JPH0189956U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案になる真空装置用トランスフ
アーロツドの構造を示す一部断面を含む正面図、
第２図は、前記第１図の―断面を示す断面図
、第３図は、前記第１図の―断面を示す断面
図、第４図ａ，ｂ及びｃは、前記第１図に示す真
空装置用トランスフアーロツドの一部詳細構造を
示すための、一部拡大、正面断面図、一部断面上
面図、及び側面図、そして第５図は、第１図の真
空装置用トランスフアーロツドを備えた真空蒸着
装置についての概念図である。 １１……シリンダー部、１３……のアーム部、
１６……固定補助部、１７……試料装着軸、１８
……ネジ、１９……ヨーク部、２５……運動伝達
部。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 真空槽に固定されたシリンダー部と、この
   シリンダー部の内部でその長手方向に摺動可能で
   、かつ回転可能な試料装着軸を備え、同試料装着
   軸の先端に試料に螺合されるネジを設け、その基
   端側に、前記シリンダー部の外部から同試料装着
   軸に前記摺動運動と回転運動を伝達する運動伝達
   部を備えた真空装置用トランスフアーロツドにお
   いて、前記シリンダー部の中に、その長手方向に
   滑り対偶をなすようシリンダー状のアーム部を設
   け、前記試料装着軸をこのアーム部に対して回り
   対偶をなすよう支持し、同アーム部の先端部に前
   記試料の固定を補助するための固定補助部を設け
   たことを特徴とする真空装置用トランスフアーロ
   ツド。 (2) 実用新案登録請求の範囲第１項において、
   前記アーム部の先端部に設けられた固定補助部は
   、その先端が二股に別れた爪状の部材から成るこ
   とを特徴とする真空装置用トランスフアーロツド
   。