JPS6430157U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6430157U JPS6430157U JP1987123410U JP12341087U JPS6430157U JP S6430157 U JPS6430157 U JP S6430157U JP 1987123410 U JP1987123410 U JP 1987123410U JP 12341087 U JP12341087 U JP 12341087U JP S6430157 U JPS6430157 U JP S6430157U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- template
- polishing holder
- base
- mounting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 6
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 230000000712 assembly Effects 0.000 claims 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 claims 1
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- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例の研磨ホルダの斜視
図、第２図は第１図のＡ―Ａ′線断面図、第３図
は従来の研磨ホルダを使用した基板の研磨状態の
断面図、第４図は第１図に示す実施例を使用した
基板の研磨状態の断面図、第５図は従来の研磨ホ
ルダの一例を示す一部切欠き斜視図、第６図は第
５図のＢ―Ｂ′線断面図である。 １…基台、２…ウエハマウンテイングアセンブ
リ、３…基板、４…ウエハマウンテイングアセン
ブリ、５…軸、６…研磨盤、７…研磨クロス、２
１…テンプレート、２２…マウンテイング材、４
１…テンプレート、４１…マウンデイング材。
図、第２図は第１図のＡ―Ａ′線断面図、第３図
は従来の研磨ホルダを使用した基板の研磨状態の
断面図、第４図は第１図に示す実施例を使用した
基板の研磨状態の断面図、第５図は従来の研磨ホ
ルダの一例を示す一部切欠き斜視図、第６図は第
５図のＢ―Ｂ′線断面図である。 １…基台、２…ウエハマウンテイングアセンブ
リ、３…基板、４…ウエハマウンテイングアセン
ブリ、５…軸、６…研磨盤、７…研磨クロス、２
１…テンプレート、２２…マウンテイング材、４
１…テンプレート、４１…マウンデイング材。
Claims (1)
- 基板を吸着するマウンテイング材と前記基板の
ずれを規制するためのテンプレートを一体に形成
した複数個のマウンテイングアセンブリを互いに
分離して基台上に配置されてなることを特徴とす
る研磨ホルダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987123410U JPS6430157U (ja) | 1987-08-11 | 1987-08-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1987123410U JPS6430157U (ja) | 1987-08-11 | 1987-08-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6430157U true JPS6430157U (ja) | 1989-02-23 |
Family
ID=31372238
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1987123410U Pending JPS6430157U (ja) | 1987-08-11 | 1987-08-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6430157U (ja) |
-
1987
- 1987-08-11 JP JP1987123410U patent/JPS6430157U/ja active Pending