JPS6399749U - - Google Patents
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- JPS6399749U JPS6399749U JP19568186U JP19568186U JPS6399749U JP S6399749 U JPS6399749 U JP S6399749U JP 19568186 U JP19568186 U JP 19568186U JP 19568186 U JP19568186 U JP 19568186U JP S6399749 U JPS6399749 U JP S6399749U
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- JP
- Japan
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- heat conduction
- cooling fin
- support shaft
- conduction rod
- rod
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 2
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Description
第１図は本考案の一実施例を示す構成断面図、
第２図は冷却フインと支持軸及び熱伝導棒等の係
合状態を説明するための図、第３図はＡ―Ａ′断
面、第４図はＢ―Ｂ′断面である。 １：試料、２：試料筒、３：対物レンズ上磁極
片、４：対物レンズ下磁極片、５：鏡筒、６：試
料ステージ、７：冷却フイン、８：ルビー球、９
：支持軸、１０：ビス、１１：熱伝導棒、１２：
支持筒、１３：網線、１４：液体窒素容器、１５
：真空容器、１６：スプリング、１７：ナツト体
、１８：対物レンズヨーク、１９：対物レンズコ
イル、２０，２１：Ｏリング。
第２図は冷却フインと支持軸及び熱伝導棒等の係
合状態を説明するための図、第３図はＡ―Ａ′断
面、第４図はＢ―Ｂ′断面である。 １：試料、２：試料筒、３：対物レンズ上磁極
片、４：対物レンズ下磁極片、５：鏡筒、６：試
料ステージ、７：冷却フイン、８：ルビー球、９
：支持軸、１０：ビス、１１：熱伝導棒、１２：
支持筒、１３：網線、１４：液体窒素容器、１５
：真空容器、１６：スプリング、１７：ナツト体
、１８：対物レンズヨーク、１９：対物レンズコ
イル、２０，２１：Ｏリング。
Claims (1)
- 熱伝導棒にその一端が支持され光軸に垂直な方
向から対物レンズの上下磁極片間に挿入される冷
却フインと、該冷却フインの他端を支持するため
光軸に垂直な方向から挿入される支持軸と、該熱
伝導棒に熱的に接続された冷媒容器と、該冷媒容
器と熱伝導棒を包囲し鏡筒に接続された真空容器
とを備え、前記熱伝導棒壁面と鏡筒に取り付けら
れた支持筒との間に間隙が設けられており、該熱
伝導棒を前記支持軸に押圧するための弾性体が該
間隙内に収納されていることを特徴とする電子顕
微鏡等の試料汚染防止装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19568186U JPH0439655Y2 (ja) | 1986-12-19 | 1986-12-19 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19568186U JPH0439655Y2 (ja) | 1986-12-19 | 1986-12-19 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6399749U true JPS6399749U (ja) | 1988-06-28 |
| JPH0439655Y2 JPH0439655Y2 (ja) | 1992-09-17 |
Family
ID=31153790
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19568186U Expired JPH0439655Y2 (ja) | 1986-12-19 | 1986-12-19 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0439655Y2 (ja) |
-
1986
- 1986-12-19 JP JP19568186U patent/JPH0439655Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0439655Y2 (ja) | 1992-09-17 |
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