JPS6445160U - - Google Patents
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- JPS6445160U JPS6445160U JP13613587U JP13613587U JPS6445160U JP S6445160 U JPS6445160 U JP S6445160U JP 13613587 U JP13613587 U JP 13613587U JP 13613587 U JP13613587 U JP 13613587U JP S6445160 U JPS6445160 U JP S6445160U
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- JP
- Japan
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- mask
- opening
- substrate
- expands
- film forming
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- Pending
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
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- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13613587U JPS6445160U (US20030204162A1-20031030-M00001.png) | 1987-09-05 | 1987-09-05 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13613587U JPS6445160U (US20030204162A1-20031030-M00001.png) | 1987-09-05 | 1987-09-05 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6445160U true JPS6445160U (US20030204162A1-20031030-M00001.png) | 1989-03-17 |
Family
ID=31396360
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13613587U Pending JPS6445160U (US20030204162A1-20031030-M00001.png) | 1987-09-05 | 1987-09-05 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6445160U (US20030204162A1-20031030-M00001.png) |
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-
1987
- 1987-09-05 JP JP13613587U patent/JPS6445160U/ja active Pending
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