JPS6284156U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6284156U JPS6284156U JP17601485U JP17601485U JPS6284156U JP S6284156 U JPS6284156 U JP S6284156U JP 17601485 U JP17601485 U JP 17601485U JP 17601485 U JP17601485 U JP 17601485U JP S6284156 U JPS6284156 U JP S6284156U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cooling
- conductive member
- thermally conductive
- pipe
- cooling means
- Prior art date
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- Granted
Links
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 12
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 claims 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims 1
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 claims 1
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 230000008961 swelling Effects 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例を示す断面図、第２
図はその動作を説明するための図である。 １：対物レンズ、２：スペーサ、３：上磁極片
、４：下磁極片、５：ヨーク、６：励磁コイル、
７：ステージ、８：試料、９：試料ホルダ、１０
：冷却フイン、１１：押え金具、１２，１３：絶
縁物、１５：膨出部、１６：フランジ、１８：冷
却槽、１９：接続筒、２０：液体窒素、２１：内
槽、２２：熱伝導棒、２４：編組線、２７：接続
金具、３０：固定金具、３４：蓋体、３５：パイ
プ。
図はその動作を説明するための図である。 １：対物レンズ、２：スペーサ、３：上磁極片
、４：下磁極片、５：ヨーク、６：励磁コイル、
７：ステージ、８：試料、９：試料ホルダ、１０
：冷却フイン、１１：押え金具、１２，１３：絶
縁物、１５：膨出部、１６：フランジ、１８：冷
却槽、１９：接続筒、２０：液体窒素、２１：内
槽、２２：熱伝導棒、２４：編組線、２７：接続
金具、３０：固定金具、３４：蓋体、３５：パイ
プ。
Claims (1)
- 対物レンズの上磁極片と下磁極片との間に固定
され、かつ光軸に垂直な方向のネジ穴を有する冷
却フインと、該冷却フインを冷却するための冷媒
を満たした冷却手段と、該冷却手段と前記冷却フ
インとを熱的に接続するための可撓性を有した熱
伝導性部材とを備え、前記熱伝導性部材の一端に
前記ネジ穴に螺合するネジ及びピンを有する接続
金具を、また他端に前記冷却手段に固定される固
定金具を夫々設け、その内部に前記熱伝導性部材
が挿入されるパイプを設け、該パイプの端部には
前記ピンに嵌合する溝を設け、該パイプは前記熱
伝導性部材を冷却トラツプに接続する際に前記ピ
ンと嵌合し、冷却トラツプが冷却手段により冷却
されているときには熱伝導性部材から該パイプを
取り外すようになしたことを特徴とする電子顕微
鏡における試料汚染防止装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985176014U JPH0323650Y2 (ja) | 1985-11-15 | 1985-11-15 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985176014U JPH0323650Y2 (ja) | 1985-11-15 | 1985-11-15 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6284156U true JPS6284156U (ja) | 1987-05-29 |
| JPH0323650Y2 JPH0323650Y2 (ja) | 1991-05-23 |
Family
ID=31115867
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985176014U Expired JPH0323650Y2 (ja) | 1985-11-15 | 1985-11-15 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0323650Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005100988A (ja) * | 2003-09-24 | 2005-04-14 | Carl Zeiss Nts Gmbh | 粒子放射装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51145848U (ja) * | 1975-05-16 | 1976-11-24 | ||
| JPS5478076A (en) * | 1977-12-05 | 1979-06-21 | Hitachi Ltd | Frozen sample observation device of scanning electron microscope and similar unit |
| JPS58165848U (ja) * | 1982-04-28 | 1983-11-04 | 日本電子株式会社 | 電子顕微鏡等の試料交換装置 |
-
1985
- 1985-11-15 JP JP1985176014U patent/JPH0323650Y2/ja not_active Expired
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS51145848U (ja) * | 1975-05-16 | 1976-11-24 | ||
| JPS5478076A (en) * | 1977-12-05 | 1979-06-21 | Hitachi Ltd | Frozen sample observation device of scanning electron microscope and similar unit |
| JPS58165848U (ja) * | 1982-04-28 | 1983-11-04 | 日本電子株式会社 | 電子顕微鏡等の試料交換装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005100988A (ja) * | 2003-09-24 | 2005-04-14 | Carl Zeiss Nts Gmbh | 粒子放射装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0323650Y2 (ja) | 1991-05-23 |
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