JPS6394498A - 磁気バブル拡大検出器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概　要〕 バブル径の縮小に伴いそれを伸長し且つ正常に転送する
ことが困難になる。そこで優れた伸長能力を有するバブ
ル拡大器と、ギャップを介してバブル拡大器に対向する
バブル検出器を形成することにより、微小化されたバブ
ルに対する伸長能力の向上と転送特性の改善を図ったも
のである。

〔産業上の利用分野〕

本発明はハイブリッド型磁気バブルメモリ装置に係り、
特に微小化されたバブルの検出に通した磁気バブル拡大
検出器に関する。

従来の磁気バブルメモリ素子はバブル転送路としてパー
マロイ等の軟磁性体転送路を用いていたが、記１．α密
度の高度化に伴って軟磁性体パターンが微小化して作成
が困難になったため、精度が緩くともよいイオン注入転
送路が用いられるようになってきている。しかしトラン
スファゲート、レプリケートゲート、スワンプゲート等
の機能ゲートには、駆動力の大きい軟磁性体転送路が有
利であることから、この部分には軟磁性体転送路を用い
情報格納部にはイオン注入転送路を用いた、いわゆるハ
イブリッド型磁気バブルメモリ素子が開発されている。

〔従来の技術〕

第４図は従来の磁気バブル検出器を示す模式図である。

従来の磁気バブル検出器は図示の如くバブル検出器１と
、その前に形成された複数段（図では３段）のバブル拡
大パターン１１、およびその後に形成されたバブル排出
パターン１２を具えており、バブル検出器１は外部に引
き出されて外部回路に接続され、最前列のバブル拡大パ
ターン１１にはバブル転送路２が連結されている。

バブル転送路２からバブル検出器１に転送されてきたバ
ブルは、複数段のバブル拡大パターン１１を経由して転
送される間に順次伸長され、バブル検出器１に転送され
てきた時にバブル検出器１に大きい抵抗変化を生じる。

この抵抗変化に伴う信号が外部回路において検出され出
力される。

〔発明が解決しようとする問題点〕

第５図は従来の磁気バブル検出器におけるマージン曲線
図で、縦軸は駆動磁界ＨＢを、横軸は回転磁界ＨＤを示
しており、実線はバブル径が１．３μｍのときのバブル
ストレッチマージンを、破線はバブル径が０．９μｍの
ときのバブルストレッチマージンを示している。

図示の如く磁気バブルメモリの高密度化が進みバブル径
が縮小されると、複数段のバブル拡大パターンを具えた
従来の磁気バブル検出器に、バブルを伸長し且つ伸長し
たバブルを正常に転送する両方の能力を持たせることが
困難になる。

即ち磁気バブル検出器に十分な伸長能力を付加するため
にバブル拡大パターンを大型化すると、マージン曲線に
おけるバイアス上限がバブル径が１．３μｍのときのバ
イアス上限に近づくが、バイアス下限も同時に上昇しバ
イアス下限が益々劣化する。また磁気バブル検出器に十
分な転送能力を付加するためにバブル拡大パターンを小
型化すると、マージン曲線におけるバイアス下限がバブ
ル径が１．３μｍのときのバイアス下限に近づくが、バ
イアス上限も同時に下降しバイアス上限が益々劣化する
という問題があった。

〔問題点を解決するための手段〕

第１図は本発明の一実施例を示す模式図である。

なお全図を通し同じ対象物は同一記号で表している。

上記問題点は軟磁性体薄膜によって形成され、基底部３
１、基底部３１の一辺に櫛歯状に配列された複数個のバ
ーパターン素片３２、および基底部３１の一端に形成さ
れた半円弧状の転送路接続部３３を具えたバブル拡大器
３と、軟磁性体薄膜によって形成され、ギャップを介し
てバーパターン素片３２４こ対向するバブル検出器４を
、具備してなる本発明の磁気バブル拡大検出器によって
解決される。

〔作用） 第１図において基底部３１と、基底部３１の一辺に櫛歯
状に配列されたバーパターン素片３２と、基底部３１の
一端に形成された半円弧状の転送路接続部３３を具え、
優れた伸長能力を有するノくプル拡大器３を軟磁性体薄
膜で形成することによって、転送されてきたバブルのバ
ブル径が微小であっても十分に伸長せしめることが可能
になる。しかも軟磁性体薄膜で形成されたバブル検出器
４を、ギヤ・ンプを介してバーパターン素片３２に対向
せしめることによって、伸長されたバブルの転送回数を
低減し転送能力を向上させることが可能になる。その結
果微小化されたバブルに対する伸長能力の向上と、転送
特性の改善を図った磁気バブル拡大検出器を構成するこ
とができる。

〔実施例〕

以下添付図により本発明の実施例について説明する。な
お第２図は本発明の他の実施例を示す模式図、第３図は
本発明の効果を示すマージン曲線図である。

第１図に示す本発明の一実施例において磁気バブル拡大
検出器は、軟磁性体薄膜によって形成されたバブル拡大
器３とバブル検出器４を具備しており、バブル拡大器３
は基底部３１と、基底部３１の一辺にｍａ状に配列され
た複数個のバーパターン素片３２と、基底部３１の一端
に形成された半円弧状の転送路接続部３３とで構成され
ている。

バブル拡大器３の転送路接続部３３にはバブル転送路２
が連結されており、バブル転送路２からバブル拡大器３
に転送されてきたバブルは、バーパターン素片３２の先
端に転送される過程で伸長される。バブル拡大器はシェ
ブロン型パターンの変形で極めて大きく、転送されてき
たバブルが微小であっても十分に伸長させる優れた伸長
能力を具えている。

一方バプル検出器４は連結された複数個のシェブロン型
パターン４１で構成されており、それぞれのシェブロン
型パターン４１はギャップを介してバーパターン素片３
２に対向している。なおシェブロン型パターン４１の反
対側にはバブル排出パターン１２が形成されている。

バーパターン素片３２の先端に転送され十分に伸長され
たバブルは、次にギャップを介してバーパターン素片３
２に対向しているバブル検出器４に転送される。複数回
の転送によって伸長されたバブルをバブル検出器に移す
従来の方式とは異なり、伸長されたバブルの転送回数が
１回に低減されるため、伸長されたバブルが転送される
過程で列を乱し絡むことはない。

また第２図に示す本発明の他の実施例において磁気バブ
ル拡大検出器は、軟磁性体薄膜によって形成されたバブ
ル拡大器３とバブル検出器４を具備しており、バブル拡
大器３は前述の如（転送されてきたバブルが微小であっ
ても、それを十分に伸長させる優れた伸長能力を具えて
いる。

本実施例では帯状のバブル検出器４と絶縁層４２とバブ
ル拡大Ｓ３は積層されており、バブル検出器４は絶縁層
４２により形成されたギャップを介して、バブル拡大器
３に形成されたバーパターン素片３２と対向している。

なおバブル排出パターン１２もギャップを介してバーパ
ターン素片３２に対向している。

バブル転送路２から転送路接続部３３を経由してバブル
拡大器３に転送されてきたバブルは、バーパターン素片
３２の先端に転送される過程で十分に伸長され、この伸
長されたバブルによって直ちにバブル検出器４に抵抗変
化が生じる。複数回の転送によって伸長されたバブルを
バブル検出器に移す従来の方式とは異なって、伸長され
たバブルの転送が無くなりバブルが転送される過程で列
を乱し絡むことはない。

第３図において縦軸は駆動磁界Ｈ８を、横軸は回転磁界
ＨＤを示しており、実線はバブル径が１．３μｍのとき
のバブルストレッチマージンを、破線はバブル径が０．
９μｍのときのバブルストレッチマージンを示している
。

図示の如く本発明になる磁気バブル拡大検出器は、バブ
ル径が０．９μｍのバブルを検出する場合においても、
バブル径が１．３μｍのときとほぼ同等のバブルストレ
ッチマージンを具えている。

このように基底部とバーパターン素片と転送路接続部を
具え、微小バブルを十分に伸長せしめる優れた伸長能力
を有するバブル拡大器と、バブル拡大器に形成されたバ
ーパターン素片とギャップを介して対向し、伸長された
バブルの転送能力を向上せしめるバブル検出器を、軟磁
性体薄膜を用いて同時に形成することによって、微小バ
ブルに対する伸長能力の向上と転送特性の改善を図った
磁気バブル拡大検出器を構成することができる。

〔発明の効果〕

上述の如く本発明によれば微小化されたバブルの検出に
通した磁気バブル拡大検出器を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す模式図、第２図は本発
明の他の実施例を示す模式図、第３図は本発明の効果を
示すマージン曲線図、第４図は従来の磁気バブル検出器
を示す枳弐図、第５図は従来の磁気バブル検出器におけ
るマージン曲線図、 である。図において ２はバブル転送路、３はバブル拡大器、４はバブル検出
器、１２はバブル排出パターン、３１は基底部、　　　
３２はハーバターン素片、３３は転送路接続部、４１は
シェブロン型パターン、４２は絶縁層、 をそれぞれ表す。 第２図 Ｄ 第う団

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）軟磁性体薄膜によって形成され、基底部（３１）、
   該基底部（３１）の一辺に櫛歯状に配列された複数個の
   バーパターン素片（３２）、および該基底部（３１）の
   一端に形成された半円弧状の転送路接続部（３３）を具
   えたバブル拡大器（３）と、 軟磁性体薄膜によって形成され、ギャップを介して該バ
   ーパターン素片（３２）に対向するバブル検出器４を、
   具備してなることを特徴とする磁気バブル拡大検出器。 ２）複数個のシェブロン型パターン（４１）を連結して
   バブル検出器（４）を形成し、ギャップを介して該バブ
   ル検出器（４）をバーパターン素片（３２）に対向せし
   めた、特許請求の範囲第１項記載の磁気バブル拡大検出
   器。 ３）帯状のバブル検出器（４）と絶縁層（４２）とバブ
   ル拡大器（３）を順次積層し、該バブル検出器（４）を
   該バブル拡大器（３）のバーパターン素片（３２）に対
   向せしめた、特許請求の範囲第１項記載の磁気バブル拡
   大検出器。