JPS6466U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6466U JPS6466U JP9273887U JP9273887U JPS6466U JP S6466 U JPS6466 U JP S6466U JP 9273887 U JP9273887 U JP 9273887U JP 9273887 U JP9273887 U JP 9273887U JP S6466 U JPS6466 U JP S6466U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acceleration sensor
- package
- piezoresistor
- protecting
- fixed part
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Pressure Sensors (AREA)
Description
第１図はこの考案に係る加速度センサのパツケ
ージの第１実施例を示す縦断面図、第２図は同上
パツケージに加速度センサを実装した状態を示す
縦断面図、第３図はこの考案の第２実施例に加速
度センサを実装した状態を示す縦断面図、第４図
はこの考案の第３実施例を示す構成図、第５図は
同上第３実施例の作用を説明するための図、第６
図はこの考案の第４実施例を示す構成図、第７図
は従来の加速度センサのパツケージの内部構成を
示す平面図、第８図は第７図の−線断面図で
ある。 １，１１：ベース部、１ａ，１１ａ：凹部、２
，１２：リード線（検出信号を導出する手段）、
４，１４：キヤツプ部、５：パイプ、８：シリコ
ンオイル（ダンパ用オイル）、１０：半導体基板
、１０１：固定部、１０２：梁、１０３，１０４
：錘。
ージの第１実施例を示す縦断面図、第２図は同上
パツケージに加速度センサを実装した状態を示す
縦断面図、第３図はこの考案の第２実施例に加速
度センサを実装した状態を示す縦断面図、第４図
はこの考案の第３実施例を示す構成図、第５図は
同上第３実施例の作用を説明するための図、第６
図はこの考案の第４実施例を示す構成図、第７図
は従来の加速度センサのパツケージの内部構成を
示す平面図、第８図は第７図の−線断面図で
ある。 １，１１：ベース部、１ａ，１１ａ：凹部、２
，１２：リード線（検出信号を導出する手段）、
４，１４：キヤツプ部、５：パイプ、８：シリコ
ンオイル（ダンパ用オイル）、１０：半導体基板
、１０１：固定部、１０２：梁、１０３，１０４
：錘。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 固定部から張出された梁と前記梁の固定部近傍
には加速度に比例した前記梁の変形を検出するピ
エゾ抵抗が形成された加速度センサを実装するパ
ツケージであつて、 前記梁の保護のための下部ストツパとなる凹部
および前記ピエゾ抵抗の検出信号を導出する手段
を備えたベース部と、所要形状に形成されたダン
パ用オイルを注入するためのパイプが備えられ該
パイプが前記梁の保護のための上部ストツパに兼
用され前記加速度センサを覆うように前記ベース
と固着されたキヤツプ部とを有することを特徴と
する加速度センサのパツケージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9273887U JPS6466U (ja) | 1987-06-18 | 1987-06-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9273887U JPS6466U (ja) | 1987-06-18 | 1987-06-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6466U true JPS6466U (ja) | 1989-01-05 |
Family
ID=30954711
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9273887U Pending JPS6466U (ja) | 1987-06-18 | 1987-06-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6466U (ja) |
-
1987
- 1987-06-18 JP JP9273887U patent/JPS6466U/ja active Pending