JPS6451796U - - Google Patents

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JPS6451796U
JPS6451796U JP14801287U JP14801287U JPS6451796U JP S6451796 U JPS6451796 U JP S6451796U JP 14801287 U JP14801287 U JP 14801287U JP 14801287 U JP14801287 U JP 14801287U JP S6451796 U JPS6451796 U JP S6451796U
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JP
Japan
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circular
center
casing
plate
curved
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JP14801287U
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  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は、この考案の１実施例を示し、遠心式
高真空ポンプの全体構成を概略的に表わした正面
断面図、第２図及び第３図はロータの構成の１例
を示し、第２図はロータを正面から見た図、第３
図は第２図の―′断面図であり、第４図及び
第５図は遠心式高真空ポンプにおける従来のロー
タの構成例を示し、第４図は正面から見た図、第
５図はその―′断面図、第６図及び第７図は
同じくロータの別の構成例を示し、第６図は正面
から見た図、第７図はその―′断面図であり
、第８図は遠心式高真空ポンプの断面図である。 １０…ケーシング、１２，１２′…隔壁、１４
，１４′…室、１６，１６′…ロータ、１８，４
４…回転駆動軸、２０…高周波モータ、２２…吸
気口、２４…排気口、２６，２６′…通気孔、３
４…円形状薄板、３６，４０…翼板、３８，４２
…通気路。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 吸気口及び排気口を有する円筒状のケーシング
    と、このケーシングの内周壁面に垂設されてそれ
    ぞれ中央部に通気孔が形成され、ケーシングの内
    部をその軸方向に、前記各通気孔を介して互いに
    流路連絡する複数の室に画する複数の隔壁と、前
    面側に、円形状薄板にその中央部から遠心方向に
    向かつて周縁まで放射状かまたは回転方向と逆向
    きに湾曲した複数枚の翼板を等配して固設し、も
    しくは円形状厚板にその中央部から遠心方向に向
    かつて周縁まで放射状かまたは回転方向と逆向き
    に湾曲した複数本の溝を等配して刻設することに
    より複数の通気路が形成され、前記ケーシングの
    各室にそれぞれ、前面と前記隔壁の背面またはケ
    ーシング前壁の内面とを近接させて納設された複
    数のロータと、これらロータを同軸的に支持する
    回転駆動軸と、この回転駆動軸を回転駆動する回
    転駆動源とを備えてなる遠心式高真空ポンプにお
    いて、前記ロータの後面側に、円形状厚板にその
    周縁から求心方向に向かつて中央部まで回転方向
    と逆向きに湾曲した複数本の溝を等配して刻設し
    、もしくは円形状薄板にその周縁から求心方向に
    向かつて中央部まで回転方向と逆向きに湾曲した
    複数枚の翼板を等配して固設したことを特徴とす
    る遠心式高真空ポンプ。
JP14801287U 1987-09-28 1987-09-28 Pending JPS6451796U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14801287U JPS6451796U (ja) 1987-09-28 1987-09-28

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP14801287U JPS6451796U (ja) 1987-09-28 1987-09-28

Publications (1)

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JPS6451796U true JPS6451796U (ja) 1989-03-30

Family

ID=31418938

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP14801287U Pending JPS6451796U (ja) 1987-09-28 1987-09-28

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS6451796U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009235921A (ja) * 2008-03-26 2009-10-15 Ebara Corp ターボ型真空ポンプ

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009235921A (ja) * 2008-03-26 2009-10-15 Ebara Corp ターボ型真空ポンプ

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