JPS6455659U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6455659U JPS6455659U JP14971587U JP14971587U JPS6455659U JP S6455659 U JPS6455659 U JP S6455659U JP 14971587 U JP14971587 U JP 14971587U JP 14971587 U JP14971587 U JP 14971587U JP S6455659 U JPS6455659 U JP S6455659U
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- JP
- Japan
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- sample
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- Pending
Links
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 claims 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 claims 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Description
第１図〜第３図に於て各々ａは本考案の実施例
を示す試料台の斜視図、第１図〜第３図に於いて
各々ｂは前記ａ図のＡ―Ａ線、Ｂ―Ｂ線、Ｃ―Ｃ
線断面図、第４図ａは従来例を示す試料台の斜視
図、同図ｂは前記ａ図のＤ―Ｄ線断面図である。 １……試料台、２……両面テープ、３……試料
、５……デインプル。
を示す試料台の斜視図、第１図〜第３図に於いて
各々ｂは前記ａ図のＡ―Ａ線、Ｂ―Ｂ線、Ｃ―Ｃ
線断面図、第４図ａは従来例を示す試料台の斜視
図、同図ｂは前記ａ図のＤ―Ｄ線断面図である。 １……試料台、２……両面テープ、３……試料
、５……デインプル。
Claims (1)
- 試料台上に搭載した粉末試料に電子線を照射す
ることによつて前記試料から発生する二次電子お
よび特性Ｘ線を検出することにより、前記試料の
観察および分析を行うＳＥＭおよびＥＤＸの試料
台において、前記試料台をグラフアイト製とする
と共に前記試料台表面上に前記試料を搭載するた
めのデインプルを設けたことを特徴とするＳＥＭ
およびＥＤＸの試料台。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14971587U JPS6455659U (ja) | 1987-09-30 | 1987-09-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14971587U JPS6455659U (ja) | 1987-09-30 | 1987-09-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6455659U true JPS6455659U (ja) | 1989-04-06 |
Family
ID=31422203
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14971587U Pending JPS6455659U (ja) | 1987-09-30 | 1987-09-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6455659U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52143884A (en) * | 1976-05-26 | 1977-11-30 | Hitachi Ltd | Holding jig of analyzing apparatus |
-
1987
- 1987-09-30 JP JP14971587U patent/JPS6455659U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52143884A (en) * | 1976-05-26 | 1977-11-30 | Hitachi Ltd | Holding jig of analyzing apparatus |
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