JPS6452230U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6452230U JPS6452230U JP14877387U JP14877387U JPS6452230U JP S6452230 U JPS6452230 U JP S6452230U JP 14877387 U JP14877387 U JP 14877387U JP 14877387 U JP14877387 U JP 14877387U JP S6452230 U JPS6452230 U JP S6452230U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shutter
- guide rails
- lower shutter
- right guide
- fitted
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
Description
第１図は本考案装置における炉口シヤツター機
構の一実施例を示す部分分解斜視図、第２図は同
じくそのシヤツター閉状態に組み立てた状態を示
す斜視図、第３図ａ，ｂはそれぞれ第２図のａ
―ａ線断面図及びシヤツター開状態の断面図、
第４図は本考案装置の一例を示す外観図、第５図
は第４図示の装置の横パネル部に本考案による炉
口シヤツター機構を設置した場合の斜視図、第６
図は従来の横形拡散・ＣＶＤ装置の炉口部の一例
を示す斜視図である。 １……炉口、２……左ガイドレール、２ａ，２
ｂ……前後チヤンネル、３……右ガイドレール、
３ａ，３ｂ……前後チヤンネル、４……上シヤツ
ター、５……下シヤツター、６……掛け（金）具
、７……把手、８……折り曲げ部、９……切欠部
。
構の一実施例を示す部分分解斜視図、第２図は同
じくそのシヤツター閉状態に組み立てた状態を示
す斜視図、第３図ａ，ｂはそれぞれ第２図のａ
―ａ線断面図及びシヤツター開状態の断面図、
第４図は本考案装置の一例を示す外観図、第５図
は第４図示の装置の横パネル部に本考案による炉
口シヤツター機構を設置した場合の斜視図、第６
図は従来の横形拡散・ＣＶＤ装置の炉口部の一例
を示す斜視図である。 １……炉口、２……左ガイドレール、２ａ，２
ｂ……前後チヤンネル、３……右ガイドレール、
３ａ，３ｂ……前後チヤンネル、４……上シヤツ
ター、５……下シヤツター、６……掛け（金）具
、７……把手、８……折り曲げ部、９……切欠部
。
Claims (1)
- 炉口１の左右部に、それぞれ左右ガイドレール
２，３を取付け、この左右ガイドレール２，３は
それぞれ前後チヤンネル２ａ，２ｂ，３ａ，３ｂ
より構成し、この左右ガイドレール２，３の後チ
ヤンネル２ｂ，３ｂ間には上シヤツター４を上下
動自在に嵌め込み支持し、左右ガイドレール２，
３の前チヤンネル２ａ，３ａ間には下シヤツター
５を上下動自在に嵌め込み支持せしめ、上シヤツ
ター４の上方左右部には下シヤツター５の上動で
下シヤツター５が当接する掛け具６を前方へ突出
させて設け、下シヤツター５の上方部には前方へ
突出する把手７を設け、かつ下シヤツター５の下
部には外側への折り曲げ部８を設けると共に、下
シヤツター５の上動時に上シヤツター４の掛け具
６に当接して上下シヤツター４，５を上限位置ま
で上動させたときに、上記折り曲げ部８が引掛け
られる切欠部９を左右ガイドレール２，３の前チ
ヤンネル２ａ，３ａの前面に形成してなる炉口シ
ヤツター機構を有する横形拡散・ＣＶＤ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14877387U JPS6452230U (ja) | 1987-09-28 | 1987-09-28 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14877387U JPS6452230U (ja) | 1987-09-28 | 1987-09-28 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6452230U true JPS6452230U (ja) | 1989-03-31 |
Family
ID=31420396
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14877387U Pending JPS6452230U (ja) | 1987-09-28 | 1987-09-28 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6452230U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020529727A (ja) * | 2017-07-31 | 2020-10-08 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | バッフルを有するガス供給部材 |
-
1987
- 1987-09-28 JP JP14877387U patent/JPS6452230U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020529727A (ja) * | 2017-07-31 | 2020-10-08 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | バッフルを有するガス供給部材 |
| US11885021B2 (en) | 2017-07-31 | 2024-01-30 | Applied Materials, Inc. | Gas supply member with baffle |
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