical path lengths, and selects one of the plurality of simulation members as a transmission position of the laser beam emitted from the objective lens. And a simulated member switching mechanism that can be arranged in an automatic manner.
According to another feature of the present invention configured as described above, the optical axis of the laser beam emitted from the optical pickup immediately from the simulated member having the required optical path length among the simulated members having different optical characteristics. It can be arranged on top, and work efficiency can be improved.
Another feature of the present invention is that the simulated member holder has an opening that allows laser light to pass through without passing through the simulated member.
According to another feature of the present invention configured as described above, by providing one opening portion that does not have a simulation member, it is possible to quickly cope with a case where the support portion is irradiated with laser light without using the simulation member. can do.
Another feature of the present invention is that the support portion is configured to rotate around two axes orthogonal to each other. In this case, for example, it is preferable to provide an inclination detection device that irradiates the reflection part provided in the support part with laser light and detects the inclination angle of the support part with respect to the optical axis of the laser light using the reflected light from the reflection part. Further, in this case, it is preferable that the tilt angle detection device is configured with an autocollimator, and further includes a monitor device that displays a point image of the reflected light of the laser beam by the autocollimator. The autocollimator may be composed of a laser light irradiation optical system that irradiates laser light toward the support portion and a laser light receiving optical system that receives the reflected light of the laser light from the reflection portion provided on the support portion.
According to another feature of the present invention configured as described above, the laser beam emitted from the laser beam irradiation optical system of the autocollimator is reflected by the reflection unit provided on the support unit, and the reflected beam is received by the laser beam of the autocollimator. Light is received by the optical system, and the light reception result is displayed on the monitor device as a point image. Therefore, the inclination of the support portion around the two axes can be easily adjusted by a moving mechanism that can be rotated around two axes that are orthogonal to each other while checking the position of the point image displayed on the monitor device. be able to.
In addition, another feature of the present invention includes a tilt detection device that irradiates a simulated member with laser light and detects the tilt angle of the simulated member with respect to the optical axis of the simulated light using reflected light from the simulated member. It is in. In this case, for example, the tilt angle detection device may be configured by an autocollimator, and may further include a monitor device that displays a point image of the reflected light of the laser beam by the autocollimator. The autocollimator may be configured by a laser light irradiation optical system that irradiates the simulated member with laser light and a laser light receiving optical system that receives the reflected light of the laser light from the simulated member by the laser light irradiation optical system.
According to another feature of the present invention configured as described above, the laser beam emitted from the laser beam irradiation optical system of the autocollimator is reflected by the simulation member, and the reflected light is received by the laser beam receiving optical system of the autocollimator. The light reception result is displayed as a point image on the monitor device. Therefore, the inclination of the simulated member can be easily adjusted while confirming the position of the point image displayed on the monitor device.
In addition, another feature of the present invention is that it is possible to detect the tilt angle of the support unit with respect to the optical axis of the laser beam by using the reflected light from the reflection unit by irradiating the reflection unit provided on the support unit with laser light. And a tilt angle detecting device that can detect the tilt angle of the simulated member with respect to the optical axis of the laser beam by using the reflected light from the simulated member. In this case, for example, the tilt angle detection device may be configured by an autocollimator, and may further include a monitor device that displays a point image of the reflected light of the laser beam by the autocollimator. The autocollimator includes a laser light irradiation optical system that irradiates laser light toward the reflection part or the simulation member, and a laser light reception optical system that receives the reflected light of the laser light from the reflection part or the simulation member by the laser light irradiation optical system. It is good to comprise.
According to another feature of the present invention configured as described above, since the tilt of the support portion and the simulation member can be adjusted by one autocollimator, the configuration of the optical pickup adjusting device can be simplified. .
Another feature of the present invention is that the optical axis of the laser beam taken into the Shack Hartman sensor is shifted from the optical axis of the Shack Hartman sensor, the focal position of the laser beam by the objective lens, and the laser beam to the Shack Hartman sensor accurately. And a deviation detector for detecting at least one of deviations from the focal position for incidence on the lens. In this case, for example, a monitor device that displays the at least one shift may be provided. In addition, for example, the support unit may be provided with a moving mechanism capable of moving in three axial directions orthogonal to each other.
According to another feature of the present invention configured as described above, the deviation between the optical axis of the laser light taken into the Shack-Hartman sensor and the optical axis of the Shack-Hartman sensor, the focal position of the laser light by the objective lens, and the Shack-Hartman sensor. The deviation from the focal position for accurately making the laser beam incident on is displayed on the monitor device. Accordingly, the laser beam can be accurately guided to the Shack-Hartmann sensor by moving the support portion in the three axial directions orthogonal to each other while confirming the display of the monitor device.
Another feature of the present invention is that the optical pickup has a focus actuator that drives the objective lens in the optical axis direction of the laser beam, and further extracts a part of the laser beam incident on the Shack Hartman sensor. The first beam splitter, the light receiving element that receives the laser light extracted by the first beam splitter, and the laser light focused on the objective lens and the Shack Hartman sensor based on the reception of the laser light by the light receiving element. And a focus servo control circuit for detecting a deviation from the focal position for incidence on the lens and controlling the drive of the focus actuator based on the detection result.
According to another feature of the present invention configured as described above, the objective lens is focused on the basis of the deviation between the focal position of the laser beam by the objective lens and the focal position for allowing the laser beam to accurately enter the Shack-Hartmann sensor. Since servo control is possible, laser light can be accurately incident on the Shack-Hartmann sensor and the tilt adjustment of the objective lens can be stably performed.
Another feature of the present invention is that the optical pickup includes a tracking actuator that drives the objective lens in one direction in a plane orthogonal to the optical axis of the laser beam, and further includes a second collimating lens. A collimating actuator for driving in a different direction from the one direction in a plane perpendicular to the optical axis of the laser beam, a second beam splitter for extracting a part of the laser beam incident on the Shack-Hartmann sensor, A light receiving element that receives the laser light extracted by the two-beam splitter, and detects a deviation between the optical axis of the laser light taken into the Shack Hartman sensor and the optical axis of the Shack Hartman sensor based on the reception of the laser light by the light receiving element. Drive control of the tracking actuator and collimating actuator based on the detection result In that a bi-directional servo control circuit that.
According to another feature of the present invention thus configured, the objective lens is orthogonal to the optical axis of the laser light based on the deviation between the optical axis of the laser light taken into the Shack Hartman sensor and the optical axis of the Shack Hartman sensor. Servo control is possible in two directions in the plane. As a result, the laser beam incident on the Shack-Hartmann sensor can be held at a predetermined position in the same plane, so that the wavefront aberration of the laser beam can be accurately measured and the tilt adjustment of the objective lens can be performed stably. Can do.
Furthermore, another feature of the present invention is a housing, a laser light source that is accommodated in the housing and emits laser light, and first collimating that is accommodated in the housing and converts the emitted laser light into a parallel light beam. An optical pickup having a lens and an adjustment mechanism for adjusting an incident angle of the laser light from the laser light source with respect to the first collimating lens or a relative position between the laser light source and the first collimating lens A support portion is provided for use in adjusting an incident angle of the laser light from the laser light source with respect to the first collimating lens in the optical pickup or a relative position between the laser light source and the first collimating lens. In the optical pickup adjusting device, the laser beam is emitted from the first collimating lens. And in the provision of the Shack Hartmann sensor for measuring the wavefront aberration of the laser beam.
Also in this case, the Shack-Hartmann sensor is composed of a plurality of lenses arranged in a two-dimensional lattice, and the parallel light beam converted by the first collimating lens is incident to collect the laser light for each lens. And a lens array to be arranged, and an image pickup device that is arranged at a condensing position of laser light by a plurality of lenses constituting the lens array and picks up a plurality of point images formed by the plurality of lenses. Moreover, it is good to provide the monitor apparatus which displays the some point image imaged with the imaging device.
According to another feature of the present invention configured as described above, the laser light converted into a parallel light beam by the first collimating lens is incident on the Shack Hartman sensor, and the Shack Hartman sensor causes the wavefront aberration of the laser light to be reduced. It is measured and displayed on the monitor device. Since the wavefront aberration of the laser light can be measured regardless of the coherence of the laser light, the laser light source is not affected by the coherence of the laser light, and the laser light source with respect to the first collimating lens in the optical pickup The incident angle of the laser beam or the relative position between the laser light source and the first collimating lens can be adjusted.
Also in the other feature of the present invention, it is further preferable that the support portion is configured to rotate around two axes orthogonal to each other. In this case, for example, it is preferable to provide an inclination detection device that irradiates the reflection part provided in the support part with laser light and detects the inclination angle of the support part with respect to the optical axis of the laser light using the reflected light from the reflection part. Further, in this case, it is preferable that the tilt angle detection device is configured with an autocollimator, and further includes a monitor device that displays a point image of the reflected light of the laser beam by the autocollimator. The autocollimator may be composed of a laser light irradiation optical system that irradiates laser light toward the support portion and a laser light receiving optical system that receives the reflected light of the laser light from the reflection portion provided on the support portion.
According to another feature of the present invention configured as described above, the laser beam emitted from the laser beam irradiation optical system of the autocollimator is reflected by the reflection unit provided in the support unit, and the reflected beam is reflected by the laser beam of the autocollimator. Light is received by the light receiving optical system, and the light reception result is displayed as a point image on the monitor device. Therefore, the inclination of the support portion around the two axes can be easily adjusted by a moving mechanism that can be rotated around two axes that are orthogonal to each other while checking the position of the point image displayed on the monitor device. be able to.
The present invention can be implemented not only as an apparatus invention but also as a method invention.

図１は、本発明の一実施形態に係る光ピックアップの調整装置の全体を概略的に示すブロック図である。
図２は、図１の光ピックアップの調整装置に用いられる光ピックアップを示す斜視図である。
図３は、図１の光ピックアップの調整装置に用いられる光ピックアップ支持装置を示す斜視図である。
図４は、図１の光ピックアップの調整装置に用いられる模擬部材支持装置を示す斜視図である。
図５は、図１の光ピックアップの調整装置に角度校正治具を配した状態を概略的に示すブロック図である。
図６は、図１の光ピックアップの調整装置用いられる角度校正治具を示す斜視図である。
図７は、図２の光ピックアップ支持装置に角度校正治具を配した状態を示す斜視図である。
図８は、光ピックアップ支持装置の他の例を示す斜視図である。
図９は、模擬部材支持装置の他の例を示す斜視図である。FIG. 1 is a block diagram schematically showing an entire optical pickup adjusting apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a perspective view showing an optical pickup used in the optical pickup adjusting apparatus of FIG.
FIG. 3 is a perspective view showing an optical pickup supporting device used in the optical pickup adjusting device of FIG.
FIG. 4 is a perspective view showing a simulated member support device used in the optical pickup adjusting device of FIG.
FIG. 5 is a block diagram schematically showing a state in which an angle calibration jig is arranged in the optical pickup adjusting device of FIG.
FIG. 6 is a perspective view showing an angle calibration jig used in the optical pickup adjusting device of FIG.
FIG. 7 is a perspective view showing a state in which an angle calibration jig is arranged on the optical pickup support device of FIG.
FIG. 8 is a perspective view showing another example of the optical pickup supporting device.
FIG. 9 is a perspective view showing another example of the simulated member supporting apparatus.

以下、本発明に係る光ピックアップの調整装置の一実施形態を図面を参照しながら説明する。図１は、光ピックアップに搭載される対物レンズの傾きを調整するために利用される光ピックアップの調整装置の全体概略図である。この調整装置は、光ピックアップ１０を載置する光ピックアップ支持装置２０と、光ピックアップ１０の上方に配置される模擬部材３１を支持する模擬部材支持装置３０とを備えている。
光ピックアップ１０は、ＣＤ，ＤＶＤなどの光ディスクに記録されている信号を再生し、および／または、同光ディスクに信号を記録するものであり、本発明に係る光ピックアップの調整装置による調整対象である。この調整対象である光ピックアップ１０について簡単に説明しておくと、同光ピックアップ１０は、ケーシング１０ａにそれぞれ組み付けられたレーザ光源１１、コリメーティングレンズ１２、立上ミラー１３および対物レンズ１４などから構成されている。レーザ光源１１は、後述するレーザ駆動回路１０２に制御されてレーザ光を出射する。レーザ光源１１から出射されたレーザ光は、コリメーティングレンズ１２により平行光束にされた後、立上ミラー１３により反射されて対物レンズ１４に向けて進行し、対物レンズ１４により焦点を結ぶ。この対物レンズ１４は、ケーシング１０ａに対して弾性支持部材１０ｂ（例えば、ワイヤー）により片持梁または両持梁によって弾性的に支持されている。
この光ピックアップ１０は、フォーカスアクチュエータ１５およびトラックアクチュエータ１６も備えている。フォーカスアクチュエータ１５は、対物レンズ１４をレーザ光の光軸方向、換言すれば、この光ピックアップ１０が用いられる光ディスク（図示せず）の板面と垂直方向に微動させて光スポットを光ディスクの記録面に正確に形成させるものである。フォーカスアクチュエータ１５は、この光ピックアップの調整装置の作動時には、対物レンズ１４を図示Ｚ軸方向における所定の位置、具体的には、収差が最小となる位置である後述するコリメーティングレンズ４１の物点位置に点像が正確に位置するように、対物レンズ１４を保持するために用いられる。なお、この対物レンズ１４を保持する位置は、対物レンズ１４の図示Ｚ軸方向における弾性支持部材１０ｂの力学的な中立位置に設定されている場合もある。
トラックアクチュエータ１６は、対物レンズ１４を、この光ピックアップ１０が用いられる光ディスク（図示せず）のトラック方向（光ディスクの径方向）に微動させて光スポットを光ディスクのトラックに正確に追従させるものである。トラックアクチュエータ１６は、この光ピックアップの調整装置の作動時には、対物レンズ１４を前記トラック方向、すなわち図示Ｙ軸方向における所定の位置（例えば、対物レンズ１４の図示Ｙ軸方向における弾性支持部材１０ｂの力学的な中立位置）に保持するために用いられる。
また、この光ピックアップ１０は、傾角調整機構１７，１８も備えている。傾角調整機構１７，１８は、レーザ光の光軸に直交する平面、換言すればこの光ピックアップ１０が用いられる光ディスク（図示せず）の板面に対して、対物レンズ１４の傾きを２軸回りにそれぞれ調整することが可能なネジ機構により構成されている。この光ピックアップの調整装置の作動時には、図示Ｘ−Ｙ座標平面に対してＸ軸およびＹ軸回り、すなわち図示θｘ，θｙ回転方向の傾きが調整される。なお、これらの図示θｘ，θｙ回転方向は一例を示すものであり、対物レンズ１４の傾角を調整するための互いに直交する２つの軸線回りの回転方向であれば他の２つの軸線回りの回転方向であってもよい。この対物レンズ１４の傾きは、傾角調整機構１７，１８をドライバ工具などを用いて操作することにより調整される。なお、この光ピックアップ１０の底面には、後述する光ピックアップ支持装置２０にセットされる際に利用される２つの取り付け部１９ａ，１９ｂが設けられている。
このような光ピックアップ１０の具体的な一例を図２に示す。図中における符号は前記した光ピックアップ１０の説明に対応している。なお、前記取り付け部１９ａは、図においては、ケーシング１０ａの外側前面の一角部から水平方向に突出した２つの四角柱状に形成されているとともに、前記取り付け部１９ｂは、図においては、ケーシング１０ａの外側後面の両端から突出した２つのフランジ状に形成されている。また、コリメーティングレンズ１２および傾角調整機構１８は、死角によって図示されていない。
光ピックアップ支持装置２０は、前記光ピックアップ１０を着脱可能に支持する支持部であり、ステージ２１および移動装置２２から構成されている。光ピックアップ１０を支持するステージ２１は図を簡略化するために平板状に示されており、同ステージ２１には光ピックアップ１０を着脱可能な状態で支持する一対の支持部２３ａ，２３ｂが設けられている。実際には、図３に示すように、光ピックアップ１０を支持する支持部２３ａ，２３ｂは、直方体状に形成されたステージ２１の側面から水平方向に延設されており、これらの支持部２３ａ，２３ｂに光ピックアップ１０の外側前後面にそれぞれ設けられた取り付け部１９ａ，１９ｂを侵入させ、取り付け部１９ａ，１９ｂの両端をクリップなどにより挟み支持部２３ａ，２３ｂ上に光ピックアップ１０を固定するようになっている。
移動装置２２は、ステージ２１を支持するとともに、同ステージ２１を３軸方向に変位させ、かつ２軸回りに回転させることが可能な移動機構を備えている。ここで、前記３軸方向とは、図１に示すように、各一対が互いに直交するＸ，Ｙ，Ｚ軸方向であり、前記２軸回りとは、図示Ｘ，Ｙ軸回り、すなわちθｘ，θｙ回転方向である。この移動装置２２は、前記Ｘ，Ｙ，Ｚ軸方向およびθｘ，θｙ回転方向に移動装置２２を手動操作によりそれぞれこの順で変位させることができる操作子２４〜２８を備えている。
実際には、図３に示すように、操作子２４を回転操作することにより、プレート２２ａがプレート２２ｂに対して図示Ｘ軸方向に摺動するとともに、操作子２５を回転操作することにより、プレート２２ｃがプレート２２ａに対して図示Ｙ軸方向に摺動するようになっている。また、操作子２６を回転操作することにより、プレート２２ｂがプレート２２ｄに対して図示Ｚ軸方向に変位するようになっている。さらに、操作子２７を回転操作することにより、プレート２２ｅがプレート２２ｆに対して図示θｘ回転方向に摺動するとともに、操作子２８を回転操作することにより、プレート２２ｆがプレート２２ｇに対して図示θｙ回転方向に摺動するようになっている。したがって、これらの各操作子２４〜２８を操作することによりステージ２１、すなわちステージ２１上に支持される光ピックアップ１０を、それぞれ対応する方向に変位させることができる。なお、前記θｘ，θｙ回転方向をＸ，Ｙ軸回りとしたが、これらのθｘ，θｙ回転方向は、これに限らずＸ−Ｙ平面に存在し、かつ互いに直交する２つの軸線回りの回転方向であれば、他の２つの軸線回りの回転方向であってもよい。
図１に戻り、模擬部材支持装置３０は、模擬部材３１を保持するとともに、同模擬部材３１の傾きを調整することが可能な模擬部材傾き調整機構を備えた支持装置である。模擬部材３１は、ガラス、プラスチック等の透明な部材からなり、光ピックアップ１０が用いられる光ディスクの光学特性と等価な光学特性を有するものである。一般に、光ディスクは、金属薄膜等で形成されたデータ記録面の前面側、すなわち照射されるレーザ光の光源側に、同データ記録面をキズまたは埃等から保護するためのポリカーボネート材からなる透明基板を備えている。このため、光ディスクに照射されるレーザ光は、同透明基板を透過してデータ記録面上に合焦されることになる。
本発明に係る光ピックアップの調整装置は、実際には、対物レンズ１４から出射されて、光ディスクの透明基板を透過したレーザ光の波面と等価なレーザ光を得るために、透明基板の厚みおよび屈折率によるレーザ光の波面収差を補正するための模擬部材３１を必要とする。すなわち、模擬部材３１は、光ディスクを模擬するために光ディスクの代わりに配置されるもので、光ディスクのデータ記録面上に照射されるレーザ光の波面と等価なレーザ光の波面を得るために光ディスクの基板と等価な性質、具体的には等価な厚さおよび屈折率、すなわち光ディスクと等価な光路長を有する。
この模擬部材支持装置３０は、図４に詳しく示すように、保持プレート３２およびプレート支持台３３から構成されている。保持プレート３２は、円盤状に形成されており、その中央部に設けた貫通孔に回転軸３４を貫通させて固定している。この保持プレート３２には、その上面から底面に貫通した複数の貫通孔が、周方向に沿って略等間隔に設けられている。これら複数の貫通孔のうちの１つを除く他の複数の貫通孔（例えば３つの貫通孔）には、保持プレート３２を回転することにより模擬部材３１が交換可能な状態でそれぞれ取り付けられている。この場合、複数の模擬部材３１（例えば、３つの模擬部材３１）は、光学特性の異なる光ディスクの基板に対応して、それぞれ光学特性の異なる複数種類の模擬部材となっている。また、模擬部材３１が取り付けられていない１つの貫通孔（すなわち開口部）は、模擬部材３１を用いない工程が存在するために用意されている。
プレート支持台３３は、保持プレート３２を支持するとともに、保持プレート３２の傾きを調整することが可能な模擬部材傾き調整機構を備えており、支持部３３ａ，３３ｂおよび基部３３ｃから構成されている。支持部３３ａは、略Ｕ字状に形成されており、水平方向に延設された上下一対のアーム３３ａ１，３３ａ２の先端部には、保持プレート３２の回転軸３４の両端を、同回転軸３４の軸線回りに回転可能な状態でそれぞれ支持する。回転軸３４の上端部は、上側のアーム３３ａ１から突出しており、同上端部には、手動操作により保持プレート３２を回転軸３４の軸線回りに回転させるための操作子３５が設けられている。
支持部３３ａにおけるアーム３３ａ１，３３ａ２の基端部下面は、支持部３３ｂの上端部と接し、支持部３３ａと支持部３３ｂとの接触面のＹ軸に直交する断面形状がＸ−Ｚ平面にて円弧状となるように成型されている。また、支持部３３ａと支持部３３ｂとの接触面のＸ軸に直交する断面形状がＹ−Ｚ平面にて直線状になるように成形されている。そして、支持部３３ａの下面は支持部３３ｂの上面上に摺動可能に係合しており、支持部３３ａはその下面にて支持部３３ｂの上面上にＹ軸回りに回転可能に支持されている。また、支持部３３ｂには、手動操作により支持部３３ａを支持部３３ｂに対してＹ軸回り、すなわちθｙ方向に回転させるための操作子３６が設けられている。
支持部３３ｂの下面は、基部３３ｃの上端部と接し、支持部３３ｂと基部３３ｃとの接触面のＸ軸に直交する断面形状がＹ−Ｚ平面にて円弧状となるように成型されている。また、支持部３３ｂと基部３３ｃとの接触面のＹ軸に直交する断面形状がＸ−Ｚ平面にて直線状になるように成形されている。そして、支持部３３ｂの下面は基部３３ｃの上面上に摺動可能に係合しており、支持部３３ｂはその下面にて基部３３ｃの上面上にＸ軸回りに回転可能に支持されている。また、基部３３ｃには、手動操作により支持部３３ｂを基部３３ｃに対してＸ軸回り、すなわちθｘ方向に回転させるための操作子３７が設けられている。
この光ピックアップの調整装置は、光ピックアップ支持装置２０上に載置固定される後述する角度校正治具１１０に設けられた平面ミラー部１１２にレーザ光を照射し、平面ミラー部１１２での反射光を１／２波長板４２およびビームスプリッタ４３を介して入射させるオートコリメータ５０も備えている。ここで１／２波長板４２は、入射したレーザ光の光ピックアップの調整装置内に設けられたビームスプリッタなどの光学素子の偏光依存性を解消するために設けられている。ビームスプリッタ４３は、入射したレーザ光の一部を入射方向と同一方向に透過させるとともに、他の一部を入射方向と直角方向に反射させる光学素子である。
オートコリメータ５０は、レーザ光源５１、コリメーティングレンズ５２、ビームスプリッタ５３、集光レンズ５４およびＣＣＤ撮像素子５５から構成されており、対象物体に向けてレーザ光を照射し、同対象物体からの反射光を受光して照射されたレーザ光に対する対象物体の傾きを検出する傾角検出装置である。レーザ光源５１から出射されたレーザ光は、コリメーティングレンズ５２およびビームスプリッタ５３を介して、光ピックアップ支持装置２０に向けて照射され、同光ピックアップ支持装置２０からの反射光がビームスプリッタ５３、集光レンズ５４を介して撮像器としてのＣＣＤ撮像素子５５により受光される。ＣＣＤ撮像素子５５には、モニタ装置５６が接続されており、ＣＣＤ撮像素子５５による受光像がモニタ装置５６に表示されるようになっている。この場合、モニタ装置５６の表示画面には、このオートコリメータ５０から光ピックアップ支持装置２０に照射されるレーザ光の光軸の方向を交点とする十字状の目盛りが表示されており、ステージ２１（すなわち支持部２３ａ，２３ｂ）に取り付けられる後述する角度校正治具１１０に設けられた平面ミラー部１１２による反射光をＣＣＤ撮像素子５５を介してモニタ装置５６に表示させることにより、ステージ２１の傾きを目視することができるようになっている。なお、モニタ装置５６は、光ピックアップの調整装置の図示しない支持部材により、作業者の視認し易い位置に固定されている。また、オートコリメータ５０は、上記と同様にして対物レンズ１４から出射されるレーザ光の光軸に対する模擬部材３１の傾きを検出することもできる。
また、この光ピックアップ調整装置は、光ピックアップ支持装置２０上に載置固定される光ピックアップ１０の対物レンズ１４を透過するレーザ光を、前述した模擬部材３１、コリメーティングレンズ４１および１／２波長板４２を介し、ビームスプリッタ４３で反射させて後述するシャックハートマンセンサ６０、スポットアナライザ７０、４分割フォトディテクタ８３および２次元ポジションセンサ（ＰＳＤ）９３に導くようになっている。ここで、コリメーティングレンズ４１は、入射したレーザ光を平行光束にする光学素子であり、光ピックアップの調整装置内に設けた図示しないコリメーティングレンズ移動機構により、前記レーザ光の光路上または光路外に配置されるように支持されている。このコリメーティングレンズ４１は、高倍率と低倍率の２種類のレンズからなり、使用目的に応じて一方の倍率のコリメーティングレンズ４１がコリメーティングレンズ移動機構に交換可能な状態で取り付けられている。また、このコリメーティングレンズ４１は、コリメーティングレンズアクチュエータ４４の駆動により、光ピックアップ１０のトラックアクチュエータ１６の駆動方向と直交する方向、図１においてはＸ軸方向に変位するようになっている。
ビームスプリッタ４３により反射されたレーザ光の光軸上には、ビームスプリッタ４５，４６，４７を介してシャックハートマンセンサ６０が設けられている。ビームスプリッタ４５，４６，４７は、前述したビームスプリッタ４３と同様に、入射したレーザ光の一部を入射方向と同一方向にそれぞれ透過させるとともに、他の一部を入射方向と直角方向にそれぞれ反射させる光学素子である。ビームスプリッタ４３により反射されたレーザ光は、ビームスプリッタ４５によりその一部が直角方向に反射されるとともに、同反射光の一部がそれぞれビームスプリッタ４６，４７を透過してレーザ光の観測装置としてのシャックハートマンセンサ６０に入射するようになっている。
シャックハートマンセンサ６０は、ＮＤ（ＮｅｕｔｒａｌＤｅｎｓｉｔｙ）フィルタ６１、レンズアレイ６２およびＣＣＤ撮像素子６３から構成されており、ビームスプリッタ４５，４６，４７を介して入射するレーザ光の波面収差を計測する波面計測器である。ＮＤフィルタ６１は、入射するレーザ光の光量を適切にするための光学フィルタである。レンズアレイ６２は、入射するレーザ光のビーム径に比べ小さなレンズを２次元格子状に配列した複数のレンズから構成され、入射したレーザ光を各レンズごとにそれぞれＣＣＤ撮像素子６３上に集光させる。ＣＣＤ撮像素子６３は、レンズアレイ６２を構成する複数のレンズによるレーザ光の集光位置に配置され、同複数のレンズによって形成される複数の点像を撮像する撮像器である。このＣＣＤ撮像素子６３によって撮像された複数の点像は、ハートマンノグラムと呼ばれ、収差を含まない波面により得られる複数の点像からのそれぞれの変位、すなわち、ＣＣＤ撮像素子６３による撮像面におけるレーザ光の波面の法線ベクトルの正弦（サイン）成分に対応する。ＣＣＤ撮像素子６３によって撮像された複数の点像、すなわちビデオ信号は画像生成装置６４に供給される。
画像生成装置６４は、後述するコントローラ１００によって制御されて、ＣＣＤ撮像素子６３から出力されるビデオ信号を用いてレーザ光の波面形状を計算し、同波面を立体画像として表示するための立体画像データを生成する装置である。この画像生成装置６４により生成された立体画像データは、モニタ装置６５に出力され、同モニタ装置６５によりレーザ光の波面の様子が立体画像として表示される。また、同時に収差量を計算し、数値データとしてモニタ装置６５に表示させたり、測定および計算された波面に基づいて擬似的に干渉縞をモニタ装置６５に表示させることも可能である。このモニタ装置６５は、光ピックアップの調整装置の図示しない支持部材により、作業者の視認し易い位置に固定されている。
ビームスプリッタ４５を透過したレーザ光の光軸上には、スポットアナライザ７０が設けられている。スポットアナライザ７０は、ＮＤフィルタ７１、集光レンズ７２およびＣＣＤ撮像素子７３から構成されており、ビームスプリッタ４５を透過したレーザ光（すなわちシャックハートマンセンサ６０に入射するレーザ光に等価なレーザ光）の光軸の同光軸に直交する面内におけるずれ、具体的は図示Ｘ−Ｙ軸平面内における対物レンズ１４によるレーザ光の焦点スポットの形状および位置を観察する検出器である。また、スポットアナライザ７０は、対物レンズ１４により出射されるレーザ光の光軸に対する模擬部材３１の傾角を検出することも可能である。さらに、前述したオートコリメータ５０の集光レンズ５４およびＣＣＤ撮像素子５５の機能を代わりに行うことも可能である。ＮＤフィルタ７１は、前記ＮＤフィルタ６１と同様に、入射するレーザ光の光量を適切にするための光学フィルタである。集光レンズ７２は、入射するレーザ光をＣＣＤ撮像素子７３上に集光させる光学レンズである。ＣＣＤ撮像素子７３は、集光レンズ７２の集光位置に配置され、同集光レンズ７２によって形成される点像を撮像する撮像器である。
ＣＣＤ撮像素子７３には、モニタ装置７４が接続されており、ＣＣＤ撮像素子７３による受光像がモニタ装置７４に表示されるようになっている。この場合、モニタ装置７４の表示画面には、シャックハートマンセンサ６０、後述する４分割フォトディテクタ８３および２次元ポジションセンサ（ＰＳＤ）９３がレーザ光を受光することができる受光範囲の中心位置を交点とする十字状の目盛りが表示されており、シャックハートマンセンサ６０に入射するレーザ光の光軸と前記受光範囲の中心位置との位置関係を目視することができるようになっている。また、モニタ装置７４に表示される点像の大きさにより、対物レンズ１４によるレーザ光の焦点位置とシャックハートマンセンサ６０にレーザ光を的確に入射させるための位置関係を、さらに１次回折リングが観察できる場合には、そのリングの途切れ具合から模擬部材３１の最大傾角となる方向を目視することができるようになっている。なお、モニタ装置７４は、光ピックアップの調整装置の図示しない支持部材により、作業者の視認し易い位置に固定されている。
ビームスプリッタ４６により反射されたレーザ光の光軸上には、凸レンズ８１、シリンドリカルレンズ８２および４分割フォトディテクタ８３が設けられており、ビームスプリッタ４６により反射されたレーザ光、すなわちシャックハートマンセンサ６０に入射するレーザ光の一部が４分割フォトディテクタ８３上の図示しない受光部ａ，ｂ，ｃ，ｄでの受光量に対応した受光信号Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄに変換されてフォーカスエラー信号生成回路８４に出力される。フォーカスエラー信号生成回路８４は、４分割フォトディテクタ８３から出力された受光信号Ａ〜Ｄから非点収差法などによりフォーカスエラー信号を生成し、フォーカスサーボ制御回路８５に出力する。フォーカスサーボ制御回路８５は、後述するコントローラ１００に制御されて、フォーカスエラー信号生成回路８４から出力されるフォーカスエラー信号に基づいてフォーカスサーボ信号を生成し、ドライブ回路８６に出力する。ドライブ回路８６は、フォーカスサーボ信号に応じて調整対象である光ピックアップ１０に内蔵されるフォーカスアクチュエータ１５を駆動制御することによって対物レンズ１４を光軸方向に変位させる。したがって、フォーカスエラー信号生成回路８４、フォーカスサーボ制御回路８５およびドライブ回路８６の協働により対物レンズ１４のフォーカスサーボ制御が実現される。
ビームスプリッタ４７により反射されたレーザ光の光軸上には、ＮＤフィルタ９１および凸レンズ９２を介して２次元ポジションセンサ（ＰＳＤ）９３が設けられている。ＮＤフィルタ９１は、前述したＮＤフィルタ７１，６１と同様に、入射するレーザ光の光量を適切にするための光学フィルタである。凸レンズ９２は、入射したレーザ光を２次元ポジションセンサ（ＰＳＤ）９３上に集光する光学レンズである。２次元ポジションセンサ（ＰＳＤ）９３は、フォトダイオードの表面抵抗を利用した２次元の受光光量の重心を検出する素子であり、凸レンズ９２の集光位置に配置され、同凸レンズ９２によって２次元ポジションセンサ（ＰＳＤ）９３上に形成される点像の重心位置を表す受光信号を位置計算回路９４に出力する。この受光信号が表す位置とは、ビームスプリッタ４７により反射されたレーザ光（すなわちシャックハートマンセンサ６０に入射するレーザ光に等価なレーザ光）の光軸と直交する平面内における位置、すなわち図示Ｘ−Ｙ軸平面内におけるシャックハートマンセンサ６０の光軸と対物レンズ１４から放射されるレーザ光の光軸とのずれを２次元ポジションセンサ（ＰＳＤ）９３上に投影したものである。
位置計算回路９４は、２次元ポジションセンサ（ＰＳＤ）９３から出力される受光信号を用いて、シャックハートマンセンサ６０がレーザ光を受光することができる受光範囲の中心位置とシャックハートマンセンサ６０に入射するレーザ光の光軸の位置との図示Ｘ−Ｙ軸平面におけるずれをそれぞれ計算し、同ずれをそれぞれ表すＸ方向エラー信号およびＹ方向エラー信号をＸ−Ｙ方向サーボ制御回路９５に出力する。Ｘ−Ｙ方向サーボ制御回路９５は、後述するコントローラ１００に制御されて、前記Ｘ方向エラー信号およびＹ方向エラー信号に基づいてＸ方向サーボ信号およびＹ方向サーボ信号を生成し、ドライブ回路９６，９７にそれぞれ出力する。
ドライブ回路９６は、Ｘ方向サーボ信号に応じてコリメーティングレンズ用のコリメーティングレンズアクチュエータ４４を駆動制御することによってコリメーティングレンズ４１を図示Ｘ軸方向に変位させる。また、ドライブ回路９７は、Ｙ方向サーボ信号に応じて調整対象である光ピックアップ１０に内蔵されるトラックアクチュエータ１６を駆動制御することによって対物レンズ１４を図示Ｙ軸方向に変位させる。したがって、位置計算回路９４、Ｘ−Ｙ方向サーボ制御回路９５、ドライブ回路９６，９７の協働によりコリメーティングレンズ４１の図示Ｘ軸方向および対物レンズ１４の図示Ｙ軸方向の２方向サーボ制御が実現される。なお、コリメーティングレンズアクチュエータ４４は、対物レンズ１４から出射したレーザ光の光軸を模擬部材３１を介してＸ軸方向に変位させるために利用される。
コントローラ１００は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭなどからなり、入力装置１０１からの指示に応じて、画像生成装置６４、フォーカスサーボ制御回路８５、Ｘ−Ｙ方向サーボ制御回路９５およびレーザ駆動回路１０２の作動をそれぞれ制御する。入力装置１０１は、複数の押しボタンスイッチからなり、画像生成装置６４、フォーカスサーボ制御回路８５、Ｘ−Ｙ方向サーボ制御回路９５およびレーザ駆動回路１０２のそれぞれの作動の開始を指示する。レーザ駆動回路１０２は、コントローラ１００からの指示に応じて、光ピックアップ１０のレーザ光源１１およびオートコリメータ５０のレーザ光源５１の作動を制御する。
このように構成された光ピックアップの調整装置の使用に際しては、予め光ピックアップ支持装置２０のステージ２１および模擬部材３１の角度校正が必要であるため、これらの角度校正工程について説明する。まず、光ピックアップ支持装置２０のステージ２１の角度校正工程について説明する。
図５に示すように、作業者により、角度校正治具１１０を光ピックアップ支持装置２０のステージ２１上にセットする。この角度校正治具１１０は、図６に示すように、方形状の平板部材からなる基台１１１上に設けられた平面ミラー部１１２が設けられている。実際には、図７に示すように、前述したステージ２１の一対の支持部２３ａ，２３ｂは２本のシャフトで構成されており、基台１１１の底面に設けた互いに平行な２本の溝からなる一対の取り付け部１１３ａ，１１３ｂが同シャフト上にそれぞれ載置されてステージ２１にセットされる。平面ミラー部１１２は、ステージ２１の角度校正に用いられる反射部材であり、ステージ２１上に基台１１１を載置した状態で、反射面の法線がシャックハートマンセンサ６０の光軸と平行になるように角度校正が行われる。この角度校正によりステージ２１上に固定される光ピックアップ１０から出射されるレーザ光の光軸とシャックハートマンセンサ６０の光軸が平行になる。
この角度校正治具をステージ２１上に載置固定した状態で、作業者は、図示しない電源スイッチの投入により、コントローラ１００を含む光ピックアップの調整装置の作動を開始させる。次に、作業者は、模擬部材支持装置３０の操作子３５を操作することにより保持プレート３２を回転させて、保持プレート３２の模擬部材３１が取り付けられていない１つの貫通孔（開口部）を、オートコリメータ５０から出射されるレーザ光の光軸上に位置させる。これは、オートコリメータ５０から出射されるレーザ光が、模擬部材３１を介さずに平面ミラー部１１２に照射されることにより、模擬部材３１による反射光を生じさせないためである。なお、オートコリメータ５０から出射されるレーザ光の光軸は、ビームスプリッタ４３を介したシャックハートマンセンサ６０の光軸に一致するように予め設定されている。
このとき、光ピックアップの調整装置内に設けられた図示しないコリメーティングレンズ移動機構を操作して、コリメーティングレンズ４１をオートコリメータ５０から出射されるレーザ光の光路外に位置するように移動させておく。これは、オートコリメータ５０から出射されるレーザ光が、同オートコリメータ５０に内蔵されるコリメーティングレンズ５２によって既に平行光束に変換されているためである。
次に、作業者は、入力装置１０１を操作してコントローラ１００に対して、オートコリメータ５０からのレーザ光の出射を指示する。この指示に応答してコントローラ１００は、レーザ駆動回路１０２に対して、オートコリメータ５０内のレーザ光源５１の作動の開始を指示する。これにより、オートコリメータ５０は、レーザ光源５１から出射されたレーザ光を、コリメーティングレンズ５２およびビームスプリッタ５３を介して、光ピックアップ支持装置２０上に載置された平面ミラー部１１２に向けて出射する。オートコリメータ５０から出射されたレーザ光は、ビームスプリッタ４３および保持プレート３２の模擬部材３１が取り付けられていない１つの貫通孔（開口部）を通って平面ミラー部１１２に照射される。
平面ミラー部１１２に照射されたレーザ光は、平面ミラー部１１２の反射面により反射されて、再び保持プレート３２の模擬部材３１が取り付けられていない１つの貫通孔（開口部）およびビームスプリッタ４３を通ってオートコリメータ５０に入射する。オートコリメータ５０に入射した反射光は、ビームスプリッタ５３を介してコンデンサレンズ５４に入射し、コンデンサレンズ５４は、入射した反射光をＣＣＤ撮像素子５５上に結像する。そして、このＣＣＤ撮像素子５５に結像した反射光を表すビデオ信号は、モニタ装置５６に入力され同モニタ装置５６は、図示Ｘ−Ｙ軸平面における反射光の角度を点像として表示する。作業者は、このモニタ装置５６の表示に基づいて、前記点像の位置がモニタ装置５６上に表示されている十字状の目盛りの交点に位置するように光ピックアップ支持装置２０の図示θｘ，θｙ回転方向調整用の操作子２７，２８を操作して、ステージ２１の図示θｘ，θｙ回転方向における傾きを調整する。なお、この場合も、前記θｘ，θｙ回転方向をＸ，Ｙ軸回りとしたが、これらのθｘ，θｙ回転方向は、これに限らずＸ−Ｙ平面に存在し、かつ互いに直交する２軸回りの回転方向であれば、他の２つの軸線回りの回転方向であってもよい。
これにより、オートコリメータ５０から出射されるレーザ光の光軸に対して光ピックアップ支持装置２０のステージ２１の一対の支持部２３ａ，２３ｂ（２本のシャフト）上の母線が垂直となるように、ステージ２１の傾きが調整される。その後、作業者は、入力装置１０１を操作して、オートコリメータ５０からのレーザ光の出射を停止させるとともに、角度校正治具１１０をステージ２１上から取り除く。これにより、光ピックアップ支持装置２０のステージ２１の角度校正工程が終了する。このような光ピックアップ支持装置２０によれば、モニタ装置５６の表示を確認しながら図示θｘ，θｙ回転方向調整用の操作子２７，２８を操作することにより、ステージ２１の図示θｘ，θｙ回転方向における傾きを簡単に調整することができる。
次に、模擬部材３１の角度校正工程について説明する。この模擬部材３１の角度校正工程は、オートコリメータ５０から出射されるレーザ光を模擬部材３１で反射させ、同反射光の位置をモニタ装置５６に表示させて模擬部材３１の傾きを調整するものである。具体的には、まず、作業者は、模擬部材支持装置３０の操作子３５を操作することによって保持プレート３２を回転させて、保持プレート３２に取り付けられている複数の模擬部材３１のうちの１つの模擬部材３１をオートコリメータ５０から出射されるレーザ光の光軸上に位置させる。この場合、複数の模擬部材３１から選択される１つの模擬部材３１は、この光ピックアップの調整装置によって調整される光ピックアップ１０が用いられる光ディスクに対応する光学特性を有する模擬部材３１である。
次に、作業者は、入力装置１０１を操作してコントローラ１００に対して、オートコリメータ５０からのレーザ光の出射を指示する。これにより、オートコリメータ５０は、前記光ピックアップ支持装置２０のステージ２１の角度校正工程の場合と同様にレーザ光を出射する。オートコリメータ５０から出射されたレーザ光は、ビームスプリッタ４３を介して模擬部材３１に照射される。模擬部材３１に照射されたレーザ光は、その一部が模擬部材３１を透過するとともに、他の一部が模擬部材３１により反射されて再びビームスプリッタ４３を介してオートコリメータ５０に受光される。この場合も、コリメーティングレンズ４１はオートコリメータ５０から出射されるレーザ光の光路外に位置している。また、模擬部材３１を透過したレーザ光は、光ピックアップ支持装置２０のステージ２１上に照射されるが、ステージ２１上には平面ミラーまたは光ピックアップ１０は存在しないため、これらからの反射光はない。
オートコリメータ５０は、受光した反射光に基づいて、θｘ−θｙ方向における反射光の角度を点像としてモニタ装置５６に表示させる。作業者は、このモニタ装置５６の表示に基づいて、前記点像の位置がモニタ装置５６上に表示されている十字状の目盛りの交点に位置するように模擬部材保持器３０の操作子３６，３７を操作して、保持プレート３２、すなわち模擬部材３１の図示θｘ，θｙ回転方向における傾きを調整する。これにより、オートコリメータ５０から出射されるレーザ光の光軸が模擬部材３１に対して垂直となるように、模擬部材３１の傾きが調整される。その後、作業者は、入力装置１０１を操作して、オートコリメータ５０からのレーザ光の出射を停止させる。これにより、模擬部材３１の角度校正工程が終了する。なお、この模擬部材３１の角度校正工程は、前述した光ピックアップ支持装置２０のステージ２１の角度校正工程の前工程として行ってもよい。
次に、作業者は、光ピックアップの位置調整工程に移る。光ピックアップの位置調整工程は、シャックハートマンセンサ６０がレーザ光を受光することができる受光範囲の中心位置に光ピックアップ１０から出射されるレーザ光の光軸が位置するように光ピックアップ１０の図示Ｘ−Ｙ座標方向における位置を調整するとともに、光ピックアップ１０から出射されるレーザ光の焦点位置が模擬部材３１を介してシャックハートマンセンサ６０にレーザ光を的確に取り込む位置に位置するように光ピックアップ１０の図示Ｚ軸方向における位置を調整するものである。具体的には、コリメーティングレンズ４１の下方に位置する点（すなわち、コリメーティングレンズ４１の収差を最小にするための点で、理想的な軸上の物点）である。まず、作業者は、図１に示すように、この光ピックアップの調整装置における調整対象である光ピックアップ１０を、光ピックアップ支持装置２０のステージ２１上に載置し固定する。そして、光ピックアップの調整装置内に設けられた図示しないコリメーティングレンズ移動機構に低倍率のコリメーティングレンズ４１をセットするとともに、同コリメーティングレンズ移動機構を操作して、コリメーティングレンズ４１を光ピックアップ１０から出射されるレーザ光の光路上に位置させるように移動する。この場合、低倍率のコリメーティングレンズ４１を用いるのは、光ピックアップ１０から出射されるレーザ光が、後述するスポットアナライザ７０の受光範囲内に入射され易くするためである。また、光ピックアップ１０のレーザ光源１１にレーザ駆動回路１０２を接続するとともに、フォーカスアクチュエータ１５およびトラックアクチュエータ１６をドライブ回路８６，９６にそれぞれ接続する。
次に、作業者は、入力装置１０１を操作してコントローラ１００に対して、光ピックアップ１０からのレーザ光の出射を指示する。この指示に応答してコントローラ１００は、レーザ駆動回路１０２に対して、光ピックアップ１０内のレーザ光源１１の作動の開始を指示する。これにより、光ピックアップ１０は、レーザ光源１１から出射されたレーザ光をコリメーティングレンズ１２、立上ミラー１３および対物レンズ１４を介して模擬部材３１に向けてレーザ光を出射する。光ピックアップ１０から出射されたレーザ光は、模擬部材３１、コリメーティングレンズ４１およびビームスプリッタ４３，４５，４６，４７を介して、それぞれスポットアナライザ７０、４分割フォトディテクタ８３、２次元ポジションセンサ（ＰＳＤ）９３およびシャックハートマンセンサ６０に受光される。これらのうち、シャックハートマンセンサ６０、４分割フォトディテクタ８３および２次元ポジションセンサ（ＰＳＤ）９３により受光されたレーザ光は、それぞれ画像生成装置６４、フォーカスサーボ制御回路８５およびＸ−Ｙ方向サーボ制御回路９５の作動がコントローラ１００によりそれぞれ停止された状態であるので、結果として無視される。
スポットアナライザ７０は、ビームスプリッタ４５から入射したレーザ光を、ＮＤフィルタ７１および集光レンズ７２を介してＣＣＤ撮像素子７３上に集光させる。このＣＣＤ撮像素子７３は、この集光されたレーザ光に対応するビデオ信号をモニタ装置７４に出力し、モニタ装置７４は、このビデオ信号に基づき図示Ｘ−Ｙ座標平面におけるレーザ光の位置を点像として表示する。この場合、対物レンズ１４の焦点位置が模擬部材３１を介してシャックハートマンセンサ６０にレーザ光を的確に取り込む位置、すなわちコリメーティングレンズ４１の下方に位置する点（すなわち、コリメーティングレンズ４１の収差を最小にするための点で、理想的な軸上の物点）に位置していなければ、モニタ装置７４に表示される点像は不明瞭な像として表示される。したがって、作業者は、まず、対物レンズ１４の焦点位置が前記コリメーティングレンズ４１の下方に位置する点に位置するように光ピックアップ１０の位置調整を行う。具体的には、作業者は、モニタ装置７４の表示を確認しながら、前記不明瞭な像が明瞭かつ最小な点像となるように光ピックアップ支持装置２０の図示Ｚ軸方向調整用の操作子２６を操作して、ステージ２１の図示Ｚ軸方向の位置を調整する。これにより、対物レンズ１４の焦点位置がコリメーティングレンズ４１の下方に位置する点（すなわち、コリメーティングレンズ４１の収差を最小にするための点で、理想的な軸上の物点）に位置するようになる。次に、作業者は、モニタ装置７４の表示に基づいて、前記点像の位置がモニタ装置７４上に表示されている十字状の目盛りの交点に位置するように光ピックアップ支持装置２０の図示Ｘ，Ｙ軸方向調整用の操作子２４，２５を操作して、ステージ２１の図示Ｘ，Ｙ軸方向における位置を調整する。
次に、作業者は、コリメーティングレンズ移動機構にセットされている低倍率のコリメーティングレンズ４１に代えて高倍率のコリメーティングレンズ４１をセットする。そして、前述したように、モニタ装置７４の表示を確認しながら前記点像が最小となるように光ピックアップ支持装置２０の図示Ｚ軸方向調整用の操作子２６を操作するとともに、前記点像の位置がモニタ装置７４上に表示されている十字状の目盛りの交点に位置するように光ピックアップ支持装置２０の図示Ｘ，Ｙ軸方向調整用の操作子２４，２５を操作して、ステージ２１の図示Ｘ，Ｙ軸方向における位置を調整する。このような、高倍率のコリメーティングレンズ４１を用いることにより、さらに高精度に光ピックアップ１０の位置決めを行うことができる。
これにより、スポットアナライザ７０におけるレーザ光の受光範囲の中心位置に対物レンズ１４を介して光ピックアップ１０から出射されるレーザ光の光軸を表す点像が投影されるようになる。このことは、シャックハートマンセンサ６０の光軸と光ピックアップ１０から出射されるレーザ光の光軸が平行になったことを意味する。これにより、光ピックアップの位置調整工程が終了する。このような光ピックアップ支持装置２０によれば、モニタ装置７４の表示を確認しながら図示Ｘ，Ｙ，Ｚ軸方向調整用の操作子２４〜２６を操作することにより、光ピックアップ１０の図示Ｘ，Ｙ，Ｚ軸方向における位置を簡単に調整することができる。
次に、作業者は、対物レンズのフォーカスサーボ制御開始工程に移る。対物レンズのフォーカスサーボ制御開始工程は、対物レンズ１４のフォーカスサーボ制御を正確かつ安定的に行わせるための工程であり、前述した光ピックアップの位置調整工程から連続的に行われるものである。具体的には、作業者は、入力装置１０１を操作して、コントローラ１００に対して、対物レンズ１４のフォーカスサーボ制御の開始を指示する。この指示に応答してコントローラ１００は、フォーカスサーボ制御回路８５の作動を開始させる。この場合、ビームスプリッタ４６により反射されたレーザ光は、凸レンズ８１およびシリンドリカルレンズ８２を介して４分割フォトディテクタ８３に入射し、４分割フォトディテクタ８３により図示しない受光部ａ，ｂ，ｃ，ｄでの受光量に対応する受光信号Ａ〜Ｄに変換されてフォーカスエラー信号生成回路８４に供給されている。そして、フォーカスエラー信号生成回路８４により、同受光信号Ａ〜Ｄに基づいてフォーカスエラー信号が生成され、フォーカスサーボ制御回路８５は、同フォーカスエラー信号に基づいてフォーカスサーボ信号を生成してドライブ回路８６に出力する。ドライブ回路８６は、このフォーカスサーボ信号に応じて対物レンズ１４の駆動制御を開始する。
次に、作業者は、この対物レンズ１４がフォーカスサーボ制御された状態で対物レンズ１４の図示Ｘ，Ｙ，Ｚ軸方向における位置の補正を行う。具体的には、前述した光ピックアップの位置調整工程と同様に光ピックアップ支持装置２０の図示Ｘ，Ｙ，Ｚ軸方向調整用の操作子２４〜２６を操作して光ピックアップ１０の位置を補正する。これは、光ピックアップ１０に内蔵される対物レンズ１４が、ワイヤー等からなる弾性支持部材により弾性的に支持されているため、対物レンズ１４がフォーカスサーボ制御されない状態においては、対物レンズ１４の自重により図示Ｚ軸方向における弾性指示部材１０ｂの力学的な中立位置から下方にずれた位置にあるためである。
すなわち、この対物レンズ１４が前記中立位置から下方にずれた位置にある状態で、前述した光ピックアップの位置調整工程により、光ピックアップ１０の図示Ｚ軸方向における位置を決定してフォーカスサーボ制御を開始すると、対物レンズ１４は前記中立位置から下方にずれた位置を中心にしてフォーカスサーボ制御されることになる。したがって、作業者は、光ピックアップ支持装置２０の図示Ｚ軸方向調整用の操作子２６を操作して、光ピックアップ１０の図示Ｚ軸方向における位置を、対物レンズ１４が前記中立位置からずれている量だけ下方に変位させて、対物レンズ１４のフォーカスサーボ制御が、前記中立位置を中心にして行われるようにする。この場合、対物レンズ１４の前記中立位置からのずれ量を予め測定しておき、このずれ量を所定値として作業者は、光ピックアップ１０の図示Ｚ軸方向における位置を下方に変位させる。
また、これに代えて、対物レンズ１４の外周に環状の平面部を設けておき、この平面部を含む対物レンズ１４に向けてオートコリメータ５０からレーザ光を照射して、同平面部からの反射光をモニタ装置５６に表示させる。この場合、図１の破線に示すように、ビームスプリッタ４３とオートコリメータ５０の間に集光レンズ４８を設けることにより、オートコリメータ５０から出射された平行光束を対物レンズ１４の環状の平面部に照射し、この平面部からの反射光をオートコリメータ５０にて受光する。これにより、モニタ装置５６上には平面部の傾角に対応して点像が表示され、作業者は、同像がモニタ装置５６上の所定の位置になるように光ピックアップ支持装置２０の図示Ｚ軸方向調整用の操作子２６を操作して、光ピックアップ１０の図示Ｚ軸方向における位置を補正することもできる。このような光ピックアップの図示Ｚ軸方向における位置の補正は、対物レンズ１４が光ピックアップ１０のケーシング１０ａに対して片持梁によって支持されている場合には特に有効である。なお、この集光レンズ４８は、対物レンズ１４の位置の補正作業においてのみ用いるものであるから、光ピックアップの調整装置内に設けられた図示しない集光レンズ移動機構により、オートコリメータ５０から出射されるレーザ光の光路上または光路外に選択的に配置されるように支持されている。したがって、集光レンズ４８が不必要な場合には、図５の破線に示すように、集光レンズ４８をオートコリメータ５０から出射されるレーザ光の光路外に配置させるようにする。
また、この光ピックアップ１０の図示Ｚ軸方向の位置の補正作業によって、図示Ｘ，Ｙ軸方向における光ピックアップ１０の位置がずれた場合には、スポットアナライザ７０に接続されたモニタ装置７４に表示される前述した点像を確認しながら光ピックアップ支持装置２０の図示Ｘ，Ｙ軸方向調整用の操作子２４，２５を操作して、光ピックアップ１０の図示Ｘ，Ｙ軸方向における位置を補正する。これにより、対物レンズ１４のフォーカスサーボ制御が正確かつ安定的に行われるようになり、対物レンズのフォーカスサーボ制御開始工程が終了する。
次に、作業者は、２方向サーボ制御開始工程に移る。２方向サーボ制御開始工程は、対物レンズ１４の図示Ｙ軸方向におけるサーボ制御を開始させるとともに、コリメーティングレンズ４１の図示Ｘ軸方向におけるサーボ制御を開始させる工程であり、前述した対物レンズのフォーカスサーボ制御開始工程から連続的に行われるものである。具体的には、作業者は、入力装置１０１を操作してコントローラ１００に対して、２方向サーボ制御の開始を指示する。この指示に応答してコントローラ１００は、Ｘ−Ｙ方向サーボ制御回路９５の作動を開始させる。
この場合、ビームスプリッタ４７により反射されたレーザ光は、ＮＤフィルタ９１および凸レンズ９２を介して２次元ポジションセンサ（ＰＳＤ）９３に入射し、２次元ポジションセンサ（ＰＳＤ）９３により対応する点像の重心位置を表す受光信号に変換されて位置計算回路９４に供給される。そして、位置計算回路９４により、同受光信号に基づいてＸ方向エラー信号およびＹ方向エラー信号がそれぞれ生成され、Ｘ−Ｙ方向サーボ制御回路９５は、同Ｘ方向エラー信号および同Ｙ方向エラー信号に基づいてＸ方向サーボ信号およびＹ方向サーボ信号をそれぞれ生成しドライブ回路９６，９７にそれぞれ出力する。ドライブ回路９７は、このＹ方向サーボ信号に応じて対物レンズ１４の図示Ｙ方向における駆動制御を開始する。また、ドライブ回路９６は、このＸ方向サーボ信号に応じてコリメーティングレンズ４１の図示Ｘ方向における駆動制御を開始する。これにより、対物レンズ１４の図示Ｙ方向におけるサーボ制御が開始されるとともに、コリメーティングレンズ４１の図示Ｘ方向におけるサーボ制御が開始され、２方向サーボ制御開始工程が終了する。
次に、作業者は、対物レンズの傾角調整工程に移る。対物レンズ１４の傾角調整工程は、光ピックアップ１０のレーザ光源１１からコリメーティングレンズ１２を介して出射されるレーザ光の光軸が、対物レンズ１４の光軸と平行に対物レンズ１４の傾きを調整する工程であり、前述した２方向サーボ制御開始工程から連続的に行われるものである。具体的には、作業者は、入力装置１０１を操作してコントローラ１００に対して、画像生成装置６４の作動の開始を指示する。この指示に応答してコントローラ１００は、画像生成装置６４の作動を開始させる。
この場合、ビームスプリッタ４７を透過したレーザ光は、シャックハートマンセンサ６０に入射する。シャックハートマンセンサ６０は、ビームスプリッタ４７から入射したレーザ光を、ＮＤフィルタ６１およびレンズアレイ６２を介してＣＣＤ撮像素子６３上に集光させる。この場合、レンズアレイ６２によって複数の点像がＣＣＤ撮像素子６３上に集光される。ＣＣＤ撮像素子６３は、これらの集光されたレーザ光に対応するビデオ信号を画像生成装置６４に出力し、画像生成装置６４は、同ビデオ信号に基づいてレーザ光の波面を計算し立体画像として表示するための立体画像データを生成してモニタ装置６５に出力する。モニタ装置６５は、この立体画像データに基づきレーザ光の波面の様子を立体画像として表示する。
作業者は、モニタ装置６５に表示されるレーザ光の波面の様子を確認しながら、波面の立体画像が平坦となるように、光ピックアップ１０の図示θｘ回転方向調整用の傾角調整機構１７および図示θｙ回転方向調整用の傾角調整機構１８を操作して、対物レンズ１４の図示θｘ，θｙ回転方向における傾きを調整する。この場合、対物レンズ１４の図示θｘ，θｙ回転方向における傾きを調整する過程において、光ピックアップ１０から出射されるレーザ光の光軸がシャックハートマンセンサ６０のレーザ光の受光範囲から外れた場合には、前述した光ピックアップの位置調整工程に戻って、光ピックアップの位置調整工程から再度各工程の作業を行う。これにより、光ピックアップ１０のレーザ光源１１からコリメーティングレンズ１２を介して出射されるレーザ光の光軸が、対物レンズ１４の光軸と平行となる。
このようにして、対物レンズ１４の傾きが調整された場合には、作業者は、入力装置１０１を操作して、コントローラ１００に対して、画像生成装置６４、フォーカスサーボ制御回路８５、Ｘ−Ｙ方向サーボ制御回路９５およびレーザ駆動回路１０２のそれぞれの作動の停止を指示する。この指示に応答してコントローラ１００は、画像生成装置６４、フォーカスサーボ制御回路８５、Ｘ−Ｙ方向サーボ制御回路９５およびレーザ駆動回路１０２のそれぞれの作動を停止させる。そして、作業者は、光ピックアップ１０を光ピックアップ支持装置２０のステージ２１から取り除き、対物レンズの傾角調整工程が終了する。
なお、続けて他の光ピックアップ１０の調整作業を行う場合には、前述した光ピックアップの位置調整工程から作業を開始すればよい。また、他の光学特性を有する光ディスクに用いられる光ピックアップ１０の調整を行う場合には、模擬部材支持装置３０の操作子３５を操作することによって保持プレート３２を回転させて、保持プレート３２に取り付けられている複数の模擬部材３１のうち必要な光学特性を有する１つの模擬部材３１をオートコリメータ５０から出射されるレーザ光の光軸上に位置させた後、前述した光ピックアップの位置調整工程から作業を開始すればよい。
上記作動説明からも理解できるように、上記実施形態によれば、光ピックアップ１０から出射されるレーザ光は、対物レンズ１４および模擬部材３１を介してシャックハートマンセンサ６０により受光され、同シャックハートマンセンサ６０により受光したレーザ光の波面収差が計測されて、この計測された収差に基づいて計算された波面の様子がモニタ装置６５上に表示される。そして、作業者は、モニタ装置６５に表示されるレーザ光の波面の様子を確認しながら対物レンズ１４の傾きを調整する。このレーザ光の波面収差はレーザ光の可干渉性とは無関係に計測され、かつレーザ光の波面はレーザ光の可干渉性と無関係に観察されるため、レーザ光の可干渉性に影響されることなく対物レンズ１４の傾きを調整することができる。また、このレーザ光の波面収差は高開口数のコリメーティングレンズ４１を用いることなく計測できるため、対物レンズ１４の開口数に影響されることなく対物レンズ１４の傾きを調整することができる。
また、このような対物レンズ１４の傾角の調整後に、次のような方法により、対物レンズ１４の傾角が最良に調整されていることを確認することもできる。例えば、光ディスクの光路長に相当する光路長に対して、所定の光路長だけ長い光路長を有する第１模擬部材と、前記所定の光路長だけ短い光路長を有する第２模擬部材とを順次入れ換えて、光ピックアップ１０から出射されるレーザ光をシャックハートマンセンサ６０に取り込むようにする。そして、前記第１模擬部材および第２模擬部材を用いた場合におけるレーザ光束の波面が有する収差をそれぞれ計算するとともに、前記対物レンズ１４の傾角調整完了時の収差に対する前記計算した両収差の変化量を計算する。そして、これらの計算した両変化量の対称性を確認することにより、対物レンズ１４の傾角が最良に調整されていることを確認する。
また、前記第１模擬部材および第２模擬部材を入れ換えて用いるのに代えまたは加えて、前記対物レンズ１４の傾角調整完了後に、模擬部材３１をθｘ回転方向および／またはθｙ回転方向に所定量だけ順次正逆に傾ける。そして、前述のように、各正逆に傾けた状態におけるレーザ光束の波面が有する両収差をそれぞれ計算するとともに、前記計算した両収差の変化量の対称性を確認することにより、対物レンズ１４の傾角が最良に調整されていることを確認することもできる。
また、上記実施形態によれば、異なる光学特性を有する複数の模擬部材３１を保持するとともに、同模擬部材３１の傾きを調整することができる模擬部材傾き調整機構を備えた模擬部材支持装置３０を用いて、模擬部材３１を光ピックアップ１０から出射されるレーザ光の光軸上に配置している。これによれば、異なる光学特性を有する複数の模擬部材３１の中から必要とする光学特性を有する模擬部材３１を即座に光ピックアップ１０およびオートコリメータ５０から出射されるレーザ光の光軸上に配置させることができ、作業効率を向上させることができる。また、複数の模擬部材３１の他に模擬部材３１を有しない１つの貫通孔（開口部）を設けることにより、光ピックアップ支持装置２０のステージ２１の角度校正工程のような模擬部材３１を必要としない場合にも速やかに対応することができる。また、モニタ装置５６の表示を確認しながら操作子３６，３７を操作することにより、保持プレート、すなわち模擬部材３１の図示θｘ，θｙ回転方向における傾きを簡単に調整することができる。これにより、対物レンズ１４の傾き調整精度を向上させることができる。また、この場合、複数の模擬部材３１のうちの１つの模擬部材３１に対して同傾きを調整することにより、他の複数の模擬部材３１の傾きを調整する必要がないため、更に作業効率を向上させることができる。
また、上記実施形態によれば、フォーカスエラー信号生成回路８４、フォーカスサーボ制御回路８５およびドライブ回路８６により、対物レンズ１４をフォーカスサーボ制御するとともに、位置計算回路９４、Ｘ−Ｙ方向サーボ制御回路９５およびドライブ回路９６，９７により、対物レンズ１４の図示Ｙ軸方向およびコリメーティングレンズ４１の図示Ｘ軸方向の２方向サーボ制御を行うようにした。これにより、対物レンズの傾角調整工程において、対物レンズ１４の図示θｘ，θｙ回転方向における位置調整により対物レンズ１４の位置が変化しても、常に対物レンズ１４の焦点を所定の位置に保持することができ、作業効率を向上させることができる。
さらに、本発明の実施にあたっては、前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を逸脱しない限りにおいて種々の変更が可能である。
上記実施形態においては、光ピックアップ１０に内蔵される対物レンズ１４の傾きを調整するために、本発明に係る光ピックアップの調整装置を用いたが、これに限定されるものではなく、例えば、光ピックアップ１０に内蔵されるコリメーティングレンズ１２に対するレーザ光源１１からの入射角、およびレーザ光源１１とコリメーティングレンズ１２との相対位置を調整するために本発明に係る光ピックアップの調整装置を用いてもよい。具体的には、光ピックアップ１０内にレーザ光源１１によるレーザ光の出射方向およびレーザ光源１１の図示Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向のうちの少なくとも１方向の位置を調整する調整機構を備えるようにするとよい。また、このレーザ光源１１の調整機構に代えて、または加えてコリメーティングレンズ１２のレーザ光源１１からのレーザ光に対する傾きを図示θｙ回転方向およびθｚ回転方向に調整し、かつコリメーティングレンズ１２の図示Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向のうちの少なくとも１方向の位置を調整することができる調整機構を備えるようにするとよい。
このように構成した光ピックアップ１０のコリメーティングレンズ１２の位置または傾き調整において、作業者は、まず、対物レンズ１１が搭載されていない状態の光ピックアップ１０を、上記実施形態の場合と同様にして光ピックアップ支持装置２０のステージ２１上に載置固定する。そして、入力装置１０１を操作してレーザ光源１１からレーザ光を出射させるとともに画像生成装置６４の作動を開始させる。これにより、レーザ光源１１から出射しコリメーティングレンズ１２を透過したレーザ光の波面の様子が、シャックハートマンセンサ６０、画像生成装置６４およびモニタ装置６５によりモニタ装置６５の画面上に表示される。
作業者は、モニタ装置６５に表示されるレーザ光の波面の様子を確認しながら、波面の立体画像が平坦となるように、前記した調整機構を操作して、コリメーティングレンズ１２に対するレーザ光源１１からのレーザ光の入射角、およびレーザ光源１１とコリメーティングレンズ１２との相対位置を調整する。これにより、レーザ光源１１から出射されるレーザ光に対するコリメーティングレンズ１２の傾きおよびレーザ光源１１とコリメーティングレンズ１２との相対位置を調整することができ、ひきつづき対物レンズ１４の傾きを調整する場合には、光ピックアップ１０に対物レンズ１４を取り付けて対物レンズ１４の傾き調整を行うことができる。
また、上記実施形態においては、画像生成装置６４は、シャックハートマンセンサ６０から出力されるビデオ信号に基づいてレーザ光の波面収差を計算して、この計算した波面収差に基づいて計算された波面の様子をモニタ装置６５に表示させていたが、これに限定されるものではない。例えば、画像生成装置６４は、シャックハートマンセンサ６０から出力されるビデオ信号に基づいて、レーザ光の波面とともに、または波面とは別に擬似的な干渉縞を生成したり、レーザ光の非点収差、コマ収差および球面収差をそれぞれ計算して、同計算した波面の立体画像とともに、または波面の立体画像とは別に擬似的な干渉縞、レーザ光の非点収差、コマ収差および球面収差の値をモニタ装置６５に表示させるようにしてもよい。
また、上記実施形態においては、光ピックアップ支持装置２０のステージ２１の図示Ｘ，Ｙ，Ｚ軸方向および図示θｘ，θｙ回転方向の調整は、移動装置２２の操作子２４〜２８を手動操作することにより行ったが、これに限定されるものではなく、例えば、入力装置１０１を介してコントローラ１００を操作することにより同調整を行うこともできる。この場合、操作子２４〜２８に代えて、電動モータなどの駆動装置をステージ２１を３軸方向に変位させ、かつ２軸回りに回転させることが可能な移動機構にそれぞれ設けるとともに、同各駆動装置をコントローラ１００により制御するように構成する。そして、作業者は、入力装置１０１を操作してステージ２１のＸ，Ｙ，Ｚ軸方向およびθｘ，θｙ回転方向における位置を指定する。この指示に応答してコントローラ１００は、ステージ２１を同指示された位置に位置するように前記各駆動装置を駆動制御する。
また、上記実施形態においては、光ピックアップ支持装置２０のステージ２１の図示θｘ，θｙ回転方向の変位は、光ピックアップ支持装置２０の移動装置２２におけるプレート２２ｅ，２２ｆを、円弧状に形成されたプレート２２ｆ，２２ｇ上面をそれぞれ摺動させることによって行ったが、これに限定されるものではない。例えば、図８に示すように、移動装置２２におけるプレート２２ｅ，２２ｆ，２２ｇをそれぞれリンク機構により組み付けて行ってもよい。具体的には、平板状に形成されたプレート２２ｅ，２２ｆ，２２ｇを、それぞれ４つの引張スプリング１２１，１２２（各１つ図示せず）を介して積み重ね、それぞれ上下関係にあるプレート２２ｆ，２２ｅおよびプレート２２ｅ，２２ｆをそれぞれ４つのリンク１２３ａ，１２３ｂ，１２４ａ，１２４ｂおよびリンク１２５ａ，１２５ｂ，１２６ａ，１２６ｂによって連結する。なお、リンク１２３ｂ，１２４ｂ，１２５ｂ，１２６ｂはそれぞれリンク１２３ａ，１２４ａ，１２５ａ，１２６ａが取り付けられているプレート２２ｅ，２２ｆ，２２ｇの各側面の反対側の側面に取り付けられるため図示されない。
この場合、それぞれ２つのリンク１２３ａ（１２３ｂ），１２４ａ（１２４ｂ）、１２５ａ（１２５ｂ），１２６ａ（１２６ｂ）は互いに非平行な状態でそれぞれ取り付けられる。具体的には、リンク１２３ａ（１２３ｂ）は、図示Ｚ軸方向と平行な向きで取り付けられているが、リンク１２４ａ（１２４ｂ）は、図示Ｚ軸方向に対して図示Ｙ軸方向に傾いた状態で取り付けられている。また、リンク１２５ａ（１２５ｂ）は、図示Ｚ軸方向と平行な向きで取り付けられているが、リンク１２６ａ（１２６ｂ）は、図示Ｚ軸方向に対して図示Ｘ軸方向に傾いた状態で取り付けられている。これらにより、プレート２２ｅはリンク１２５ａ（１２５ｂ）側を支点としてリンク１２６ａ（１２６ｂ）側が図示θｙ回転方向に変位可能となるとともに、プレート２２ｆはリンク１２３ａ（１２３ｂ）側を支点としてリンク１２４ａ（１２４ｂ）側が図示θｘ回転方向に変位可能となる。なお、プレート２２ｅ，２２ｆは、引張スプリング１２１，１２２により、常に下方に付勢された状態となっている。
また、プレート２２ｅ，２２ｆのそれぞれ図示θｙ，θｘ回転方向に変位する側の側面中央部には、円柱状のカムフォロア１２７ａ，１２７ｂが回転可能に組み付けられており、このカムフォロア１２７ａ，１２７ｂの各円周面にそれぞれカム１２８ａ，１２８ｂが接している。これらのカム１２８ａ，１２８ｂは、それぞれモータ１２９ａ，１２９ｂにシャフトを介して接続されており、モータ１２９ａ，１２９ｂの回転により、それぞれ回転するようになっている。モータ１２９ａ，１２９ｂは図示しない制御装置（例えば、コントローラ１００）にそれぞれ接続されており、その回転が制御される。したがって、モータ１２９ａ，１２９ｂの回転によるカム１２８ａ，１２８ｂの回転変位により、カムフォロア１２７ａ，１２７ｂがそれぞれ下方に引かれることによって、プレート２２ｅ，２２ｆは、引張スプリング１２１，１２２の弾性力に抗して図示θｙ，θｘ回転方向に変位する。これにより、作業者は、制御装置を操作することにより、ステージ２１を図示θｙ，θｘ回転方向に変位させることができる。
なお、モータ１２９ａ，１２９ｂに代えて、手動操作用操作子をカム１２８ａ，１２８ｂに取り付け、上記実施形態のように作業者による手動操作によりプレート２２ｅ，２２ｆ、すなわちステージ２１の傾きを調整するようにしてもよい。また、このような移動装置２２は、上記実施形態における模擬部材支持装置２０の模擬部材傾き調整機構にも適用できるものである。
また、上記実施形態においては、光ピックアップ１０に備えられたフォーカスアクチュエータ１５およびトラックアクチュエータ１６に、ドライブ回路８６およびドライブ回路９７を接続するとともに、光ピックアップの調整装置に備えられたコリメーティングレンズアクチュエータ４１にドライブ回路９６を接続して、対物レンズ１４の焦点位置のフォーカスサーボ制御およびシャックハートマンセンサ６０に取り込まれる光軸の図示Ｘ，Ｙ軸方向における２方向サーボ制御を行ったが、これに限定されるものではない。例えば、光ピックアップ支持装置２０のステージ２１を図示Ｘ，Ｙ，Ｚ軸方向にそれぞれサーボ制御するようにしてもよい。この場合、図１の破線に示すように、光ピックアップ支持装置２０内にステージ２１を図示Ｘ，Ｙ，Ｚ軸方向にそれぞれ駆動するＹ軸方向アクチュエータ１６’、Ｘ軸方向アクチュエータ４４’およびＺ軸方向アクチュエータ１５’を設け、これらＹ軸方向アクチュエータ１６’、Ｘ軸方向アクチュエータ４４’およびＺ軸方向アクチュエータ１５’に、ドライブ回路９７，９６，８６をそれぞれ接続して対物レンズ１４の焦点位置のフォーカスサーボ制御およびシャックハートマンセンサ６０に取り込まれる光軸の図示Ｘ，Ｙ軸方向における２方向サーボ制御を行うようにする。
また、上記実施形態においては、位置計算回路９４、Ｘ−Ｙ方向サーボ制御回路９５およびドライブ回路９６，９７により対物レンズ１４の図示Ｙ軸方向およびコリメーティングレンズ４１の図示Ｘ軸方向の２方向サーボ制御を行うようにしたが、これに限定されるものではない。例えば、光ピックアップ１０の構造上、Ｘ軸方向の振動が少ない場合（例えば、トラックアクチュエータ１６のＹ軸方向の剛性が高い場合）、コリメーティングレンズ４１のＸ軸方向サーボ制御を省くことができる。この場合、２次元ポジションセンサ９３に代えて１次元ポジションセンサを用いることができるとともに、位置計算回路９４も２次元の計算回路から１次元の計算回路に変更することができる。これにより、光ピックアップの調整装置の構成を簡略化することができる。
また、上記実施形態においては、図示Ｘ，Ｙ，Ｚ軸方向および図示θｘ，θｙ回転方向の５軸方向にステージ２１を変位させることができる光ピックアップ支持装置２０を用いたが、これに限定されるものではなく、例えば、図示Ｘ，Ｙ，Ｚ軸方向の３軸または図示θｘ，θｙ回転方向の２軸方向にステージ２１を変位させることができる光ピックアップ支持装置２０としてもよい。
また、上記実施形態においては、１つのオートコリメータ５０を用いて、光ピックアップ支持装置２０のステージ２１の傾きおよび模擬部材３１の傾きを調整するようにしたが、これに限定されるものではない。例えば、光ピックアップ支持装置２０のステージ２１の傾きを調整するオートコリメータ５０および模擬部材３１の傾きを調整するオートコリメータ５０をそれぞれ備えるようにしてもよい。
また、上記実施形態においては、オートコリメータ５０、シャックハートマンセンサ６０およびスポットアナライザ６０に内蔵される受光素子としてＣＣＤ撮像素子５５，６３，７３を用いた。しかし、これらのＣＣＤ撮像素子５５，６３，７３いずれか１つまたは複数を、例えば、ＣＭＯＳ撮像素子などの受光素子で構成してもよい。また、オートコリメータ５０およびスポットアナライザ７０においては、ＣＣＤ撮像素子５５，７３に代えて、２次元ポジションセンサ（ＰＳＤ）を用いるようにしてもよい。この場合、２次元ポジションセンサ（ＰＳＤ）の出力をオシロスコープに表示させるようにすればよい。
また、上記実施形態においては、複数の模擬部材３１を保持する保持プレート３２を円盤状に形成して、この保持プレート３２を操作子３５を回転操作することにより、１つの模擬部材３１を光ピックアップ１０から出射されるレーザ光の光軸上に配置するようにしたが、これに限定されるものではない。例えば、図９に示すように、保持プレート３２を長方形状に形成し、この長方形状に形成した保持プレート３２’の長手方向に複数の模擬部材３１を保持させるようにしてもよい。
この場合、保持プレート３２’を、保持プレート３２’の長手方向に変位させることができる機構、例えば、図に示すように、保持プレート３２の下面に固着したナット３８ａにスクリューロッド３８ｂが螺合してなるネジ送り機構を設け、このネジ送り機構のスクリューロッド３８ｂの一端にモータ３９を接続する。このモータ３９は、制御装置、例えばコントローラ１００に接続されており、その回転が制御される。保持プレート３２’は、このモータ３９の回転駆動によりスクリューロッド３８ｂの軸線方向に変位し、１つの模擬部材３１を光ピックアップ１０から出射されるレーザ光の光軸上に配置するように位置決めされる。また、前記スクリューロッド３８ｂの一端にモータ３９に代えて、手動操作用操作子を設け、同操作子を操作することによって、１つの模擬部材３１を光ピックアップ１０から出射されるレーザ光の光軸上に配置するようにしてもよい。
また、上記実施形態においては、保持プレート３２に複数の貫通孔を設けて、この貫通孔に模擬部材３１を取り付けていたが、これに限定されるものではない。例えば、保持プレート３２の周方向に沿って、外周上に複数の切欠部を設けて、これらの切欠部に模擬部材３１を取り付けるようにしてもよい。
また、上記実施形態においては、保持プレート３２を模擬部材支持装置３０の支持部３３ａに回転可能な状態で支持させるようにしたが、これに限定されるものではない。例えば、保持プレート３２を模擬部材支持装置３０の支持部３３ａに対して着脱可能な状態で支持させるようにしてもよい。Hereinafter, an embodiment of an optical pickup adjusting apparatus according to the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is an overall schematic diagram of an optical pickup adjusting device used for adjusting the tilt of an objective lens mounted on the optical pickup. The adjusting device includes an optical pickup support device 20 on which the optical pickup 10 is placed, and a simulated member support device 30 that supports the simulated member 31 disposed above the optical pickup 10.
The optical pickup 10 reproduces a signal recorded on an optical disc such as a CD and a DVD and / or records a signal on the optical disc, and is an adjustment target by the optical pickup adjusting device according to the present invention. . Briefly describing the optical pickup 10 to be adjusted, the optical pickup 10 includes a laser light source 11, a collimating lens 12, a rising mirror 13, an objective lens 14, and the like that are respectively assembled to the casing 10 a. It is configured. The laser light source 11 is controlled by a laser driving circuit 102 described later to emit laser light. Laser light emitted from the laser light source 11 is collimated by the collimating lens 12, reflected by the rising mirror 13, travels toward the objective lens 14, and is focused by the objective lens 14. The objective lens 14 is elastically supported by a cantilever or a both-end supported beam with respect to the casing 10a by an elastic support member 10b (for example, a wire).
The optical pickup 10 also includes a focus actuator 15 and a track actuator 16. The focus actuator 15 finely moves the objective lens 14 in the optical axis direction of the laser beam, in other words, in the direction perpendicular to the plate surface of the optical disk (not shown) in which the optical pickup 10 is used, thereby causing the light spot to be recorded on the optical disk recording surface. Is formed accurately. When the adjustment device for the optical pickup is operated, the focus actuator 15 moves the objective lens 14 to a predetermined position in the Z-axis direction shown in the figure, specifically, a collimating lens 41 described later which is a position where the aberration is minimized. It is used to hold the objective lens 14 so that the point image is accurately positioned at the point position. Note that the position where the objective lens 14 is held may be set to a mechanically neutral position of the elastic support member 10b in the Z-axis direction of the objective lens 14 in the figure.
The track actuator 16 finely moves the objective lens 14 in the track direction (the radial direction of the optical disk) of the optical disk (not shown) in which the optical pickup 10 is used, so that the light spot accurately follows the track of the optical disk. . The track actuator 16 moves the objective lens 14 at a predetermined position in the track direction, that is, the Y-axis direction in the drawing (for example, the dynamics of the elastic support member 10b in the Y-axis direction in the drawing of the objective lens 14). To be held in a neutral position).
The optical pickup 10 also includes tilt angle adjusting mechanisms 17 and 18. The tilt angle adjusting mechanisms 17 and 18 tilt the objective lens 14 about two axes with respect to a plane orthogonal to the optical axis of the laser beam, in other words, a plate surface of an optical disk (not shown) in which the optical pickup 10 is used. The screw mechanism can be adjusted respectively. When the optical pickup adjusting device is operated, the inclinations in the rotation directions around the X and Y axes, that is, in the illustrated θx and θy rotation directions, are adjusted with respect to the illustrated XY coordinate plane. Note that these illustrated θx and θy rotation directions are merely examples, and rotation directions around two axes orthogonal to each other for adjusting the tilt angle of the objective lens 14 are rotation directions around the other two axes. It may be. The tilt of the objective lens 14 is adjusted by operating the tilt angle adjusting mechanisms 17 and 18 using a driver tool or the like. The bottom surface of the optical pickup 10 is provided with two attachment portions 19a and 19b that are used when the optical pickup 10 is set on an optical pickup support device 20 described later.
A specific example of such an optical pickup 10 is shown in FIG. The reference numerals in the figure correspond to the description of the optical pickup 10 described above. The attachment portion 19a is formed in the shape of two square pillars that protrude in a horizontal direction from a corner portion of the outer front surface of the casing 10a in the drawing, and the attachment portion 19b is formed of the casing 10a in the drawing. Two flanges projecting from both ends of the outer rear surface are formed. Further, the collimating lens 12 and the tilt angle adjusting mechanism 18 are not illustrated by blind spots.
The optical pickup support device 20 is a support portion that detachably supports the optical pickup 10 and includes a stage 21 and a moving device 22. The stage 21 that supports the optical pickup 10 is shown as a flat plate for the sake of simplicity, and the stage 21 is provided with a pair of support portions 23a and 23b that support the optical pickup 10 in a detachable state. ing. Actually, as shown in FIG. 3, the support portions 23a and 23b that support the optical pickup 10 are extended in the horizontal direction from the side surface of the stage 21 formed in a rectangular parallelepiped shape. The mounting portions 19a and 19b respectively provided on the outer front and rear surfaces of the optical pickup 10 are inserted into 23b, and both ends of the mounting portions 19a and 19b are sandwiched by clips or the like so that the optical pickup 10 is fixed on the support portions 23a and 23b. It has become.
The moving device 22 includes a moving mechanism that supports the stage 21 and is capable of displacing the stage 21 in three axial directions and rotating it around two axes. Here, as shown in FIG. 1, the three-axis directions are X, Y, and Z-axis directions in which each pair is orthogonal to each other, and the two-axis directions are the X- and Y-axis directions, that is, θx, This is the θy rotation direction. The moving device 22 includes operating elements 24 to 28 that can displace the moving device 22 in this order by manual operation in the X, Y, and Z axis directions and the θx and θy rotation directions.
In practice, as shown in FIG. 3, by rotating the operating element 24, the plate 22a slides in the X-axis direction with respect to the plate 22b, and by rotating the operating element 25, the plate 22c slides in the Y-axis direction in the figure with respect to the plate 22a. Further, by rotating the operation element 26, the plate 22b is displaced in the Z-axis direction in the drawing with respect to the plate 22d. Further, by rotating the operating element 27, the plate 22e slides in the illustrated θx rotation direction with respect to the plate 22f, and by rotating the operating element 28, the plate 22f is illustrated by θy with respect to the plate 22g. It slides in the rotational direction. Therefore, by operating these operating elements 24 to 28, the stage 21, that is, the optical pickup 10 supported on the stage 21, can be displaced in the corresponding directions. The θx and θy rotation directions are about the X and Y axes. However, these θx and θy rotation directions are not limited to this, and the rotation directions are about two axes that exist in the XY plane and are orthogonal to each other. If so, it may be the direction of rotation around the other two axes.
Returning to FIG. 1, the simulated member support device 30 is a support device that includes a simulated member tilt adjustment mechanism that holds the simulated member 31 and can adjust the tilt of the simulated member 31. The simulated member 31 is made of a transparent member such as glass or plastic, and has an optical characteristic equivalent to the optical characteristic of the optical disc in which the optical pickup 10 is used. In general, an optical disk is a transparent substrate made of a polycarbonate material for protecting the data recording surface from scratches or dust on the front side of the data recording surface formed of a metal thin film or the like, that is, the light source side of the irradiated laser beam. It has. For this reason, the laser light applied to the optical disk passes through the transparent substrate and is focused on the data recording surface.
The adjustment apparatus for an optical pickup according to the present invention actually has a thickness and refraction of the transparent substrate in order to obtain a laser beam equivalent to the wavefront of the laser beam emitted from the objective lens 14 and transmitted through the transparent substrate of the optical disk. The simulation member 31 for correcting the wavefront aberration of the laser beam due to the rate is required. That is, the simulating member 31 is arranged in place of the optical disk in order to simulate the optical disk, and in order to obtain a wave front of the laser light equivalent to the wave front of the laser light irradiated on the data recording surface of the optical disk. It has properties equivalent to the substrate, specifically equivalent thickness and refractive index, that is, optical path length equivalent to the optical disk.
As shown in detail in FIG. 4, the simulated member support device 30 includes a holding plate 32 and a plate support base 33. The holding plate 32 is formed in a disk shape, and is fixed by penetrating the rotation shaft 34 through a through hole provided in the center thereof. The holding plate 32 is provided with a plurality of through holes penetrating from the upper surface to the bottom surface at substantially equal intervals along the circumferential direction. The simulated member 31 is attached to a plurality of through holes (for example, three through holes) other than one of the plurality of through holes in a replaceable manner by rotating the holding plate 32. . In this case, the plurality of simulation members 31 (for example, three simulation members 31) are a plurality of types of simulation members having different optical characteristics corresponding to the substrates of optical disks having different optical characteristics. Further, one through hole (that is, an opening) to which the simulation member 31 is not attached is prepared because there is a process in which the simulation member 31 is not used.
The plate support 33 is provided with a simulated member inclination adjusting mechanism that supports the holding plate 32 and can adjust the inclination of the holding plate 32, and includes a support portion 33a, 33b and a base portion 33c. The support portion 33a is formed in a substantially U shape, and both ends of the rotation shaft 34 of the holding plate 32 are connected to the distal ends of a pair of upper and lower arms 33a1 and 33a2 extending in the horizontal direction. Are supported in a rotatable state around the axis of each. The upper end portion of the rotating shaft 34 protrudes from the upper arm 33a1, and an operating element 35 for rotating the holding plate 32 around the axis of the rotating shaft 34 by manual operation is provided at the upper end portion.
The lower surfaces of the base end portions of the arms 33a1 and 33a2 in the support portion 33a are in contact with the upper end portion of the support portion 33b, and the cross-sectional shape perpendicular to the Y axis of the contact surface between the support portion 33a and the support portion 33b is an XZ plane. It is molded so as to have an arc shape. Moreover, it shape | molds so that the cross-sectional shape orthogonal to the X-axis of the contact surface of the support part 33a and the support part 33b may become linear in a YZ plane. The lower surface of the support portion 33a is slidably engaged with the upper surface of the support portion 33b, and the support portion 33a is supported on the upper surface of the support portion 33b so as to be rotatable about the Y axis. Yes. The support portion 33b is provided with an operator 36 for rotating the support portion 33a around the Y axis, that is, in the θy direction with respect to the support portion 33b by manual operation.
The lower surface of the support portion 33b is in contact with the upper end portion of the base portion 33c, and the cross-sectional shape orthogonal to the X axis of the contact surface between the support portion 33b and the base portion 33c is formed in an arc shape on the YZ plane. . Moreover, it shape | molds so that the cross-sectional shape orthogonal to the Y-axis of the contact surface of the support part 33b and the base part 33c may become linear form on a XZ plane. The lower surface of the support portion 33b is slidably engaged with the upper surface of the base portion 33c, and the support portion 33b is supported on the upper surface of the base portion 33c so as to be rotatable about the X axis. The base portion 33c is provided with an operator 37 for rotating the support portion 33b around the X axis with respect to the base portion 33c, that is, in the θx direction by manual operation.
This optical pickup adjusting device irradiates a plane mirror portion 112 provided on an angle calibration jig 110 (described later) mounted and fixed on the optical pickup support device 20 with a laser beam, and reflects light from the plane mirror portion 112. Is also provided through the half-wave plate 42 and the beam splitter 43. Here, the half-wave plate 42 is provided in order to eliminate the polarization dependency of an optical element such as a beam splitter provided in the adjusting device for the optical pickup of the incident laser light. The beam splitter 43 is an optical element that transmits a part of the incident laser light in the same direction as the incident direction and reflects the other part in a direction perpendicular to the incident direction.
The autocollimator 50 includes a laser light source 51, a collimating lens 52, a beam splitter 53, a condensing lens 54, and a CCD image pickup device 55. The autocollimator 50 irradiates a target object with laser light, and emits light from the target object. It is an inclination detection device that detects the inclination of a target object with respect to laser light irradiated by receiving reflected light. The laser light emitted from the laser light source 51 is irradiated toward the optical pickup support device 20 through the collimating lens 52 and the beam splitter 53, and the reflected light from the optical pickup support device 20 is reflected by the beam splitter 53, Light is received by a CCD image pickup device 55 as an image pickup device through a condenser lens 54. A monitor device 56 is connected to the CCD image pickup device 55, and a light reception image by the CCD image pickup device 55 is displayed on the monitor device 56. In this case, the display screen of the monitor device 56 displays a cross-shaped scale with the direction of the optical axis of the laser light irradiated from the autocollimator 50 to the optical pickup support device 20 as an intersection, and the stage 21 ( That is, the reflected light from the flat mirror 112 provided on the angle calibration jig 110 (described later) attached to the support portions 23a and 23b) is displayed on the monitor device 56 via the CCD image pickup device 55, whereby the inclination of the stage 21 is adjusted. It can be visually observed. The monitor device 56 is fixed at a position where it can be easily seen by the operator by a support member (not shown) of the optical pickup adjusting device. The autocollimator 50 can also detect the inclination of the simulation member 31 with respect to the optical axis of the laser light emitted from the objective lens 14 in the same manner as described above.
Further, the optical pickup adjusting device transmits the laser light transmitted through the objective lens 14 of the optical pickup 10 placed and fixed on the optical pickup supporting device 20 to the above-described simulation member 31, collimating lenses 41 and 1/2. The light is reflected by the beam splitter 43 through the wave plate 42 and guided to a Shack Hartman sensor 60, a spot analyzer 70, a four-divided photodetector 83, and a two-dimensional position sensor (PSD) 93 which will be described later. Here, the collimating lens 41 is an optical element that converts incident laser light into a parallel light beam, and is arranged on the optical path of the laser light by a collimating lens moving mechanism (not shown) provided in an optical pickup adjusting device. It is supported so as to be disposed outside the optical path. The collimating lens 41 is composed of two types of lenses of high magnification and low magnification, and is attached in a state where the collimating lens 41 of one magnification can be replaced with a collimating lens moving mechanism according to the purpose of use. ing. Further, the collimating lens 41 is displaced in a direction orthogonal to the driving direction of the track actuator 16 of the optical pickup 10, in the X-axis direction in FIG. 1, by driving the collimating lens actuator 44. .
On the optical axis of the laser beam reflected by the beam splitter 43, a Shack Hartman sensor 60 is provided via beam splitters 45, 46, and 47. Similar to the beam splitter 43 described above, the beam splitters 45, 46, and 47 transmit part of the incident laser light in the same direction as the incident direction and reflect the other part in the direction perpendicular to the incident direction. This is an optical element. A part of the laser light reflected by the beam splitter 43 is reflected by the beam splitter 45 in a right angle direction, and a part of the reflected light is transmitted through the beam splitters 46 and 47, respectively, as a laser light observation device. Is incident on the Shack Hartman sensor 60.
The Shack-Hartmann sensor 60 includes an ND (Neutral Density) filter 61, a lens array 62, and a CCD image sensor 63, and measures the wavefront aberration of the laser light incident through the beam splitters 45, 46, and 47. It is a vessel. The ND filter 61 is an optical filter for making the amount of incident laser light appropriate. The lens array 62 is composed of a plurality of lenses in which lenses smaller than the beam diameter of the incident laser beam are arranged in a two-dimensional lattice, and the incident laser beam is condensed on the CCD image sensor 63 for each lens. . The CCD image pickup device 63 is an image pickup device that is arranged at a laser beam condensing position by a plurality of lenses constituting the lens array 62 and picks up a plurality of point images formed by the plurality of lenses. The plurality of point images picked up by the CCD image pickup device 63 is called a heart mannogram, and each displacement from the plurality of point images obtained by the wavefront not including aberration, that is, on the image pickup surface by the CCD image pickup device 63. This corresponds to the sine component of the normal vector of the wavefront of the laser beam. A plurality of point images captured by the CCD image sensor 63, that is, video signals are supplied to the image generation device 64.
The image generation device 64 is controlled by a controller 100 described later, calculates the wavefront shape of the laser light using the video signal output from the CCD image pickup device 63, and displays stereoscopic image data as a stereoscopic image. Is a device that generates The stereoscopic image data generated by the image generating device 64 is output to the monitor device 65, and the state of the wavefront of the laser light is displayed as a stereoscopic image by the monitor device 65. At the same time, the aberration amount can be calculated and displayed on the monitor device 65 as numerical data, or the interference fringes can be displayed on the monitor device 65 based on the measured and calculated wavefront. The monitor device 65 is fixed to a position where it can be easily seen by the operator by a support member (not shown) of the optical pickup adjusting device.
A spot analyzer 70 is provided on the optical axis of the laser light that has passed through the beam splitter 45. The spot analyzer 70 includes an ND filter 71, a condensing lens 72, and a CCD image pickup device 73. The spot analyzer 70 transmits laser light transmitted through the beam splitter 45 (that is, laser light equivalent to laser light incident on the Shack Hartman sensor 60). This is a detector for observing the deviation of the optical axis in the plane perpendicular to the optical axis, specifically, the shape and position of the focal spot of the laser beam by the objective lens 14 in the XY axis plane shown in the figure. The spot analyzer 70 can also detect the inclination angle of the simulation member 31 with respect to the optical axis of the laser light emitted from the objective lens 14. Further, the functions of the condensing lens 54 and the CCD image sensor 55 of the autocollimator 50 described above can be performed instead. Similar to the ND filter 61, the ND filter 71 is an optical filter for making the amount of incident laser light appropriate. The condensing lens 72 is an optical lens that condenses incident laser light on the CCD image sensor 73. The CCD image pickup device 73 is an image pickup device that is arranged at a light collecting position of the light collecting lens 72 and picks up a point image formed by the light collecting lens 72.
A monitor device 74 is connected to the CCD image pickup device 73, and a light reception image by the CCD image pickup device 73 is displayed on the monitor device 74. In this case, on the display screen of the monitor device 74, the center position of the light receiving range in which the Shack Hartman sensor 60, the quadrant photodetector 83 and the two-dimensional position sensor (PSD) 93, which will be described later, can receive the laser beam is the intersection. A cross-shaped scale is displayed so that the positional relationship between the optical axis of the laser beam incident on the Shack Hartman sensor 60 and the center position of the light receiving range can be visually observed. Further, depending on the size of the point image displayed on the monitor device 74, the position of the focal point of the laser beam by the objective lens 14 and the positional relationship for allowing the laser beam to enter the Shack Hartman sensor 60 are further expressed by the first-order diffraction ring. When it can be observed, the direction of the maximum inclination angle of the simulated member 31 can be observed from the discontinuity of the ring. The monitor device 74 is fixed at a position where it can be easily seen by the operator by a support member (not shown) of the optical pickup adjusting device.
On the optical axis of the laser beam reflected by the beam splitter 46, a convex lens 81, a cylindrical lens 82, and a four-divided photodetector 83 are provided, and enter the laser beam reflected by the beam splitter 46, that is, the Shack Hartman sensor 60. A part of the laser beam to be converted into received light signals A, B, C, and D corresponding to the received light amounts of light receiving portions a, b, c, and d (not shown) on the four-divided photodetector 83, and a focus error signal generation circuit 84 Is output. The focus error signal generation circuit 84 generates a focus error signal by the astigmatism method or the like from the light reception signals A to D output from the four-divided photodetector 83 and outputs the focus error signal to the focus servo control circuit 85. The focus servo control circuit 85 is controlled by the controller 100 described later, generates a focus servo signal based on the focus error signal output from the focus error signal generation circuit 84, and outputs the focus servo signal to the drive circuit 86. The drive circuit 86 displaces the objective lens 14 in the optical axis direction by drivingly controlling the focus actuator 15 built in the optical pickup 10 to be adjusted according to the focus servo signal. Accordingly, the focus servo control of the objective lens 14 is realized by the cooperation of the focus error signal generation circuit 84, the focus servo control circuit 85, and the drive circuit 86.
A two-dimensional position sensor (PSD) 93 is provided via an ND filter 91 and a convex lens 92 on the optical axis of the laser light reflected by the beam splitter 47. The ND filter 91 is an optical filter for making the amount of incident laser light appropriate as in the ND filters 71 and 61 described above. The convex lens 92 is an optical lens that focuses incident laser light on a two-dimensional position sensor (PSD) 93. The two-dimensional position sensor (PSD) 93 is an element that detects the center of gravity of the two-dimensional received light amount using the surface resistance of the photodiode, and is arranged at the condensing position of the convex lens 92. (PSD) A light reception signal representing the position of the center of gravity of the point image formed on the output 93 is output to the position calculation circuit 94. The position represented by the received light signal is a position in a plane orthogonal to the optical axis of the laser beam reflected by the beam splitter 47 (that is, a laser beam equivalent to the laser beam incident on the Shack-Hartmann sensor 60), that is, X− in the drawing. A deviation between the optical axis of the Shack-Hartmann sensor 60 and the optical axis of the laser light emitted from the objective lens 14 in the Y-axis plane is projected onto a two-dimensional position sensor (PSD) 93.
The position calculation circuit 94 uses the light reception signal output from the two-dimensional position sensor (PSD) 93 and enters the Shack Hartman sensor 60 and the center position of the light reception range in which the Shack Hartman sensor 60 can receive laser light. Deviations in the illustrated XY axis plane with respect to the position of the optical axis of the laser beam are respectively calculated, and an X-direction error signal and a Y-direction error signal respectively representing the deviation are output to the XY direction servo control circuit 95. The XY direction servo control circuit 95 is controlled by the controller 100 described later to generate an X direction servo signal and a Y direction servo signal based on the X direction error signal and the Y direction error signal, and drive circuits 96, 97. Respectively.
The drive circuit 96 displaces the collimating lens 41 in the X-axis direction shown in the figure by drivingly controlling the collimating lens actuator 44 for the collimating lens in accordance with the X-direction servo signal. Further, the drive circuit 97 displaces the objective lens 14 in the Y-axis direction shown in the figure by driving and controlling the track actuator 16 built in the optical pickup 10 to be adjusted according to the Y-direction servo signal. Accordingly, the two-way servo control of the collimating lens 41 in the X-axis direction and the objective lens 14 in the Y-axis direction shown in the figure is performed by the cooperation of the position calculation circuit 94, the XY direction servo control circuit 95, and the drive circuits 96 and 97. Realized. The collimating lens actuator 44 is used for displacing the optical axis of the laser light emitted from the objective lens 14 in the X-axis direction via the simulation member 31.
The controller 100 includes a CPU, a ROM, a RAM, and the like, and operates the image generation device 64, the focus servo control circuit 85, the XY direction servo control circuit 95, and the laser drive circuit 102 in response to an instruction from the input device 101. Control each one. The input device 101 includes a plurality of push button switches, and instructs the start of the operations of the image generation device 64, the focus servo control circuit 85, the XY direction servo control circuit 95, and the laser drive circuit 102. The laser drive circuit 102 controls the operation of the laser light source 11 of the optical pickup 10 and the laser light source 51 of the autocollimator 50 in accordance with an instruction from the controller 100.
When using the optical pickup adjusting apparatus configured as described above, the angle calibration of the stage 21 and the simulation member 31 of the optical pickup support device 20 is necessary in advance, and therefore, these angle calibration steps will be described. First, the angle calibration process of the stage 21 of the optical pickup support device 20 will be described.
As shown in FIG. 5, the operator sets the angle calibration jig 110 on the stage 21 of the optical pickup support device 20. As shown in FIG. 6, the angle calibration jig 110 is provided with a flat mirror portion 112 provided on a base 111 made of a rectangular flat plate member. Actually, as shown in FIG. 7, the pair of support portions 23 a and 23 b of the stage 21 described above is composed of two shafts, and is formed by two parallel grooves provided on the bottom surface of the base 111. A pair of mounting portions 113 a and 113 b are placed on the shaft and set on the stage 21. The plane mirror unit 112 is a reflecting member used for angle calibration of the stage 21, and the normal line of the reflecting surface is parallel to the optical axis of the Shack Hartman sensor 60 in a state where the base 111 is placed on the stage 21. Angle calibration is performed as follows. By this angle calibration, the optical axis of the laser beam emitted from the optical pickup 10 fixed on the stage 21 and the optical axis of the Shack Hartman sensor 60 become parallel.
With this angle calibration jig placed and fixed on the stage 21, the operator starts the operation of the optical pickup adjusting device including the controller 100 by turning on a power switch (not shown). Next, the operator rotates the holding plate 32 by operating the operation element 35 of the simulated member supporting device 30, and opens one through hole (opening) where the simulated member 31 of the holding plate 32 is not attached. The laser beam emitted from the autocollimator 50 is positioned on the optical axis. This is because the laser beam emitted from the autocollimator 50 is applied to the flat mirror portion 112 without passing through the simulation member 31, so that the reflected light from the simulation member 31 is not generated. Note that the optical axis of the laser light emitted from the autocollimator 50 is set in advance so as to coincide with the optical axis of the Shack-Hartmann sensor 60 via the beam splitter 43.
At this time, a collimating lens moving mechanism (not shown) provided in the optical pickup adjusting device is operated to move the collimating lens 41 so as to be positioned outside the optical path of the laser light emitted from the autocollimator 50. Let me. This is because the laser light emitted from the autocollimator 50 has already been converted into a parallel light beam by the collimating lens 52 built in the autocollimator 50.
Next, the operator operates the input device 101 to instruct the controller 100 to emit laser light from the autocollimator 50. In response to this instruction, the controller 100 instructs the laser driving circuit 102 to start the operation of the laser light source 51 in the autocollimator 50. As a result, the autocollimator 50 directs the laser light emitted from the laser light source 51 toward the flat mirror unit 112 placed on the optical pickup support device 20 via the collimating lens 52 and the beam splitter 53. Exit. The laser light emitted from the autocollimator 50 is applied to the plane mirror unit 112 through one through hole (opening portion) to which the beam splitter 43 and the simulation member 31 of the holding plate 32 are not attached.
The laser beam applied to the plane mirror unit 112 is reflected by the reflecting surface of the plane mirror unit 112 and again passes through one through hole (opening) and the beam splitter 43 to which the simulation member 31 of the holding plate 32 is not attached. It passes through and enters the autocollimator 50. The reflected light that has entered the autocollimator 50 enters the condenser lens 54 via the beam splitter 53, and the condenser lens 54 forms an image on the CCD image sensor 55. The video signal representing the reflected light imaged on the CCD image pickup device 55 is input to the monitor device 56, and the monitor device 56 displays the angle of the reflected light on the XY axis plane in the figure as a point image. Based on the display on the monitor device 56, the operator displays the illustrated θx, θy of the optical pickup support device 20 so that the position of the point image is located at the intersection of the cross-shaped scales displayed on the monitor device 56. The rotation direction adjusting operators 27 and 28 are operated to adjust the inclination of the stage 21 in the illustrated θx and θy rotation directions. In this case as well, the θx and θy rotation directions are about the X and Y axes, but the θx and θy rotation directions are not limited to this, and exist around the XY plane and are about two axes orthogonal to each other. As long as the rotation direction is the rotation direction around the other two axes.
Thus, the buses on the pair of support portions 23a and 23b (two shafts) of the stage 21 of the optical pickup support device 20 are perpendicular to the optical axis of the laser light emitted from the autocollimator 50. The inclination of the stage 21 is adjusted. Thereafter, the operator operates the input device 101 to stop the emission of laser light from the autocollimator 50 and removes the angle calibration jig 110 from the stage 21. Thereby, the angle calibration process of the stage 21 of the optical pickup support device 20 is completed. According to the optical pickup support device 20 as described above, by operating the operating elements 27 and 28 for adjusting the rotation direction of the illustrated θx and θy while confirming the display on the monitor device 56, the illustrated θx and θy rotation directions of the stage 21 are illustrated. The inclination at can be easily adjusted.
Next, the angle calibration process of the simulation member 31 will be described. The angle calibration process of the simulation member 31 is to adjust the inclination of the simulation member 31 by reflecting the laser beam emitted from the autocollimator 50 by the simulation member 31 and displaying the position of the reflected light on the monitor device 56. is there. Specifically, first, the operator rotates the holding plate 32 by operating the operation element 35 of the simulated member support device 30, and one of the simulated members 31 attached to the holding plate 32. The two simulation members 31 are positioned on the optical axis of the laser beam emitted from the autocollimator 50. In this case, one simulation member 31 selected from the plurality of simulation members 31 is a simulation member 31 having optical characteristics corresponding to an optical disk on which the optical pickup 10 adjusted by the optical pickup adjusting device is used.
Next, the operator operates the input device 101 to instruct the controller 100 to emit laser light from the autocollimator 50. As a result, the autocollimator 50 emits laser light in the same manner as in the angle calibration process of the stage 21 of the optical pickup support device 20. The laser beam emitted from the autocollimator 50 is applied to the simulation member 31 via the beam splitter 43. A part of the laser light irradiated to the simulation member 31 is transmitted through the simulation member 31, and the other part is reflected by the simulation member 31 and received by the autocollimator 50 through the beam splitter 43 again. Also in this case, the collimating lens 41 is located outside the optical path of the laser light emitted from the autocollimator 50. Further, the laser light transmitted through the simulation member 31 is irradiated onto the stage 21 of the optical pickup support device 20, but there is no reflected light from these because there is no plane mirror or optical pickup 10 on the stage 21. .
The autocollimator 50 causes the monitor device 56 to display the angle of the reflected light in the θx−θy direction as a point image based on the received reflected light. Based on the display on the monitor device 56, the operator can operate the operation members 36 of the simulated member holder 30 so that the position of the point image is located at the intersection of the cross-shaped scales displayed on the monitor device 56. 37 is operated to adjust the inclination of the holding plate 32, that is, the simulation member 31, in the illustrated θx and θy rotation directions. Thereby, the inclination of the simulation member 31 is adjusted so that the optical axis of the laser light emitted from the autocollimator 50 is perpendicular to the simulation member 31. Thereafter, the operator operates the input device 101 to stop the emission of laser light from the autocollimator 50. Thereby, the angle calibration process of the simulation member 31 is complete | finished. The angle calibration process of the simulation member 31 may be performed as a pre-process of the angle calibration process of the stage 21 of the optical pickup support device 20 described above.
Next, the worker moves to an optical pickup position adjustment process. In the optical pickup position adjustment step, the optical pickup 10 illustrated X is positioned so that the optical axis of the laser light emitted from the optical pickup 10 is positioned at the center position of the light receiving range in which the Shack Hartman sensor 60 can receive the laser light. The optical pickup 10 is adjusted so that the position in the −Y coordinate direction is adjusted, and the focal position of the laser light emitted from the optical pickup 10 is located at a position where the laser light is accurately taken into the Shack-Hartmann sensor 60 via the simulation member 31. The position in the Z-axis direction shown in the figure is adjusted. Specifically, it is a point located below the collimating lens 41 (that is, an ideal on-axis object point for minimizing the aberration of the collimating lens 41). First, as shown in FIG. 1, the operator places and fixes the optical pickup 10, which is the adjustment target in the optical pickup adjustment device, on the stage 21 of the optical pickup support device 20. Then, a low-magnification collimating lens 41 is set in a collimating lens moving mechanism (not shown) provided in the adjustment device of the optical pickup, and the collimating lens is operated by operating the collimating lens moving mechanism. 41 is moved so as to be positioned on the optical path of the laser beam emitted from the optical pickup 10. In this case, the low-magnification collimating lens 41 is used to make it easier for the laser light emitted from the optical pickup 10 to enter a light receiving range of a spot analyzer 70 described later. In addition, the laser drive circuit 102 is connected to the laser light source 11 of the optical pickup 10, and the focus actuator 15 and the track actuator 16 are connected to the drive circuits 86 and 96, respectively.
Next, the operator operates the input device 101 to instruct the controller 100 to emit laser light from the optical pickup 10. In response to this instruction, the controller 100 instructs the laser driving circuit 102 to start the operation of the laser light source 11 in the optical pickup 10. Thereby, the optical pickup 10 emits the laser light emitted from the laser light source 11 toward the simulation member 31 via the collimating lens 12, the rising mirror 13, and the objective lens 14. Laser light emitted from the optical pickup 10 passes through the simulation member 31, the collimating lens 41, and the beam splitters 43, 45, 46, and 47, respectively, the spot analyzer 70, the four-divided photodetector 83, and the two-dimensional position sensor (PSD). ) 93 and the Shack Hartman sensor 60. Of these, the laser beams received by the Shack Hartman sensor 60, the four-divided photodetector 83, and the two-dimensional position sensor (PSD) 93 are the image generator 64, the focus servo control circuit 85, and the XY direction servo control circuit 95, respectively. Are ignored by the controller 100 as a result.
The spot analyzer 70 condenses the laser light incident from the beam splitter 45 on the CCD image sensor 73 via the ND filter 71 and the condenser lens 72. The CCD image pickup device 73 outputs a video signal corresponding to the condensed laser light to the monitor device 74, and the monitor device 74 points the position of the laser light on the XY coordinate plane shown in the drawing based on the video signal. Display as an image. In this case, the focal position of the objective lens 14 is a position where the laser beam is accurately taken into the Shack-Hartmann sensor 60 via the simulation member 31, that is, a point positioned below the collimating lens 41 (that is, the collimating lens 41). The point image displayed on the monitor device 74 is displayed as an unclear image unless it is located at an ideal point on the axis in order to minimize aberration. Therefore, the operator first adjusts the position of the optical pickup 10 so that the focal position of the objective lens 14 is located at a point located below the collimating lens 41. Specifically, the operator confirms the display on the monitor device 74 and controls the Z-axis direction of the optical pickup support device 20 so that the unclear image becomes a clear and minimal point image. 26 is operated to adjust the position of the stage 21 in the illustrated Z-axis direction. As a result, the focal position of the objective lens 14 is positioned below the collimating lens 41 (that is, an ideal on-axis object point in order to minimize the aberration of the collimating lens 41). Come to be located. Next, based on the display of the monitor device 74, the operator displays the optical pickup support device 20 in the illustrated manner X so that the position of the point image is located at the intersection of the cross-shaped scales displayed on the monitor device 74. , The Y-axis direction adjusting controls 24 and 25 are operated to adjust the position of the stage 21 in the illustrated X and Y-axis directions.
Next, the operator sets a high-magnification collimating lens 41 instead of the low-magnification collimating lens 41 set in the collimating lens moving mechanism. Then, as described above, while confirming the display of the monitor device 74, the operation unit 26 for adjusting the illustrated Z-axis direction of the optical pickup support device 20 is operated so that the point image is minimized, and the point image is displayed. By operating the operation elements 24 and 25 for adjusting the X and Y axis directions of the optical pickup support device 20 so that the position is located at the intersection of the cross-shaped scales displayed on the monitor device 74, the stage 21 The position in the X and Y axis directions shown in the figure is adjusted. By using such a high-magnification collimating lens 41, the optical pickup 10 can be positioned with higher accuracy.
As a result, a point image representing the optical axis of the laser light emitted from the optical pickup 10 via the objective lens 14 is projected onto the center position of the laser light receiving range in the spot analyzer 70. This means that the optical axis of the Shack Hartman sensor 60 and the optical axis of the laser light emitted from the optical pickup 10 are parallel. Thereby, the position adjustment process of the optical pickup is completed. According to such an optical pickup support device 20, the X, Y, and Z axis direction adjusting operators 24 to 26 are operated while confirming the display on the monitor device 74, thereby showing the X and Y of the optical pickup 10. The position in the Y and Z axis directions can be easily adjusted.
Next, the operator moves to a focus servo control start process of the objective lens. The focus servo control start process of the objective lens is a process for performing the focus servo control of the objective lens 14 accurately and stably, and is continuously performed from the above-described optical pickup position adjustment process. Specifically, the operator operates the input device 101 to instruct the controller 100 to start focus servo control of the objective lens 14. In response to this instruction, the controller 100 starts the operation of the focus servo control circuit 85. In this case, the laser light reflected by the beam splitter 46 is incident on the quadrant photodetector 83 via the convex lens 81 and the cylindrical lens 82, and is received by the photodetectors a, b, c, and d (not shown) by the quadrant photodetector 83. The received light signals A to D corresponding to the amount are converted and supplied to the focus error signal generation circuit 84. Then, the focus error signal generation circuit 84 generates a focus error signal based on the light reception signals A to D, and the focus servo control circuit 85 generates a focus servo signal based on the focus error signal and generates a drive circuit 86. Output to. The drive circuit 86 starts driving control of the objective lens 14 in accordance with the focus servo signal.
Next, the operator corrects the position of the objective lens 14 in the illustrated X, Y, and Z-axis directions in a state where the objective lens 14 is subjected to focus servo control. Specifically, the position of the optical pickup 10 is corrected by operating the control elements 24 to 26 for adjusting the X, Y, and Z axis directions of the optical pickup support device 20 in the same manner as the optical pickup position adjusting process described above. . This is because the objective lens 14 incorporated in the optical pickup 10 is elastically supported by an elastic support member made of a wire or the like, and therefore, when the objective lens 14 is not subject to focus servo control, the objective lens 14 is caused by its own weight. This is because the elastic indicating member 10b in the Z-axis direction shown in FIG.
That is, in a state where the objective lens 14 is shifted downward from the neutral position, the position of the optical pickup 10 in the Z-axis direction shown in the figure is determined and the focus servo control is started by the optical pickup position adjusting process described above. Then, the objective lens 14 is subjected to focus servo control around a position shifted downward from the neutral position. Accordingly, the operator operates the operation element 26 for adjusting the Z-axis direction of the optical pickup supporting device 20 to shift the position of the optical pickup 10 in the Z-axis direction of the objective lens 14 from the neutral position. The focus servo control of the objective lens 14 is performed centering on the neutral position by being displaced downward by an amount. In this case, the amount of deviation of the objective lens 14 from the neutral position is measured in advance, and the operator displaces the position of the optical pickup 10 in the Z-axis direction shown in the figure with this amount of deviation as a predetermined value.
Alternatively, an annular flat surface portion is provided on the outer periphery of the objective lens 14, and laser light is emitted from the autocollimator 50 toward the objective lens 14 including the flat surface portion, and reflection from the flat surface portion. The light is displayed on the monitor device 56. In this case, as shown by a broken line in FIG. 1, by providing a condensing lens 48 between the beam splitter 43 and the autocollimator 50, the parallel light beam emitted from the autocollimator 50 is applied to the annular flat portion of the objective lens 14. Irradiation is performed, and reflected light from the flat portion is received by the autocollimator 50. As a result, a point image is displayed on the monitor device 56 in accordance with the inclination angle of the plane portion, and the operator can display the optical pickup support device 20 in the illustrated Z so that the image is at a predetermined position on the monitor device 56. It is also possible to correct the position of the optical pickup 10 in the Z-axis direction shown in the figure by manipulating the manipulator 26 for adjusting the axial direction. Such correction of the position of the optical pickup in the illustrated Z-axis direction is particularly effective when the objective lens 14 is supported by a cantilever on the casing 10 a of the optical pickup 10. Since the condenser lens 48 is used only for correcting the position of the objective lens 14, it is emitted from the autocollimator 50 by a condenser lens moving mechanism (not shown) provided in the optical pickup adjusting device. It is supported so as to be selectively disposed on or outside the optical path of the laser beam. Therefore, when the condensing lens 48 is unnecessary, the condensing lens 48 is disposed outside the optical path of the laser light emitted from the autocollimator 50 as shown by the broken line in FIG.
Further, when the position of the optical pickup 10 in the X and Y axis directions is shifted due to the correction operation of the position of the optical pickup 10 in the Z axis direction in the figure, it is displayed on the monitor device 74 connected to the spot analyzer 70. The position of the optical pickup 10 in the X and Y axis directions is corrected by operating the control elements 24 and 25 for adjusting the X and Y axis directions in the optical pickup support device 20 while checking the above-described point image. Thereby, the focus servo control of the objective lens 14 can be performed accurately and stably, and the focus servo control start process of the objective lens is completed.
Next, the worker moves to a two-way servo control start process. The two-direction servo control start step is a step of starting servo control of the objective lens 14 in the Y-axis direction shown in the drawing and starting servo control of the collimating lens 41 in the X-axis direction shown in the drawing. It is performed continuously from the servo control start process. Specifically, the operator operates the input device 101 to instruct the controller 100 to start two-way servo control. In response to this instruction, the controller 100 starts the operation of the XY direction servo control circuit 95.
In this case, the laser beam reflected by the beam splitter 47 enters the two-dimensional position sensor (PSD) 93 via the ND filter 91 and the convex lens 92, and the center of gravity of the corresponding point image by the two-dimensional position sensor (PSD) 93. It is converted into a light reception signal representing the position and supplied to the position calculation circuit 94. Then, the X direction error signal and the Y direction error signal are respectively generated by the position calculation circuit 94 based on the received light signal, and the XY direction servo control circuit 95 generates the X direction error signal and the Y direction error signal. Based on this, an X direction servo signal and a Y direction servo signal are generated and output to drive circuits 96 and 97, respectively. The drive circuit 97 starts driving control of the objective lens 14 in the Y direction shown in response to the Y direction servo signal. Further, the drive circuit 96 starts driving control of the collimating lens 41 in the X direction in the figure in accordance with the X direction servo signal. As a result, servo control of the objective lens 14 in the Y direction shown in the drawing is started, servo control in the X direction shown in the drawing of the collimating lens 41 is started, and the two-way servo control start process is completed.
Next, the operator moves to an objective lens tilt angle adjustment step. In the step of adjusting the tilt angle of the objective lens 14, the optical axis of the laser light emitted from the laser light source 11 of the optical pickup 10 through the collimating lens 12 is adjusted so that the tilt of the objective lens 14 is parallel to the optical axis of the objective lens 14. This is an adjustment step, which is performed continuously from the above-described two-way servo control start step. Specifically, the operator operates the input device 101 to instruct the controller 100 to start the operation of the image generation device 64. In response to this instruction, the controller 100 starts the operation of the image generation device 64.
In this case, the laser light transmitted through the beam splitter 47 is incident on the Shack Hartman sensor 60. The Shack Hartman sensor 60 condenses the laser light incident from the beam splitter 47 on the CCD image sensor 63 via the ND filter 61 and the lens array 62. In this case, a plurality of point images are collected on the CCD image sensor 63 by the lens array 62. The CCD image pickup device 63 outputs a video signal corresponding to the condensed laser light to the image generation device 64, and the image generation device 64 calculates the wavefront of the laser light based on the video signal to obtain a stereoscopic image. Stereoscopic image data for display is generated and output to the monitor device 65. The monitor device 65 displays the state of the wavefront of the laser light as a stereoscopic image based on the stereoscopic image data.
The operator confirms the state of the wavefront of the laser beam displayed on the monitor device 65, and the tilt adjustment mechanism 17 for adjusting the illustrated θx rotation direction of the optical pickup 10 and the illustrated so that the three-dimensional image of the wavefront becomes flat. The inclination adjusting mechanism 18 for adjusting the θy rotation direction is operated to adjust the inclination of the objective lens 14 in the illustrated θx and θy rotation directions. In this case, when the optical axis of the laser light emitted from the optical pickup 10 deviates from the laser light receiving range of the Shack-Hartmann sensor 60 in the process of adjusting the tilt of the objective lens 14 in the illustrated θx and θy rotation directions. Returning to the above-described optical pickup position adjustment step, the operations of the respective steps are performed again from the optical pickup position adjustment step. As a result, the optical axis of the laser light emitted from the laser light source 11 of the optical pickup 10 via the collimating lens 12 is parallel to the optical axis of the objective lens 14.
When the inclination of the objective lens 14 is adjusted in this way, the operator operates the input device 101 to cause the controller 100 to perform the image generation device 64, the focus servo control circuit 85, and the XY. The stop of the operation of each of the direction servo control circuit 95 and the laser drive circuit 102 is instructed. In response to this instruction, the controller 100 stops the operations of the image generation device 64, the focus servo control circuit 85, the XY servo control circuit 95, and the laser drive circuit 102. Then, the operator removes the optical pickup 10 from the stage 21 of the optical pickup support device 20, and the objective lens tilt angle adjustment process is completed.
In the case where the adjustment operation of another optical pickup 10 is performed subsequently, the operation may be started from the above-described optical pickup position adjustment step. When the optical pickup 10 used for an optical disk having other optical characteristics is adjusted, the holding plate 32 is rotated by operating the operating element 35 of the simulated member supporting device 30 and attached to the holding plate 32. After positioning one simulation member 31 having necessary optical characteristics among the plurality of simulation members 31 on the optical axis of the laser beam emitted from the autocollimator 50, the position adjustment process of the optical pickup described above is performed. The work should be started.
As can be understood from the above description of the operation, according to the above embodiment, the laser light emitted from the optical pickup 10 is received by the Shack Hartman sensor 60 via the objective lens 14 and the simulation member 31, and the Shack Hartman sensor. The wavefront aberration of the laser beam received by 60 is measured, and the state of the wavefront calculated based on the measured aberration is displayed on the monitor device 65. Then, the operator adjusts the inclination of the objective lens 14 while confirming the state of the wavefront of the laser beam displayed on the monitor device 65. The wavefront aberration of this laser beam is measured regardless of the coherence of the laser beam, and since the wavefront of the laser beam is observed regardless of the coherence of the laser beam, it is affected by the coherence of the laser beam. The inclination of the objective lens 14 can be adjusted without this. Further, since the wavefront aberration of the laser light can be measured without using the high numerical aperture collimating lens 41, the inclination of the objective lens 14 can be adjusted without being affected by the numerical aperture of the objective lens 14.
Further, after the adjustment of the tilt angle of the objective lens 14, it can be confirmed that the tilt angle of the objective lens 14 is optimally adjusted by the following method. For example, a first simulation member having an optical path length longer by a predetermined optical path length and a second simulation member having an optical path length shorter by the predetermined optical path length than the optical path length corresponding to the optical path length of the optical disc are sequentially replaced. Thus, the laser light emitted from the optical pickup 10 is taken into the Shack Hartman sensor 60. Then, the aberrations of the wavefront of the laser beam when the first simulation member and the second simulation member are used are respectively calculated, and the change amount of both the calculated aberrations with respect to the aberration when the tilt adjustment of the objective lens 14 is completed. Calculate Then, by confirming the symmetry of these calculated amounts of change, it is confirmed that the tilt angle of the objective lens 14 is adjusted to the best.
Further, instead of or in addition to using the first simulation member and the second simulation member interchangeably, after the tilt angle adjustment of the objective lens 14 is completed, the simulation member 31 is moved by a predetermined amount in the θx rotation direction and / or the θy rotation direction. Tilt forward and backward sequentially. Then, as described above, both the aberrations of the wavefront of the laser light beam in the respective tilted directions are calculated, and the symmetry of the calculated change amounts of the two aberrations is confirmed. It can also be confirmed that the tilt angle is best adjusted.
Moreover, according to the said embodiment, while holding the some simulation member 31 which has a different optical characteristic, the simulation member support apparatus 30 provided with the simulation member inclination adjustment mechanism which can adjust the inclination of the simulation member 31 is provided. The simulation member 31 is arranged on the optical axis of the laser beam emitted from the optical pickup 10. According to this, the simulation member 31 having the required optical characteristics among the plurality of simulation members 31 having different optical characteristics is immediately arranged on the optical axis of the laser light emitted from the optical pickup 10 and the autocollimator 50. The working efficiency can be improved. Further, by providing one through hole (opening) that does not have the simulation member 31 in addition to the plurality of simulation members 31, the simulation member 31 as in the angle calibration process of the stage 21 of the optical pickup support device 20 is required. If not, you can respond quickly. Further, by operating the operating elements 36 and 37 while confirming the display on the monitor device 56, the inclination of the holding plate, that is, the simulated member 31, in the illustrated θx and θy rotation directions can be easily adjusted. Thereby, the inclination adjustment accuracy of the objective lens 14 can be improved. Further, in this case, by adjusting the same inclination with respect to one simulation member 31 among the plurality of simulation members 31, it is not necessary to adjust the inclination of the other plurality of simulation members 31. Can be improved.
Further, according to the above embodiment, the focus error signal generation circuit 84, the focus servo control circuit 85, and the drive circuit 86 perform focus servo control of the objective lens 14, and also the position calculation circuit 94 and the XY direction servo control circuit 95. The drive circuits 96 and 97 perform two-way servo control of the objective lens 14 in the Y-axis direction shown in the figure and the collimating lens 41 in the X-axis direction shown in the figure. Thereby, in the objective lens tilt angle adjustment process, even if the position of the objective lens 14 is changed by adjusting the position of the objective lens 14 in the illustrated θx and θy rotation directions, the focus of the objective lens 14 is always held at a predetermined position. Work efficiency can be improved.
Furthermore, the implementation of the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the object of the present invention.
In the above embodiment, the optical pickup adjusting device according to the present invention is used to adjust the tilt of the objective lens 14 built in the optical pickup 10, but the present invention is not limited to this. In order to adjust the incident angle from the laser light source 11 with respect to the collimating lens 12 incorporated in the pickup 10 and the relative position between the laser light source 11 and the collimating lens 12, the optical pickup adjusting device according to the present invention is used. May be. Specifically, an adjustment mechanism that adjusts the position of at least one of the laser light emission direction of the laser light source 11 and the illustrated X axis direction, Y axis direction, and Z axis direction of the laser light source 11 in the optical pickup 10. It is good to prepare. Further, instead of or in addition to the adjustment mechanism of the laser light source 11, the inclination of the collimating lens 12 with respect to the laser light from the laser light source 11 is adjusted in the illustrated θy rotation direction and θz rotation direction, and the collimating lens 12. It is preferable to provide an adjustment mechanism that can adjust the position in at least one of the illustrated X-axis direction, Y-axis direction, and Z-axis direction.
In adjusting the position or tilt of the collimating lens 12 of the optical pickup 10 configured as described above, an operator first sets the optical pickup 10 in which the objective lens 11 is not mounted in the same manner as in the above embodiment. The optical pickup supporting device 20 is mounted and fixed on the stage 21. Then, the input device 101 is operated to emit laser light from the laser light source 11 and the operation of the image generating device 64 is started. As a result, the state of the wavefront of the laser light emitted from the laser light source 11 and transmitted through the collimating lens 12 is displayed on the screen of the monitor device 65 by the Shack Hartman sensor 60, the image generation device 64, and the monitor device 65.
While confirming the state of the wavefront of the laser beam displayed on the monitor device 65, the operator operates the adjustment mechanism described above so that the three-dimensional image of the wavefront becomes flat, and the laser light source for the collimating lens 12 The incident angle of the laser light from 11 and the relative position of the laser light source 11 and the collimating lens 12 are adjusted. Thereby, the inclination of the collimating lens 12 with respect to the laser light emitted from the laser light source 11 and the relative position between the laser light source 11 and the collimating lens 12 can be adjusted, and the inclination of the objective lens 14 is subsequently adjusted. In this case, the objective lens 14 can be attached to the optical pickup 10 to adjust the inclination of the objective lens 14.
In the above embodiment, the image generation device 64 calculates the wavefront aberration of the laser light based on the video signal output from the Shack-Hartman sensor 60, and calculates the wavefront calculated based on the calculated wavefront aberration. Although the situation is displayed on the monitor device 65, the present invention is not limited to this. For example, the image generation device 64 generates a pseudo interference fringe together with or separately from the wavefront of the laser beam based on the video signal output from the Shack-Hartman sensor 60, the astigmatism of the laser beam, Calculate coma and spherical aberration, and monitor the simulated interference fringe, laser astigmatism, coma and spherical aberration values together with the calculated wavefront stereo image or separately from the wavefront stereo image You may make it display on the apparatus 65. FIG.
Further, in the above embodiment, the adjustment of the illustrated X, Y, Z axis directions and the illustrated θx, θy rotation directions of the stage 21 of the optical pickup support device 20 is performed by manually operating the operators 24 to 28 of the moving device 22. However, the present invention is not limited to this. For example, the same adjustment can be performed by operating the controller 100 via the input device 101. In this case, instead of the operators 24 to 28, a driving device such as an electric motor is provided in each moving mechanism capable of displacing the stage 21 in the three-axis directions and rotating around the two axes. The apparatus is configured to be controlled by the controller 100. Then, the operator operates the input device 101 to designate the position of the stage 21 in the X, Y, Z axis directions and the θx, θy rotation directions. In response to this instruction, the controller 100 drives and controls each of the driving devices so that the stage 21 is located at the instructed position.
Further, in the above-described embodiment, the displacement of the stage 21 of the optical pickup support device 20 in the illustrated θx and θy rotation directions causes the plates 22e and 22f in the moving device 22 of the optical pickup support device 20 to be formed in an arc shape. Although it carried out by sliding 22f and 22g upper surfaces, respectively, it is not limited to this. For example, as shown in FIG. 8, the plates 22e, 22f, and 22g in the moving device 22 may be assembled by a link mechanism. Specifically, flat plates 22e, 22f, and 22g are stacked via four tension springs 121 and 122 (each one not shown), respectively, and plates 22f, 22e that are vertically related to each other, and The plates 22e and 22f are connected by four links 123a, 123b, 124a and 124b and links 125a, 125b, 126a and 126b, respectively. The links 123b, 124b, 125b, and 126b are not shown because they are attached to the opposite sides of the plates 22e, 22f, and 22g to which the links 123a, 124a, 125a, and 126a are attached, respectively.
In this case, the two links 123a (123b), 124a (124b), 125a (125b), and 126a (126b) are respectively attached in a non-parallel state. Specifically, the link 123a (123b) is attached in a direction parallel to the illustrated Z-axis direction, but the link 124a (124b) is inclined in the illustrated Y-axis direction with respect to the illustrated Z-axis direction. It is attached. The link 125a (125b) is attached in a direction parallel to the illustrated Z-axis direction, but the link 126a (126b) is attached in a state of being inclined in the illustrated X-axis direction with respect to the illustrated Z-axis direction. Yes. Thus, the plate 22e can be displaced in the θy rotation direction with the link 125a (125b) side as a fulcrum, and the plate 22f has a link 124a (124b) side as a fulcrum with the link 123a (123b) side as a fulcrum. It can be displaced in the illustrated θx rotation direction. The plates 22e and 22f are always urged downward by the tension springs 121 and 122.
In addition, cylindrical cam followers 127a and 127b are rotatably attached to the center portions of the side surfaces of the plates 22e and 22f that are displaced in the rotational directions θy and θx, respectively, and the respective circumferences of the cam followers 127a and 127b are rotated. Cams 128a and 128b are in contact with the surfaces, respectively. These cams 128a and 128b are connected to motors 129a and 129b via shafts, respectively, and are rotated by rotation of the motors 129a and 129b, respectively. The motors 129a and 129b are connected to a control device (not shown) (for example, the controller 100), and their rotation is controlled. Accordingly, the cam followers 127a and 127b are pulled downward by the rotational displacement of the cams 128a and 128b due to the rotation of the motors 129a and 129b, so that the plates 22e and 22f are illustrated against the elastic force of the tension springs 121 and 122. It is displaced in the direction of θy, θx rotation. Accordingly, the operator can displace the stage 21 in the illustrated θy and θx rotation directions by operating the control device.
Instead of the motors 129a and 129b, manual operation operators are attached to the cams 128a and 128b, and the inclination of the plates 22e and 22f, that is, the stage 21, is adjusted by manual operation by the operator as in the above embodiment. May be. Such a moving device 22 can also be applied to the simulated member inclination adjusting mechanism of the simulated member support device 20 in the above embodiment.
In the above embodiment, the drive circuit 86 and the drive circuit 97 are connected to the focus actuator 15 and the track actuator 16 provided in the optical pickup 10, and the collimating lens actuator provided in the optical pickup adjusting device. The drive circuit 96 is connected to 41, and the focus servo control of the focal position of the objective lens 14 and the bi-directional servo control in the X and Y axis directions of the optical axis taken into the Shack Hartman sensor 60 are performed. Is not to be done. For example, the stage 21 of the optical pickup support device 20 may be servo-controlled in the X, Y, and Z axis directions shown in the drawing. In this case, as shown by the broken line in FIG. 1, the Y-axis direction actuator 16 ′, the X-axis direction actuator 44 ′ and the Z-axis drive the stage 21 in the optical pickup support device 20 in the X-, Y- and Z-axis directions as shown A direction actuator 15 ′ is provided, and drive circuits 97, 96, and 86 are connected to the Y-axis direction actuator 16 ′, the X-axis direction actuator 44 ′, and the Z-axis direction actuator 15 ′, respectively, and the focus position of the objective lens 14 is focused. Servo control and bi-directional servo control in the X and Y axis directions of the optical axis taken into the Shack Hartman sensor 60 are performed.
Further, in the above embodiment, the position calculation circuit 94, the XY direction servo control circuit 95, and the drive circuits 96 and 97 perform two directions in the Y axis direction of the objective lens 14 and the X axis direction of the collimating lens 41 in the illustrated direction. Although the servo control is performed, the present invention is not limited to this. For example, when the vibration of the X-axis direction is small due to the structure of the optical pickup 10 (for example, when the rigidity of the track actuator 16 is high in the Y-axis direction), the X-axis direction servo control of the collimating lens 41 can be omitted. . In this case, a one-dimensional position sensor can be used instead of the two-dimensional position sensor 93, and the position calculation circuit 94 can be changed from a two-dimensional calculation circuit to a one-dimensional calculation circuit. Thereby, the structure of the adjustment apparatus of an optical pick-up can be simplified.
In the above-described embodiment, the optical pickup support device 20 capable of displacing the stage 21 in the X, Y, Z axis directions shown in the drawing and the five axis directions shown in the rotation directions θx, θy is used. For example, the optical pickup support device 20 may be configured to displace the stage 21 in three axes in the X, Y, and Z axis directions in the figure or in two axes directions in the rotation directions θx and θy in the figure.
Moreover, in the said embodiment, although the inclination of the stage 21 and the inclination of the simulation member 31 of the optical pick-up support apparatus 20 was adjusted using one autocollimator 50, it is not limited to this. For example, an autocollimator 50 that adjusts the inclination of the stage 21 of the optical pickup support device 20 and an autocollimator 50 that adjusts the inclination of the simulation member 31 may be provided.
In the above embodiment, the CCD image pickup devices 55, 63, and 73 are used as the light receiving devices built in the autocollimator 50, the Shack Hartman sensor 60, and the spot analyzer 60. However, any one or more of these CCD image sensors 55, 63, 73 may be constituted by a light receiving element such as a CMOS image sensor, for example. In the autocollimator 50 and the spot analyzer 70, a two-dimensional position sensor (PSD) may be used instead of the CCD image pickup devices 55 and 73. In this case, the output of the two-dimensional position sensor (PSD) may be displayed on the oscilloscope.
Further, in the above embodiment, the holding plate 32 that holds the plurality of simulation members 31 is formed in a disk shape, and the operation plate 35 is rotated to operate the holding plate 32, whereby one simulation member 31 is optically picked up. However, the present invention is not limited to this. For example, as shown in FIG. 9, the holding plate 32 may be formed in a rectangular shape, and a plurality of simulation members 31 may be held in the longitudinal direction of the holding plate 32 ′ formed in the rectangular shape.
In this case, a screw rod 38b is screwed into a mechanism capable of displacing the holding plate 32 'in the longitudinal direction of the holding plate 32', for example, a nut 38a fixed to the lower surface of the holding plate 32 as shown in the figure. A screw feed mechanism is provided, and a motor 39 is connected to one end of a screw rod 38b of the screw feed mechanism. The motor 39 is connected to a control device, for example, the controller 100, and its rotation is controlled. The holding plate 32 ′ is displaced so as to be displaced in the axial direction of the screw rod 38 b by the rotational drive of the motor 39, and is positioned so that one simulation member 31 is arranged on the optical axis of the laser light emitted from the optical pickup 10. . Further, an operator for manual operation is provided at one end of the screw rod 38b instead of the motor 39, and by operating the operator, the optical axis of the laser beam emitted from the optical pickup 10 through one simulated member 31 You may make it arrange | position above.
Moreover, in the said embodiment, although the some through-hole was provided in the holding plate 32 and the simulation member 31 was attached to this through-hole, it is not limited to this. For example, a plurality of notches may be provided on the outer periphery along the circumferential direction of the holding plate 32, and the simulation member 31 may be attached to these notches.
In the above-described embodiment, the holding plate 32 is supported by the support portion 33a of the simulation member support device 30 in a rotatable state. However, the present invention is not limited to this. For example, the holding plate 32 may be supported in a removable state with respect to the support portion 33a of the simulated member support device 30.

Claims

A housing, a laser light source that is accommodated in the housing and emits laser light, a first collimating lens that is accommodated in the housing and converts the emitted laser light into a parallel light beam, and the housing are assembled. And an objective lens for condensing the converted laser beam, and a support unit for supporting the optical pickup having an inclination adjustment mechanism for adjusting the inclination angle of the objective lens with respect to the laser beam, and the objective lens in the optical pickup In an adjusting device for an optical pickup used for adjusting the tilt angle of
A second collimating lens that is emitted from the laser light source and converts the laser light through the first collimating lens and the objective lens into a parallel light beam;
An apparatus for adjusting an optical pickup, comprising: a Shack Hartman sensor for measuring a wavefront aberration of laser light converted into a parallel light beam by the second collimating lens.

In the optical pickup adjusting device according to claim 1,
The Shack Hartman sensor
A lens array that includes a plurality of lenses arranged in a two-dimensional grid, and that receives the laser light emitted from the second collimating lens and condenses the laser light for each lens;
An adjustment apparatus for an optical pickup configured with an image pickup device that is arranged at a condensing position of laser light by a plurality of lenses constituting the lens array and picks up a plurality of point images formed by the plurality of lenses.

The optical pickup adjusting device according to claim 2, further comprising a monitor device that displays a plurality of point images picked up by the image pickup device.

4. The optical pickup adjusting apparatus according to claim 1, further comprising: a simulation member for simulating an optical disk between the objective lens and the Shack-Hartmann sensor. Pickup adjustment device.

In the optical pickup adjusting device according to claim 4,
The optical pickup adjusting device has an optical path length of the simulated member equal to an optical path length of an optical disc to which the optical pickup is applied.

6. The optical pickup adjusting device according to claim 4, further comprising a simulated member holder for holding the simulated member.

7. The optical pickup adjusting apparatus according to claim 6, further comprising: changing a posture of the simulated member holder to adjust an inclination of the simulated member with respect to an optical axis of a laser beam transmitted through the simulated member. An optical pickup adjusting device provided with a simulated member inclination adjusting mechanism.

In the optical pickup adjusting device according to claim 6 or 7,
The simulation member holder holds a plurality of simulation members having different optical path lengths, and further selectively arranges one of the plurality of simulation members at a transmission position of a laser beam emitted from the objective lens. An optical pickup adjusting device including a possible simulated member switching mechanism.

9. The optical pickup adjusting device according to claim 6, wherein the simulation member holder further includes an opening through which laser light is transmitted without passing through the simulation member. Adjustment device.

10. The optical pickup adjusting apparatus according to claim 1, further comprising a moving mechanism capable of moving the support portion in three axial directions orthogonal to each other. Pickup adjustment device.

The optical pickup adjusting device according to any one of claims 1 to 9, wherein the support portion is further moved in three axial directions orthogonal to each other, and around two axes orthogonal to each other. Adjusting device of optical pickup provided with a moving mechanism that can be rotated in a rotating manner.

12. The optical pickup adjusting device according to claim 1, further comprising: irradiating a reflection portion provided on the support portion with a laser beam and using the reflected light from the reflection portion. And an optical pickup adjusting device provided with an inclination detecting device for detecting an inclination angle of the support portion with respect to the optical axis of the laser beam.

The optical pickup adjustment apparatus according to claim 12, further comprising: an autocollimator for the tilt angle detection device; and an adjustment of the optical pickup provided with a monitor device for displaying a point image of reflected light of the laser beam by the autocollimator. apparatus.

In the adjustment apparatus of the optical pick-up described in Claim 13,
The autocollimator is
A laser beam irradiation optical system for irradiating the support unit with a laser beam;
An apparatus for adjusting an optical pickup, comprising: a laser beam receiving optical system that receives a reflected beam of the laser beam from the reflection unit.

12. The optical pickup adjusting device according to claim 4, further comprising: irradiating the simulated member with a laser beam and using reflected light from the simulated member. An apparatus for adjusting an optical pickup, comprising an inclination angle detection device for detecting an inclination angle of the laser beam with respect to the optical axis.

The optical pickup adjustment device according to claim 15, further comprising: an autocollimator configured to form the tilt angle detection device; and an adjustment of the optical pickup provided with a monitor device for displaying a point image of reflected light of the laser beam by the autocollimator. apparatus.

In the adjustment apparatus of the optical pick-up described in Claim 16,
The autocollimator is
A laser beam irradiation optical system for irradiating the simulated member with a laser beam;
An apparatus for adjusting an optical pickup comprising: a laser beam receiving optical system that receives reflected light of the laser beam from the simulation member by the laser beam irradiation optical system.

The optical pickup adjusting device according to any one of claims 4 to 11, further comprising: irradiating a reflection part provided on the support part with a laser beam and using reflected light from the reflection part. It is possible to detect the tilt angle of the support portion with respect to the optical axis of the laser beam, and irradiate the simulated member with laser light, and use the reflected light from the simulated member to cause the laser beam of the simulated member to An optical pickup adjusting device provided with an inclination angle detection device capable of detecting an inclination angle with respect to the optical axis.

The optical pickup adjusting device according to claim 18, further comprising: an autocollimator for the tilt angle detecting device; and an optical pickup comprising a monitor device for displaying a point image of reflected light of the laser beam by the autocollimator. apparatus.

In the adjustment device of the optical pickup according to claim 19,
The autocollimator is
A laser beam irradiation optical system for irradiating a laser beam toward the support part or the simulated member;
An apparatus for adjusting an optical pickup comprising: a laser beam receiving optical system that receives reflected light of the laser beam from the reflecting portion or the simulation member by the laser beam irradiation optical system.

In the adjustment apparatus of the optical pick-up as described in any one of Claims 1 thru | or 20,
The deviation between the optical axis of the laser light taken into the Shack Hartman sensor and the optical axis of the Shack Hartman sensor, the focal position of the laser light by the objective lens, and the focal point for making the laser light accurately incident on the Shack Hartman sensor An optical pickup adjusting device including a deviation detector that detects a deviation of at least one of deviations from a position.

23. The optical pickup adjusting apparatus according to claim 21, further comprising a monitor device that displays the at least one deviation.

In the adjustment apparatus of the optical pick-up as described in any one of Claims 1 thru | or 22,
The optical pickup includes a focus actuator that drives the objective lens in the optical axis direction of the laser beam, and further includes a first beam splitter that extracts a part of the laser beam incident on the Shack Hartman sensor;
A light receiving element for receiving the laser light extracted by the first beam splitter;
Based on the reception of the laser light by the light receiving element, a shift between the focal position of the laser light by the objective lens and the focal position for accurately making the laser light incident on the Shack-Hartmann sensor is detected. An optical pickup adjusting device comprising a focus servo control circuit for driving and controlling a focus actuator.

In the adjustment apparatus of the optical pick-up as described in any one of Claims 1 thru | or 23,
The optical pickup includes a tracking actuator that drives the objective lens in a first direction in a plane orthogonal to the optical axis of the laser light, and further, the second collimating lens is connected to the optical axis of the laser light. A collimating actuator that drives in a second direction orthogonal to the first direction in an orthogonal plane;
A second beam splitter for extracting a part of the laser light incident on the Shack Hartman sensor;
A light receiving element for receiving the laser light extracted by the second beam splitter;
A shift between the optical axis of the laser light taken into the Shack Hartman sensor and the optical axis of the Shack Hartman sensor is detected based on reception of the laser light by the light receiving element, and the tracking actuator and the collimator are detected based on the detection result. An optical pickup adjusting device comprising a two-way servo control circuit for driving and controlling a tilting actuator.

A housing, a laser light source that is accommodated in the housing and emits laser light, a first collimating lens that is accommodated in the housing and converts the emitted laser light into a parallel light beam, and the first collimator lens A support unit for supporting an optical pickup having an adjustment mechanism for adjusting an incident angle of the laser light from the laser light source to the mating lens or a relative position between the laser light source and the first collimating lens; And is used to adjust an incident angle of laser light from the laser light source with respect to the first collimating lens in an optical pickup or a relative position between the laser light source and the first collimating lens. In the optical pickup adjustment device,
An apparatus for adjusting an optical pickup, comprising: a Shack-Hartmann sensor that measures a wavefront aberration of laser light emitted from the laser light source and passed through the first collimating lens.

In the adjustment device of the optical pickup according to claim 25,
The Shack-Hartmann sensor is composed of a plurality of lenses arranged in a two-dimensional lattice, and enters a parallel light beam converted by the first collimating lens and collects laser light for each lens. An array,
An adjustment apparatus for an optical pickup configured with an image pickup device that is arranged at a condensing position of laser light by a plurality of lenses constituting the lens array and picks up a plurality of point images formed by the plurality of lenses.

27. The optical pickup adjusting device according to claim 26, further comprising a monitor device for displaying a plurality of point images picked up by the image pickup device.

28. The optical pickup adjusting apparatus according to claim 25, further comprising a moving mechanism capable of moving the support portion in three axial directions orthogonal to each other. Pickup adjustment device.

28. The optical pickup adjusting device according to claim 25, further comprising moving the support portion in three axial directions orthogonal to each other and around two orthogonal axes. Adjusting device of optical pickup provided with a moving mechanism that can be rotated in a rotating manner.

30. The optical pickup adjusting device according to claim 25, further comprising: irradiating a reflecting portion provided on the supporting portion with a laser beam and using reflected light from the reflecting portion. And an optical pickup adjusting device provided with an inclination detection device for detecting an inclination angle of the support portion with respect to the optical axis of the laser beam.

31. The optical pickup adjusting apparatus according to claim 30, further comprising an autocollimator configured to form the tilt angle detecting device, and further comprising a monitor device for displaying a point image of reflected light of the laser beam by the autocollimator. apparatus.

In the adjustment device of the optical pickup according to claim 31,
The autocollimator is
A laser beam irradiation optical system for irradiating the support unit with a laser beam;
An apparatus for adjusting an optical pickup comprising a laser light receiving optical system for receiving a reflected light of a laser beam by a reflecting portion provided on the support portion.

A housing, a laser light source that is accommodated in the housing and emits laser light, a first collimating lens that is accommodated in the housing and converts the emitted laser light into a parallel light beam, and the housing are assembled. An optical pickup adjustment method for adjusting an inclination angle of the objective lens in an optical pickup having an objective lens for condensing the emitted laser light and an inclination adjustment mechanism for adjusting an inclination angle of the objective lens with respect to the laser light In
A laser beam emitted from the laser light source and passed through the first collimating lens and the objective lens is converted into a parallel light beam by a second collimating lens;
An optical pickup characterized in that the tilt angle of the objective lens is adjusted by operating the tilt angle adjusting mechanism while measuring the wavefront aberration of the laser light converted into the parallel light beam using a Shack-Hartmann sensor. Adjustment method.

The method of adjusting an optical pickup according to claim 33,
The Shack Hartman sensor
A lens array that includes a plurality of lenses arranged in a two-dimensional grid, and that receives the laser light emitted from the second collimating lens and condenses the laser light for each lens;
A method of adjusting an optical pickup, comprising: an image pickup device configured to pick up a plurality of point images formed by the plurality of lenses, which is disposed at a condensing position of laser light by a plurality of lenses constituting the lens array.

35. The optical pickup adjustment method according to claim 34, further comprising: connecting a monitor device to the image pickup device to display a plurality of point images picked up by the image pickup device on the monitor device. .

36. The method of adjusting an optical pickup according to claim 33, further comprising: a simulation member for simulating an optical disk between the objective lens and the Shack Hartman sensor. Adjustment method for optical pickups.

The method of adjusting an optical pickup according to claim 36,
An optical pickup adjusting method, wherein an optical path length of the simulated member is equal to an optical path length of an optical disc to which the optical pickup is applied.

38. The optical pickup adjusting method according to claim 36 or 37, further comprising holding the simulated member in a simulated member holder.

39. The method of adjusting an optical pickup according to claim 38, further comprising: changing the posture of the simulated member holder to adjust the inclination of the simulated member with respect to the optical axis of the laser beam transmitted through the simulated member. How to adjust the pickup.

In the adjustment method of the optical pickup according to claim 38 or claim 39,
A plurality of simulated members having different optical path lengths are held in the simulated member holder,
An optical pickup adjustment method in which one of the plurality of simulation members is selectively arranged at a transmission position of a laser beam emitted from the objective lens.

41. The method of adjusting an optical pickup according to claim 36, further comprising irradiating the simulated member with a laser beam and using reflected light from the simulated member. A method of adjusting an optical pickup, comprising: an inclination detection device that detects an inclination angle of the laser beam with respect to the optical axis, and adjusting an inclination angle of the simulation member with respect to the optical axis of the laser beam according to the detected inclination angle.

42. The optical pickup adjustment method according to claim 41, wherein the tilt angle detection device is an autocollimator, and further includes a monitor device for displaying a point image of the reflected light of the laser beam by the autocollimator. .

In the adjustment method of the optical pickup as described in any one of Claim 33 thru | or 42,
The deviation between the optical axis of the laser light taken into the Shack Hartman sensor and the optical axis of the Shack Hartman sensor, the focal position of the laser light by the objective lens, and the focal point for making the laser light accurately incident on the Shack Hartman sensor A method for adjusting an optical pickup, comprising: a displacement detector that detects at least one of displacements from a position; and adjusting at least one displacement.

44. The method of adjusting an optical pickup according to claim 43, further comprising a monitor device for displaying at least one of the deviations.

In the adjustment method of the optical pick-up as described in any one of Claim 33 thru | or 44,
The optical pickup includes a focus actuator that drives the objective lens in the optical axis direction of the laser beam, and further extracts a part of the laser beam incident on the Shack-Hartmann sensor and transmits the extracted laser beam. Based on a part, a deviation between a focal position of the laser beam by the objective lens and a focal position for causing the laser beam to accurately enter the Shack-Hartmann sensor is detected, and the focus actuator is driven and controlled based on the detection result. Adjustment method of optical pickup that is controlled by focus servo.

In the adjustment method of the optical pick-up as described in any one of Claim 33 thru | or 45,
The optical pickup includes a tracking actuator that drives the objective lens in a first direction in a plane orthogonal to the optical axis of the laser light, and further the second collimating lens is connected to the optical axis of the laser light. A collimating actuator that drives in a second direction orthogonal to the first direction in an orthogonal plane;
A part of the laser light incident on the Shack Hartman sensor is taken out, and an optical axis of the laser light taken into the Shack Hartman sensor based on a part of the extracted laser light and an optical axis of the Shack Hartman sensor A method of adjusting an optical pickup in which a deviation is detected and the tracking actuator and the collimating actuator are driven by the detection result to perform two-way servo control.

A housing; a laser light source that is accommodated in the housing and emits laser light; a first collimating lens that is accommodated in the housing and converts the emitted laser light into a parallel beam; and the first collimator lens. The first collimator in an optical pickup having an adjustment mechanism for adjusting an incident angle of the laser light from the laser light source to the mating lens or a relative position between the laser light source and the first collimating lens. In the adjustment method of the optical pickup for adjusting the incident angle of the laser light from the laser light source to the mating lens or the relative position of the laser light source and the first collimating lens,
The first collimating lens is operated by operating the adjustment mechanism while measuring the wavefront aberration of the laser light emitted from the laser light source and passing through the first collimating lens using a Shack Hartman sensor. An adjustment method of an optical pickup, characterized in that an incident angle of a laser beam from the laser light source with respect to or a relative position between the laser light source and the first collimating lens is adjusted.

The method of adjusting an optical pickup according to claim 47,
The Shack Hartman sensor
A lens array composed of a plurality of lenses arranged in a two-dimensional lattice, and entering a parallel light beam converted by the first collimating lens and condensing laser light for each lens;
A method of adjusting an optical pickup, comprising: an image pickup device configured to pick up a plurality of point images formed by the plurality of lenses and disposed at a condensing position of laser light by a plurality of lenses constituting the lens array.

49. The method of adjusting an optical pickup according to claim 48, further comprising a monitor device connected to the image pickup device to display a plurality of point images picked up by the image pickup device on the monitor device.