JPS6395161A - セラミツク複合体及びその製造方法 - Google Patents
セラミツク複合体及びその製造方法Info
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- JPS6395161A JPS6395161A JP61238893A JP23889386A JPS6395161A JP S6395161 A JPS6395161 A JP S6395161A JP 61238893 A JP61238893 A JP 61238893A JP 23889386 A JP23889386 A JP 23889386A JP S6395161 A JPS6395161 A JP S6395161A
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- cutting
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Landscapes
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野〕
本発明は、切削工具材料として有用なセラミック複合体
及びその製造方法に関する。
及びその製造方法に関する。
近年、鋼及び鋳鉄の高速切削を目的として、超硬合金に
セラミックを被覆したコーティング工具及びアルミナ基
質焼結体からなるアルミナ基質工具等が開発されている
。
セラミックを被覆したコーティング工具及びアルミナ基
質焼結体からなるアルミナ基質工具等が開発されている
。
しかし、コーティング工具は耐熱亀裂性の点で難がある
ために実用切削速度が高々300 m7分に限定されて
しまう欠点があった。一方、アルミナ基質工具は耐摩耗
性に優れているものの、例えば鋳鉄の7ライス切削のよ
うに急激な熱サイクルご伴なう切削加工では熱的及び機
械的衝撃により切刃にチッピングを起こし易く、謄及び
鋳鉄を高速で安定して切削することは困難であった。
ために実用切削速度が高々300 m7分に限定されて
しまう欠点があった。一方、アルミナ基質工具は耐摩耗
性に優れているものの、例えば鋳鉄の7ライス切削のよ
うに急激な熱サイクルご伴なう切削加工では熱的及び機
械的衝撃により切刃にチッピングを起こし易く、謄及び
鋳鉄を高速で安定して切削することは困難であった。
そこで、耐熱衝撃性に優れ、高温における硬度及び機械
的強度にも優れた窒化ケイ素(s13N4)が注目され
、これを主成分として含有する窒化ケイ素焼結体を鋼及
び鋳鉄の切削工具として使用する試みもなされている。
的強度にも優れた窒化ケイ素(s13N4)が注目され
、これを主成分として含有する窒化ケイ素焼結体を鋼及
び鋳鉄の切削工具として使用する試みもなされている。
しかし、窒化ケイ素は鉄との反応性が高いために切削時
の摩耗が激しく、高速切削には適さず汎用性も極めて低
いものであった0 か−る窒化ケイ素の欠点を補ない耐摩耗性を向上させる
ために、窒化ケイ素基質工具の表面に、CVDやPVD
等の技術によりAl2O3、TiN5Tie等の被膜を
形成した切削工具が開発された力5、被膜の靭性及び被
膜と母材の熱膨張差や密着力不足等の点から膜厚を厚く
することができず、鋳鉄の切削の場合はともかく鋼の切
削では耐摩耗性が著しく不足し、切削時間が極めて短か
く限定されていた。
の摩耗が激しく、高速切削には適さず汎用性も極めて低
いものであった0 か−る窒化ケイ素の欠点を補ない耐摩耗性を向上させる
ために、窒化ケイ素基質工具の表面に、CVDやPVD
等の技術によりAl2O3、TiN5Tie等の被膜を
形成した切削工具が開発された力5、被膜の靭性及び被
膜と母材の熱膨張差や密着力不足等の点から膜厚を厚く
することができず、鋳鉄の切削の場合はともかく鋼の切
削では耐摩耗性が著しく不足し、切削時間が極めて短か
く限定されていた。
〔発明が解決しようとする問題点〕
本発明は、上記の事情に鑑み、窒化ケイ素焼結体の耐摩
耗性を向上させることにより、切削工具としたとき鋳鉄
及び鋼を高速で安定して切削できる切削至具材料を提供
することを目的とする。
耗性を向上させることにより、切削工具としたとき鋳鉄
及び鋼を高速で安定して切削できる切削至具材料を提供
することを目的とする。
本発明は、上記目的を達成するために、窒化ケイ素を主
成分とし、この粉末に対して4〜25体積%の酸化ジル
コニウム粉末と、1〜15重量%のアルミニウム、イツ
トリウム及びランタニド系希土類元素から選ばれた少な
くとも1種の酸化物粉末とを混合して焼結した焼結体で
あって、焼結体表面に焼結過程で生成した膜厚10〜2
00μmの窒化ジルコニウム及び/又は酸窒化ジルコニ
ウムの表面層を有することを特徴とするセラミック複合
体を提供するものである。
成分とし、この粉末に対して4〜25体積%の酸化ジル
コニウム粉末と、1〜15重量%のアルミニウム、イツ
トリウム及びランタニド系希土類元素から選ばれた少な
くとも1種の酸化物粉末とを混合して焼結した焼結体で
あって、焼結体表面に焼結過程で生成した膜厚10〜2
00μmの窒化ジルコニウム及び/又は酸窒化ジルコニ
ウムの表面層を有することを特徴とするセラミック複合
体を提供するものである。
本発明のセラミック複合体の製造は、窒化ケイ素を主成
分とし、この粉末に対して4〜25体積%の酸化ジルコ
ニウム粉末と、1〜15重量%の ゛アルミニウム、
イツトリウム及びランタニド系希土類元素から選ばれた
少なくとも1種の酸化物粉末とを混合し、混合粉末を窒
素ガス雰囲気中において1800〜20002:’で焼
結して表面に膜厚10〜200μmの窒化ジルコニウム
及び/又は酸窒化ジルコニウムの表面層を析出させる方
法により行なう。
分とし、この粉末に対して4〜25体積%の酸化ジルコ
ニウム粉末と、1〜15重量%の ゛アルミニウム、
イツトリウム及びランタニド系希土類元素から選ばれた
少なくとも1種の酸化物粉末とを混合し、混合粉末を窒
素ガス雰囲気中において1800〜20002:’で焼
結して表面に膜厚10〜200μmの窒化ジルコニウム
及び/又は酸窒化ジルコニウムの表面層を析出させる方
法により行なう。
本発明のセラミック複合体においては、焼結原料粉末中
に酸化ジルコニウム(ZrO)を添加して窒素雰囲気中
で焼結することによって、Si3N、焼結体の表面に窒
化ジルコニウム及び/又は酸窒化ジルコニウムが析出し
て表面層ひ形成している。
に酸化ジルコニウム(ZrO)を添加して窒素雰囲気中
で焼結することによって、Si3N、焼結体の表面に窒
化ジルコニウム及び/又は酸窒化ジルコニウムが析出し
て表面層ひ形成している。
このジルコニウムの窒化物及び/又は酸窒化物はZr0
N (0≦X≦0.5)の分子式で表わすことX+
−X ができる。この析出層は焼結時に窒素を母材中にも固溶
し且つ窒素の固溶量を析出層の膜厚方向に連続的に変化
させた状態で形成されるため、既存のコーテイング膜層
のように母材との熱膨張差による切削中の母材よりの剥
離等の問題なく、充分厚く又強靭にSi N 焼結体に
密着しており、また鉄との反応性がSi N よりも
はるかに低いので、切削工具としての耐摩耗性ご向上さ
せることかできる。
N (0≦X≦0.5)の分子式で表わすことX+
−X ができる。この析出層は焼結時に窒素を母材中にも固溶
し且つ窒素の固溶量を析出層の膜厚方向に連続的に変化
させた状態で形成されるため、既存のコーテイング膜層
のように母材との熱膨張差による切削中の母材よりの剥
離等の問題なく、充分厚く又強靭にSi N 焼結体に
密着しており、また鉄との反応性がSi N よりも
はるかに低いので、切削工具としての耐摩耗性ご向上さ
せることかできる。
特に、窒化ジルコニウムの表面層は耐摩耗性の向上効果
が大きく好ましい。
が大きく好ましい。
又、このZrON 表面層の膜厚が10μm未満!
I−X では耐摩耗性が充分ではなく、200μmを超えると靭
性が低下するので好ましくないが、従来のコーティング
被膜に比較して靭性及び密着性の低下なしに遥かに厚く
形成することができる。
I−X では耐摩耗性が充分ではなく、200μmを超えると靭
性が低下するので好ましくないが、従来のコーティング
被膜に比較して靭性及び密着性の低下なしに遥かに厚く
形成することができる。
酸化ジルコニウムの添加量を窒化ケイ素に対して4〜2
5体積%に限定する理由は、4体積%未満では必要な膜
厚の上記表面層が形成できず、25体積%ご超えると焼
結体の密度が充分に上らないからである。
5体積%に限定する理由は、4体積%未満では必要な膜
厚の上記表面層が形成できず、25体積%ご超えると焼
結体の密度が充分に上らないからである。
焼結助剤であるアルミニウム、イツトリウム及びランタ
ニド系希土類元素から選ばれた少なくとも1種の酸化物
は、1種又は2種以上を組合せて窒化ケイ素に対して1
〜15重量%の範囲で使用するが、1重量%未満では焼
結体の密度を充分高めることができず、15重量%を超
えると焼結体の高温強度が低下する。
ニド系希土類元素から選ばれた少なくとも1種の酸化物
は、1種又は2種以上を組合せて窒化ケイ素に対して1
〜15重量%の範囲で使用するが、1重量%未満では焼
結体の密度を充分高めることができず、15重量%を超
えると焼結体の高温強度が低下する。
また、焼結温度が1800 C未満では上記表面層の形
成が不充分であり、2000Cを超えると窒素加圧雰囲
気中であっても主成分であるSi N が分解昇華し
始めるので適当ではない。
成が不充分であり、2000Cを超えると窒素加圧雰囲
気中であっても主成分であるSi N が分解昇華し
始めるので適当ではない。
実施例1
原料粉末として、siNm末に対して12体積%のZr
O粉末、3重量%のA40 粉末、3重量%のYO粉末
を添加してボールミルで混合し、乾燥したのち成形用バ
インダーを混合し、JxSSNMM 433級のチップ
にプレスした。このプレス体を4気圧のN 雰囲気下に
おいて1850 t:’で2時間焼結した。
O粉末、3重量%のA40 粉末、3重量%のYO粉末
を添加してボールミルで混合し、乾燥したのち成形用バ
インダーを混合し、JxSSNMM 433級のチップ
にプレスした。このプレス体を4気圧のN 雰囲気下に
おいて1850 t:’で2時間焼結した。
得られたSi N 焼結体の表面には膜厚140μmの
窒化ジルコニウム及び酸窒化ジルコニウムの混在する表
面層が析出していた。尚、この表面層を分析したところ
窒素固溶量は膜厚方向に連続的に変化しており、7〜1
3重量%の範囲にあった。
窒化ジルコニウム及び酸窒化ジルコニウムの混在する表
面層が析出していた。尚、この表面層を分析したところ
窒素固溶量は膜厚方向に連続的に変化しており、7〜1
3重量%の範囲にあった。
このセラミック複合体を0.1 m/mX−25°のネ
ガランド処理を行なって上記スローアウェイチップを作
成し、このスローアウェイチップな用いて下記切削条件
により切削テス)E行なった。比較の為に、市販のAj
203− Tie工具(従来例1)及び市販のコーティ
ング工具(従来例2)についても同様に切削テストを行
ない、結果を抗折力と共に第1表に示した。
ガランド処理を行なって上記スローアウェイチップを作
成し、このスローアウェイチップな用いて下記切削条件
により切削テス)E行なった。比較の為に、市販のAj
203− Tie工具(従来例1)及び市販のコーティ
ング工具(従来例2)についても同様に切削テストを行
ない、結果を抗折力と共に第1表に示した。
被削材 :545C
切削条件 :切削速度600 m/min切込み 2.
0簡 送 リ 0.1811!W/rev。
0簡 送 リ 0.1811!W/rev。
乾式鋼連読切削
寿命判定 : V =0.3闘
本発明 9010分
従来例1 50 0.2分チッピング従来例2
180 1分面荒れ寿命実施例2 原料粉末として、Si3N4粉末に下記第2表に示ず割
合でZrO粉末、AIO粉末及びYO粉末を添加混合し
、実施例1と同様に焼結してセラミック複合体を製造し
た。
180 1分面荒れ寿命実施例2 原料粉末として、Si3N4粉末に下記第2表に示ず割
合でZrO粉末、AIO粉末及びYO粉末を添加混合し
、実施例1と同様に焼結してセラミック複合体を製造し
た。
1’ 3 3 3? 30
a 34 12 0.
5 0.55’ 12 10 1
0(註)試料2は実施例1と同一であり、試料1.3及
び5は比較例である。
a 34 12 0.
5 0.55’ 12 10 1
0(註)試料2は実施例1と同一であり、試料1.3及
び5は比較例である。
各セラミック複合体を実施例1と同様にスローアウェイ
チップとして切削テストを実施した。
チップとして切削テストを実施した。
結果を表面層の膜厚(μm)、理論密度(イ)並びに抗
折力<kg/nm)と共に第3表に示した。
折力<kg/nm)と共に第3表に示した。
1※ 10 96 90 53’
180 90 50 7?
18’0 98 80 3〔発明の
効果〕 本発明によれば、焼結過程で窒化ケイ素焼結体の表面に
鉄との反応性の極めて低い窒化ジルコニウム及び/又は
酸窒化ジルコニウムを厚くしかも強固に密着した状態で
析出させることができる。
180 90 50 7?
18’0 98 80 3〔発明の
効果〕 本発明によれば、焼結過程で窒化ケイ素焼結体の表面に
鉄との反応性の極めて低い窒化ジルコニウム及び/又は
酸窒化ジルコニウムを厚くしかも強固に密着した状態で
析出させることができる。
これにより、従来は鋼切削には不適とされていた窒化ケ
イ素基質材料でありながら、その耐摩耗性を向上させる
ことができ、切削工具として鋳鉄及び鋼コ高速切削や熱
サイクルの激しいフライス切削等でも安定した切削が可
能であるセラミック複合体を提供することができる。
イ素基質材料でありながら、その耐摩耗性を向上させる
ことができ、切削工具として鋳鉄及び鋼コ高速切削や熱
サイクルの激しいフライス切削等でも安定した切削が可
能であるセラミック複合体を提供することができる。
Claims (2)
- (1)窒化ケイ素を主成分とし、この粉末に対して4〜
25体積%の酸化ジルコニウム粉末と、1〜15重量%
のアルミニウム、イットリウム及びランタニド系希土類
元素から選ばれた少なくとも1種の酸化物粉末とを混合
して焼結した焼結体であつて、焼結体表面に焼結過程で
生成した膜厚10〜200μmの窒化ジルコニウム及び
/又は酸窒化ジルコニウムの表面層を有することを特徴
とするセラミック複合体。 - (2)窒化ケイ素を主成分とし、この粉末に対して4〜
25体積%の酸化ジルコニウム粉末と、1〜15重量%
のアルミニウム、イットリウム及びランタニド系希土類
元素から選ばれた少なくとも1種の酸化物粉末とを混合
し、混合粉末を窒素ガス雰囲気中において1800〜2
000℃で焼結して表面に膜厚10〜200μmの窒化
ジルコニウム及び/又は酸窒化ジルコニウムの表面層を
析出させることを特徴とするセラミック複合体の製造方
法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61238893A JPS6395161A (ja) | 1986-10-06 | 1986-10-06 | セラミツク複合体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP61238893A JPS6395161A (ja) | 1986-10-06 | 1986-10-06 | セラミツク複合体及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6395161A true JPS6395161A (ja) | 1988-04-26 |
Family
ID=17036834
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP61238893A Pending JPS6395161A (ja) | 1986-10-06 | 1986-10-06 | セラミツク複合体及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6395161A (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59190272A (ja) * | 1983-04-12 | 1984-10-29 | 住友電気工業株式会社 | 窒化けい素質焼結体の製造法 |
JPS59190270A (ja) * | 1983-04-12 | 1984-10-29 | 住友電気工業株式会社 | 窒化けい素質焼結体およびその製造法 |
JPS6016390A (ja) * | 1983-06-15 | 1985-01-28 | エスヴィージー・リトグラフィー・システムズ・インコーポレイテッド | ウエハ搬送用のチヤツクユニツト |
-
1986
- 1986-10-06 JP JP61238893A patent/JPS6395161A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59190272A (ja) * | 1983-04-12 | 1984-10-29 | 住友電気工業株式会社 | 窒化けい素質焼結体の製造法 |
JPS59190270A (ja) * | 1983-04-12 | 1984-10-29 | 住友電気工業株式会社 | 窒化けい素質焼結体およびその製造法 |
JPS6016390A (ja) * | 1983-06-15 | 1985-01-28 | エスヴィージー・リトグラフィー・システムズ・インコーポレイテッド | ウエハ搬送用のチヤツクユニツト |
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