JP2009110639A - Wavefront aberration inspection apparatus, optical pickup assembly adjustment device, lens evaluation device, lens assembly device, objective lens actuator assembly adjustment device, optical pickup, optical disk drive, and optical information recording and reproducing device - Google Patents
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Description
本発明は、光ディスクに代表される光情報媒体に対して情報の記録または再生に利用される光ピックアップに関し、特に、光ピックアップの波面収差検査装置、光ピックアップ組立調整装置、レンズ評価装置、レンズ組立装置、光ピックアップ用対物レンズアクチュエータ組立調整装置に関するものである。 The present invention relates to an optical pickup used for recording or reproducing information with respect to an optical information medium typified by an optical disc, and more particularly to a wavefront aberration inspection device, an optical pickup assembly adjustment device, a lens evaluation device, and a lens assembly for an optical pickup. The present invention relates to an objective lens actuator assembly adjustment apparatus for an optical pickup.
近年、光ディスク装置は大容量のデータを記録再生する手段として盛んに開発が行われ、より高い記録密度を達成するためのアプローチがなされている。 In recent years, optical disk devices have been actively developed as means for recording and reproducing large amounts of data, and approaches for achieving higher recording density have been made.
従来のCD(コンパクトディスク)、DVD(ディジタル多目的ディスク)に加え、最近では光情報媒体の記録容量のさらなる大容量化に伴い、光源の短波長化、集光光学系の高NA(NA:開口数)化などにより、片面単層で約25GB、片面2層で約50GBものディジタル情報を記録または再生可能な、Blu−ray Discや、片面単層で約20GB、片面2層で約40GBのディジタル情報を記録または再生可能なHD DVD(High Definition DVD)がすでに実用化されている。 In addition to conventional CDs (compact discs) and DVDs (digital multipurpose discs), recently, as the recording capacity of optical information media has further increased, the wavelength of the light source has been shortened, and the NA of the focusing optical system has been increased (NA: aperture). The digital information of about 25 GB with single-sided single layer and about 50 GB with double-sided single layer can be recorded or played back, about 20 GB with single-sided single layer, and about 40 GB with single-sided layer. An HD DVD (High Definition DVD) capable of recording or reproducing information has already been put into practical use.
この光ディスク装置の大容量化に伴い、その主要構成要素である光ピックアップには、非常に高い性能が要求されているが、その中でも、集光光学系の集光性能を決定づける収差性能については、使用波長の短波長化と、対物レンズの高NA化に伴い、波動光学上の理論的限界である回折限界に近い、極めて厳しい性能が要求されている。 With the increase in capacity of this optical disk device, the optical pickup that is the main component is required to have very high performance. Among them, the aberration performance that determines the light collection performance of the light collection optical system is as follows. As the wavelength used is shortened and the NA of the objective lens is increased, extremely severe performance close to the diffraction limit, which is the theoretical limit of wave optics, is required.
前記性能を実現するためには、前記光ピックアップの構成要素である光学部品の加工精度を高める必要があるが、前記光学部品を光ピックアップの光学基台へ組み付ける際の組立調整精度、および、前記組立が行われた光ピックアップの収差性能を検査する、収差測定精度についても、より高い精度が要求されている。 In order to realize the performance, it is necessary to increase the processing accuracy of the optical component that is a component of the optical pickup, but the assembly adjustment accuracy when the optical component is assembled to the optical base of the optical pickup, and Higher accuracy is also required for the aberration measurement accuracy for inspecting the aberration performance of the assembled optical pickup.
この光ピックアップの調整工程において、理想的には光源であるレーザ光の光軸と、対物レンズの光軸は一致するように配置され、対物レンズから出射されるレーザ光の光軸に対して光情報媒体である光ディスクが垂直な姿勢となるように調整を行う。 In this optical pickup adjustment process, the optical axis of the laser beam, which is ideally the light source, and the optical axis of the objective lens are arranged so as to coincide with each other, and the light is emitted with respect to the optical axis of the laser light emitted from the objective lens. Adjustment is performed so that the optical disk, which is an information medium, has a vertical posture.
ところが、構成要素である光学部品それぞれの組立誤差や、前記光学部品単体がそれぞれ持つコマ収差により、前記対物レンズからの出射光には通常コマ収差が発生しているため、前記対物レンズを前記レーザ光の光軸に対して傾けることにより、前記コマ収差を打ち消す調整方法が一般的に用いられている。 However, since coma aberration is usually generated in the light emitted from the objective lens due to assembly errors of the optical components that are constituent elements and coma aberration of the optical components alone, the objective lens is attached to the laser. An adjustment method is generally used in which the coma aberration is canceled by inclining with respect to the optical axis of light.
この光ピックアップの対物レンズの傾き調整、および、収差性能の検査は、光ピックアップの出射光を観測装置によって観測し、同観測結果に基づいて行われている。この結果に基づき、対物レンズの傾きなどを調整する場合は調整装置であり、前記調整を行わない場合は、検査装置として使用できるが、基本的には同様な構成のため、以下、検査装置として従来例の説明を行う。 The adjustment of the tilt of the objective lens of the optical pickup and the inspection of aberration performance are performed based on the observation results obtained by observing the emitted light of the optical pickup with an observation device. Based on this result, it is an adjustment device when adjusting the tilt of the objective lens and the like, and when it is not adjusted, it can be used as an inspection device. A conventional example will be described.
さて、従来の光ピックアップの検査装置としては特許文献1に示されるようなスポットアナライザを用いた装置がある。
As a conventional optical pickup inspection apparatus, there is an apparatus using a spot analyzer as disclosed in
このスポットアナライザを用いた装置は、光ピックアップの対物レンズからの出射光をコリメータレンズにより取り込み、CCDカメラ上に結像し、このCCDカメラのスポット像よりコマ収差の大きさと方向を検出するもので、具体的には、モニタ上に映し出された前記スポット像における、0次光画像の真円度および1次回折光によるリング状画像の均一性より、視覚的、または、画像解析によりコマ収差量を得るものである。 This spot analyzer uses a collimator lens to pick up light emitted from an objective lens of an optical pickup, forms an image on a CCD camera, and detects the magnitude and direction of coma from the spot image of the CCD camera. Specifically, in the spot image projected on the monitor, the coma aberration amount is visually or by image analysis based on the roundness of the 0th-order light image and the uniformity of the ring-shaped image by the 1st-order diffracted light. To get.
前記スポットアナライザを用いた調整装置は、構成が簡単という利点があるが、装置自体が持つ収差が測定結果に影響を及ぼす場合があるため、装置の持つ収差を極力排除しなければならない、各収差成分同士のクロストークを完全に除去できないため、各収差成分を高精度に独立して測定することが困難といった課題があり、最近の高密度記録用光ピックアップの調整、検査用としては、性能が十分であるとは言えない。そこで、最近では干渉計を用いた調整装置を用い、高精度な収差検出を行う方法も用いられている。 The adjustment device using the spot analyzer has an advantage that the configuration is simple, but the aberration of the device itself may affect the measurement result. Therefore, the aberration of the device must be eliminated as much as possible. Since crosstalk between components cannot be completely removed, there is a problem that it is difficult to measure each aberration component independently with high accuracy, and the performance is high for adjustment and inspection of recent optical pickups for high-density recording. That's not enough. Therefore, recently, a method of detecting aberrations with high accuracy using an adjustment device using an interferometer is also used.
特許文献2には、マッハツェンダ干渉計を用いた収差検査装置が開示されており、これは、光ピックアップの出射光を、マッハツェンダ干渉計に入射させ、前記マッハツェンダ干渉計から得られた干渉波面に位相変調をかけることにより光ピックアップ出射光の波面収差を得るものである。
このマッハツェンダ干渉計を用いた調整装置では、高精度な波面収差計測が行えるため、精度良く光ピックアップの検査を行えるという利点があるが、参照光を得るために非常に高精度に光ピックアップと干渉計の光軸位置調整(数ミクロン以下)を行わなければならない、被測定光の可干渉性が高くなければならない、干渉による影響が非常に強く、ノイズ光が干渉波面に重畳されると測定精度が低下する、光学系が複雑で装置自体が非常に高価になるといった課題があり、実用的な製造装置として用いることは難しい。 The adjustment device using this Mach-Zehnder interferometer has the advantage that the optical pickup can be inspected with high accuracy because it can measure the wavefront aberration with high accuracy, but it can interfere with the optical pickup with high accuracy to obtain the reference light. The optical axis position of the meter must be adjusted (a few microns or less), the coherence of the light to be measured must be high, the influence of interference is very strong, and the measurement accuracy when noise light is superimposed on the interference wavefront However, it is difficult to use as a practical manufacturing apparatus because the optical system is complicated and the apparatus itself is very expensive.
ところが、特許文献3には、シャック−ハルトマン(Shack−Hartmann)法を用いた光ピックアップ波面測定装置が開示されており、前記、干渉計を用いた波面測定装置の欠点を解消可能な方法として、近年、注目を集めている。
However,
シャック−ハルトマン法を用いた波面測定装置は、被測定光をレンズアレイに入射させ、レンズアレイを構成する各レンズの焦点位置と、被測定光が集光するスポット位置の差より、被測定光の位相波面を検出する装置であり、以下、図3を用いて、シャック−ハルトマン法の原理を簡単に説明する。 A wavefront measuring apparatus using the Shack-Hartmann method makes light to be measured incident on a lens array, and the light to be measured is determined by a difference between a focal position of each lens constituting the lens array and a spot position on which the light to be measured is condensed. Hereinafter, the principle of the Shack-Hartmann method will be briefly described with reference to FIG.
図3におけるa)は、被測定光の位相波面分布であり、領域1、領域2、領域3、領域4、...における光束は、レンズアレイ22を構成するマイクロレンズL1、L2、L3、L4、...へそれぞれ入射する。各マイクロレンズは焦点距離fを持つ。
A) in FIG. 3 is a phase wavefront distribution of the light to be measured.
一般に、レンズに平行光を入射させた場合、入射光の波面にθの傾き(チルト)があると、スポット位置の変位Δxはfθに比例する。 In general, when collimated light is incident on a lens, the displacement Δx of the spot position is proportional to fθ if the wavefront of the incident light has a tilt of θ.
そこで、前記各マイクロレンズのスポット位置の、焦点位置からのずれ量(図3のΔx1、Δx2、Δx3、Δx4、...)より、各領域の局所的な波面の傾きを得、計算処理により被測定光の位相波面を合成する(図6b))。 Therefore, the local wavefront inclination of each region is obtained from the amount of deviation of the spot position of each microlens from the focal position (Δx1, Δx2, Δx3, Δx4,... The phase wavefront of the light to be measured is synthesized (FIG. 6b)).
このシャック−ハルトマン法は、干渉による波面検出方法ではないため、被測定光の可干渉性や、ノイズ光による干渉の影響を受けにくく、簡単な構造のため安価に装置を構成できる、参照光を生成する光学系が不要であり光学系を簡素化できるといった利点がある。 Since this Shack-Hartmann method is not a wavefront detection method by interference, it is difficult to be affected by the coherence of the light to be measured and interference by noise light, and the reference light that can be configured at low cost due to its simple structure. There is an advantage that the optical system to be generated is unnecessary and the optical system can be simplified.
以下、図9を用いて、前記シャック−ハルトマン法を用いた、従来の光ピックアップ波面測定装置の構成について説明を行う。 Hereinafter, the configuration of a conventional optical pickup wavefront measuring apparatus using the Shack-Hartmann method will be described with reference to FIG.
図9において、光ピックアップ16からの出射光を、コリメータレンズ1により平行光に変換した後、第3のビームスプリッタ41を介し、レンズアレイ7に入射させ、前記レンズアレイ7からの収束光はCCDカメラ8上に複数のスポットを形成する。
In FIG. 9, the light emitted from the
前記CCDカメラ8により受光された前記複数のスポットの集光位置情報は、画像処理装置13に送られ、情報処理装置15において、シャック−ハルトマン法により、位相波面が算出される。
The condensing position information of the plurality of spots received by the
前記情報処理装置15は、前記位相波面より、各種収差成分の大きさや方向の検出を行い、画面上に各情報を表示する。
The
ところで、光ピックアップを配置した初期状態においては、通常、前記対物レンズ5の位置は大きくずれているため、オートコリメータ6により、前記コリメータレンズ1からの平行光を観測し、前記光ピックアップ16の位置を調整することにより前記対物レンズ5の位置を所定の位置範囲へ移動する。
By the way, in the initial state in which the optical pickup is disposed, the position of the
具体的には、前記オートコリメータ6に表示されるスポット画像の位置により、前記対物レンズ5の水平方向の位置を調整し、前記スポット画像の大きさにより、前記対物レンズ5のフォーカス方向の位置調整を行う。
Specifically, the position of the
さらに、第1のビームスプリッタ2により一部取り出された前記コリメータレンズ1からの平行光を、シリンドリカルレンズ11により第1の受光素子12に集光し、一般的に光ピックアップなどに良く用いられている非点収差法によりフォーカス・トラッキングエラー生成装置14によりフォーカスエラー信号を生成する。
Further, the collimated light from the
また、第2のビームスプリッタ3により一部取り出された前記コリメータレンズ1からの平行光を、レンズ9により第2の受光素子10に集光し、前記受光素子10における受光面上の前記集光スポットの位置よりフォーカス・トラッキングエラー生成装置14によりトラッキングエラー信号を生成する。
Further, the collimated light from the
そして、前記フォーカスエラー信号、および、前記トラッキングエラー信号により、前記対物レンズアクチュエータ20をそれぞれフォーカス方向、および、トラッキング方向に駆動し、前記対物レンズ5の位置制御を行う。
従来のシャック−ハルトマン法を用いた光ピックアップ収差検査装置では、従来の干渉計を用いた光ピックアップ収差検査装置と比べて、前述したとおり、参照光を生成する光学系が不要といった利点があるが、測定光学系を構成する、コリメータレンズの軸外特性に影響されやすいという課題がある。 The conventional optical pickup aberration inspection apparatus using the Shack-Hartmann method has an advantage that an optical system for generating reference light is unnecessary as compared with the conventional optical pickup aberration inspection apparatus using an interferometer. There is a problem that the measurement optical system is easily influenced by the off-axis characteristics of the collimator lens.
以下、前記課題について図4を用いて説明を行う。図4は図9の光学系の一部を示しており、図4において、23は光ピックアップの対物レンズ、24は前記対物レンズ23からの発散光を平行光に変換し、シャック−ハルトマン法により波面収差を検出する、図示しないレンズアレイに導くためのコリメータレンズである。なお、それぞれのレンズの中心線は、レンズの光軸を示す。
The above problem will be described below with reference to FIG. 4 shows a part of the optical system of FIG. 9. In FIG. 4,
図4のa)は、前記対物レンズ23と前記コリメータレンズ24の光軸が一致している状態で、それぞれのレンズが理想的に配置された状態である。
FIG. 4A shows a state in which the respective lenses are ideally arranged in a state where the optical axes of the
ところが、図4のb)のように対物レンズ23と前記コリメータレンズ24の光軸がずれた場合、前記コリメータレンズ24を通過した光は傾いて出射してしまう。
However, when the optical axes of the
このように光軸から傾いて光が出射する場合、コリメータレンズには一般的に軸外収差と呼ばれる収差が発生し、特に、波長が短く、NAの大きな高密度記録用の光ピックアップを測定する際に顕著に表れる。その結果として、1ミクロン程度の位置ずれに対し、数mλの軸外収差が発生し、収差測定結果に誤差を発生させてしまう。 When light is emitted with an inclination from the optical axis in this way, an aberration commonly called off-axis aberration is generated in the collimator lens, and in particular, an optical pickup for high-density recording with a short wavelength and a large NA is measured. It appears prominently. As a result, an off-axis aberration of several mλ is generated for a positional shift of about 1 micron, and an error is generated in the aberration measurement result.
現在の高密度記録用の光ピックアップにおいては、十分な集光スポットを得るために、収差検査仕様は15mλ程度以下である場合もあり、前記測定誤差の影響は大きく、前記対物レンズ23と前記コリメータレンズ24の光軸ずれを抑制する必要がある。この光軸ずれを高精度に行うために複雑な専用の位置検出手段を設ける必要があり、例えば、前記位置検出手段としてはオートコリメータが用いられる。
In the current optical pickup for high-density recording, the aberration inspection specification may be about 15 mλ or less in order to obtain a sufficient condensing spot, and the influence of the measurement error is large, and the
ところが、前記位置検出手段は、通常、検出範囲と検出分解能がそれぞれトレードオフの関係になる。従って、従来のDVDやCD用光ピックアップの測定や、従来、シャック−ハルトマン法が良く用いられていた望遠鏡などの組立等は、比較的精度の低い位置調整であり、粗い検出分解能しか必要とされなかったため、検出範囲が広く、検出分解能が粗いオートコリメータで十分であったが、前記高密度記録用の光ピックアップのように高精度な位置調整が要求される場合においては、オートコリメータでは、必要な検出分解能を実現できないという課題がある。 However, the position detection means usually has a trade-off relationship between the detection range and the detection resolution. Therefore, measurement of conventional optical pickups for DVDs and CDs, assembling of telescopes and the like that have been used with the Shack-Hartmann method, are relatively inaccurate position adjustments and only require a coarse detection resolution. Therefore, an autocollimator with a wide detection range and a low detection resolution was sufficient. However, when high-precision position adjustment is required like the optical pickup for high-density recording, an autocollimator is necessary. There is a problem that a high detection resolution cannot be realized.
さらに、検出範囲が狭く、検出分解能が高い位置調整手段を別途設け、検出範囲が広く、検出分解能が粗い位置検出手段による位置粗調整と、検出範囲が狭く、検出分解能が高い位置検出手段による位置微調整の2段階のステップにより位置調整を行った場合においては、調整タクトが増大するという課題もある。 In addition, a position adjustment unit with a narrow detection range and high detection resolution is provided separately. Position adjustment by a position detection unit with a wide detection range and low detection resolution and a position by a position detection unit with a narrow detection range and high detection resolution. In the case where the position adjustment is performed by two steps of fine adjustment, there is a problem that the adjustment tact increases.
本発明は、前記問題点を解決するもので、収差性能が良好な光ピックアップを簡素な光学系にて、短時間で高精度に測定する光ピックアップ波面収差検査装置、光ピックアップ組立調整装置、さらには、レンズ評価装置、レンズ組立装置、光ピックアップ用対物レンズアクチュエータ組立調整装置を提供する。 The present invention solves the above-described problems, and an optical pickup wavefront aberration inspection apparatus, an optical pickup assembly adjustment apparatus, which measures an optical pickup with good aberration performance with high accuracy in a short time with a simple optical system, and Provides a lens evaluation device, a lens assembly device, and an objective lens actuator assembly adjustment device for an optical pickup.
上記課題を解決し目的を達成するために、本発明の請求項1に記載の発明は、レーザ光源と、前記レーザ光源から発生したレーザ光を、光情報媒体へ集光するための対物レンズと、前記対物レンズをフォーカス方向およびトラッキング方向に駆動する対物レンズアクチュエータと、を有する光ピックアップにおける、前記対物レンズからの出射光を被測定光として、前記被測定光の波面収差を測定する波面収差検査装置であって、前記波面収差検査装置は、前記被測定光を平行光に変換するコリメータレンズと、レンズアレイを有し、前記コリメータレンズを通過した前記被測定光を前記レンズアレイに入射し、前記レンズアレイを構成する各レンズの焦点位置と、前記被測定光が集光するスポット位置との差より、前記被測定光の波面収差を検出する波面収差検出手段と、を有し、前記被測定光の波面収差を測定する際に、前記波面収差検出手段により検出された、前記被測定光の位相波面のチルト成分を最小とするように、前記光ピックアップの水平方向の位置調整を行うことを特徴とする、波面収差検査装置である。
In order to solve the above problems and achieve the object, an invention according to
これにより、例えば、光ピックアップ出射光の波面収差測定を高精度に行う、光ピックアップ波面測定装置を簡素な系にて構成でき、収差測定時の水平方向の位置あわせを短時間で実現できる。 As a result, for example, an optical pickup wavefront measuring apparatus that measures the wavefront aberration of the light emitted from the optical pickup with high accuracy can be configured with a simple system, and alignment in the horizontal direction during aberration measurement can be realized in a short time.
また、本発明の請求項2に記載の発明は、レーザ光源と、前記レーザ光源から発生したレーザ光を、光情報媒体へ集光するための対物レンズと、前記対物レンズをフォーカス方向およびトラッキング方向に駆動する対物レンズアクチュエータと、を有する光ピックアップにおける、前記対物レンズからの出射光を被測定光として、前記被測定光の波面収差を測定する波面収差検査装置であって、前記波面収差検査装置は、前記被測定光を平行光に変換するコリメータレンズと、レンズアレイを有し、前記コリメータレンズを通過した前記被測定光を前記レンズアレイに入射し、前記レンズアレイを構成する各レンズの焦点位置と、前記被測定光が集光するスポット位置との差より、前記被測定光の波面収差を検出する波面収差検出手段と、を有し、前記被測定光の波面収差を測定する際に、前記波面収差検出手段により検出された、前記被測定光の位相波面のパワー成分を最小とするように、前記光ピックアップのフォーカス方向の位置調整を行うことを特徴とする、波面収差検査装置である。 According to a second aspect of the present invention, there is provided a laser light source, an objective lens for condensing the laser light generated from the laser light source onto an optical information medium, and the objective lens in a focus direction and a tracking direction. And a wavefront aberration inspection device for measuring wavefront aberration of the light to be measured using the light emitted from the objective lens as light to be measured. Has a collimator lens that converts the light to be measured into parallel light and a lens array, and the light to be measured that has passed through the collimator lens is incident on the lens array, and the focal points of the lenses that constitute the lens array Wavefront aberration detecting means for detecting a wavefront aberration of the light to be measured from a difference between a position and a spot position on which the light to be measured is condensed. Then, when measuring the wavefront aberration of the measured light, the position of the optical pickup in the focus direction so as to minimize the power component of the phase wavefront of the measured light detected by the wavefront aberration detecting means It is a wavefront aberration inspection apparatus characterized by performing adjustment.
これにより、例えば、光ピックアップ出射光の波面収差測定を高精度に行う、光ピックアップ波面測定装置を簡素な系にて構成でき、収差測定時のフォーカス調整を短時間で実現できる。 As a result, for example, the optical pickup wavefront measuring apparatus that measures the wavefront aberration of the light emitted from the optical pickup with high accuracy can be configured with a simple system, and focus adjustment at the time of aberration measurement can be realized in a short time.
また、本発明の請求項3に記載の発明は、前記被測定光の波面収差を測定する際に、前記波面収差検出手段により検出された、前記被測定光の位相波面のパワー成分を最小とするように、前記光ピックアップのフォーカス方向の位置調整を行うことを特徴とする、請求項1記載の波面収差検査装置である。
The invention according to
これにより、例えば、光ピックアップ出射光の波面収差測定を高精度に行う、光ピックアップ波面測定装置を簡素な系にて構成でき、収差測定時の水平方向の位置あわせ、および、フォーカス調整を短時間で実現できる。 As a result, for example, an optical pickup wavefront measuring apparatus that accurately measures the wavefront aberration of light emitted from the optical pickup can be configured with a simple system, and horizontal alignment and focus adjustment during aberration measurement can be performed in a short time. Can be realized.
また、本発明の請求項4に記載の発明は、前記被測定光の波面収差を測定する際に、前記波面収差検出手段により検出された、前記被測定光の位相波面のチルト成分を最小とするように、前記光ピックアップの水平方向の位置調整を行うことを特徴とする、請求項2記載の波面収差検査装置である。
The invention according to
これにより、例えば、光ピックアップ出射光の波面収差測定を高精度に行う、光ピックアップ波面測定装置を簡素な系にて構成でき、収差測定時の水平方向の位置あわせ、および、フォーカス調整を短時間で実現できる。 As a result, for example, an optical pickup wavefront measuring apparatus that accurately measures the wavefront aberration of light emitted from the optical pickup can be configured with a simple system, and horizontal alignment and focus adjustment during aberration measurement can be performed in a short time. Can be realized.
また、本発明の請求項5に記載の発明は、前記水平方向の位置調整、または、前記フォーカス方向の位置調整は、それぞれ前記コリメータレンズを水平方向、または、フォーカス方向に駆動することにより行う請求項1から請求項4のいずれかに記載の波面収差検査装置である。
According to a fifth aspect of the present invention, the horizontal position adjustment or the focus direction position adjustment is performed by driving the collimator lens in the horizontal direction or the focus direction, respectively. The wavefront aberration inspection apparatus according to any one of
これにより、例えば、複数の光源を有する光ピックアップにおける光ピックアップの波面測定を短時間かつ高精度に行うことができる。 Thereby, for example, the wavefront measurement of the optical pickup in the optical pickup having a plurality of light sources can be performed in a short time and with high accuracy.
また、本発明の請求項6に記載の発明は、前記光ピックアップは複数の光情報媒体に対応するため、複数個の前記対物レンズと、複数個の前記光源を有し、複数個の前記対物レンズに対応する、複数個の前記コリメータレンズを有する請求項1から請求項5のいずれかに記載の波面収差検査装置である。
According to a sixth aspect of the present invention, since the optical pickup corresponds to a plurality of optical information media, the optical pickup includes a plurality of the objective lenses and a plurality of the light sources, and a plurality of the objectives. 6. The wavefront aberration inspection apparatus according to
これにより、例えば、複数の光源を有する光ピックアップにおける光ピックアップの波面測定を短時間に高精度に行うことができる。 Thereby, for example, the wavefront measurement of the optical pickup in the optical pickup having a plurality of light sources can be performed with high accuracy in a short time.
また、本発明の請求項7に記載の発明は、レーザ光源と、前記レーザ光源から発生したレーザ光を、光情報媒体へ集光するための対物レンズと、前記対物レンズをフォーカス方向およびトラッキング方向に駆動する対物レンズアクチュエータと、を有する光ピックアップにおける、前記対物レンズ、または前記対物レンズアクチュエータの傾き調整を行う光ピックアップ組立調整装置であって、前記光ピックアップ組立調整装置は、前記光ピックアップにおける、前記対物レンズからの出射光を被測定光として、前記被測定光を平行光に変換するコリメータレンズと、レンズアレイを有し、前記コリメータレンズを通過した前記被測定光を前記レンズアレイに入射し、前記レンズアレイを構成する各レンズの焦点位置と、前記被測定光が集光するスポット位置との差より、前記被測定光の波面収差を検出する波面収差検出手段と、を有し、前記光ピックアップにおける、前記対物レンズ、または前記対物レンズアクチュエータの傾き調整を行う際に、前記波面収差検出手段により検出された、前記被測定光の位相波面のチルト成分を最小とするように、前記光ピックアップの水平方向の位置調整を行うことを特徴とする、光ピックアップ組立調整装置である。 According to a seventh aspect of the present invention, there is provided a laser light source, an objective lens for condensing the laser light generated from the laser light source onto an optical information medium, and the objective lens in a focus direction and a tracking direction. An objective lens actuator that is driven by the optical pickup, the objective lens, or an optical pickup assembly adjusting device that performs tilt adjustment of the objective lens actuator, wherein the optical pickup assembly adjusting device is provided in the optical pickup, The output light from the objective lens is measured light, the collimator lens converts the measured light into parallel light, and a lens array, and the measured light that has passed through the collimator lens is incident on the lens array. The focal position of each lens constituting the lens array and the light to be measured are condensed Wavefront aberration detecting means for detecting the wavefront aberration of the light to be measured from the difference from the spot position to be measured, and when performing tilt adjustment of the objective lens or the objective lens actuator in the optical pickup, An optical pickup assembling / adjusting apparatus that adjusts a horizontal position of the optical pickup so as to minimize a tilt component of a phase wavefront of the measured light detected by the wavefront aberration detecting means. is there.
これにより、例えば、光ピックアップの組立調整を高精度に行う、光ピックアップ組立調整装置を簡素な系にて構成でき、収差測定時の水平方向の位置あわせを短時間で実現できる。 Thereby, for example, the optical pickup assembly and adjustment apparatus that performs assembly and adjustment of the optical pickup with high accuracy can be configured with a simple system, and the horizontal alignment at the time of aberration measurement can be realized in a short time.
また、本発明の請求項8に記載の発明は、レーザ光源と、前記レーザ光源から発生したレーザ光を、光情報媒体へ集光するための対物レンズと、前記対物レンズをフォーカス方向およびトラッキング方向に駆動する対物レンズアクチュエータと、を有する光ピックアップにおける、前記対物レンズ、または前記対物レンズアクチュエータの傾き調整を行う光ピックアップ組立調整装置であって、前記光ピックアップ組立調整装置は、前記光ピックアップにおける、前記対物レンズからの出射光を被測定光として、前記被測定光を平行光に変換するコリメータレンズと、レンズアレイを有し、前記コリメータレンズを通過した前記被測定光を前記レンズアレイに入射し、前記レンズアレイを構成する各レンズの焦点位置と、前記被測定光が集光するスポット位置との差より、前記被測定光の波面収差を検出する波面収差検出手段と、を有し、前記光ピックアップにおける、前記対物レンズ、または前記対物レンズアクチュエータの傾き調整を行う際に、前記波面収差検出手段により検出された、前記被測定光の位相波面のパワー成分を最小とするように、前記光ピックアップのフォーカス方向の位置調整を行うことを特徴とする、光ピックアップ組立調整装置である。 According to an eighth aspect of the present invention, there is provided a laser light source, an objective lens for condensing laser light generated from the laser light source onto an optical information medium, and the objective lens in a focus direction and a tracking direction. An objective lens actuator that is driven by the optical pickup, the objective lens, or an optical pickup assembly adjusting device that performs tilt adjustment of the objective lens actuator, wherein the optical pickup assembly adjusting device is provided in the optical pickup, The output light from the objective lens is measured light, the collimator lens converts the measured light into parallel light, and a lens array, and the measured light that has passed through the collimator lens is incident on the lens array. The focal position of each lens constituting the lens array and the light to be measured are condensed Wavefront aberration detecting means for detecting the wavefront aberration of the light to be measured from the difference from the spot position to be measured, and when performing tilt adjustment of the objective lens or the objective lens actuator in the optical pickup, An optical pickup assembling / adjusting apparatus that adjusts a position of the optical pickup in a focus direction so as to minimize a power component of a phase wavefront of the light to be measured, which is detected by the wavefront aberration detecting unit. is there.
これにより、例えば、光ピックアップの組立調整を高精度に行う、光ピックアップ組立調整装置を簡素な系にて構成でき、収差測定時のフォーカス調整を短時間で実現できる。 As a result, for example, the optical pickup assembly adjusting apparatus that performs assembly adjustment of the optical pickup with high accuracy can be configured by a simple system, and focus adjustment at the time of aberration measurement can be realized in a short time.
また、本発明の請求項9に記載の発明は、前記光ピックアップにおける、前記対物レンズ、または前記対物レンズアクチュエータの傾き調整を行う際に、前記波面収差検出手段により検出された、前記被測定光の位相波面のパワー成分を最小とするように、前記光ピックアップのフォーカス方向の位置調整を行うことを特徴とする、請求項7記載の光ピックアップ組立調整装置である。
According to a ninth aspect of the present invention, in the optical pickup, the measured light detected by the wavefront aberration detecting means when adjusting the tilt of the objective lens or the objective lens actuator. 8. The optical pickup assembly adjusting apparatus according to
これにより、例えば、光ピックアップの組立調整を高精度に行う、光ピックアップ組立調整装置を簡素な系にて構成でき、収差測定時の水平方向の位置あわせ、および、フォーカス調整を短時間で実現できる。 As a result, for example, an optical pickup assembly and adjustment device that performs assembly and adjustment of the optical pickup with high accuracy can be configured with a simple system, and horizontal alignment and focus adjustment at the time of aberration measurement can be realized in a short time. .
また、本発明の請求項10に記載の発明は、前記光ピックアップにおける、前記対物レンズ、または前記対物レンズアクチュエータの傾き調整を行う際に、前記波面収差検出手段により検出された、前記被測定光の位相波面のチルト成分を最小とするように、前記光ピックアップの水平方向の位置調整を行うことを特徴とする、請求項8記載の光ピックアップ組立調整装置である。
According to a tenth aspect of the present invention, in the optical pickup, the measured light detected by the wavefront aberration detecting means when adjusting the tilt of the objective lens or the objective lens actuator. 9. The optical pickup assembling and adjusting apparatus according to
これにより、例えば、光ピックアップの組立調整を高精度に行う、光ピックアップ組立調整装置を簡素な系にて構成でき、収差測定時の水平方向の位置あわせ、および、フォーカス調整を短時間で実現できる。 As a result, for example, an optical pickup assembly and adjustment device that performs assembly and adjustment of the optical pickup with high accuracy can be configured with a simple system, and horizontal alignment and focus adjustment at the time of aberration measurement can be realized in a short time. .
また、本発明の請求項11に記載の発明は、前記水平方向の位置調整、または、前記フォーカス方向の位置調整は、それぞれ前記コリメータレンズを水平方向、または、フォーカス方向に駆動することにより行う請求項7から請求項10のいずれかに記載の光ピックアップ組立調整装置である。
According to an eleventh aspect of the present invention, the horizontal position adjustment or the focus direction position adjustment is performed by driving the collimator lens in the horizontal direction or the focus direction, respectively. The optical pickup assembly adjusting apparatus according to any one of
これにより、例えば、光ピックアップの組立調整を高精度に行う、光ピックアップ組立調整装置を簡素な系にて構成でき、収差測定時の水平方向の位置あわせ、および、フォーカス調整を短時間で実現できる。 As a result, for example, an optical pickup assembly and adjustment device that performs assembly and adjustment of the optical pickup with high accuracy can be configured with a simple system, and horizontal alignment and focus adjustment at the time of aberration measurement can be realized in a short time. .
また、本発明の請求項12に記載の発明は、前記光ピックアップは複数の光情報媒体に対応するため、複数個の前記対物レンズと、複数個の前記レーザ光源を有し、前記複数個の対物レンズに対し、複数個の前記コリメータレンズを有する請求項7から請求項11のいずれかに記載の光ピックアップ組立調整装置である。
According to a twelfth aspect of the present invention, since the optical pickup corresponds to a plurality of optical information media, the optical pickup includes a plurality of the objective lenses and a plurality of the laser light sources. The optical pickup assembling / adjusting apparatus according to
これにより、例えば、複数の光源を有する光ピックアップにおける光ピックアップの波面測定を短時間に高精度に行うことができる。 Thereby, for example, the wavefront measurement of the optical pickup in the optical pickup having a plurality of light sources can be performed with high accuracy in a short time.
また、本発明の請求項13に記載の発明は、レンズからの出射光の波面収差を測定し、レンズの収差性能を評価するレンズ評価装置であって、前記レンズ評価装置は、レーザ光源と、前記レーザ光源から出射し、前記レンズを通過した光を被測定光として、前記被測定光を平行光に変換するコリメータレンズと、レンズアレイを有し、前記コリメータレンズを通過した前記被測定光を前記レンズアレイに入射し、前記レンズアレイを構成する各レンズの焦点位置と、前記被測定光が集光するスポット位置との差より、前記被測定光の波面収差を検出する波面収差検出手段と、を有し、前記レンズからの出射光の波面収差を測定する際に、前記波面収差検出手段により検出された、前記被測定光の位相波面のチルト成分を最小とするように、前記レンズの水平方向の位置調整を行うことを特徴とする、レンズ評価装置である。 According to a thirteenth aspect of the present invention, there is provided a lens evaluation device that measures the wavefront aberration of the light emitted from the lens and evaluates the aberration performance of the lens. The lens evaluation device includes a laser light source, A collimator lens that converts light to be measured as light to be measured emitted from the laser light source and passed through the lens, and a lens array, and the light to be measured that has passed through the collimator lens. Wavefront aberration detecting means for detecting a wavefront aberration of the light to be measured from a difference between a focal position of each lens constituting the lens array and a spot position on which the light to be measured is collected; When measuring the wavefront aberration of the light emitted from the lens, the tilt component of the phase wavefront of the measured light detected by the wavefront aberration detector is minimized. And performing horizontal position adjustment of the lens, a lens evaluation device.
これにより、例えば、レンズの波面収差を高精度に行う、レンズ波面測定装置を簡素な系にて構成でき、収差測定時の水平方向の位置あわせを短時間で実現できる。 Thereby, for example, a lens wavefront measuring apparatus that performs the wavefront aberration of the lens with high accuracy can be configured with a simple system, and horizontal alignment at the time of aberration measurement can be realized in a short time.
また、本発明の請求項14に記載の発明は、レンズからの出射光の波面収差を測定し、レンズの収差性能を評価するレンズ評価装置であって、前記レンズ評価装置は、レーザ光源と、前記レーザ光源から出射し、前記レンズを通過した光を被測定光として、前記被測定光を平行光に変換するコリメータレンズと、レンズアレイを有し、前記コリメータレンズを通過した前記被測定光を前記レンズアレイに入射し、前記レンズアレイを構成する各レンズの焦点位置と、前記被測定光が集光するスポット位置との差より、前記被測定光の波面収差を検出する波面収差検出手段と、を有し、前記レンズからの出射光の波面収差を測定する際に、前記波面収差検出手段により検出された、前記被測定光の位相波面のパワー成分を最小とするように、前記レンズのフォーカス方向の位置調整を行うことを特徴とする、レンズ評価装置である。 The invention according to claim 14 of the present invention is a lens evaluation device that measures the wavefront aberration of the light emitted from the lens and evaluates the aberration performance of the lens. The lens evaluation device includes a laser light source, A collimator lens that converts light to be measured as light to be measured emitted from the laser light source and passed through the lens, and a lens array, and the light to be measured that has passed through the collimator lens. Wavefront aberration detecting means for detecting a wavefront aberration of the light to be measured from a difference between a focal position of each lens constituting the lens array and a spot position on which the light to be measured is collected; When measuring the wavefront aberration of the light emitted from the lens, the power component of the phase wavefront of the measured light detected by the wavefront aberration detector is minimized. And performing focus direction position adjustment of the lens, a lens evaluation device.
これにより、例えば、レンズの波面収差を高精度に行う、レンズ波面測定装置を簡素な系にて構成でき、収差測定時のフォーカス調整を短時間で実現できる。 Thereby, for example, a lens wavefront measuring apparatus that performs the wavefront aberration of the lens with high accuracy can be configured with a simple system, and focus adjustment at the time of aberration measurement can be realized in a short time.
また、本発明の請求項15に記載の発明は、前記レンズからの出射光の波面収差を測定する際に、前記波面収差検出手段により検出された、前記被測定光の位相波面のパワー成分を最小とするように、前記レンズのフォーカス方向の位置調整を行うことを特徴とする、請求項13記載のレンズ評価装置である。
According to the fifteenth aspect of the present invention, the power component of the phase wavefront of the measured light detected by the wavefront aberration detecting means when measuring the wavefront aberration of the light emitted from the lens. The lens evaluation device according to
これにより、例えば、レンズの波面収差を高精度に行う、レンズ波面測定装置を簡素な系にて構成でき、収差測定時の水平方向の位置あわせ、および、フォーカス調整を短時間で実現できる。 Thereby, for example, a lens wavefront measuring apparatus that performs the wavefront aberration of the lens with high accuracy can be configured with a simple system, and horizontal alignment and focus adjustment at the time of aberration measurement can be realized in a short time.
また、本発明の請求項16に記載の発明は、前記レンズからの出射光の波面収差を測定する際に、前記波面収差検出手段により検出された、前記被測定光の位相波面のチルト成分を最小とするように、前記レンズの水平方向の位置調整を行うことを特徴とする、請求項14記載のレンズ評価装置である。 According to the sixteenth aspect of the present invention, the tilt component of the phase wavefront of the measured light detected by the wavefront aberration detecting means when measuring the wavefront aberration of the light emitted from the lens. The lens evaluation apparatus according to claim 14, wherein the position of the lens in the horizontal direction is adjusted so as to be minimized.
これにより、例えば、レンズの波面収差を高精度に行う、レンズ波面測定装置を簡素な系にて構成でき、収差測定時の水平方向の位置あわせ、および、フォーカス調整を短時間で実現できる。 Thereby, for example, a lens wavefront measuring apparatus that performs the wavefront aberration of the lens with high accuracy can be configured with a simple system, and horizontal alignment and focus adjustment at the time of aberration measurement can be realized in a short time.
また、本発明の請求項17に記載の発明は、前記水平方向の位置調整、または、前記フォーカス方向の位置調整は、それぞれ前記コリメータレンズを水平方向、または、フォーカス方向に駆動することにより行う請求項13から請求項16いずれかに記載のレンズ評価装置である。
According to a seventeenth aspect of the present invention, the horizontal position adjustment or the focus direction position adjustment is performed by driving the collimator lens in the horizontal direction or the focus direction, respectively. The lens evaluation device according to any one of
これにより、例えば、光ピックアップにおける光ピックアップレンズの波面測定を短時間に高精度に行うことができる。 Thereby, for example, the wavefront measurement of the optical pickup lens in the optical pickup can be performed with high accuracy in a short time.
また、本発明の請求項18に記載の発明は、複数の光学部品で構成される、組レンズを組み立てるレンズ組立装置であって、前記レンズ組立装置は、レーザ光源と、前記レーザ光源から出射し、前記組レンズを通過した光を被測定光として、前記被測定光を平行光に変換するコリメータレンズと、レンズアレイを有し、前記コリメータレンズを通過した前記被測定光を前記レンズアレイに入射し、前記レンズアレイを構成する各レンズの焦点位置と、前記被測定光が集光するスポット位置との差より、前記被測定光の波面収差を検出する波面収差検出手段と、を有し、前記組レンズを組み立てる際に、前記波面収差検出手段により検出された、前記被測定光の位相波面のチルト成分を最小とするように、前記組レンズの水平方向の位置調整を行うことを特徴とする、レンズ組立装置である。 According to an eighteenth aspect of the present invention, there is provided a lens assembling apparatus for assembling an assembled lens composed of a plurality of optical components, wherein the lens assembling apparatus emits a laser light source and the laser light source. A collimator lens that converts the light to be measured into parallel light, and a lens array, and the light to be measured that has passed through the collimator lens is incident on the lens array. And a wavefront aberration detecting means for detecting a wavefront aberration of the measured light from a difference between a focal position of each lens constituting the lens array and a spot position where the measured light is condensed, When assembling the group lens, the horizontal position adjustment of the group lens is performed so as to minimize the tilt component of the phase wavefront of the measured light detected by the wavefront aberration detecting means. Characterized Ukoto a lens assembly apparatus.
これにより、例えば、レンズを高精度に組み立てる、レンズ組立調整装置を簡素な系にて構成でき、調整時の水平方向の位置あわせを短時間で実現できる。 Thereby, for example, a lens assembly adjusting device for assembling a lens with high accuracy can be configured with a simple system, and horizontal alignment at the time of adjustment can be realized in a short time.
また、本発明の請求項19に記載の発明は、複数の光学部品で構成される、組レンズを組み立てるレンズ組立装置であって、前記レンズ組立装置は、レーザ光源と、前記レーザ光源から出射し、前記組レンズを通過した光を被測定光として、前記被測定光を平行光に変換するコリメータレンズと、レンズアレイを有し、前記コリメータレンズを通過した前記被測定光を前記レンズアレイに入射し、前記レンズアレイを構成する各レンズの焦点位置と、前記被測定光が集光するスポット位置との差おり、前記被測定光の波面収差を検出する波面収差検出手段と、を有し、前記組レンズを組み立てる際に、前記波面収差検出手段により検出された、前記被測定光の位相波面のパワー成分を最小とするように、前記組レンズのフォーカス方向の位置調整を行うことを特徴とする、レンズ組立装置である。 According to a nineteenth aspect of the present invention, there is provided a lens assembling apparatus for assembling a combined lens composed of a plurality of optical components, wherein the lens assembling apparatus emits a laser light source and the laser light source. A collimator lens that converts the light to be measured into parallel light, and a lens array, and the light to be measured that has passed through the collimator lens is incident on the lens array. And a wavefront aberration detecting means for detecting a wavefront aberration of the measured light, the difference between a focal position of each lens constituting the lens array and a spot position where the measured light is condensed, When assembling the group lens, the position of the group lens in the focus direction so as to minimize the power component of the phase wavefront of the measured light detected by the wavefront aberration detector. And performing an integer, a lens assembly apparatus.
これにより、例えば、レンズを高精度に組み立てる、レンズ組立調整装置を簡素な系にて構成でき、調整時のフォーカス調整を短時間で実現できる。 Thereby, for example, a lens assembly adjusting device for assembling a lens with high accuracy can be configured with a simple system, and focus adjustment at the time of adjustment can be realized in a short time.
また、本発明の請求項20に記載の発明は、前記組レンズを組み立てる際に、前記波面収差検出手段により検出された、前記被測定光の位相波面のパワー成分を最小とするように、前記組レンズのフォーカス方向の位置調整を行うことを特徴とする、請求項18記載のレンズ組立装置である。
In the invention according to claim 20 of the present invention, the power component of the phase wavefront of the measured light detected by the wavefront aberration detecting means when the assembled lens is assembled is minimized. The lens assembly apparatus according to
これにより、例えば、レンズを高精度に組み立てる、レンズ組立調整装置を簡素な系にて構成でき、調整時の水平方向の位置あわせ、および、フォーカス調整を短時間で実現できる。 Thereby, for example, a lens assembly adjusting device for assembling a lens with high accuracy can be configured with a simple system, and horizontal alignment and focus adjustment at the time of adjustment can be realized in a short time.
また、本発明の請求項21に記載の発明は、前記組レンズを組み立てる際に、前記波面収差検出手段により検出された、前記被測定光の位相波面のチルト成分を最小とするように、前記組レンズの水平方向の位置調整を行うことを特徴とする、請求項19記載のレンズ組立装置である。
The invention according to claim 21 of the present invention is such that, when the assembled lens is assembled, the tilt component of the phase wavefront of the measured light detected by the wavefront aberration detecting means is minimized. The lens assembly apparatus according to
これにより、例えば、レンズを高精度に組み立てる、レンズ組立調整装置を簡素な系にて構成でき、調整時の水平方向の位置あわせ、および、フォーカス調整を短時間で実現できる。 Thereby, for example, a lens assembly adjusting device for assembling a lens with high accuracy can be configured with a simple system, and horizontal alignment and focus adjustment at the time of adjustment can be realized in a short time.
また、本発明の請求項22に記載の発明は、前記水平方向の位置調整、または、前記フォーカス方向の位置調整は、それぞれ前記コリメータレンズを水平方向、または、フォーカス方向に駆動することにより行う請求項18から請求項21いずれかに記載のレンズ組立装置である。
According to a twenty-second aspect of the present invention, the horizontal position adjustment or the focus direction position adjustment is performed by driving the collimator lens in the horizontal direction or the focus direction, respectively. The lens assembly device according to any one of
これにより、例えば、レンズを高精度に組み立てる、レンズ組立調整装置を簡素な系にて構成でき、調整時の水平方向の位置あわせ、および、フォーカス調整を短時間で実現できる。 Thereby, for example, a lens assembly adjusting device for assembling a lens with high accuracy can be configured with a simple system, and horizontal alignment and focus adjustment at the time of adjustment can be realized in a short time.
また、本発明の請求項23に記載の発明は、光ピックアップの対物レンズを、前記対物レンズを駆動する対物レンズアクチュエータへ取り付ける、対物レンズアクチュエータ組立調整装置であって、前記対物レンズアクチュエータ組立調整装置は、レーザ光源と、前記レーザ光源から出射し、前記対物レンズを通過した光を被測定光として、前記被測定光を平行光に変換するコリメータレンズと、レンズアレイを有し、前記コリメータレンズを通過した前記被測定光を前記レンズアレイに入射し、前記レンズアレイを構成する各レンズの焦点位置と、前記被測定光が集光するスポット位置との差より、前記被測定光の波面収差を検出する波面収差検出手段と、を有し、前記光ピックアップにおける、前記対物レンズを、前記対物レンズアクチュエータへ取り付ける際に、前記波面収差検出手段により検出された、前記被測定光の位相波面のチルト成分を最小とするように、前記対物レンズの水平方向の位置調整を行うことを特徴とする、対物レンズアクチュエータ組立調整装置である。 According to a twenty-third aspect of the present invention, there is provided an objective lens actuator assembly / adjustment device in which an objective lens of an optical pickup is attached to an objective lens actuator that drives the objective lens. Includes a laser light source, a collimator lens that converts the light to be measured into parallel light, using the light emitted from the laser light source and passing through the objective lens as light to be measured, and a lens array, and the collimator lens The measured light that has passed through is incident on the lens array, and the wavefront aberration of the measured light is determined by the difference between the focal position of each lens constituting the lens array and the spot position where the measured light is condensed. Wavefront aberration detecting means for detecting, and the objective lens in the optical pickup is connected to the objective lens activator. Adjusting the horizontal position of the objective lens so as to minimize the tilt component of the phase wavefront of the light to be measured, which is detected by the wavefront aberration detection means when attached to the eta, It is an objective lens actuator assembly adjustment apparatus.
これにより、例えば、対物レンズアクチュエータを高精度に組み立てる、対物レンズアクチュエータ組立調整装置を簡素な系にて構成でき、調整時の水平方向の位置あわせを短時間で実現できる。 Thereby, for example, the objective lens actuator assembly and adjustment apparatus for assembling the objective lens actuator with high accuracy can be configured with a simple system, and the horizontal alignment at the time of adjustment can be realized in a short time.
また、本発明の請求項24に記載の発明は、光ピックアップの対物レンズを、前記対物レンズを駆動する対物レンズアクチュエータへ取り付ける、対物レンズアクチュエータ組立調整装置であって、前記対物レンズアクチュエータ組立調整装置は、レーザ光源と、前記レーザ光源から出射し、前記対物レンズを通過した光を被測定光として、前記被測定光を平行光に変換するコリメータレンズと、レンズアレイを有し、前記コリメータレンズを通過した前記被測定光を前記レンズアレイに入射し、前記レンズアレイを構成する各レンズの焦点位置と、前記被測定光が集光するスポット位置との差より、前記被測定光の波面収差を検出する波面収差検出手段と、を有し、前記光ピックアップにおける、前記対物レンズを、前記対物レンズアクチュエータへ取り付ける際に、前記波面収差検出手段により検出された、前記被測定光の位相波面のパワー成分を最小とするように、前記対物レンズのフォーカス方向の調整を行うことを特徴とする、対物レンズアクチュエータ組立調整装置である。 According to a twenty-fourth aspect of the present invention, there is provided an objective lens actuator assembly / adjustment device in which an objective lens of an optical pickup is attached to an objective lens actuator that drives the objective lens. Includes a laser light source, a collimator lens that converts the light to be measured into parallel light, using the light emitted from the laser light source and passing through the objective lens as light to be measured, and a lens array, and the collimator lens The measured light that has passed through is incident on the lens array, and the wavefront aberration of the measured light is determined by the difference between the focal position of each lens constituting the lens array and the spot position where the measured light is condensed. Wavefront aberration detecting means for detecting, and the objective lens in the optical pickup is connected to the objective lens activator. An objective that adjusts the focus direction of the objective lens so as to minimize the power component of the phase wavefront of the light to be measured, which is detected by the wavefront aberration detecting means when attached to the eta. It is a lens actuator assembly adjustment device.
これにより、例えば、対物レンズアクチュエータを高精度に組み立てる、対物レンズアクチュエータ組立調整装置を簡素な系にて構成でき、調整時のフォーカス調整を短時間で実現できる。 Thereby, for example, the objective lens actuator assembly adjusting apparatus for assembling the objective lens actuator with high accuracy can be configured with a simple system, and the focus adjustment at the time of adjustment can be realized in a short time.
また、本発明の請求項25に記載の発明は、前記光ピックアップにおける、前記対物レンズを、前記対物レンズアクチュエータへ取り付ける際に、前記波面収差検出手段により検出された、前記被測定光の位相波面のパワー成分を最小とするように、前記対物レンズのフォーカス方向の位置調整を行うことを特徴とする、請求項23記載の対物レンズアクチュエータ組立調整装置である。
According to a twenty-fifth aspect of the present invention, the phase wavefront of the measured light detected by the wavefront aberration detecting means when the objective lens is attached to the objective lens actuator in the optical pickup. 24. The objective lens actuator assembly adjusting device according to
これにより、例えば、対物レンズアクチュエータを高精度に組み立てる、対物レンズアクチュエータ組立調整装置を簡素な系にて構成でき、調整時の水平方向の位置あわせ、および、フォーカス調整を短時間で実現できる。 Thereby, for example, the objective lens actuator assembly and adjustment apparatus for assembling the objective lens actuator with high accuracy can be configured with a simple system, and horizontal alignment and focus adjustment at the time of adjustment can be realized in a short time.
また、本発明の請求項26に記載の発明は、前記光ピックアップにおける、前記対物レンズを、前記対物レンズアクチュエータへ取り付ける際に、前記波面収差検出手段により検出された、前記被測定光の位相波面のチルト成分を最小とするように、前記対物レンズの水平方向の位置調整を行うことを特徴とする、請求項24記載の対物レンズアクチュエータ組立調整装置である。 According to a twenty-sixth aspect of the present invention, the phase wavefront of the measured light detected by the wavefront aberration detecting means when the objective lens is attached to the objective lens actuator in the optical pickup. 25. The objective lens actuator assembly adjusting device according to claim 24, wherein the position of the objective lens in the horizontal direction is adjusted so as to minimize the tilt component.
これにより、例えば、対物レンズアクチュエータを高精度に組み立てる、対物レンズアクチュエータ組立調整装置を簡素な系にて構成でき、調整時の水平方向の位置あわせ、および、フォーカス調整を短時間で実現できる。 Thereby, for example, the objective lens actuator assembly and adjustment apparatus for assembling the objective lens actuator with high accuracy can be configured with a simple system, and horizontal alignment and focus adjustment at the time of adjustment can be realized in a short time.
また、本発明の請求項27に記載の発明は、前記水平方向の位置調整、または、前記フォーカス方向の位置調整は、それぞれ前記コリメータレンズを水平方向、または、フォーカス方向に駆動することにより行う請求項23から請求項26いずれかに記載の対物レンズアクチュエータ組立調整装置である。
According to a twenty-seventh aspect of the present invention, the horizontal position adjustment or the focus direction position adjustment is performed by driving the collimator lens in the horizontal direction or the focus direction, respectively. 27. The objective lens actuator assembly adjusting device according to any one of
これにより、例えば、光ピックアップにおける光ピックアップ対物レンズアクチュエータの組立調整を短時間に高精度に行うことができる。 Thereby, for example, assembly adjustment of the optical pickup objective lens actuator in the optical pickup can be performed with high accuracy in a short time.
また、本発明の請求項28に記載の発明は、前記対物レンズアクチュエータは複数の光情報媒体に対応するため、複数個の前記対物レンズを有し、複数個の前記対物レンズに対し、複数個の前記コリメータレンズを有する請求項23から請求項27いずれかに記載の対物レンズアクチュエータ組立調整装置である。
According to a twenty-eighth aspect of the present invention, since the objective lens actuator corresponds to a plurality of optical information media, the objective lens actuator has a plurality of objective lenses, and a plurality of objective lenses are provided. The objective lens actuator assembly adjusting apparatus according to any one of
これにより、例えば、複数の光源を有する光ピックアップにおける光ピックアップ対物レンズアクチュエータの組立調整を短時間に高精度に行うことができる。 Thereby, for example, assembly adjustment of the optical pickup objective lens actuator in the optical pickup having a plurality of light sources can be performed with high accuracy in a short time.
また、本発明の請求項29に記載の発明は、請求項12に記載の光ピックアップ組立調整装置にて組み立てた光ピックアップであって、前記複数の光情報媒体は、Blu−rayディスク、HD DVD、DVD、CDであり、Blu−rayディスクは第1の光源、および第1の対物レンズを用いて記録または再生を行い、HD DVD、DVDとCDはそれぞれを共通の第2の対物レンズを用いて、記録または再生を行うことを特徴とする光ピックアップである。 The invention according to claim 29 of the present invention is an optical pickup assembled by the optical pickup assembling / adjusting apparatus according to claim 12, wherein the plurality of optical information media are a Blu-ray disc and an HD DVD. , DVD, CD, Blu-ray disc uses a first light source and a first objective lens for recording or playback, and HD DVD, DVD and CD each use a common second objective lens The optical pickup is characterized in that recording or reproduction is performed.
これにより、例えば、Blu−rayディスク、HDDVD、DVD、CDのそれぞれの光情報媒体に記録または再生を高精度に行うことが可能な光ピックアップを構成できる。 Thereby, for example, an optical pickup capable of recording or reproducing with high accuracy on each optical information medium of Blu-ray disc, HDDVD, DVD, and CD can be configured.
また、本発明の請求項30に記載の発明は、請求項12に記載の光ピックアップ組立調整装置にて組み立てた光ピックアップであって、前記複数の光情報媒体は、Blu−rayディスク、HD DVD、DVD、CDであり、共通の対物レンズを用いて、それぞれの光情報媒体の記録または再生を行うことを特徴とする光ピックアップである。 The invention according to claim 30 of the present invention is an optical pickup assembled by the optical pickup assembling / adjusting device according to claim 12, wherein the plurality of optical information media are a Blu-ray disc and an HD DVD. The optical pickup is a DVD, a CD, and records or reproduces each optical information medium using a common objective lens.
これにより、例えば、共通の1つのレンズにより、Blu−rayディスク、HDDVD、DVD、CDのそれぞれの光情報媒体に記録または再生可能な高性能な光ピックアップを構成できる。 Thereby, for example, a high-performance optical pickup capable of recording or reproducing on each optical information medium of Blu-ray disc, HDDVD, DVD, and CD can be configured by a single common lens.
また、本発明の請求項31に記載の発明は、請求項29または請求項30の光ピックアップにて前記光情報媒体の記録または再生を行うことを特徴とする光ディスクドライブである。 According to a thirty-first aspect of the present invention, there is provided an optical disc drive wherein the optical information medium is recorded or reproduced by the optical pickup of the twenty-ninth or thirty-third aspect.
これにより、例えば、高性能な光ディスクドライブを構成できる。 Thereby, for example, a high-performance optical disk drive can be configured.
また、本発明の請求項32に記載の発明は、請求項31の光ディスクドライブにて前記光情報媒体の記録または再生を行うことを特徴とする光情報記録再生装置である。 According to a thirty-second aspect of the present invention, there is provided an optical information recording / reproducing apparatus for recording or reproducing the optical information medium by the optical disc drive according to the thirty-first aspect.
これにより、例えば、高性能な光情報処理システムを構成できる。 Thereby, for example, a high-performance optical information processing system can be configured.
以上に述べたように、本発明の構成は、高精度な波面収差測定を簡素な系にて構成でき、収差測定時の位置あわせを短時間で実現できる。 As described above, according to the configuration of the present invention, highly accurate wavefront aberration measurement can be configured with a simple system, and alignment at the time of aberration measurement can be realized in a short time.
以下、本発明の実施の形態について、添付の図面を参照しながら詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
(実施の形態1)
図1は、本発明の実施の形態1における光ピックアップ出射光の波面収差検査装置の一例を示す構成図である。
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a configuration diagram showing an example of a wavefront aberration inspection device for light emitted from an optical pickup according to
図1において、光ピックアップ16からの出射光を、コリメータレンズ1により平行光に変換した後、反射ミラー4を介し、レンズアレイ7に入射させ、前記レンズアレイ7からの収束光はCCDカメラ8上に複数のスポットを形成する。
In FIG. 1, the light emitted from the
ここで、前記コリメータレンズの入射面側には、前記光ピックアップ16が記録、または、再生を行う光情報媒体の保護層と光学的に等価な厚みを有する、図示しないカバーガラスが配置されており、対応する前記光情報媒体に応じ、カバーガラスを切り換える構成となっている。
Here, a cover glass (not shown) having a thickness optically equivalent to a protective layer of an optical information medium on which the
次に、前記CCDカメラ8により受光された前記複数のスポットの集光位置情報は、画像処理装置13に送られ、情報処理装置15において、シャック−ハルトマン法により、位相波面が算出される。
Next, the condensing position information of the plurality of spots received by the
前記情報処理装置15は、前記位相波面より、各種収差成分の大きさや方向の算出を行い、画面上に各情報を表示する。
The
前記各収差成分の大きさや方向の導出手順は、前記位相波面を極座標にてツェルニケ多項式展開し、各ツェルニケ展開係数の値より求める手法が通常用いられ、コンピュータによる数値解析手法としては、最小二乗法や数値積分を用いて計算処理を行うアルゴリズムがすでに確立しており、ここではその詳細については省略する。 As a procedure for deriving the magnitude and direction of each aberration component, a method is usually used in which the phase wavefront is expanded by Zernike polynomials in polar coordinates and obtained from the values of each Zernike expansion coefficient. And an algorithm for performing calculation processing using numerical integration has already been established, and details thereof are omitted here.
前記各収差成分の中で、光ピックアップの解析対象として良く用いられる成分は、3次コマ収差、3次非点収差、チルト、パワー、3次球面収差、5次コマ収差、5次非点収差、5次球面収差などであり、コマ収差と非点収差、チルトには方向性があり、ベクトル値として取り扱われる。 Among the aberration components, components often used as analysis targets of the optical pickup are third-order coma aberration, third-order astigmatism, tilt, power, third-order spherical aberration, fifth-order coma aberration, and fifth-order astigmatism. 5th order spherical aberration and the like, coma, astigmatism, and tilt have directionality and are treated as vector values.
さて、光ピックアップを配置した初期状態においては、通常、前記光ピックアップ16の対物レンズ5の位置は測定に最適な位置からずれている。測定に最適な位置とは、前記対物レンズ5と、前記コリメータレンズ1とのそれぞれの光軸および焦点が一致する位置である。
Now, in the initial state where the optical pickup is disposed, the position of the
前記コリメータレンズ1の光軸に対し、前記対物レンズ5が水平方向にx(mm)ずれると、前記コリメータレンズ1を通過した被測定光は、前記コリメータレンズ1の前記光軸に対しθ傾き、前記コリメータレンズ1焦点距離をf(mm)とすれば、x=f・tanθの関係を満たす。波動光学の理論によれば、この傾きθは前記ツェルニケ多項式の第2項、および、第3項の係数に比例することが知られており、この項を位相波面のチルト成分と呼んでいる。従って、前記位相波面の解析結果より得られた前記チルト成分を零とするように前記光ピックアップ16の水平方向の位置あわせを行えば、前記コリメータレンズ1からの出射光の光軸方向を、前記コリメータレンズ1の光軸方向に一致させることができる。
When the
従って、前記コリメータレンズ1により発生する軸外収差を無くすことができ、前記光ピックアップ16の位置ずれによる測定誤差を低減できる。
Therefore, the off-axis aberration generated by the
前記チルト成分は非常に感度が高く、例えば0.1λrmsという十分測定可能な値に対し、0.1ミクロン以下の検出感度がある。 The tilt component is very sensitive, and has a detection sensitivity of 0.1 microns or less for a sufficiently measurable value of, for example, 0.1λrms.
ところで、光ピックアップの対物レンズ出射光を評価する従来の方法としては、スポット像を観測する方法や、マッハツェンダ干渉計を用いて収差を測定する方法が一般的に用いられ、本発明と同様にコリメータレンズを用いて対物レンズ出射光を取り込む必要があるが、対物レンズとコリメータレンズの光軸のずれを数ミクロン以内に抑えなければ非測定光の画像を得ることができないという課題がある。 By the way, as a conventional method for evaluating the light emitted from the objective lens of the optical pickup, a method of observing a spot image or a method of measuring aberration using a Mach-Zehnder interferometer is generally used. Although it is necessary to capture the light emitted from the objective lens using a lens, there is a problem that an image of non-measurement light cannot be obtained unless the deviation of the optical axes of the objective lens and the collimator lens is suppressed within several microns.
しかしながら、光ピックアップと収差測定系との初期の位置ずれは、機構的な位置決めでは数百ミクロン程度にしか抑えることはできないため、前記従来の方法で位置ずれを数ミクロン以下にするためには、別途、専用の位置ずれ検出手段を設け、位置調整を行う必要がある。 However, since the initial positional deviation between the optical pickup and the aberration measurement system can only be suppressed to several hundred microns by mechanical positioning, in order to reduce the positional deviation to several microns or less by the conventional method, Separately, it is necessary to provide a dedicated misalignment detection means and perform position adjustment.
ところが、本発明の構成では、前述のように、収差検出をレンズアレイのスポット列より検出しているため、スポット列が観測できる広い範囲、例えば、数百ミクロン程度に及ぶ範囲において収差検出が可能であるという特徴がある。 However, in the configuration of the present invention, as described above, since aberration detection is detected from the spot array of the lens array, aberration detection is possible in a wide range where the spot array can be observed, for example, in the range of about several hundred microns. There is the feature that it is.
従って、前記光ピックアップ16が最適な位置から数百ミクロン程度ずれていても、前記チルト成分を用いて位置調整を行うことができる。この場合、位置ずれに応じて収差成分に誤差が生じてしまうが、最適位置へ収束するに従って前記誤差は減少し、最終的に位置ずれが数ミクロン程度に収束した場合、正確な収差を測定することが可能となる。
Therefore, even if the
すなわち、前記チルト成分を位置ずれ検出手段として用いることにより、数百ミクロンからサブミクロンの広範囲にわたる位置ずれ検出を行うことができるため、専用の位置ずれ検出手段を別途設ける必要がなく、光学系の簡素化が行え、また、専用の位置ずれ検出手段を操作する必要もないため、測定タクトを短縮することが可能となる。 That is, by using the tilt component as the position shift detection means, position shift detection over a wide range from several hundred microns to sub-microns can be performed, so there is no need to provide a dedicated position shift detection means separately. It is possible to simplify the measurement, and it is not necessary to operate a dedicated misregistration detection means, so that the measurement tact can be shortened.
前記位置ずれ調整は手動で行ってもよいが、精密な位置制御が必要なため、前記チルト情報を位置制御インターフェイス17に送り、光ピックアップ位置調整手段18により電動にて前記光ピックアップ16を駆動するのが実用的な方法である。光ピック位置調整手段18は、動力として、ステッピングモータや、圧電素子などが用いられる。
The position adjustment may be performed manually, but since precise position control is required, the tilt information is sent to the
また、前記各収差成分において、パワー成分は前記コリメータレンズ1から出射される平行光の平行度を定量的に示す指標となり、これは、前記コリメータレンズ1と、前記光ピックアップ16の対物レンズ5とのフォーカス方向位置ずれに比例する。
In each of the aberration components, the power component serves as an index that quantitatively indicates the parallelism of the parallel light emitted from the
通常、前記コリメータレンズ1と前記光ピックアップ16の対物レンズ5が、フォーカス方向に対してずれると、フォーカス方向の位置ずれ量に比例して前記コリメータレンズ1に球面収差が発生する。
Normally, when the
この関係は、被測定物である光ピックアップの持つ球面収差をSA、前記コリメータレンズ1を通過した光束の球面収差をSA‘、波面収差のパワー成分をΔfとすると、SA‘=SA+kΔfとなる。ここで、kは、測定物の開口数やコリメータレンズの設計などにより定まる係数で、例えば開口数が0.85のコリメータレンズの場合、0.1程度となる。
This relationship is SA ′ = SA + kΔf, where SA is the spherical aberration of the optical pickup that is the object to be measured, SA ′ is the spherical aberration of the light beam that has passed through the
従って、このフォーカス方向の位置ずれは球面収差の測定値に誤差を与えるため、前記パワー成分が零となるように前記光ピックアップ16のフォーカス位置調整を行うことにより、球面収差の測定精度を向上させることが可能になる。
Therefore, since the positional deviation in the focus direction gives an error to the measured value of spherical aberration, the measurement accuracy of spherical aberration is improved by adjusting the focus position of the
従って、前記パワー成分をフォーカス位置ずれ検出手段として用いることにより、専用のフォーカス位置検出手段を別途設ける必要がなく光学系の簡素化を行うことが可能となる。 Therefore, by using the power component as the focus position deviation detection means, it is not necessary to provide a dedicated focus position detection means separately, and the optical system can be simplified.
ところで、前記対物レンズ5は複数の対物レンズの場合もあり、コリメートレンズ1を移動することにより、前記複数の対物レンズそれぞれの収差測定を行うことはできるが、前記複数の対物レンズは、それぞれ異なる波長、NA、保護層厚の光情報媒体に対応しているため、前記コリメートレンズ1も、使用する全ての波長、NA、保護層厚に対応させる必要があり、前記コリメートレンズ1は複雑な組レンズの構成となるため高価になるという課題がある。
Incidentally, the
さらに、測定の際に、各対物レンズに対し、前記コリメートレンズ1を移動させ、前記コリメートレンズ1の入射面に配置している、前記保護層厚と等価な厚みのカバーガラスも切り換えなければならず、装置の動作が煩雑になるという課題もある。
Further, during the measurement, the
そこで、単一のコリメートレンズを使用するのではなく、前記複数の対物レンズそれぞれに対し、それぞれ専用のコリメートレンズを配置すれば、コリメートレンズの構造簡素化と、コスト低減、および、コリメートレンズ移動によるタクトの短縮を図ることができる。 Therefore, instead of using a single collimating lens, if a dedicated collimating lens is arranged for each of the plurality of objective lenses, the structure of the collimating lens is simplified, the cost is reduced, and the collimating lens is moved. Tact can be shortened.
さらに、前記複数の対物レンズそれぞれに対応する前記カバーガラスを前記専用のコリメートレンズと一体構成にすれば、カバーガラス切り替えによるタクトを短縮できる。 Furthermore, if the cover glass corresponding to each of the plurality of objective lenses is integrated with the dedicated collimating lens, tact due to cover glass switching can be shortened.
なお、本実施の形態においては、本発明を光ピックアップ出射光の波面収差検査装置に適用する場合について説明を行ってきたが、図2に示すように前記各収差成分の、3次コマ収差成分が最小となるように、対物レンズアクチュエータ20を、対物レンズアクチュエータ位置調整手段19によりあおり調整すれば、光ピックアップ16の対物レンズの傾き調整を行う、光ピックアップ組立調整装置として使用することも可能である。
In the present embodiment, the case where the present invention is applied to the wavefront aberration inspection device for the light picked up from the optical pickup has been described. However, as shown in FIG. If the
また、本実施の形態においては、前記光ピックアップ16を駆動することにより、前記コリメータレンズ1と前記対物レンズ5の相対的な位置調整を行ったが、前記コリメータレンズ1の位置調整を行うための、コリメータレンズ位置調整手段21を制御し、前記コリメータレンズ1と前記対物レンズ5の相対的な位置調整を行ってもよい。
In the present embodiment, the relative position of the
さらに、対物レンズアクチュエータ20を電気的に駆動し、フォーカス方向、トラッキング方向に動かすことにより前記コリメータレンズ1と前記対物レンズ5の相対的な位置調整を行うことも可能である。
Further, the relative position adjustment of the
(実施の形態2)
図5は、本発明の、実施の形態2における、波面収差検査装置の一例を示す構成図である。
(Embodiment 2)
FIG. 5 is a configuration diagram illustrating an example of a wavefront aberration inspection apparatus according to
実施の形態1とは異なり、前記光ピックアップ16の位置検出を行うオートコリメータ6が配置されている。
Unlike the first embodiment, an
実施の形態1で述べたように、前記光ピックアップ16の位置調整を、前記チルト成分を位置ずれ検出手段として用いることにより、数百ミクロンからサブミクロンの広範囲にわたる位置ずれ検出を行うことができるが、シャック−ハルトマン法の原理を説明した図3において、レンズアレイ22を構成する各レンズのスポットが、各領域から出てしまうほどに位置ずれが起こった場合、チルトを正確に検出することはできない。具体的には、図3において、マイクロレンズL1への入射光が大きく傾き、マイクロレンズL1のスポットが領域2において集光した場合、このスポットはマイクロレンズL2のスポットと重なり合い、波面検出に誤差が生じてしまう。
As described in the first embodiment, the positional adjustment of the
そこで、前記光ピックアップ16を配置した初期状態の位置ずれが大きい場合、前記オートコリメータ6により、前記コリメータレンズ1からの平行光を観測し、光ピックアップ16の位置を所定の位置範囲へ移動することにより、一旦、前記位置ずれの粗調整を行う。
Therefore, when the positional deviation in the initial state where the
具体的には、前記オートコリメータ6に表示されるスポット画像の位置により、前記対物レンズ5の水平方向の位置を調整し、前記スポット画像の大きさにより、前記対物レンズ5のフォーカス方向の位置粗調整を行う。
Specifically, the position of the
所定の範囲内に、位置粗調整が完了した時点で、実施の形態1と同様な手順にて、前記チルト成分や、前記パワー成分による、前記光ピックアップの微調整を行う。 When the coarse position adjustment is completed within the predetermined range, the optical pickup is finely adjusted by the tilt component and the power component in the same procedure as in the first embodiment.
本構成を用いた場合、光ピックアップの初期位置精度を緩和することができ、光ピックアップ波面収差装置として設備コストとタクトを低減することが可能になる。 When this configuration is used, the initial position accuracy of the optical pickup can be relaxed, and the equipment cost and tact can be reduced as the optical pickup wavefront aberration apparatus.
その他の内容については、前記実施の形態1と同様であり、波面収差装置としてだけではなく、前記光ピックアップ16の前記対物レンズ5の傾き調整を行う、光ピックアップ組立調整装置として使用することも可能である。
The other contents are the same as those in the first embodiment, and can be used not only as a wavefront aberration apparatus but also as an optical pickup assembly adjustment apparatus that adjusts the inclination of the
(実施の形態3)
図6は、本発明の、実施の形態3における、レンズ組立調整装置の一例を示す構成図である。
(Embodiment 3)
FIG. 6 is a configuration diagram showing an example of a lens assembly adjusting device according to
図6の構成は、例えば、複数のレンズや光学素子からなる、光ピックアップ用の組対物レンズなどの組立調整などに用いるためのもので、実施の形態1、および、実施の形態2とは異なり、前記組対物レンズの構成要素である、第1のレンズ25、および、第2のレンズ26の相対的な位置を、それぞれ、第1の位置調整手段28、および、第2の位置調整手段27を用いて組立調整を行う装置である。 The configuration in FIG. 6 is for use in, for example, assembly adjustment of an optical pickup group objective lens or the like, which is composed of a plurality of lenses and optical elements, and is different from the first and second embodiments. The relative positions of the first lens 25 and the second lens 26, which are constituent elements of the group objective lens, are respectively set as the first position adjusting means 28 and the second position adjusting means 27. It is an apparatus which performs assembly adjustment using.
具体的な組立手順は、平行光を発生する平行光源29からの出射光を、前記第1のレンズ25、および、前記第2のレンズ26を通過させた後、前記第1のレンズの出射光を、コリメータレンズ1、反射ミラー4、レンズアレイ7、CCDカメラ8からなる光学系により、波面収差を検出し、前記波面収差が最小、または、所定の値となるように、前記第1のレンズ25、および、前記第2のレンズ26の相対的な位置を、それぞれ、前記第1の位置調整手段28、および、前記第2の位置調整手段27を用いて調整し、前記第1のレンズ25、および、前記第2のレンズ26の接合を行う。
A specific assembling procedure is that after the outgoing light from the parallel
その他の内容については、前記実施の形態1、および、前記実施の形態2と同様である。 The other contents are the same as those in the first embodiment and the second embodiment.
なお、本実施の形態では、レンズ組立調整装置としての構成を示したが、第2の位置調整手段27、および、第1の位置調整手段28をそれぞれ省略して、レンズ検査装置としても使用することは可能である。 In the present embodiment, a configuration as a lens assembly adjusting device is shown, but the second position adjusting means 27 and the first position adjusting means 28 are omitted, and the lens assembling adjusting device is also used. It is possible.
(実施の形態4)
図7は、本発明の、本発明の実施の形態4における、対物アクチュエータ組立装置の一例を示す構成図である。
(Embodiment 4)
FIG. 7 is a configuration diagram showing an example of an objective actuator assembling apparatus according to
図7の組立装置は、光ピックアップ用の対物レンズを、対物レンズアクチュエータに取り付ける組立調整に用いるためのもので、組立調整の対象物である対物レンズ5、および、対物レンズアクチュエータ30と、それぞれの位置調整を行う、対物レンズ位置調整手段32と、対物レンズアクチュエータ位置調整手段31が配置されており、その他の構成については、実施の形態3と同様である。
The assembly apparatus shown in FIG. 7 is used for assembly adjustment for attaching an objective lens for an optical pickup to an objective lens actuator. The
対物レンズおよび平行光源は1つとは限らず、2つ以上の場合についても同様であり、図7においては、対物レンズアクチュエータの基準面(底面)に対し、2つの対物レンズのコマ収差が零になるように、それぞれの対物レンズのあおり調整を行う例を示す。 The objective lens and the parallel light source are not limited to one, and the same applies to two or more cases. In FIG. 7, the coma aberration of the two objective lenses is zero with respect to the reference surface (bottom surface) of the objective lens actuator. As shown, an example of adjusting the tilt of each objective lens is shown.
図7において、平行光源29の光軸に対し、対物レンズアクチュエータ30の底面が垂直になるように配置されており、前記対物レンズアクチュエータ30の上には対物レンズ位置調整手段32に保持された対物レンズ5が配置されている。
In FIG. 7, the
前記平行光源からの出射光は、前記対物レンズ5を通過し、発散光に変換され、コリメータレンズ1、反射ミラー4、レンズアレイ7、CCDカメラ8からなる光学系により、前記発散光の波面収差が検出される。
Outgoing light from the parallel light source passes through the
この波面収差が最小、または、所定の値となるように、前記対物レンズ5の傾きをあおり調整した後、前記対物レンズ5を固定する。
The
次に、対物レンズ位置調整手段32、および、対物レンズアクチュエータ位置調整手段31を、平行移動させ、調整が完了した前記対物レンズ5とは異なる、他方の対物レンズを同様の手順により、調整、固定する。
Next, the objective lens position adjusting means 32 and the objective lens actuator position adjusting means 31 are translated, and the other objective lens different from the
本実施の形態では、対物アクチュエータ組立装置としての構成を示したが、対物レンズの収差性能検査のみを行う対物アクチュエータ検査装置としても使用することは可能である。 Although the configuration of the objective actuator assembling apparatus is shown in the present embodiment, it can also be used as an objective actuator inspection apparatus that performs only the aberration performance inspection of the objective lens.
その他の内容については、前記実施の形態1から前記実施の形態3と同様である。 Other contents are the same as those in the first to third embodiments.
(実施の形態5)
図8は、本発明の、実施の形態5における、光ディスク装置の一例を示すブロック図である。
(Embodiment 5)
FIG. 8 is a block diagram showing an example of an optical disc apparatus according to
図8には、本発明の実施の形態1の組立調整装置により組み立てられた光ピックアップの応用例を説明するための光ディスクドライブの構成を示す図であり、光ピックアップユニット36、前記光ピックアップユニット36を光情報媒体33の径方向に移動させる、シークモータ38、リードスクリュー37、ガイドレール35などからなるピックアップ移動駆動機構、光情報媒体33を回転駆動するスピンドルモータ34などにより構成され、光情報媒体33を径方向に移動させることで、光ディスクに対する情報の読み取り、および記録を行う。
FIG. 8 is a diagram showing a configuration of an optical disk drive for explaining an application example of the optical pickup assembled by the assembly adjusting apparatus according to the first embodiment of the present invention. The
図8においては、光源や、対物レンズが2つ、または2つ以上の場合についても本発明は適用可能であり、具体的な構成例としては、例えば、図示しない第1のレーザを波長405nmの青紫色レーザ、図示しない第2のレーザを赤色レーザとし、第1の対物レンズ39にてBlu−rayディスク、および、HD DVDディスクを記録または再生を行い、第2の対物レンズ40にてDVDおよびCDの記録または再生を行う。
In FIG. 8, the present invention can also be applied to a case where there are two light sources or two or more objective lenses. As a specific configuration example, for example, a first laser (not shown) having a wavelength of 405 nm is used. A blue-violet laser, a second laser (not shown) is a red laser, a Blu-ray disc and an HD DVD disc are recorded or reproduced by the first
他の組み合わせとしては、例えば、Blu−rayディスクは第1の光源、および、第1の対物レンズ39を用いて、記録または再生を行い、HD DVD、DVDとCDはそれぞれを共通の第2の対物レンズ40を用いて、記録または再生を行う構成や、Blu−rayディスク、HD DVD、DVD、CDを共通の対物レンズを用いて、記録または再生を行う構成などが考えられる。
As another combination, for example, a Blu-ray disc uses a first light source and a first
図8の光ディスクドライブを光情報装置に適用すれば、小型で高性能な光情報装置の構成を実現することができる。 If the optical disk drive of FIG. 8 is applied to an optical information device, a compact and high-performance optical information device configuration can be realized.
その他の内容については、前記実施の形態1から前記実施の形態4と同様である。 The other contents are the same as those in the first to fourth embodiments.
本発明による波面収差検査装置、光ピックアップ組立調整装置などは、光磁気記録装置やCD、DVD、HD−DVD、Blu−rayディスク装置などの光ディスクを用いた光情報記録再生装置の光ピックアップの組立調整装置、または、検査装置として有用である。また、ホログラム記録装置や将来の超高密度記録再生装置の光ピックアップ組立調整装置、または、検査装置としても適用が可能である。 The wavefront aberration inspection apparatus, the optical pickup assembly adjustment apparatus, etc. according to the present invention are an assembly of an optical pickup of an optical information recording / reproducing apparatus using a magneto-optical recording apparatus or an optical disk such as a CD, DVD, HD-DVD, Blu-ray disk apparatus. It is useful as an adjustment device or an inspection device. Further, the present invention can also be applied as an optical pickup assembly adjusting device or an inspection device of a hologram recording device or a future ultra-high density recording / reproducing device.
1 コリメータレンズ
2 第1のビームスプリッタ
3 第2のビームスプリッタ
4 反射ミラー
5 対物レンズ
6 オートコリメータ
7 レンズアレイ
8 CCDカメラ
9 レンズ
10 第2の受光素子
11 シリンドリカルレンズ
12 第1の受光素子
13 画像処理装置
14 フォーカス・トラッキング信号生成装置
15 情報処理装置
16 光ピックアップ
17 位置制御インターフェイス
18 光ピックアップ位置調整手段
19 対物レンズアクチュエータ位置調整手段
20 対物レンズアクチュエータ
21 コリメータレンズ位置調整手段
22 レンズアレイ
23 対物レンズ
24 コリメータレンズ
25 第1のレンズ
26 第2のレンズ
27 第2の位置調整手段
28 第1の位置調整手段
29 平行光源
30 対物レンズアクチュエータ
31 対物レンズアクチュエータ位置調整手段
32 対物レンズ位置調整手段
33 光情報媒体
34 スピンドルモータ
35 ガイドレール
36 光ピックアップユニット
37 リードスクリュー
38 シークモータ
39 第1の対物レンズ
40 第2の対物レンズ
41 第3のビームスプリッタ
DESCRIPTION OF
Claims (32)
前記レーザ光源から発生したレーザ光を、光情報媒体へ集光するための対物レンズと、
前記対物レンズをフォーカス方向およびトラッキング方向に駆動する対物レンズアクチュエータと、
を有する光ピックアップにおける、前記対物レンズからの出射光を被測定光として、前記被測定光の波面収差を測定する波面収差検査装置であって、
前記波面収差検査装置は、
前記被測定光を平行光に変換するコリメータレンズと、
レンズアレイを有し、前記コリメータレンズを通過した前記被測定光を前記レンズアレイに入射し、前記レンズアレイを構成する各レンズの焦点位置と、前記被測定光が集光するスポット位置との差より、前記被測定光の波面収差を検出する波面収差検出手段と、
を有し、
前記被測定光の波面収差を測定する際に、前記波面収差検出手段により検出された、前記被測定光の位相波面のチルト成分を最小とするように、前記光ピックアップの水平方向の位置調整を行うことを特徴とする、波面収差検査装置。 A laser light source;
An objective lens for condensing the laser light generated from the laser light source onto an optical information medium;
An objective lens actuator for driving the objective lens in a focus direction and a tracking direction;
A wavefront aberration inspection apparatus for measuring the wavefront aberration of the light to be measured using the light emitted from the objective lens as the light to be measured in an optical pickup having:
The wavefront aberration inspection apparatus includes:
A collimator lens that converts the light to be measured into parallel light;
A difference between a focal position of each lens constituting the lens array and a spot position on which the measured light is condensed; and the measured light that has passed through the collimator lens is incident on the lens array. More, wavefront aberration detection means for detecting the wavefront aberration of the light to be measured,
Have
When measuring the wavefront aberration of the measured light, the horizontal position adjustment of the optical pickup is performed so as to minimize the tilt component of the phase wavefront of the measured light detected by the wavefront aberration detecting means. A wavefront aberration inspection apparatus, characterized in that:
前記レーザ光源から発生したレーザ光を、光情報媒体へ集光するための対物レンズと、
前記対物レンズをフォーカス方向およびトラッキング方向に駆動する対物レンズアクチュエータと、
を有する光ピックアップにおける、前記対物レンズからの出射光を被測定光として、前記被測定光の波面収差を測定する波面収差検査装置であって、
前記波面収差検査装置は、
前記被測定光を平行光に変換するコリメータレンズと、
レンズアレイを有し、前記コリメータレンズを通過した前記被測定光を前記レンズアレイに入射し、前記レンズアレイを構成する各レンズの焦点位置と、前記被測定光が集光するスポット位置との差より、前記被測定光の波面収差を検出する波面収差検出手段と、
を有し、
前記被測定光の波面収差を測定する際に、前記波面収差検出手段により検出された、前記被測定光の位相波面のパワー成分を最小とするように、前記光ピックアップのフォーカス方向の位置調整を行うことを特徴とする、波面収差検査装置。 A laser light source;
An objective lens for condensing the laser light generated from the laser light source onto an optical information medium;
An objective lens actuator for driving the objective lens in a focus direction and a tracking direction;
A wavefront aberration inspection apparatus for measuring the wavefront aberration of the light to be measured using the light emitted from the objective lens as the light to be measured in an optical pickup having:
The wavefront aberration inspection apparatus includes:
A collimator lens that converts the light to be measured into parallel light;
A difference between a focal position of each lens constituting the lens array and a spot position on which the measured light is condensed; and the measured light that has passed through the collimator lens is incident on the lens array. More, wavefront aberration detection means for detecting the wavefront aberration of the light to be measured,
Have
When measuring the wavefront aberration of the light under measurement, the position of the optical pickup in the focus direction is adjusted so as to minimize the power component of the phase wavefront of the light under measurement detected by the wavefront aberration detector. A wavefront aberration inspection apparatus, characterized in that:
前記レーザ光源から発生したレーザ光を、光情報媒体へ集光するための対物レンズと、
前記対物レンズをフォーカス方向およびトラッキング方向に駆動する対物レンズアクチュエータと、
を有する光ピックアップにおける、前記対物レンズ、または前記対物レンズアクチュエータの傾き調整を行う光ピックアップ組立調整装置であって、
前記光ピックアップ組立調整装置は、
前記光ピックアップにおける、前記対物レンズからの出射光を被測定光として、
前記被測定光を平行光に変換するコリメータレンズと、
レンズアレイを有し、前記コリメータレンズを通過した前記被測定光を前記レンズアレイに入射し、前記レンズアレイを構成する各レンズの焦点位置と、前記被測定光が集光するスポット位置との差より、前記被測定光の波面収差を検出する波面収差検出手段と、
を有し、
前記光ピックアップにおける、前記対物レンズ、または前記対物レンズアクチュエータの傾き調整を行う際に、前記波面収差検出手段により検出された、前記被測定光の位相波面のチルト成分を最小とするように、前記光ピックアップの水平方向の位置調整を行うことを特徴とする、光ピックアップ組立調整装置。 A laser light source;
An objective lens for condensing the laser light generated from the laser light source onto an optical information medium;
An objective lens actuator for driving the objective lens in a focus direction and a tracking direction;
An optical pickup assembly adjusting device that adjusts the inclination of the objective lens or the objective lens actuator in an optical pickup comprising:
The optical pickup assembly adjusting device is:
In the optical pickup, the light emitted from the objective lens is measured light,
A collimator lens that converts the light to be measured into parallel light;
A difference between a focal position of each lens constituting the lens array and a spot position on which the measured light is condensed; and the measured light that has passed through the collimator lens is incident on the lens array. More, wavefront aberration detection means for detecting the wavefront aberration of the light to be measured,
Have
In the optical pickup, when performing tilt adjustment of the objective lens or the objective lens actuator, the tilt component of the phase wavefront of the measured light detected by the wavefront aberration detector is minimized. An optical pickup assembling / adjusting apparatus characterized by adjusting a horizontal position of the optical pickup.
前記レーザ光源から発生したレーザ光を、光情報媒体へ集光するための対物レンズと、
前記対物レンズをフォーカス方向およびトラッキング方向に駆動する対物レンズアクチュエータと、
を有する光ピックアップにおける、前記対物レンズ、または前記対物レンズアクチュエータの傾き調整を行う光ピックアップ組立調整装置であって、
前記光ピックアップ組立調整装置は、
前記光ピックアップにおける、前記対物レンズからの出射光を被測定光として、
前記被測定光を平行光に変換するコリメータレンズと、
レンズアレイを有し、前記コリメータレンズを通過した前記被測定光を前記レンズアレイに入射し、前記レンズアレイを構成する各レンズの焦点位置と、前記被測定光が集光するスポット位置との差より、前記被測定光の波面収差を検出する波面収差検出手段と、
を有し、
前記光ピックアップにおける、前記対物レンズ、または前記対物レンズアクチュエータの傾き調整を行う際に、前記波面収差検出手段により検出された、前記被測定光の位相波面のパワー成分を最小とするように、前記光ピックアップのフォーカス方向の位置調整を行うことを特徴とする、光ピックアップ組立調整装置。 A laser light source;
An objective lens for condensing the laser light generated from the laser light source onto an optical information medium;
An objective lens actuator for driving the objective lens in a focus direction and a tracking direction;
An optical pickup assembly adjusting device that adjusts the inclination of the objective lens or the objective lens actuator in an optical pickup comprising:
The optical pickup assembly adjusting device is:
In the optical pickup, the light emitted from the objective lens is measured light,
A collimator lens that converts the light to be measured into parallel light;
A difference between a focal position of each lens constituting the lens array and a spot position on which the measured light is condensed; and the measured light that has passed through the collimator lens is incident on the lens array. More, wavefront aberration detection means for detecting the wavefront aberration of the light to be measured,
Have
In the optical pickup, when performing the tilt adjustment of the objective lens or the objective lens actuator, the power component of the phase wavefront of the measured light detected by the wavefront aberration detector is minimized. An optical pickup assembling / adjusting apparatus characterized by adjusting a position of the optical pickup in a focus direction.
前記レンズ評価装置は、
レーザ光源と、
前記レーザ光源から出射し、前記レンズを通過した光を被測定光として、
前記被測定光を平行光に変換するコリメータレンズと、
レンズアレイを有し、前記コリメータレンズを通過した前記被測定光を前記レンズアレイに入射し、前記レンズアレイを構成する各レンズの焦点位置と、前記被測定光が集光するスポット位置との差より、前記被測定光の波面収差を検出する波面収差検出手段と、
を有し、
前記レンズからの出射光の波面収差を測定する際に、前記波面収差検出手段により検出された、前記被測定光の位相波面のチルト成分を最小とするように、前記レンズの水平方向の位置調整を行うことを特徴とする、レンズ評価装置。 A lens evaluation device for measuring the wavefront aberration of light emitted from a lens and evaluating the aberration performance of the lens,
The lens evaluation device includes:
A laser light source;
The light emitted from the laser light source and passed through the lens is measured light.
A collimator lens that converts the light to be measured into parallel light;
A difference between a focal position of each lens constituting the lens array and a spot position on which the measured light is condensed; and the measured light that has passed through the collimator lens is incident on the lens array. More, wavefront aberration detection means for detecting the wavefront aberration of the light to be measured,
Have
When measuring the wavefront aberration of the light emitted from the lens, the horizontal position adjustment of the lens is performed so as to minimize the tilt component of the phase wavefront of the measured light detected by the wavefront aberration detecting means. A lens evaluation apparatus characterized by performing:
前記レンズ評価装置は、
レーザ光源と、
前記レーザ光源から出射し、前記レンズを通過した光を被測定光として、
前記被測定光を平行光に変換するコリメータレンズと、
レンズアレイを有し、前記コリメータレンズを通過した前記被測定光を前記レンズアレイに入射し、前記レンズアレイを構成する各レンズの焦点位置と、前記被測定光が集光するスポット位置との差より、前記被測定光の波面収差を検出する波面収差検出手段と、
を有し、
前記レンズからの出射光の波面収差を測定する際に、前記波面収差検出手段により検出された、前記被測定光の位相波面のパワー成分を最小とするように、前記レンズのフォーカス方向の位置調整を行うことを特徴とする、レンズ評価装置。 A lens evaluation device for measuring the wavefront aberration of light emitted from a lens and evaluating the aberration performance of the lens,
The lens evaluation device includes:
A laser light source;
The light emitted from the laser light source and passed through the lens is measured light.
A collimator lens that converts the light to be measured into parallel light;
A difference between a focal position of each lens constituting the lens array and a spot position on which the measured light is condensed; and the measured light that has passed through the collimator lens is incident on the lens array. More, wavefront aberration detection means for detecting the wavefront aberration of the light to be measured,
Have
When measuring the wavefront aberration of the light emitted from the lens, the position of the lens in the focus direction is adjusted so that the power component of the phase wavefront of the measured light detected by the wavefront aberration detector is minimized. A lens evaluation apparatus characterized by performing:
前記レンズ組立装置は、
レーザ光源と、
前記レーザ光源から出射し、前記組レンズを通過した光を被測定光として、
前記被測定光を平行光に変換するコリメータレンズと、
レンズアレイを有し、前記コリメータレンズを通過した前記被測定光を前記レンズアレイに入射し、前記レンズアレイを構成する各レンズの焦点位置と、前記被測定光が集光するスポット位置との差より、前記被測定光の波面収差を検出する波面収差検出手段と、
を有し、
前記組レンズを組み立てる際に、前記波面収差検出手段により検出された、前記被測定光の位相波面のチルト成分を最小とするように、前記組レンズの水平方向の位置調整を行うことを特徴とする、レンズ組立装置。 A lens assembling apparatus for assembling a combined lens composed of a plurality of optical components,
The lens assembly apparatus includes:
A laser light source;
The light emitted from the laser light source and passed through the assembled lens is measured light.
A collimator lens that converts the light to be measured into parallel light;
A difference between a focal position of each lens constituting the lens array and a spot position on which the measured light is condensed; and the measured light that has passed through the collimator lens is incident on the lens array. More, wavefront aberration detection means for detecting the wavefront aberration of the light to be measured,
Have
When assembling the group lens, the horizontal position adjustment of the group lens is performed so as to minimize the tilt component of the phase wavefront of the measured light detected by the wavefront aberration detecting means. A lens assembly device.
前記レンズ組立装置は、
レーザ光源と、
前記レーザ光源から出射し、前記組レンズを通過した光を被測定光として、
前記被測定光を平行光に変換するコリメータレンズと、
レンズアレイを有し、前記コリメータレンズを通過した前記被測定光を前記レンズアレイに入射し、前記レンズアレイを構成する各レンズの焦点位置と、前記被測定光が集光するスポット位置との差おり、前記被測定光の波面収差を検出する波面収差検出手段と、
を有し、
前記組レンズを組み立てる際に、前記波面収差検出手段により検出された、前記被測定光の位相波面のパワー成分を最小とするように、前記組レンズのフォーカス方向の位置調整を行うことを特徴とする、レンズ組立装置。 A lens assembling apparatus for assembling a combined lens composed of a plurality of optical components,
The lens assembly apparatus includes:
A laser light source;
The light emitted from the laser light source and passed through the assembled lens is measured light.
A collimator lens that converts the light to be measured into parallel light;
A difference between a focal position of each lens constituting the lens array and a spot position on which the measured light is condensed; and the measured light that has passed through the collimator lens is incident on the lens array. Wavefront aberration detecting means for detecting the wavefront aberration of the light to be measured;
Have
When assembling the group lens, the position adjustment in the focus direction of the group lens is performed so as to minimize the power component of the phase wavefront of the measured light detected by the wavefront aberration detecting means. A lens assembly device.
前記対物レンズアクチュエータ組立調整装置は、
レーザ光源と、
前記レーザ光源から出射し、前記対物レンズを通過した光を被測定光として、
前記被測定光を平行光に変換するコリメータレンズと、
レンズアレイを有し、前記コリメータレンズを通過した前記被測定光を前記レンズアレイに入射し、前記レンズアレイを構成する各レンズの焦点位置と、前記被測定光が集光するスポット位置との差より、前記被測定光の波面収差を検出する波面収差検出手段と、
を有し、
前記光ピックアップにおける、前記対物レンズを、前記対物レンズアクチュエータへ取り付ける際に、前記波面収差検出手段により検出された、前記被測定光の位相波面のチルト成分を最小とするように、前記対物レンズの水平方向の位置調整を行うことを特徴とする、対物レンズアクチュエータ組立調整装置。 An objective lens actuator assembly and adjustment device for attaching an objective lens of an optical pickup to an objective lens actuator that drives the objective lens,
The objective lens actuator assembly adjusting device is
A laser light source;
Light emitted from the laser light source and passed through the objective lens is measured light,
A collimator lens that converts the light to be measured into parallel light;
A difference between a focal position of each lens constituting the lens array and a spot position on which the measured light is condensed; and the measured light that has passed through the collimator lens is incident on the lens array. More, wavefront aberration detection means for detecting the wavefront aberration of the light to be measured,
Have
In the optical pickup, when the objective lens is attached to the objective lens actuator, the tilt component of the phase wavefront of the measured light detected by the wavefront aberration detector is minimized. An objective lens actuator assembling and adjusting apparatus characterized by performing horizontal position adjustment.
前記対物レンズアクチュエータ組立調整装置は、
レーザ光源と、
前記レーザ光源から出射し、前記対物レンズを通過した光を被測定光として、
前記被測定光を平行光に変換するコリメータレンズと、
レンズアレイを有し、前記コリメータレンズを通過した前記被測定光を前記レンズアレイに入射し、前記レンズアレイを構成する各レンズの焦点位置と、前記被測定光が集光するスポット位置との差より、前記被測定光の波面収差を検出する波面収差検出手段と、
を有し、
前記光ピックアップにおける、前記対物レンズを、前記対物レンズアクチュエータへ取り付ける際に、前記波面収差検出手段により検出された、前記被測定光の位相波面のパワー成分を最小とするように、前記対物レンズのフォーカス方向の調整を行うことを特徴とする、対物レンズアクチュエータ組立調整装置。 An objective lens actuator assembly and adjustment device for attaching an objective lens of an optical pickup to an objective lens actuator that drives the objective lens,
The objective lens actuator assembly adjusting device is
A laser light source;
Light emitted from the laser light source and passed through the objective lens is measured light,
A collimator lens that converts the light to be measured into parallel light;
A difference between a focal position of each lens constituting the lens array and a spot position on which the measured light is condensed; and the measured light that has passed through the collimator lens is incident on the lens array. More, wavefront aberration detection means for detecting the wavefront aberration of the light to be measured,
Have
In the optical pickup, when the objective lens is attached to the objective lens actuator, the power component of the phase wavefront of the measured light detected by the wavefront aberration detector is minimized. An objective lens actuator assembling and adjusting apparatus characterized by adjusting a focus direction.
前記複数の光情報媒体は、Blu−rayディスク、HD DVD、DVD、CDであり、
Blu−rayディスクは第1の光源、および第1の対物レンズを用いて記録または再生を行い、
HD DVD、DVDとCDはそれぞれを共通の第2の対物レンズを用いて、記録または再生を行うことを特徴とする光ピックアップ。 An optical pickup assembled by the optical pickup assembly adjusting device according to claim 12,
The plurality of optical information media are Blu-ray disc, HD DVD, DVD, CD,
The Blu-ray disc is recorded or reproduced using a first light source and a first objective lens,
An optical pickup characterized in that HD DVD, DVD and CD are recorded or reproduced using a common second objective lens.
前記複数の光情報媒体は、Blu−rayディスク、HD DVD、DVD、CDであり、
共通の対物レンズを用いて、それぞれの光情報媒体の記録または再生を行うことを特徴とする光ピックアップ。 An optical pickup assembled by the optical pickup assembly adjusting device according to claim 12,
The plurality of optical information media are Blu-ray disc, HD DVD, DVD, CD,
An optical pickup which records or reproduces each optical information medium using a common objective lens.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008245830A JP2009110639A (en) | 2007-10-10 | 2008-09-25 | Wavefront aberration inspection apparatus, optical pickup assembly adjustment device, lens evaluation device, lens assembly device, objective lens actuator assembly adjustment device, optical pickup, optical disk drive, and optical information recording and reproducing device |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007264311 | 2007-10-10 | ||
JP2008245830A JP2009110639A (en) | 2007-10-10 | 2008-09-25 | Wavefront aberration inspection apparatus, optical pickup assembly adjustment device, lens evaluation device, lens assembly device, objective lens actuator assembly adjustment device, optical pickup, optical disk drive, and optical information recording and reproducing device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009110639A true JP2009110639A (en) | 2009-05-21 |
Family
ID=40778949
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008245830A Pending JP2009110639A (en) | 2007-10-10 | 2008-09-25 | Wavefront aberration inspection apparatus, optical pickup assembly adjustment device, lens evaluation device, lens assembly device, objective lens actuator assembly adjustment device, optical pickup, optical disk drive, and optical information recording and reproducing device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009110639A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011180044A (en) * | 2010-03-02 | 2011-09-15 | Iwasaki Electric Co Ltd | Device for measurement of beam parallelism |
CN114486204A (en) * | 2022-02-21 | 2022-05-13 | 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所) | Collimating objective lens adjusting mechanism and objective lens testing system |
-
2008
- 2008-09-25 JP JP2008245830A patent/JP2009110639A/en active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011180044A (en) * | 2010-03-02 | 2011-09-15 | Iwasaki Electric Co Ltd | Device for measurement of beam parallelism |
CN114486204A (en) * | 2022-02-21 | 2022-05-13 | 北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所) | Collimating objective lens adjusting mechanism and objective lens testing system |
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