JP2006209906A - Manufacturing method of optical head device and its manufacturing apparatus - Google Patents

Manufacturing method of optical head device and its manufacturing apparatus Download PDF

Info

Publication number
JP2006209906A
JP2006209906A JP2005023907A JP2005023907A JP2006209906A JP 2006209906 A JP2006209906 A JP 2006209906A JP 2005023907 A JP2005023907 A JP 2005023907A JP 2005023907 A JP2005023907 A JP 2005023907A JP 2006209906 A JP2006209906 A JP 2006209906A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
disk
light source
laser light
optical head
pseudo
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2005023907A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masao Yajima
正男 矢島
Tatsumi Yoneda
立美 米田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nidec Instruments Corp
Original Assignee
Nidec Sankyo Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nidec Sankyo Corp filed Critical Nidec Sankyo Corp
Priority to JP2005023907A priority Critical patent/JP2006209906A/en
Publication of JP2006209906A publication Critical patent/JP2006209906A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Moving Of The Head For Recording And Reproducing By Optical Means (AREA)
  • Optical Head (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of an optical head device and its manufacturing apparatus, in which no large scale facility and great amount of work are required to adjust the relative position between a laser light source and a light receiving element, and also highly reliable adjustment is always made. <P>SOLUTION: In the manufacturing process of an optical head device 1, no actual optical recording disk is used even though the location of a light receiving element 25 is adjusted using a second laser light source 12 as a reference, a pseudo-disk constituted of a mirror is arranged at the location corresponding to an optical recording disk 4 and the relative position between the second laser light source 12 and the light receiving element 25 is adjusted according to the detection result at the light receiving element 25 of the returning light beams from a pseudo-disk 143. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、光ヘッド装置の製造方法およびその製造装置に関するものである。さらに詳しくは、光ヘッド装置で用いるレーザ光源と受光素子の相対位置調整技術に関するものである。   The present invention relates to an optical head device manufacturing method and a manufacturing apparatus thereof. More particularly, the present invention relates to a technique for adjusting the relative position of a laser light source and a light receiving element used in an optical head device.

光ヘッド装置は、一般に、レーザ光源と、受光素子と、対物レンズと、レーザ光源からの出射光を対物レンズに導くとともに、対物レンズを経てくる光記録ディスクからの戻り光を受光素子に導く導光系とを有している。ここで、導光系には、コリメートレンズが含まれており、レーザ光源からの出射光は、コリメート光として対物レンズに導かれる。   In general, an optical head device guides light emitted from a laser light source, a light receiving element, an objective lens, and a laser light source to the objective lens, and guides return light from an optical recording disk passing through the objective lens to the light receiving element. And an optical system. Here, the light guide system includes a collimating lens, and light emitted from the laser light source is guided to the objective lens as collimated light.

このような構成の光ヘッド装置を製造するにあたっては、レーザ光源と受光素子との相対位置を調整する必要があり、そのための調整工程では、従来、完成品としての光ヘッド装置と同様、レーザ光源からレーザ光を出射して、回転している光記録ディスクの記録面上にスポットを形成するとともに、光記録ディスクからの戻り光を受光素子で検出し、その検出結果に基づいて、レーザ光源と受光素子との相対位置を調整している。   In manufacturing the optical head device having such a configuration, it is necessary to adjust the relative position between the laser light source and the light receiving element, and in the adjustment process therefor, as in the conventional optical head device as a finished product, the laser light source The laser light is emitted from the optical recording disk to form a spot on the recording surface of the rotating optical recording disk, and the return light from the optical recording disk is detected by the light receiving element. Based on the detection result, the laser light source The relative position with respect to the light receiving element is adjusted.

しかしながら、従来のように、光記録ディスクを回転させて光ヘッド装置を実動状態にしてレーザ光源と受光素子との相対位置を調整する方法では、光記録ディスクの駆動装置、光ディスクのチルト(傾き)調整機構、フォーカスサーボ回路、トラックサーボ回路などの機構や回路を光ヘッド装置の機種毎に準備する必要があり、多大な設備投資を必要とする。また、サーボ回路については、光ヘッド装置の機種を変更する度に多大な手間をかけてチューニングする必要がある。しかも、テストに用いる光記録ディスクについては、傷や埃が付着することを常に防止するための管理が必要であり、光記録ディスクが損傷すると、調整の信頼性が低下するという問題点がある。   However, as in the prior art, in the method of rotating the optical recording disk and adjusting the relative position between the laser light source and the light receiving element by actually moving the optical head device, the driving device of the optical recording disk and the tilt (tilt) of the optical disk are used. ) It is necessary to prepare mechanisms and circuits such as an adjustment mechanism, a focus servo circuit, and a track servo circuit for each model of the optical head device, which requires a large capital investment. Also, the servo circuit needs to be tuned with great effort every time the model of the optical head device is changed. In addition, the optical recording disk used for the test needs to be managed to always prevent scratches and dust from being attached, and there is a problem that the reliability of adjustment is lowered when the optical recording disk is damaged.

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、レーザ光源と受光素子との相対位置を調整するのに、大掛かりな設備や多大な手間を必要とせず、かつ、常に信頼性の高い調整を行うことのできる光ヘッド装置の製造方法およびその製造装置を提供することにある。   In view of the above problems, the problem of the present invention is that adjustment of the relative position between the laser light source and the light receiving element does not require large-scale equipment and a great deal of trouble, and always provides highly reliable adjustment. An object of the present invention is to provide an optical head device manufacturing method and an apparatus for manufacturing the same.

上記課題を解決するために、本発明では、レーザ光源と、受光素子と、対物レンズと、前記レーザ光源からの出射光をコリメート光として前記対物レンズに導くコリメートレンズを含み、前記対物レンズを経てくる前記光記録ディスクからの戻り光を前記受光素子に導く導光系とを有する光ヘッド装置の製造方法において、前記レーザ光源と前記受光素子との相対位置を調整する調整工程では、前記光記録ディスクに相当する位置にミラーからなる擬似ディスクを配置するとともに、当該擬似ディスクと前記導光系との間に結像レンズを配置した状態で前記レーザ光源からレーザ光を出射して前記擬似ディスクにスポットを形成するとともに、前記擬似ディスクからの戻り光の前記受光素子での検出結果に基づいて、前記レーザ光源と前記受光素子との相対位置を調整することを特徴とする。   In order to solve the above-described problem, the present invention includes a laser light source, a light receiving element, an objective lens, and a collimator lens that guides emitted light from the laser light source as collimated light to the objective lens, and passes through the objective lens. In the method of manufacturing an optical head device having a light guide system for guiding return light from the optical recording disk to the light receiving element, in the adjustment step of adjusting the relative position between the laser light source and the light receiving element, the optical recording A pseudo disk composed of a mirror is disposed at a position corresponding to the disk, and a laser beam is emitted from the laser light source in a state where an imaging lens is disposed between the pseudo disk and the light guide system to the pseudo disk. A spot is formed, and the laser light source and the light receiver are received based on the detection result of the return light from the pseudo disk by the light receiving element. And adjusting the relative position of the element.

本発明では、レーザ光源と、受光素子と、対物レンズと、前記レーザ光源からの出射光をコリメート光として前記対物レンズに導くコリメートレンズを含み、前記対物レンズを経てくる前記光記録ディスクからの戻り光を前記受光素子に導く導光系とを有する光ヘッド装置の製造工程のうち、前記レーザ光源と前記受光素子との相対位置を調整する調整工程で用いられる光ヘッド装置製造装置であって、前記光記録ディスクに相当する位置で前記レーザ光源から出射されたレーザ光のスポットが形成されるミラーからなる擬似ディスクを有し、前記擬似ディスクからの戻り光が前記受光素子で検出されることを特徴とする。   The present invention includes a laser light source, a light receiving element, an objective lens, and a collimating lens that guides light emitted from the laser light source to the objective lens as collimated light, and returns from the optical recording disk that passes through the objective lens. An optical head device manufacturing apparatus used in an adjustment step of adjusting a relative position between the laser light source and the light receiving element among manufacturing steps of an optical head device having a light guide system that guides light to the light receiving element, A pseudo disk composed of a mirror on which a spot of laser light emitted from the laser light source is formed at a position corresponding to the optical recording disk, and the return light from the pseudo disk is detected by the light receiving element. Features.

本発明では、実際の光記録ディスクを用いず、光記録ディスクに相当する位置にミラーからなる擬似ディスクを配置し、擬似ディスクからの戻り光の受光素子での検出結果に基づいて、レーザ光源と前記受光素子との相対位置を調整するため、かかる調整工程を行う際には、光記録ディスクの駆動装置、光ディスクのチルト調整機構、フォーカスサーボ回路、トラックサーボ回路などの機構や回路が不要である。従って、光ヘッド装置の機種が変更した場合でも、多大な手間をかけてサーボ回路をチューニングする必要もない。しかも、傷や埃が付着しやすい光記録ディスクを調整工程で使用する必要がないので、常に信頼性の高い調整を行うことができる。   In the present invention, a pseudo disk made of a mirror is disposed at a position corresponding to the optical recording disk without using an actual optical recording disk, and the laser light source and the light source are detected based on the detection result of the return light from the pseudo disk by the light receiving element. In order to adjust the relative position with respect to the light receiving element, a mechanism or circuit such as an optical recording disk drive device, an optical disk tilt adjustment mechanism, a focus servo circuit, or a track servo circuit is not necessary when performing the adjustment process. . Therefore, even when the model of the optical head device is changed, it is not necessary to tune the servo circuit with much effort. In addition, since it is not necessary to use an optical recording disk that is likely to be damaged or dust attached in the adjustment process, highly reliable adjustment can always be performed.

本発明において、前記調整工程を行う際、前記擬似ディスクと前記導光系との間には、前記対物レンズよりも焦点の長いレンズを前記結像レンズとして配置することが好ましい。   In the present invention, when performing the adjustment step, it is preferable that a lens having a longer focal point than the objective lens is disposed as the imaging lens between the pseudo disk and the light guide system.

本発明において、前記調整工程を行う際、前記擬似ディスクと前記導光系との間には、前記対物レンズを前記結像レンズとして配置することが好ましい。   In this invention, when performing the said adjustment process, it is preferable to arrange | position the said objective lens as said imaging lens between the said pseudo | simulation disk and the said light guide system.

この場合、前記調整工程を行う際、前記光記録ディスクにおいて記録層表面に形成されている透明保護層の厚さに相当する厚さの透光板を前記結像レンズと前記擬似ディスクとの間に配置することが好ましい。   In this case, when performing the adjustment step, a translucent plate having a thickness corresponding to the thickness of the transparent protective layer formed on the surface of the recording layer in the optical recording disc is interposed between the imaging lens and the pseudo disc. It is preferable to arrange in.

ここで、前記光ヘッド装置は、前記レーザ光源として、記録層表面に形成されている透明保護層の厚さが厚い第1の光記録ディスクの記録および/または再生を行うための長波長のレーザ光を出射する第1のレーザ光源と、前記第1の光記録ディスクと比較して前記透明保護層の厚さが薄い第2の光記録ディスクの記録および/または再生を行うための短波長のレーザ光を出射する第2のレーザ光源とを備える場合、前記対物レンズには、前記第1の光記録ディスクおよび前記第2の光記録ディスクの前記透明保護層の厚さに対応する収差が付されている。   Here, the optical head device is a long wavelength laser for recording and / or reproducing the first optical recording disk having a thick transparent protective layer formed on the surface of the recording layer as the laser light source. A first laser light source that emits light, and a short wavelength for recording and / or reproduction of a second optical recording disk in which the transparent protective layer is thinner than the first optical recording disk. In the case of including a second laser light source that emits laser light, the objective lens has an aberration corresponding to the thickness of the transparent protective layer of the first optical recording disk and the second optical recording disk. Has been.

従って、前記調整工程を行う際、前記第1のレーザ光源と前記受光素子との相対位置の調整を行うときと、前記第2のレーザ光源と前記受光素子との相対位置の調整を行うときとでは、厚さの異なる透光板を前記結像レンズと前記擬似ディスクとの間に配置することが好ましい。あるいは、前記調整工程を行う際、複数枚の透光板を準備しておき、前記第1のレーザ光源と前記受光素子との相対位置の調整を行うときと、前記第2のレーザ光源と前記受光素子との相対位置の調整を行うときとでは、前記結像レンズと前記擬似ディスクとの間に異なる枚数の前記透光板を配置してもよい。あるいは、前記調整工程を行う際、領域によって厚さの異なる透光板を準備しておき、前記第1のレーザ光源と前記受光素子との相対位置の調整を行うときと、前記第2のレーザ光源と前記受光素子との相対位置の調整を行うときとでは、前記結像レンズと前記擬似ディスクとの間に位置する前記透光板の領域を相違させてもよい。   Therefore, when performing the adjustment step, when adjusting the relative position between the first laser light source and the light receiving element, and when adjusting the relative position between the second laser light source and the light receiving element. Then, it is preferable to dispose translucent plates having different thicknesses between the imaging lens and the pseudo disk. Alternatively, when performing the adjustment step, a plurality of light-transmitting plates are prepared, and the relative position between the first laser light source and the light receiving element is adjusted, and the second laser light source and the When adjusting the relative position with respect to the light receiving element, different numbers of the light transmitting plates may be arranged between the imaging lens and the pseudo disk. Alternatively, when performing the adjustment step, a light-transmitting plate having a different thickness depending on a region is prepared, and the relative position between the first laser light source and the light receiving element is adjusted, and the second laser When adjusting the relative position of the light source and the light receiving element, the region of the light transmitting plate located between the imaging lens and the pseudo disk may be different.

本発明において、前記擬似ディスクとして、レーザ光を部分透過するハーフミラーが用いられ、前記擬似ディスクに形成されるスポットを当該擬似ディスクの背面側から観察する擬似ディスク観察装置を有することが好ましい。すなわち、前記擬似ディスクとして、レーザ光を部分透過するハーフミラーを用いるとともに、前記擬似ディスクに形成されるスポットを当該擬似ディスクの背面側から観察する擬似ディスク観察装置を配置し、該擬似ディスク観察装置での観察結果に基づいて、前記擬似ディスクと前記結像レンズとの相対位置を調整することが好ましい。   In the present invention, it is preferable that a half mirror that partially transmits laser light is used as the pseudo disk, and a pseudo disk observation device that observes spots formed on the pseudo disk from the back side of the pseudo disk. That is, as the pseudo disk, a half mirror that partially transmits laser light is used, and a pseudo disk observation device that observes a spot formed on the pseudo disk from the back side of the pseudo disk is disposed. It is preferable that the relative position between the pseudo disk and the imaging lens is adjusted based on the observation result at.

なお、本発明では、収差を考慮して、擬似ディスクをレーザ光の合焦位置からずらした状態で調整工程を行ってもよい。   In the present invention, the adjustment step may be performed in a state where the pseudo disk is shifted from the focused position of the laser light in consideration of aberration.

本発明では、光記録ディスクに相当する位置にミラーからなる擬似ディスクを配置し、擬似ディスクからの戻り光の受光素子での検出結果に基づいて、レーザ光源と前記受光素子との相対位置を調整するため、かかる調整工程を行う際には、光記録ディスクの駆動装置、光ディスクのチルト(傾き)調整機構、フォーカスサーボ回路、トラックサーボ回路などの機構や回路が不要である。従って、光ヘッド装置の機種が変更した場合でも、多大な手間をかけてサーボ回路をチューニングする必要もない。しかも、傷や埃が付着しやすい光記録ディスクを調整工程で使用する必要がないので、常に信頼性の高い調整を行うことができる。   In the present invention, a pseudo disk composed of a mirror is disposed at a position corresponding to the optical recording disk, and the relative position between the laser light source and the light receiving element is adjusted based on the detection result of the return light from the pseudo disk by the light receiving element. Therefore, when such an adjustment process is performed, mechanisms and circuits such as an optical recording disk drive device, an optical disk tilt adjustment mechanism, a focus servo circuit, and a track servo circuit are unnecessary. Therefore, even when the model of the optical head device is changed, it is not necessary to tune the servo circuit with much effort. In addition, since it is not necessary to use an optical recording disk that is likely to be damaged or dust attached in the adjustment process, highly reliable adjustment can always be performed.

図面に基づいて、本発明の実施の形態を説明する。   Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

[光ヘッド装置の概略構成]
図1は、光ヘッド装置の光学系の要部を示す説明図である。図1において、本形態の光ヘッド装置1は、CD、CD−R、DVDなど、基板厚さや記録密度が異なる複数種類の光記録ディスク4に対して情報の再生、記録を行うものである。そのために、光ヘッド装置1は、CDなどの第1の光記録ディスクの記録再生に用いる中心波長が785nmの第1のレーザL1を出射する第1のレーザ光源11と、DVDなどの第2の光記録ディスクの記録再生に用いる波長が655nmの第2のレーザL2を出射する第2のレーザ光源12とを備えている。各レーザ光L1、L2は共通の導光系Loを介して共通の対物レンズ3に導かれ、対物レンズ3によって、光記録ディスク4に集光すると共に、光記録ディスク4で反射された各レーザ光束の戻り光は、対物レンズ3および導光系Loを経て共通の受光素子25に導かれる。このように構成した光ヘッド装置1において、各光学素子は、共通の装置フレーム(図示せず)に搭載されている。なお、対物レンズ3は、対物レンズ駆動装置(図示せず)を介して装置フレームに搭載されている。
[Schematic configuration of optical head device]
FIG. 1 is an explanatory view showing the main part of the optical system of the optical head device. In FIG. 1, an optical head device 1 according to the present embodiment reproduces and records information on a plurality of types of optical recording disks 4 having different substrate thicknesses and recording densities, such as CDs, CD-Rs, and DVDs. For this purpose, the optical head device 1 includes a first laser light source 11 that emits a first laser L1 having a central wavelength of 785 nm used for recording and reproduction of a first optical recording disk such as a CD, and a second laser light such as a DVD. And a second laser light source 12 that emits a second laser L2 having a wavelength of 655 nm that is used for recording and reproduction of the optical recording disk. The laser beams L1 and L2 are guided to a common objective lens 3 through a common light guide system Lo, and are condensed on the optical recording disk 4 by the objective lens 3 and reflected by the optical recording disk 4. The return light of the light beam is guided to the common light receiving element 25 through the objective lens 3 and the light guide system Lo. In the optical head device 1 configured as described above, each optical element is mounted on a common device frame (not shown). The objective lens 3 is mounted on the device frame via an objective lens driving device (not shown).

導光系Loには、第1のレーザL1を直進させ、第2のレーザL2を反射させて双方の光を共にシステム光軸L(対物レンズの光軸)に一致させる第1のビームスプリッタ21と、システム光軸Lに沿って進むレーザL1、L2を通過させる第2のビームスプリッタ22と、この第2のビームスプリッタ22を通過したレーザ光L1、L2を平行光化するコリメートレンズ23とが含まれている。なお、対物レンズ3の前段にはアパーチャ26が配置されている。   In the light guide system Lo, the first beam splitter 21 is configured to cause the first laser L1 to travel straight and reflect the second laser L2 so that both lights coincide with the system optical axis L (the optical axis of the objective lens). A second beam splitter 22 that passes the lasers L1 and L2 traveling along the system optical axis L, and a collimator lens 23 that collimates the laser beams L1 and L2 that have passed through the second beam splitter 22. include. An aperture 26 is disposed in front of the objective lens 3.

このような導光系Loによって、各レーザ光束L1、L2は、対物レンズ3に導かれる。そして、対物レンズ3によって、第1の光記録ディスク4としてのCD41の記録面41aに対して第1のレーザ光L1のビームスポットが形成され、第2の光記録ディスク4としてのDVD42の記録面42aに対して第2のレーザ光L2のビームスポットがDVD42の記録面上に形成される。   The laser light beams L1 and L2 are guided to the objective lens 3 by such a light guide system Lo. Then, the objective lens 3 forms a beam spot of the first laser beam L1 on the recording surface 41a of the CD 41 as the first optical recording disk 4, and the recording surface of the DVD 42 as the second optical recording disk 4 A beam spot of the second laser beam L2 is formed on the recording surface of the DVD 42 with respect to 42a.

また、光記録ディスク4(CD41、DVD42)に集光された第1および第2のレーザ光L1、L2はそれぞれ、光記録ディスク4で反射された後、共通の集光光学系Loを戻り光として逆に辿り、第2のビームスプリッタ22において反射されて受光素子25に集光する。そして、受光素子25で検出された信号により光記録ディスク4(CD41、DVD42)の情報再生等が行われる。なお、受光素子25と第2のビームスプリッタ22との間にはセンサーレンズ27が配置されている。また、第1のビームスプリッタ21と第1のレーザ光源11との間にはグレーティング28が配置され、第1のビームスプリッタ21と第2のレーザ光源12との間にはグレーティング29が配置されている。   The first and second laser beams L1 and L2 collected on the optical recording disk 4 (CD41, DVD42) are reflected by the optical recording disk 4 and then returned to the common condensing optical system Lo. , The light beam is reflected by the second beam splitter 22 and condensed on the light receiving element 25. Then, information reproduction of the optical recording disk 4 (CD41, DVD42) is performed by a signal detected by the light receiving element 25. A sensor lens 27 is disposed between the light receiving element 25 and the second beam splitter 22. Further, a grating 28 is disposed between the first beam splitter 21 and the first laser light source 11, and a grating 29 is disposed between the first beam splitter 21 and the second laser light source 12. Yes.

本形態の光ヘッド装置1において、対物レンズ3は、第1のレーザ光源11および第2のレーザ光源12から出射されたレーザ光L1、L2が入射する正のパワーを備えた入射側屈折面と、光記録ディスク4に向けてレーザ光束を出射する出射側屈折面を備えた凸レンズである。対物レンズ3においては、例えば、入射側屈折面は、光軸Lを中心にして同心円状に光軸Lを含む円形の中心側屈折面領域と、この中心側屈折面領域の外周を環状に囲んでいる外周側屈折面領域とに二分割されており、中心側屈折面領域と外周側屈折面領域との境界部分は、NA=0.45〜0.55に相当する位置である。また、中心側屈折面領域の全域に亘っては、同心円状の複数の微細な段差によって中心側回折格子が形成されており、この中心側回折格子は、当該領域を通過する第1のレーザ光L1の回折光束のビームスポットをCD41の記録面上に形成する回折特性を備えているとともに、当該領域を通過する第2のレーザ光L2の回折光束のビームスポットをDVD42の記録面上に形成する回折特性を備えている。これに対して、対物レンズ3の外周側屈折面領域は、第2のレーザ光L2における当該領域を通る光束部分のビームスポットをDVD42の記録面上に形成する屈折力を有している。   In the optical head device 1 of the present embodiment, the objective lens 3 includes an incident-side refracting surface having a positive power on which the laser beams L1 and L2 emitted from the first laser light source 11 and the second laser light source 12 are incident. A convex lens having an exit-side refractive surface that emits a laser beam toward the optical recording disk 4. In the objective lens 3, for example, the incident side refracting surface surrounds the circular center side refracting surface region including the optical axis L concentrically with the optical axis L as a center, and the outer periphery of the center side refracting surface region in an annular shape. The outer peripheral side refractive surface region is divided into two, and the boundary portion between the center side refractive surface region and the outer peripheral side refractive surface region is a position corresponding to NA = 0.45 to 0.55. In addition, a center side diffraction grating is formed by a plurality of concentric fine steps over the entire area of the center side refracting surface region, and the center side diffraction grating is a first laser beam that passes through the region. The beam spot of the diffracted beam of L1 is formed on the recording surface of the CD 41, and the beam spot of the diffracted beam of the second laser beam L2 passing through the region is formed on the recording surface of the DVD 42. Has diffraction characteristics. On the other hand, the outer peripheral side refracting surface area of the objective lens 3 has a refracting power that forms a beam spot of a light beam portion passing through the area in the second laser light L2 on the recording surface of the DVD 42.

[光ヘッド装置1の製造方法]
このように構成した光ヘッド装置1を製造するにあたって、本形態では、まず、装置フレーム上に導光系Loを搭載した後、第2のレーザ光源12を搭載し、次に、第1の位置調整工程において、第2のレーザ光源12を基準にセンサーレンズ27および受光素子25の位置調整を行った後、第2の位置調整工程において、第2のレーザ光源12を基準に第1のレーザ光源11の位置調整を行う。そこで、以下に、第1の位置調整工程でのセンサーレンズ27および受光素子26の位置調整方法、およびそれに用いる第1の位置調整装置(光ヘッド装置製造装置)を説明した後、第2の位置調整工程での第2のレーザ光源12の位置調整方法、およびそれに用いる第2の位置調整装置(光ヘッド装置製造装置)を説明する。なお、以下の説明においては、レーザ光の光軸Lに沿う方向をZ方向とし、このZ方向に対して垂直な2方向をXY方向としてある。
[Method for Manufacturing Optical Head Device 1]
In manufacturing the optical head device 1 configured as described above, in this embodiment, first, after the light guide system Lo is mounted on the device frame, the second laser light source 12 is mounted, and then the first position. After adjusting the positions of the sensor lens 27 and the light receiving element 25 with the second laser light source 12 as a reference in the adjustment step, the first laser light source with reference to the second laser light source 12 in the second position adjustment step. 11 position adjustment is performed. Therefore, after describing the position adjustment method of the sensor lens 27 and the light receiving element 26 in the first position adjustment process and the first position adjustment device (optical head device manufacturing apparatus) used therefor, the second position is described below. A method for adjusting the position of the second laser light source 12 in the adjustment process and a second position adjusting device (optical head device manufacturing apparatus) used therefor will be described. In the following description, the direction along the optical axis L of the laser beam is the Z direction, and two directions perpendicular to the Z direction are the XY directions.

(第1の位置調整装置および第1の位置調整工程)
図2および図3はそれぞれ、本発明を適用した第1の位置調整装置(光ヘッド装置製造装置)の構成を示す説明図、およびその要部を示す説明図である。図4は、図2に示す第1の位置調整装置で位置調整作業を行う際の製造途中品の様子を示す説明図である。
(First position adjusting device and first position adjusting step)
2 and 3 are an explanatory view showing the configuration of a first position adjusting device (optical head device manufacturing apparatus) to which the present invention is applied, and an explanatory view showing the main part thereof. FIG. 4 is an explanatory view showing a state of a product in the middle of manufacturing when the position adjustment operation is performed by the first position adjustment device shown in FIG.

図2において、本形態の第1の位置調整装置100は、装置フレーム上に導光系Loおよび第2のレーザ光源12を搭載した製造途中品1′を設置するための試料台110と、第2のレーザ光源12を駆動するための電源190と、受光素子25からの出力信号を処理するための信号処理回路180と、製造途中品1′に向けて配置された低倍率撮像装置120、高倍率撮像装置130、および擬似ディスク撮像装置140と、これらから得られたデータを画像処理する画像処理装置150とを有している。   In FIG. 2, the first position adjusting device 100 of the present embodiment includes a sample stage 110 for installing an intermediate product 1 ′ on which a light guide system Lo and a second laser light source 12 are mounted on a device frame, A power supply 190 for driving the two laser light sources 12, a signal processing circuit 180 for processing an output signal from the light receiving element 25, a low-magnification imaging device 120 arranged toward the product 1 ′ being manufactured, It has a magnification imaging device 130, a pseudo disk imaging device 140, and an image processing device 150 that performs image processing on data obtained from these.

まず、低倍率撮像装置120は、コリメート光源121およびアパーチャ122を備えたレーザオートコリメータであって、コリメート光源121から出射されたレーザ光を基準に約±2°の光線角度で平行度を計測して試料台110の向きなどを調整するのに用いられる。また、低倍率撮像装置120は、フィルタ123、レンズ124、および撮像素子125を備えており、各光路を構成するミラーやハーフミラーなどの偏向素子126も備えている。なお、低倍率撮像装置120に対しては、コリメート光源121を駆動するための電源128が設けられている。   First, the low-magnification imaging device 120 is a laser autocollimator provided with a collimating light source 121 and an aperture 122, and measures parallelism at a light beam angle of about ± 2 ° with reference to the laser light emitted from the collimating light source 121. This is used to adjust the orientation of the sample table 110. The low-magnification imaging apparatus 120 includes a filter 123, a lens 124, and an imaging element 125, and also includes a deflection element 126 such as a mirror or a half mirror that constitutes each optical path. Note that a power supply 128 for driving the collimated light source 121 is provided for the low-magnification imaging device 120.

高倍率撮像装置130は、フィルタ131、結像レンズ132、モニタ用受光素子133、および撮像素子134を備えており、略コリメート光の角度や平行度を確認するためのコリメータである。なお、高倍率撮像装置130は、ハーフミラーからなる偏向素子136も備えている。   The high-magnification imaging device 130 includes a filter 131, an imaging lens 132, a monitor light receiving element 133, and an imaging element 134, and is a collimator for confirming the angle and parallelism of substantially collimated light. Note that the high-magnification imaging device 130 also includes a deflection element 136 formed of a half mirror.

図2および図3に示すように、擬似ディスク撮像装置140(擬似ディスク観察装置)は、ビームスプリッタ141、アパーチャ149を備えた結像レンズ142、擬似ディスク143、顕微鏡対物レンズ144、フィルタ145、顕微鏡結像レンズ146、および撮像素子147を備えている。ここで、擬似ディスク143は、レーザ光を部分透過可能なハーフミラーから構成されている。結像レンズ142としては、後述するように、光ヘッド装置1の対物レンズ3を用いることができるが、本形態では、対物レンズ3より焦点距離の長いレンズが用いられている。   As shown in FIGS. 2 and 3, the pseudo disk imaging device 140 (pseudo disk observation device) includes a beam splitter 141, an imaging lens 142 provided with an aperture 149, a pseudo disk 143, a microscope objective lens 144, a filter 145, and a microscope. An imaging lens 146 and an image sensor 147 are provided. Here, the pseudo disk 143 is composed of a half mirror capable of partially transmitting laser light. As described later, the objective lens 3 of the optical head device 1 can be used as the imaging lens 142. In this embodiment, a lens having a focal length longer than that of the objective lens 3 is used.

このように構成した第1の位置調整装置100において、撮像装置120、130、150での撮像結果は、画像処理装置150に出力されるようになっており、画像処理装置150は、ROMなどに格納された所定のプログラムに基づいてデータ処理などの動作を行うデータ処理装置159と、このデータ処理装置159での処理結果などを表示する表示装置155とを備えている。ここで、表示装置155は、4つの表示領域151、152、153、154を備えており、第1の表示領域151では、高倍率撮像装置130で得られた高倍率画像などが表示され、第2の表示領域152では、低倍率撮像装置120で得られた低倍率画像などが表示され、第3の表示領域153では、信号処理回路180での信号処理結果(PDIC信号)が表示され、第4の表示領域154では、擬似ディスク撮像装置140で得られた画像などが表示される。なお、画像処理装置150は、撮像装置120、130、150に対するカメラ電源161、162、163も備えている。   In the first position adjustment apparatus 100 configured as described above, the imaging results of the imaging apparatuses 120, 130, and 150 are output to the image processing apparatus 150. The image processing apparatus 150 is stored in a ROM or the like. A data processing device 159 that performs operations such as data processing based on a stored predetermined program, and a display device 155 that displays a processing result in the data processing device 159 are provided. Here, the display device 155 includes four display areas 151, 152, 153, and 154. In the first display area 151, a high-magnification image obtained by the high-magnification imaging device 130 is displayed. In the second display area 152, a low-magnification image or the like obtained by the low-magnification imaging device 120 is displayed, and in the third display area 153, a signal processing result (PDIC signal) in the signal processing circuit 180 is displayed. In the display area 154 of No. 4, an image obtained by the pseudo disk imaging device 140 is displayed. The image processing apparatus 150 also includes camera power supplies 161, 162, and 163 for the imaging apparatuses 120, 130, and 150.

このように構成した第1の位置調整装置100を用いて、第2のレーザ光源12と、センサーレンズ27および受光素子25との相対位置を調整するにあたって、本形態では、まず、図4に示すように、装置フレーム上に導光系Loおよび第2のレーザ光源12を搭載した製造途中品1′を試料台110に設置するとともに、低倍率撮像装置120のコリメート光源121から出射されたコリメート光を基準に試料台110の向きなどを調整する。この時点では、センサーレンズ127および受光素子25を所定の治具に保持されているだけであり、装置フレーム上に固定されていない。   In adjusting the relative positions of the second laser light source 12, the sensor lens 27, and the light receiving element 25 by using the first position adjusting device 100 configured as described above, first, in this embodiment, as shown in FIG. As described above, the in-manufactured product 1 ′ having the light guide system Lo and the second laser light source 12 mounted on the apparatus frame is placed on the sample stage 110, and collimated light emitted from the collimated light source 121 of the low-magnification imaging apparatus 120. The orientation of the sample stage 110 is adjusted based on the above. At this time, the sensor lens 127 and the light receiving element 25 are only held by a predetermined jig and are not fixed on the apparatus frame.

次に、第2のレーザ光源12を点灯させると、第2のレーザ光源12から出射された光は、導光系Loを介して擬似ディスク撮像装置140の擬似ディスク143に向けて出射される。この時点では、対物レンズ3が搭載されていないため、製造途中品1′から出射される光は、コリメートレンズ23から出射された略コリメート光であるが、このコリメート光は、結像レンズ142によって擬似ディスク143に収束する。なお、コリメートレンズ23から出射される略コリメート光は、その角度や平行度が高倍率撮像装置130によって観察され、その観察結果に基づいて、第2のレーザ光源12の位置などが調整される。   Next, when the second laser light source 12 is turned on, the light emitted from the second laser light source 12 is emitted toward the pseudo disk 143 of the pseudo disk imaging device 140 through the light guide system Lo. At this time, since the objective lens 3 is not mounted, the light emitted from the in-manufacturing product 1 ′ is substantially collimated light emitted from the collimating lens 23, but this collimated light is transmitted by the imaging lens 142. It converges to the pseudo disk 143. Note that the angle and parallelism of the substantially collimated light emitted from the collimating lens 23 is observed by the high-magnification imaging device 130, and the position of the second laser light source 12 and the like are adjusted based on the observation result.

次に、擬似ディスク撮像装置140では、撮像素子147が、擬似ディスク143に形成されたスポットを擬似ディスク143の背面側から撮像し、その撮像結果は、表示装置155の第4の表示領域154に表示される。そこで、本形態では、第4の表示領域154で表示された画像をみながら、結像レンズ142と擬似ディスク143との相対位置を調整し、コリメートレンズ23から出射されたコリメート光を擬似ディスク143上で合焦させる。   Next, in the pseudo disk imaging device 140, the imaging element 147 images the spot formed on the pseudo disk 143 from the back side of the pseudo disk 143, and the imaging result is displayed in the fourth display area 154 of the display device 155. Is displayed. Therefore, in this embodiment, the relative position between the imaging lens 142 and the pseudo disk 143 is adjusted while viewing the image displayed in the fourth display area 154, and the collimated light emitted from the collimating lens 23 is converted to the pseudo disk 143. Focus on above.

このようにして、第2のレーザ光源12と擬似ディスク143とを共役状態に配置すると、光記録ディスク4に相当する位置に擬似ディスク143が位置することになり、この状態は、光ヘッド装置1で光記録ディスク4の記録や再生を行う状態と同様である。従って、擬似ディスク143からの戻り光は、受光素子25に収束しながら導かれる。   When the second laser light source 12 and the pseudo disk 143 are arranged in a conjugate state in this way, the pseudo disk 143 is located at a position corresponding to the optical recording disk 4. This is the same as the state in which recording or reproduction of the optical recording disk 4 is performed. Therefore, the return light from the pseudo disk 143 is guided while converging on the light receiving element 25.

それ故、受光素子25の位置(X方向、Y方向およびZ方向)を調整して受光素子25での検出信号が所定の条件(光軸からのずれを表す信号Px、Py、および光軸方向のずれを表す信号EFのいずれもが0)となるように、センサーレンズ27および受光素子25の位置を調整すると、光軸方向において、第2のレーザ光源12、擬似ディスク143、および受光素子25が共役状態に配置されたことになり、この状態は、光ヘッド装置1が完成した状態と同様である。従って、かかる調整を行った後、センサーレンズ27および受光素子25を装置フレームに接着固定する。   Therefore, the position of the light receiving element 25 (X direction, Y direction and Z direction) is adjusted, and the detection signal at the light receiving element 25 is in a predetermined condition (signals Px and Py indicating deviation from the optical axis, and the optical axis direction). When the positions of the sensor lens 27 and the light receiving element 25 are adjusted so that any of the signals EF representing the deviation of the second light source EF becomes 0), the second laser light source 12, the pseudo disk 143, and the light receiving element 25 in the optical axis direction. Are arranged in a conjugate state, and this state is the same as the state in which the optical head device 1 is completed. Therefore, after such adjustment, the sensor lens 27 and the light receiving element 25 are bonded and fixed to the apparatus frame.

以上説明したように、本形態では、第2のレーザ光源12を基準に受光素子25の位置を調整する場合でも、実際の光記録ディスク4を用いず、光記録ディスク4に相当する位置にミラーからなる擬似ディスク143を配置し、擬似ディスク143からの戻り光の受光素子25での検出結果に基づいて、第2のレーザ光源12と受光素子25との相対位置を調整する。このため、かかる調整工程を行う際には、光記録ディスク4の駆動装置、光記録ディスク4のチルト調整機構、フォーカスサーボ回路、トラックサーボ回路などの機構や回路が不要である。それ故、光ヘッド装置1の機種が変更した場合でも、多大な手間をかけてサーボ回路をチューニングする必要もない。しかも、傷や埃が付着しやすい光記録ディスク4を調整工程で使用する必要がないので、常に信頼性の高い調整を行うことができる。   As described above, in this embodiment, even when the position of the light receiving element 25 is adjusted with the second laser light source 12 as a reference, the actual optical recording disk 4 is not used and the mirror is positioned at a position corresponding to the optical recording disk 4. And the relative position between the second laser light source 12 and the light receiving element 25 is adjusted based on the detection result of the return light from the pseudo disk 143 by the light receiving element 25. For this reason, when performing such an adjustment process, mechanisms and circuits such as a drive device for the optical recording disk 4, a tilt adjustment mechanism for the optical recording disk 4, a focus servo circuit, and a track servo circuit are unnecessary. Therefore, even when the model of the optical head device 1 is changed, it is not necessary to tune the servo circuit with much effort. In addition, since it is not necessary to use the optical recording disk 4 that is easily damaged or dust attached in the adjustment process, it is possible to always perform adjustment with high reliability.

また、本形態では、結像レンズ142としては、光ヘッド装置1の対物レンズ3を用いることができるが、本形態では、焦点距離の長いレンズが用いられているため、NAが小さい状態で光束を扱える。それ故、擬似ディスク143や他の光学素子の収差の影響を受けにくい。また、スポットの焦点深度が深いので、焦点の調整精度を落とすことができるので、収差位相差板が不要である。また、第2のレーザ光源12の調整を行う場合も第1のレーザ光源11の調整を行う場合も同様な構成で対応できるという利点がある。   In this embodiment, the objective lens 3 of the optical head device 1 can be used as the imaging lens 142. However, in this embodiment, a lens having a long focal length is used. Can be handled. Therefore, it is not easily affected by the aberration of the pseudo disk 143 and other optical elements. Further, since the focal depth of the spot is deep, the focus adjustment accuracy can be lowered, so that an aberration phase difference plate is unnecessary. Further, there is an advantage that the same configuration can be used for both the adjustment of the second laser light source 12 and the adjustment of the first laser light source 11.

(第2の位置調整装置および第2の位置調整工程)
図5は、本発明を適用した第2の位置調整装置の構成を示す説明図である。図6は、図5に示す第2の位置調整装置で位置調整作業を行う際の製造途中品の様子を示す説明図である。
(Second position adjusting device and second position adjusting step)
FIG. 5 is an explanatory diagram showing a configuration of a second position adjusting device to which the present invention is applied. FIG. 6 is an explanatory diagram showing a state of an intermediate product when the position adjustment operation is performed by the second position adjustment device shown in FIG.

図5において、本形態の第2の位置調整装置200は、図2を参照して説明した第1の位置調整装置100に部品を追加して、あるいは全く別体の装置として構成されるが、その基本的な構成は、第1の位置調整装置100と同様である。すなわち、第2の位置調整装置200は、装置フレーム上に導光系Lo、第2のレーザ光源12および第1のレーザ光源11を搭載した製造途中品1″を設置するための試料台210と、第1のレーザ光源11を駆動するための電源291と、第2のレーザ光源12を駆動するための電源292と、受光素子25からの出力信号を処理するための信号処理回路280と、製造途中品1″に向けて配置された低倍率撮像装置220、高倍率撮像装置230、パワー分布撮像装置270および擬似ディスク撮像装置240と、これらから得られたデータを画像処理する画像処理装置250とを有している。なお、試料台210上にはアパーチャ212が配置されている。   In FIG. 5, the second position adjusting device 200 of the present embodiment is configured as a separate device by adding parts to the first position adjusting device 100 described with reference to FIG. Its basic configuration is the same as that of the first position adjusting device 100. That is, the second position adjusting device 200 includes a sample stage 210 for installing a light-emitting system Lo, the second laser light source 12 and the intermediate product 1 ″ having the first laser light source 11 mounted on the device frame. A power source 291 for driving the first laser light source 11, a power source 292 for driving the second laser light source 12, a signal processing circuit 280 for processing an output signal from the light receiving element 25, and manufacturing A low-magnification imaging device 220, a high-magnification imaging device 230, a power distribution imaging device 270, and a pseudo disk imaging device 240 that are arranged toward the intermediate product 1 ″, and an image processing device 250 that performs image processing on data obtained therefrom. have. An aperture 212 is arranged on the sample stage 210.

低倍率撮像装置220は、コリメート光源221およびアパーチャ222を備えたレーザオートコリメータであって、コリメート光源221から出射されたレーザ光を基準に約±2°の光線角度で平行度を計測して試料台210の向きなどを調整するのに用いられる。また、低倍率撮像装置220は、フィルタ223、レンズ224、および撮像素子225を備えており、各光路を構成するミラーやハーフミラーなどの偏向素子226も備えている。なお、低倍率撮像装置220に対しては、コリメート光源221を駆動するための電源228が設けられている。   The low-magnification imaging device 220 is a laser autocollimator provided with a collimated light source 221 and an aperture 222, and measures the parallelism at a light beam angle of about ± 2 ° with reference to the laser light emitted from the collimated light source 221. It is used to adjust the orientation of the table 210. The low-magnification imaging apparatus 220 includes a filter 223, a lens 224, and an imaging element 225, and also includes a deflection element 226 such as a mirror or a half mirror that forms each optical path. Note that a power supply 228 for driving the collimated light source 221 is provided for the low-magnification imaging device 220.

高倍率撮像装置230は、フィルタ231、結像レンズ232、モニタ用受光素子233、および撮像素子234を備えており、略コリメート光の角度や平行度を確認するためのコリメータである。なお、高倍率撮像装置230は、ハーフミラーからなる偏向素子236も備えている。   The high-magnification imaging device 230 includes a filter 231, an imaging lens 232, a monitor light receiving element 233, and an imaging element 234, and is a collimator for confirming the angle and parallelism of substantially collimated light. Note that the high-magnification imaging device 230 also includes a deflection element 236 formed of a half mirror.

パワー分布撮像装置270は、ビームスプリッタ271、モニタ用受光素子272、フィルタ273、結像レンズ274、エクステンションチューブ275、および撮像素子276を備えている。なお、パワー分布撮像装置270は、ハーフミラーからなる偏向素子277も備えている。   The power distribution imaging device 270 includes a beam splitter 271, a monitor light receiving element 272, a filter 273, an imaging lens 274, an extension tube 275, and an imaging element 276. Note that the power distribution imaging device 270 also includes a deflection element 277 made of a half mirror.

擬似ディスク撮像装置240は、ビームスプリッタ241、アパーチャ(図3参照)を備えた結像レンズ242、擬似ディスク243、顕微鏡対物レンズ244、フィルタ245、顕微鏡結像レンズ246、および撮像素子247を備えている。ここで、擬似ディスク243は、レーザ光を部分透過可能なハーフミラーから構成されている。結像レンズ242としては、後述するように、光ヘッド装置1の対物レンズ3を用いることができるが、本形態では、対物レンズ3より焦点距離の長いレンズが用いられている。   The pseudo disk imaging device 240 includes a beam splitter 241, an imaging lens 242 provided with an aperture (see FIG. 3), a pseudo disk 243, a microscope objective lens 244, a filter 245, a microscope imaging lens 246, and an imaging device 247. Yes. Here, the pseudo disk 243 is composed of a half mirror capable of partially transmitting laser light. As described later, the objective lens 3 of the optical head device 1 can be used as the imaging lens 242, but in this embodiment, a lens having a longer focal length than the objective lens 3 is used.

このように構成した第2の位置調整装置200において、撮像装置220、230、250、270での撮像結果は、画像処理装置250に出力されるようになっており、画像処理装置250は、ROMなどに格納された所定のプログラムに基づいてデータ処理などの動作を行うデータ処理装置259と、このデータ処理装置259での処理結果などを表示する表示装置255とを備えている。ここで、表示装置255は、4つの表示領域251、252、253、254を備えており、第1の表示領域251では、高倍率撮像装置230で得られた高倍率画像などが表示され、第2の表示領域252では、低倍率撮像装置220で得られた低倍率画像などが表示され、第3の表示領域253では、信号処理回路280での信号処理結果(PDIC信号)が表示され、第4の表示領域254では、擬似ディスク撮像装置240で得られた画像などが表示される。なお、画像処理装置150は、撮像装置220、230、250、270に対するカメラ電源261、262、263、264も備えている。   In the second position adjustment device 200 configured as described above, the imaging results of the imaging devices 220, 230, 250, and 270 are output to the image processing device 250. The image processing device 250 is a ROM. A data processing device 259 that performs operations such as data processing based on a predetermined program stored in the data processing device 259, and a display device 255 that displays processing results in the data processing device 259 and the like. Here, the display device 255 includes four display areas 251, 252, 253, and 254. In the first display area 251, a high-magnification image obtained by the high-magnification imaging device 230 is displayed. In the second display area 252, a low-magnification image or the like obtained by the low-magnification imaging device 220 is displayed. In the third display area 253, the signal processing result (PDIC signal) in the signal processing circuit 280 is displayed. 4, an image obtained by the pseudo disk imaging device 240 is displayed. The image processing apparatus 150 also includes camera power supplies 261, 262, 263, and 264 for the imaging apparatuses 220, 230, 250, and 270.

このように構成した第2の位置調整装置200を用いて、第1のレーザ光源11と受光素子25との相対位置を調整するにあたって、本形態では、図6に示すように、装置フレーム上に導光系Lo、第1のレーザ光源11、および第2のレーザ光源12を搭載した製造途中品1″を試料台210に設置するとともに、低倍率撮像装置220のコリメート光源221から出射されたコリメート光を基準に試料台210の向きなどを調整する。この時点では、第2のレーザ光源12、センサーレンズ227および受光素子12などは装置フレーム上に固定されているが、第1のレーザ光源11は、治具などに保持されているだけであり、装置フレーム上に固定されていない。   When the relative position between the first laser light source 11 and the light receiving element 25 is adjusted using the second position adjusting device 200 configured as described above, in this embodiment, as shown in FIG. An in-manufactured product 1 ″ equipped with the light guide system Lo, the first laser light source 11, and the second laser light source 12 is placed on the sample stage 210 and collimated from the collimated light source 221 of the low-magnification imaging device 220. The direction of the sample stage 210 is adjusted based on the light, etc. At this time, the second laser light source 12, the sensor lens 227, the light receiving element 12, and the like are fixed on the apparatus frame. Is only held by a jig or the like and is not fixed on the apparatus frame.

次に、第1のレーザ光源11を点灯させると、第1のレーザ光源11から出射された光は、導光系Loを介して擬似ディスク撮像装置240の擬似ディスク243に向けて出射される。この時点では、対物レンズ3が搭載されていないため、製造途中品1″から出射される光は、コリメートレンズ23から出射された略コリメート光であるが、このコリメート光は、結像レンズ242によって擬似ディスク243に収束する。   Next, when the first laser light source 11 is turned on, the light emitted from the first laser light source 11 is emitted toward the pseudo disk 243 of the pseudo disk imaging device 240 through the light guide system Lo. At this time, since the objective lens 3 is not mounted, the light emitted from the in-manufacturing product 1 ″ is substantially collimated light emitted from the collimating lens 23, but this collimated light is transmitted by the imaging lens 242. It converges on the pseudo disk 243.

次に、擬似ディスク撮像装置240では、撮像素子247が、擬似ディスク243に形成されたスポットを擬似ディスク243の背面側から撮像し、その撮像結果は、表示装置255の第4の表示領域254に表示される。そこで、本形態では、第4の表示領域254で表示された画像をみながら、結像レンズ242と擬似ディスク243との相対位置を調整し、コリメートレンズ23から出射されたコリメート光を擬似ディスク243上で合焦させる。その際、第1のレーザ光源11については、パワー分布を調整する必要があるので、アパーチャ212を介して出射された光束を高倍率撮像装置230、低倍率撮像装置220およびパワー分布撮像装置270で撮像し、その撮像結果(スポットやパワー分布)を第2の表示領域252および第3の表示領域253に表示しながら、高倍率撮像装置230で撮像した第1の表示領域251の画像内にスポットが出現するようにパワー分布を調整する。   Next, in the pseudo disk imaging device 240, the imaging element 247 images the spot formed on the pseudo disk 243 from the back side of the pseudo disk 243, and the imaging result is displayed in the fourth display area 254 of the display device 255. Is displayed. Therefore, in this embodiment, the relative position between the imaging lens 242 and the pseudo disk 243 is adjusted while viewing the image displayed in the fourth display area 254, and the collimated light emitted from the collimating lens 23 is converted to the pseudo disk 243. Focus on above. At this time, since it is necessary to adjust the power distribution of the first laser light source 11, the light beam emitted through the aperture 212 is transmitted by the high-magnification imaging device 230, the low-magnification imaging device 220, and the power distribution imaging device 270. The image is picked up, and the image pickup result (spot and power distribution) is displayed in the second display area 252 and the third display area 253, while the spot is included in the image of the first display area 251 picked up by the high magnification image pickup device 230. Adjust the power distribution so that appears.

このようにして、第1のレーザ光源11と擬似ディスク143とを共役状態に配置すると、光記録ディスク4に相当する位置に擬似ディスク243が位置することになり、この状態は、光ヘッド装置1で光記録ディスク4の記録や再生を行う状態と同様である。従って、擬似ディスク243からの戻り光は、受光素子25に収束しながら導かれる。   When the first laser light source 11 and the pseudo disk 143 are arranged in a conjugate state in this way, the pseudo disk 243 is located at a position corresponding to the optical recording disk 4. This is the same as the state in which recording or reproduction of the optical recording disk 4 is performed. Therefore, the return light from the pseudo disk 243 is guided to the light receiving element 25 while converging.

それ故、受光素子25での検出信号が所定の条件となるように、第1のレーザ光源11の位置(X方向、Y方向、Z方向、X方向における傾き角θxやY方向の傾き角θy)を調整すると、光軸方向において、第1のレーザ光源11、第2のレーザ光源12、擬似ディスク143、および受光素子25が共役状態に配置されたことになり、この状態は、光ヘッド装置1が完成した状態と同様である。従って、かかる調整を行った後、第1のレーザ光源11を装置フレームに接着固定する。   Therefore, the position of the first laser light source 11 (X direction, Y direction, Z direction, tilt angle θx in the X direction and tilt angle θy in the Y direction is set so that the detection signal at the light receiving element 25 satisfies a predetermined condition. ) Is adjusted, the first laser light source 11, the second laser light source 12, the pseudo disk 143, and the light receiving element 25 are arranged in a conjugate state in the optical axis direction. 1 is the same as the completed state. Therefore, after performing such adjustment, the first laser light source 11 is bonded and fixed to the apparatus frame.

以上説明したように、本形態では、受光素子25を基準に第1のレーザ光源11の位置を調整する場合でも、実際の光記録ディスク実際の光記録ディスク4を用いず、光記録ディスク4に相当する位置にミラーからなる擬似ディスク243を配置し、擬似ディスク243からの戻り光の受光素子25での検出結果に基づいて、第1のレーザ光源11と受光素子25との相対位置を調整する。このため、かかる調整工程を行う際には、光記録ディスク4の駆動装置、光記録ディスク4のチルト調整機構、フォーカスサーボ回路、トラックサーボ回路などの機構や回路が不要である。それ故、光ヘッド装置1の機種が変更した場合でも、多大な手間をかけてサーボ回路をチューニングする必要もない。しかも、傷や埃が付着しやすい光記録ディスク4を調整工程で使用する必要がないので、常に信頼性の高い調整を行うことができる。   As described above, in this embodiment, even when the position of the first laser light source 11 is adjusted based on the light receiving element 25, the actual optical recording disk is not used but the optical recording disk 4 is used. A pseudo disk 243 composed of a mirror is disposed at a corresponding position, and the relative position between the first laser light source 11 and the light receiving element 25 is adjusted based on the detection result of the return light from the pseudo disk 243 by the light receiving element 25. . For this reason, when performing such an adjustment process, mechanisms and circuits such as a drive device for the optical recording disk 4, a tilt adjustment mechanism for the optical recording disk 4, a focus servo circuit, and a track servo circuit are unnecessary. Therefore, even when the model of the optical head device 1 is changed, it is not necessary to tune the servo circuit with much effort. In addition, since it is not necessary to use the optical recording disk 4 that is easily damaged or dust attached in the adjustment process, it is possible to always perform adjustment with high reliability.

また、本形態では、結像レンズ242としては、光ヘッド装置1の対物レンズ3を用いることができるが、本形態では、焦点距離の長いレンズが用いられているため、NAが小さい状態で光束を扱える。それ故、擬似ディスク143や他の光学素子の収差の影響が受けにくい。また、スポットの焦点深度が深いので、焦点の調整精度を落とすことができるので、収差位相差板が不要である。また、第2のレーザ光源12の調整を行う場合も第1のレーザ光源11の調整を行う場合も同様な構成で対応できるという利点がある。   In this embodiment, the objective lens 3 of the optical head device 1 can be used as the imaging lens 242. However, in this embodiment, since a lens having a long focal length is used, the light flux can be obtained with a small NA. Can be handled. Therefore, it is difficult to be influenced by the aberration of the pseudo disk 143 and other optical elements. Further, since the focal depth of the spot is deep, the focus adjustment accuracy can be lowered, so that an aberration phase difference plate is unnecessary. Further, there is an advantage that the same configuration can be used for both the adjustment of the second laser light source 12 and the adjustment of the first laser light source 11.

(位置調整装置および位置調整工程の変形例)
上記形態では、調整工程を行う際、擬似ディスク143と製造途中品1′、1″の導光系Loとの間には、対物レンズ3よりも焦点の長いレンズを結像レンズ142、242として配置したが、図7(a)、(b)に示すように、擬似ディスク143、243と製造途中品1′、1″の導光系Loとの間に対物レンズ3を結像レンズとして配置してもよい。このように、擬似ディスク143、243に対する結像レンズ142、242として対物レンズ3を用いると、実動作に近い状況で、第1のレーザ光源11と受光素子25との相対位置、および第2のレーザ光源12と受光素子25との相対位置を調整できる。
(Modification of position adjusting device and position adjusting process)
In the above embodiment, when performing the adjustment process, a lens having a longer focal point than the objective lens 3 is used as the imaging lenses 142 and 242 between the pseudo disk 143 and the light guide system Lo of the products 1 ′ and 1 ″ being manufactured. As shown in FIGS. 7A and 7B, the objective lens 3 is arranged as an imaging lens between the pseudo disks 143 and 243 and the light guide system Lo of the intermediate products 1 ′ and 1 ″. May be. As described above, when the objective lens 3 is used as the imaging lenses 142 and 242 with respect to the pseudo disks 143 and 243, the relative position between the first laser light source 11 and the light receiving element 25, and the second in a situation close to actual operation. The relative position between the laser light source 12 and the light receiving element 25 can be adjusted.

但し、対物レンズ3は、焦点が短く、かつ、CD41とDVD42との間で共用されているため、光記録ディスク4の透明保護層の厚さに相当する収差が付与されている。従って、対物レンズ3を擬似ディスク143、243に対する結像レンズとして用いる場合には、第2のレーザ光源12と受光素子25との相対位置の調整を行うときには、DVD42の透明保護層に対応する厚さの透光板を収差補正板50として配置することが好ましい。また、第2のレーザ光源42と受光素子25との相対位置の調整を行うときと、第1のレーザ光源41と受光素子25との相対位置の調整を行うときとでは、厚さの異なる透光板(収差補正板50)を対物レンズ3(結像レンズ)と擬似ディスク143、243との間に配置する。   However, since the objective lens 3 has a short focal point and is shared between the CD 41 and the DVD 42, an aberration corresponding to the thickness of the transparent protective layer of the optical recording disk 4 is given. Therefore, when the objective lens 3 is used as an imaging lens for the pseudo disks 143 and 243, when the relative position between the second laser light source 12 and the light receiving element 25 is adjusted, the thickness corresponding to the transparent protective layer of the DVD 42 is used. It is preferable to arrange the translucent plate as the aberration correction plate 50. Further, when the relative position between the second laser light source 42 and the light receiving element 25 is adjusted, and when the relative position between the first laser light source 41 and the light receiving element 25 is adjusted, the transparent portions having different thicknesses are used. An optical plate (aberration correction plate 50) is disposed between the objective lens 3 (imaging lens) and the pseudo disks 143 and 243.

また、調整工程を行う際、複数枚の透光板を準備しておき、第1のレーザ光源41と受光素子25との相対位置の調整を行うときと、第2のレーザ光源42と受光素子25との相対位置の調整を行うときとでは、対物レンズ3(結像レンズ)と擬似ディスク143、243との間に異なる枚数の透光板を配置し、それを収差補正板50として配置してもよい。   Further, when performing the adjustment process, a plurality of light-transmitting plates are prepared, and the relative position between the first laser light source 41 and the light receiving element 25 is adjusted, and the second laser light source 42 and the light receiving element. When adjusting the relative position with respect to 25, a different number of translucent plates are arranged between the objective lens 3 (imaging lens) and the pseudo disks 143 and 243, and these are arranged as the aberration correction plate 50. May be.

さらには、領域によって厚さの異なる透光板(収差補正板50)を準備しておき、第1のレーザ光源41と受光素子25との相対位置の調整を行うときと、第2のレーザ光源42と受光素子25との相対位置の調整を行うときとでは、対物レンズ3(結像レンズ)と擬似ディスク143との間に位置する透光板(収差補正板50)の領域を相違させてもよい。   Furthermore, a translucent plate (aberration correction plate 50) having a different thickness depending on the region is prepared, and the relative position between the first laser light source 41 and the light receiving element 25 is adjusted, and the second laser light source. When the relative position between the light receiving element 42 and the light receiving element 25 is adjusted, the region of the light transmitting plate (aberration correction plate 50) positioned between the objective lens 3 (imaging lens) and the pseudo disk 143 is made different. Also good.

なお、上記形態では、擬似ディスクをレーザ光の合焦位置に配置したが、収差を考慮して、擬似ディスクをレーザ光の合焦位置からずらした状態で調整工程を行ってもよい。   In the above embodiment, the pseudo disk is arranged at the laser beam in-focus position. However, the adjustment process may be performed in a state where the pseudo disk is shifted from the laser beam in-focus position in consideration of aberration.

光ヘッド装置の要部を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the principal part of an optical head apparatus. 本発明を適用した第1の位置調整装置(光ヘッド装置製造装置)の構成を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the structure of the 1st position adjustment apparatus (optical head apparatus manufacturing apparatus) to which this invention is applied. 本発明を適用した第1の位置調整装置(光ヘッド装置製造装置)の要部を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the principal part of the 1st position adjustment apparatus (optical head apparatus manufacturing apparatus) to which this invention is applied. 本発明を適用した第1の位置調整装置で位置調整作業を行う際の製造途中品の様子を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the mode of the product in the middle of manufacture at the time of performing position adjustment operation with the 1st position adjustment apparatus to which this invention is applied. 本発明を適用した第2の位置調整装置(光ヘッド装置製造装置)の構成を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the structure of the 2nd position adjustment apparatus (optical head apparatus manufacturing apparatus) to which this invention is applied. 本発明を適用した第2の位置調整装置で位置調整作業を行う際の製造途中品の様子を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the mode of the product in the middle of manufacture at the time of performing position adjustment operation | work with the 2nd position adjustment apparatus to which this invention is applied. 本発明を適用した別の位置調整装置の構成を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the structure of another position adjustment apparatus to which this invention is applied.

符号の説明Explanation of symbols

1 光ヘッド装置
1′、1″ 製造途中品
3 対物レンズ
4 光記録ディスク
11 第1のレーザ光源
12 第2のレーザ光源12
25 受光素子
50 収差補正板
100 第1の位置調整装置(光ヘッド装置製造装置)
120、220 低倍率撮像装置
130、230 高倍率撮像装置
140、240 擬似ディスク撮像装置(擬似ディスク観察装置)
142、242 結像レンズ
143、243 擬似ディスク
200 第2の位置調整装置(光ヘッド装置製造装置)
270 パワー分布撮像装置
Lo 導光系
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Optical head apparatus 1 ', 1 "Manufacture product 3 Objective lens 4 Optical recording disk 11 1st laser light source 12 2nd laser light source 12
25 Light receiving element 50 Aberration correction plate 100 First position adjusting device (optical head device manufacturing device)
120, 220 Low magnification imaging device 130, 230 High magnification imaging device 140, 240 Pseudo disk imaging device (pseudo disk observation device)
142, 242 Imaging lens 143, 243 Pseudo disk 200 Second position adjustment device (optical head device manufacturing device)
270 Power Distribution Imaging Device Lo Light Guide System

Claims (12)

レーザ光源と、受光素子と、対物レンズと、前記レーザ光源からの出射光をコリメート光として前記対物レンズに導くコリメートレンズを含み、前記対物レンズを経てくる前記光記録ディスクからの戻り光を前記受光素子に導く導光系とを有する光ヘッド装置の製造方法において、
前記レーザ光源と前記受光素子との相対位置を調整する調整工程では、前記光記録ディスクに相当する位置にミラーからなる擬似ディスクを配置するとともに、当該擬似ディスクと前記導光系との間に結像レンズを配置した状態で前記レーザ光源からレーザ光を出射して前記擬似ディスクにスポットを形成するとともに、前記擬似ディスクからの戻り光の前記受光素子での検出結果に基づいて、前記レーザ光源と前記受光素子との相対位置を調整することを特徴とする光ヘッド装置の製造方法。
A laser light source; a light receiving element; an objective lens; and a collimating lens that guides the emitted light from the laser light source to the objective lens as collimated light, and receives the return light from the optical recording disk passing through the objective lens. In a method of manufacturing an optical head device having a light guide system that leads to an element,
In the adjustment step of adjusting the relative position between the laser light source and the light receiving element, a pseudo disk composed of a mirror is disposed at a position corresponding to the optical recording disk, and is connected between the pseudo disk and the light guide system. A laser beam is emitted from the laser light source in a state where an image lens is arranged to form a spot on the pseudo disk, and based on a detection result of the return light from the pseudo disk by the light receiving element, the laser light source and A method of manufacturing an optical head device, comprising adjusting a relative position with respect to the light receiving element.
請求項1において、前記調整工程を行う際、前記擬似ディスクと前記導光系との間には、前記対物レンズよりも焦点の長いレンズを前記結像レンズとして配置することを特徴とする光ヘッド装置の製造方法。   2. The optical head according to claim 1, wherein when performing the adjustment step, a lens having a longer focal point than the objective lens is disposed as the imaging lens between the pseudo disk and the light guide system. Device manufacturing method. 請求項1において、前記調整工程を行う際、前記擬似ディスクと前記導光系との間には、前記対物レンズを前記結像レンズとして配置することを特徴とする光ヘッド装置の製造方法。   2. The method of manufacturing an optical head device according to claim 1, wherein the objective lens is disposed as the imaging lens between the pseudo disk and the light guide system when performing the adjustment step. 請求項3において、前記調整工程を行う際、前記光記録ディスクにおいて記録層表面に形成されている透明保護層の厚さに相当する厚さの透光板を前記結像レンズと前記擬似ディスクとの間に配置することを特徴とする光ヘッド装置の製造方法。   4. The translucent plate having a thickness corresponding to the thickness of the transparent protective layer formed on the surface of the recording layer of the optical recording disk when performing the adjusting step, the imaging lens and the pseudo disk, A method of manufacturing an optical head device, wherein the optical head device is disposed between the two. 請求項3において、前記光ヘッド装置は、前記レーザ光源として、記録層表面に形成されている透明保護層の厚さが厚い第1の光記録ディスクの記録および/または再生を行うための長波長のレーザ光を出射する第1のレーザ光源と、前記第1の光記録ディスクと比較して前記透明保護層の厚さが薄い第2の光記録ディスクの記録および/または再生を行うための短波長のレーザ光を出射する第2のレーザ光源とを備えるとともに、前記対物レンズには、前記第1の光記録ディスクおよび前記第2の光記録ディスクの前記透明保護層の厚さに対応する収差が付されており、
前記調整工程を行う際、前記第1のレーザ光源と前記受光素子との相対位置の調整を行うときと、前記第2のレーザ光源と前記受光素子との相対位置の調整を行うときとでは、厚さの異なる透光板を前記結像レンズと前記擬似ディスクとの間に配置することを特徴とする光ヘッド装置の製造方法。
4. The optical head device according to claim 3, wherein the optical head device has a long wavelength for recording and / or reproducing the first optical recording disk having a thick transparent protective layer formed on the surface of the recording layer as the laser light source. A first laser light source that emits the laser beam and a short for recording and / or reproducing the second optical recording disk in which the thickness of the transparent protective layer is smaller than that of the first optical recording disk And an aberration corresponding to the thickness of the transparent protective layer of the first optical recording disk and the second optical recording disk. Is attached,
When performing the adjustment step, when adjusting the relative position of the first laser light source and the light receiving element, and when adjusting the relative position of the second laser light source and the light receiving element, A method of manufacturing an optical head device, wherein translucent plates having different thicknesses are disposed between the imaging lens and the pseudo disk.
請求項3において、前記光ヘッド装置は、前記レーザ光源として、記録層表面に形成されている透明保護層の厚さが厚い第1の光記録ディスクの記録および/または再生を行うための長波長のレーザ光を出射する第1のレーザ光源と、前記第1の光記録ディスクと比較して前記透明保護層の厚さが薄い第2の光記録ディスクの記録および/または再生を行うための短波長のレーザ光を出射する第2のレーザ光源とを備えるとともに、前記対物レンズには、前記第1の光記録ディスクおよび前記第2の光記録ディスクの前記透明保護層の厚さに対応する収差が付されており、
前記調整工程を行う際、複数枚の透光板を準備しておき、前記第1のレーザ光源と前記受光素子との相対位置の調整を行うときと、前記第2のレーザ光源と前記受光素子との相対位置の調整を行うときとでは、前記結像レンズと前記擬似ディスクとの間に異なる枚数の前記透光板を配置することを特徴とする光ヘッド装置の製造方法。
4. The optical head device according to claim 3, wherein the optical head device has a long wavelength for recording and / or reproducing the first optical recording disk having a thick transparent protective layer formed on the surface of the recording layer as the laser light source. A first laser light source that emits the laser beam and a short for recording and / or reproducing the second optical recording disk in which the thickness of the transparent protective layer is smaller than that of the first optical recording disk And an aberration corresponding to the thickness of the transparent protective layer of the first optical recording disk and the second optical recording disk. Is attached,
When performing the adjustment step, a plurality of light-transmitting plates are prepared, the relative position between the first laser light source and the light receiving element is adjusted, and the second laser light source and the light receiving element. When the relative position of the optical head is adjusted, a different number of the light-transmitting plates are arranged between the imaging lens and the pseudo disk.
請求項3において、前記光ヘッド装置は、前記レーザ光源として、記録層表面に形成されている透明保護層の厚さが厚い第1の光記録ディスクの記録および/または再生を行うための長波長のレーザ光を出射する第1のレーザ光源と、前記第1の光記録ディスクと比較して前記透明保護層の厚さが薄い第2の光記録ディスクの記録および/または再生を行うための短波長のレーザ光を出射する第2のレーザ光源とを備えるとともに、前記対物レンズには、前記第1の光記録ディスクおよび前記第2の光記録ディスクの前記透明保護層の厚さに対応する収差が付されており、
前記調整工程を行う際、領域によって厚さの異なる透光板を準備しておき、前記第1のレーザ光源と前記受光素子との相対位置の調整を行うときと、前記第2のレーザ光源と前記受光素子との相対位置の調整を行うときとでは、前記結像レンズと前記擬似ディスクとの間に位置する前記透光板の領域を相違させることを特徴とする光ヘッド装置の製造方法。
4. The optical head device according to claim 3, wherein the optical head device has a long wavelength for recording and / or reproducing the first optical recording disk having a thick transparent protective layer formed on the surface of the recording layer as the laser light source. A first laser light source that emits the laser beam and a short for recording and / or reproducing the second optical recording disk in which the thickness of the transparent protective layer is smaller than that of the first optical recording disk And an aberration corresponding to the thickness of the transparent protective layer of the first optical recording disk and the second optical recording disk. Is attached,
When performing the adjustment step, a translucent plate having a different thickness depending on the region is prepared, and the relative position between the first laser light source and the light receiving element is adjusted, and the second laser light source A method of manufacturing an optical head device, wherein the region of the light transmitting plate located between the imaging lens and the pseudo disk is made different when the relative position with respect to the light receiving element is adjusted.
請求項1ないし7のいずれかにおいて、前記擬似ディスクとして、レーザ光を部分透過するハーフミラーを用いるとともに、前記擬似ディスクに形成されるスポットを当該擬似ディスクの背面側から観察する擬似ディスク観察装置を配置し、
該擬似ディスク観察装置での観察結果に基づいて、前記擬似ディスクと前記結像レンズとの相対位置を調整することを特徴とする光ヘッド装置の製造方法。
8. The pseudo disk observation device according to claim 1, wherein a half mirror that partially transmits laser light is used as the pseudo disk, and a spot formed on the pseudo disk is observed from the back side of the pseudo disk. Place and
A method for manufacturing an optical head device, comprising: adjusting a relative position between the pseudo disk and the imaging lens based on an observation result of the pseudo disk observation apparatus.
レーザ光源と、受光素子と、対物レンズと、前記レーザ光源からの出射光をコリメート光として前記対物レンズに導くコリメートレンズを含み、前記対物レンズを経てくる前記光記録ディスクからの戻り光を前記受光素子に導く導光系とを有する光ヘッド装置の製造工程のうち、前記レーザ光源と前記受光素子との相対位置を調整する調整工程で用いられる光ヘッド装置製造装置であって、
前記光記録ディスクに相当する位置で前記レーザ光源から出射されたレーザ光のスポットが形成されるミラーからなる擬似ディスクを有し、
前記擬似ディスクからの戻り光が前記受光素子で検出されることを特徴とする光ヘッド装置製造装置。
A laser light source; a light receiving element; an objective lens; and a collimating lens that guides light emitted from the laser light source as collimated light to the objective lens, and receives the return light from the optical recording disk passing through the objective lens. An optical head device manufacturing apparatus used in an adjustment process of adjusting a relative position between the laser light source and the light receiving element among manufacturing processes of an optical head device having a light guide system that leads to an element,
A pseudo disk composed of a mirror on which a spot of laser light emitted from the laser light source is formed at a position corresponding to the optical recording disk;
An optical head device manufacturing apparatus, wherein return light from the pseudo disk is detected by the light receiving element.
請求項9において、前記擬似ディスクと前記導光系との間には、前記対物レンズよりも焦点の長いレンズを前記結像レンズとして配置されることを特徴とする光ヘッド装置製造装置。   10. The optical head device manufacturing apparatus according to claim 9, wherein a lens having a longer focal point than the objective lens is disposed as the imaging lens between the pseudo disk and the light guide system. 請求項9において、前記擬似ディスクと前記導光系との間には、前記対物レンズが前記結像レンズとして配置されることを特徴とする光ヘッド装置製造装置。   10. The optical head device manufacturing apparatus according to claim 9, wherein the objective lens is arranged as the imaging lens between the pseudo disk and the light guide system. 請求項9ないし11のいずれかにおいて、前記擬似ディスクとして、レーザ光を部分透過するハーフミラーが用いられ、前記擬似ディスクに形成されるスポットを当該擬似ディスクの背面側から観察する擬似ディスク観察装置を有することを光ヘッド装置製造装置。   12. The pseudo disk observation device according to claim 9, wherein a half mirror that partially transmits laser light is used as the pseudo disk, and a spot formed on the pseudo disk is observed from the back side of the pseudo disk. It has an optical head device manufacturing apparatus.
JP2005023907A 2005-01-31 2005-01-31 Manufacturing method of optical head device and its manufacturing apparatus Pending JP2006209906A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005023907A JP2006209906A (en) 2005-01-31 2005-01-31 Manufacturing method of optical head device and its manufacturing apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005023907A JP2006209906A (en) 2005-01-31 2005-01-31 Manufacturing method of optical head device and its manufacturing apparatus

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2006209906A true JP2006209906A (en) 2006-08-10

Family

ID=36966562

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005023907A Pending JP2006209906A (en) 2005-01-31 2005-01-31 Manufacturing method of optical head device and its manufacturing apparatus

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2006209906A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8089850B2 (en) Optical pickup, optical disc apparatus, integrated coupling lens, integrated prism, and optical information equipment
JP4850703B2 (en) Confocal optical system aperture position control device, optical head device, and optical information processing device
JP2011096329A (en) Optical pickup device
US7515364B2 (en) Objective lens actuator and optical pickup device having the same
US20090274031A1 (en) Optical pickup and information device
JPWO2006118221A1 (en) Objective lens tilt adjusting method, optical pickup manufacturing method, objective lens tilt adjusting apparatus, optical pickup component, optical pickup, and optical information recording / reproducing apparatus
JP2004146049A (en) Compatible optical pickup device, optical recording/reproducing device using the same, and actuator for compatible optical pickup device
JP4505982B2 (en) Optical head device, recording and / or reproducing device, and recording and / or reproducing method
JP2007115319A (en) Optical pickup device
JP2013020690A (en) Lens, lens mounting method and optical pickup device
US8014256B2 (en) Optical pickup and information device
JP2004139709A (en) Optical pickup and disk drive device
JP2006209906A (en) Manufacturing method of optical head device and its manufacturing apparatus
JP2012074103A (en) Optical pickup apparatus
JP2011227943A (en) Optical pickup device
JP2007280467A (en) Objective lens holding device and optical pickup device
US7151595B2 (en) Focus error detecting device and optical pickup device having the same
JP4170264B2 (en) Optical pickup device and optical information recording / reproducing device
JP2012073133A (en) Observation device and observation method
JP2009110639A (en) Wavefront aberration inspection apparatus, optical pickup assembly adjustment device, lens evaluation device, lens assembly device, objective lens actuator assembly adjustment device, optical pickup, optical disk drive, and optical information recording and reproducing device
JP2006139874A (en) Lens unit and optical pickup device
JP2001243654A (en) Light spot inspecting device
KR100658888B1 (en) Apparatus for optical pick-up
JP2009151908A (en) Wave front aberration inspection apparatus, optical pickup assembly adjustment device, and objective lens actuator assembly adjustment device
JP5241093B2 (en) Optical head adjustment method

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070328

A977 Report on retrieval

Effective date: 20090128

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090303

A02 Decision of refusal

Effective date: 20090707

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02