JPS6339852U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6339852U JPS6339852U JP13338986U JP13338986U JPS6339852U JP S6339852 U JPS6339852 U JP S6339852U JP 13338986 U JP13338986 U JP 13338986U JP 13338986 U JP13338986 U JP 13338986U JP S6339852 U JPS6339852 U JP S6339852U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- irradiation window
- vacuum container
- installed inside
- electrode
- Prior art date
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- Granted
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- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims 3
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
第1図はこの考案の一実施例を示す断面図、第
2図は一部の拡大断面図、第3図は従来例を示す
断面図である。 1…真空容器、2…電極、3…フイラメント、
4…照射窓、5…壁面、6…開口部分、7…箔。
2図は一部の拡大断面図、第3図は従来例を示す
断面図である。 1…真空容器、2…電極、3…フイラメント、
4…照射窓、5…壁面、6…開口部分、7…箔。
Claims (1)
- 電子線を放射するフイラメントを備えた電極を
真空容器の内部に設置するとともに、前記電極と
向い合う前記真空容器の壁面に形成した開口部分
に、照射窓を設置してなる電子線照射装置におい
て、前記照射窓を、この照射窓が前記壁面の内面
とほぼ同一の平面に位置するように、前記開口部
分の内部に設置してなる電子線照射装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1986133389U JPH0528681Y2 (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1986133389U JPH0528681Y2 (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6339852U true JPS6339852U (ja) | 1988-03-15 |
JPH0528681Y2 JPH0528681Y2 (ja) | 1993-07-23 |
Family
ID=31033661
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1986133389U Expired - Lifetime JPH0528681Y2 (ja) | 1986-08-29 | 1986-08-29 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0528681Y2 (ja) |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6086745A (ja) * | 1983-10-18 | 1985-05-16 | Nisshin Haiboruteeji Kk | 電子銃 |
-
1986
- 1986-08-29 JP JP1986133389U patent/JPH0528681Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6086745A (ja) * | 1983-10-18 | 1985-05-16 | Nisshin Haiboruteeji Kk | 電子銃 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0528681Y2 (ja) | 1993-07-23 |