JPS6392824A - トルクリミツタ - Google Patents
トルクリミツタInfo
- Publication number
- JPS6392824A JPS6392824A JP23642986A JP23642986A JPS6392824A JP S6392824 A JPS6392824 A JP S6392824A JP 23642986 A JP23642986 A JP 23642986A JP 23642986 A JP23642986 A JP 23642986A JP S6392824 A JPS6392824 A JP S6392824A
- Authority
- JP
- Japan
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- gear
- groove
- torque limiter
- shaft
- ring
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- Pending
Links
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 12
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16D—COUPLINGS FOR TRANSMITTING ROTATION; CLUTCHES; BRAKES
- F16D2300/00—Special features for couplings or clutches
- F16D2300/18—Sensors; Details or arrangements thereof
Landscapes
- Transmission Devices (AREA)
- Gear Transmission (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明はトルクリミッタに関するものであるO
〔従来の技術〕
第3図は半導体装置の製造装置における従来の駆動伝達
機構を示す概略図である。図において(1)は駆動軸、
(2)は従動軸、(3)は半導体部品、(4)は送りチ
ェノ、(5)はスプロケット、(6)は駆動歯車、(7
)は従動歯車である。
機構を示す概略図である。図において(1)は駆動軸、
(2)は従動軸、(3)は半導体部品、(4)は送りチ
ェノ、(5)はスプロケット、(6)は駆動歯車、(7
)は従動歯車である。
駆動軸(1)が駆動されると、こnに一体的な駆動歯車
(6)が回転し、こnに伴って従動歯車(7)が回転す
る。従動歯車(7)が回転すると、こnに一体的な従動
軸(2]が回転してスプロケット(5)が回転する。ス
プロケット(5)には送りチェノ(4)が掛けられてい
て、スプロケット(5)の回転により送りチェノ(4)
が走行する。この送りチェノ(4)により半導体部品(
3)が運ばれる。
(6)が回転し、こnに伴って従動歯車(7)が回転す
る。従動歯車(7)が回転すると、こnに一体的な従動
軸(2]が回転してスプロケット(5)が回転する。ス
プロケット(5)には送りチェノ(4)が掛けられてい
て、スプロケット(5)の回転により送りチェノ(4)
が走行する。この送りチェノ(4)により半導体部品(
3)が運ばれる。
従来のかかる動力伝達機構では半導体部品(3)に何ら
かのひっかかりが発生してもスプロケット(5)は回転
を続け、半導体部品(3)や送りチェンB破損すること
がしばしばある。
かのひっかかりが発生してもスプロケット(5)は回転
を続け、半導体部品(3)や送りチェンB破損すること
がしばしばある。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、駆動軸および従動輪に何ら変更を加えること
なく、駆動軸と従動軸とを駆動連結する一対の歯車のう
ちのいずれか一方に直接組み込むことが出来て、所定値
以上のトルクが発生子れば歯車が軸に対して空転するよ
うになしかつ停止信号ご惹起せしめるようになした非常
に簡潔なトルクリミッタを得ることな目的とする。
たもので、駆動軸および従動輪に何ら変更を加えること
なく、駆動軸と従動軸とを駆動連結する一対の歯車のう
ちのいずれか一方に直接組み込むことが出来て、所定値
以上のトルクが発生子れば歯車が軸に対して空転するよ
うになしかつ停止信号ご惹起せしめるようになした非常
に簡潔なトルクリミッタを得ることな目的とする。
この発明に係るドルクリミックは駆動軸と従動輪とを駆
動連結する一対の歯車のうちのいずnか一方なその軸に
回転自在に装着し、かつこの歯車を軸方向に移動させな
いように止め輪と作用環とで摺動可能に挾み、作用環と
歯車とが互いに摺動係合する面に関してバネバイアスさ
れたボールご有するポールプランジャを歯車に複数個設
けかつこちらボールプランジャのボールを収容するVみ
ぞを作用環に設け歯車のボス部にみぞを設け、作用環に
貫通孔を設け、この貫通孔にバネバイアスされた検知ピ
ンを配置し、検知ピンの一端が歯車のみぞに乗り上げ可
能に通常は収容され他端が少なくとも作用環から外方に
突出しているようになされたものである。
動連結する一対の歯車のうちのいずnか一方なその軸に
回転自在に装着し、かつこの歯車を軸方向に移動させな
いように止め輪と作用環とで摺動可能に挾み、作用環と
歯車とが互いに摺動係合する面に関してバネバイアスさ
れたボールご有するポールプランジャを歯車に複数個設
けかつこちらボールプランジャのボールを収容するVみ
ぞを作用環に設け歯車のボス部にみぞを設け、作用環に
貫通孔を設け、この貫通孔にバネバイアスされた検知ピ
ンを配置し、検知ピンの一端が歯車のみぞに乗り上げ可
能に通常は収容され他端が少なくとも作用環から外方に
突出しているようになされたものである。
この発明におけるトルクリミッタにおいては、作用環と
止め輪の間で歯車は自由に回転するが軸方向に移動せず
、従って、この歯車は他方の歯車と常に噛合する。作用
頂側のVみぞに歯車側のボールプランジャのボールが係
合することによって歯車と軸は一体的に回転するが、所
定値以上のトルクが発生子ればボールプランジャのボー
ルはVみぞを乗り上げ歯車は軸に対して空転する。この
空転により歯車側のVみぞを検知ピンの一端が乗り上げ
4ことになり、かくして検知ピンの他端が作用環からよ
り外方に突出する。検知ピンの他端がより外方に突出す
ることにより停止信号を惹起せしめる。
止め輪の間で歯車は自由に回転するが軸方向に移動せず
、従って、この歯車は他方の歯車と常に噛合する。作用
頂側のVみぞに歯車側のボールプランジャのボールが係
合することによって歯車と軸は一体的に回転するが、所
定値以上のトルクが発生子ればボールプランジャのボー
ルはVみぞを乗り上げ歯車は軸に対して空転する。この
空転により歯車側のVみぞを検知ピンの一端が乗り上げ
4ことになり、かくして検知ピンの他端が作用環からよ
り外方に突出する。検知ピンの他端がより外方に突出す
ることにより停止信号を惹起せしめる。
第1図および第2図は本発明の一実施例ご示し、第1図
は本発明のトルクリミッタの組み立て図であり、第2図
は半導体装置の製造装置において本発明のトルクリミッ
タを備えた駆動伝達機構の断面臼である。図において(
1)〜(7)は従来の装置と同じ部材2示す。(8)は
止め輪、(9)はボールプランジャ、(lO)はナツト
、(11)はボール、(12)は作用環、(18)は止
めネジ、(19)は止めネジ、(24)はVみぞ、(2
5)は圧縮バネ、(26)はネジ孔である。
は本発明のトルクリミッタの組み立て図であり、第2図
は半導体装置の製造装置において本発明のトルクリミッ
タを備えた駆動伝達機構の断面臼である。図において(
1)〜(7)は従来の装置と同じ部材2示す。(8)は
止め輪、(9)はボールプランジャ、(lO)はナツト
、(11)はボール、(12)は作用環、(18)は止
めネジ、(19)は止めネジ、(24)はVみぞ、(2
5)は圧縮バネ、(26)はネジ孔である。
止め輪(8ンは駆動軸(1)に装着されて止めネジ(1
8)により所定位置へ固定される。駆動歯車(6) !
!ネジ孔(26)B等間隔に四つ有する。
8)により所定位置へ固定される。駆動歯車(6) !
!ネジ孔(26)B等間隔に四つ有する。
このネジ孔(26)にボールプランジャ(9)が螺着さ
nる。ボールプランジャ(9)は圧縮バネ(25)でバ
ネバイアスされたボール(11)を有している。かかる
ボールプランジャ(9)はナツト(lO)により駆動歯
車(6)に締付固定される。ボールプランジャ(9)を
備えた駆動歯車(6ンが駆動軸(1)に回転自在に装着
される。作用m(12)は駆動歯車(6)のボス部を収
容する凹所を有すると共に、駆動歯車(6)に摺動係合
する面にVみぞ(24)を四つ有する。こnらVみぞ(
24〕はボールプランジャ(9)のボール(11)を各
々収容するようになっている。かかる作用環(12)e
駆動軸(1)に装着し止めネジ(19)で駆動軸(1)
に固定する。これにより、もし駆動歯車(6]がボール
プランジャ(9)ヲ備えていないとするならば駆動歯車
(6)は駆動軸(13に対して自由に回転するが、作用
環(12)と止め輪(8)とに挾まnて軸方向には移動
しないようになさnる。ところで、前述した如く、駆動
歯車(6)はボールプランジャ(9)を備えて作用環(
12)と連結さnているので、所定値以上のトルクがか
かるまでは駆動軸(1)と駆動歯車(6戸ま一体的に回
転し、所定値以上のトルクがかかるとボールプランジャ
(9)のボールはVみぞ(24)Tr:乗り上がり、駆
動軸(1)は駆動歯車(6]に対して空転するのである
。
nる。ボールプランジャ(9)は圧縮バネ(25)でバ
ネバイアスされたボール(11)を有している。かかる
ボールプランジャ(9)はナツト(lO)により駆動歯
車(6)に締付固定される。ボールプランジャ(9)を
備えた駆動歯車(6ンが駆動軸(1)に回転自在に装着
される。作用m(12)は駆動歯車(6)のボス部を収
容する凹所を有すると共に、駆動歯車(6)に摺動係合
する面にVみぞ(24)を四つ有する。こnらVみぞ(
24〕はボールプランジャ(9)のボール(11)を各
々収容するようになっている。かかる作用環(12)e
駆動軸(1)に装着し止めネジ(19)で駆動軸(1)
に固定する。これにより、もし駆動歯車(6]がボール
プランジャ(9)ヲ備えていないとするならば駆動歯車
(6)は駆動軸(13に対して自由に回転するが、作用
環(12)と止め輪(8)とに挾まnて軸方向には移動
しないようになさnる。ところで、前述した如く、駆動
歯車(6)はボールプランジャ(9)を備えて作用環(
12)と連結さnているので、所定値以上のトルクがか
かるまでは駆動軸(1)と駆動歯車(6戸ま一体的に回
転し、所定値以上のトルクがかかるとボールプランジャ
(9)のボールはVみぞ(24)Tr:乗り上がり、駆
動軸(1)は駆動歯車(6]に対して空転するのである
。
このように所定値以上のトルクでは歯車と軸との間に相
対的回転を生ゼしぬる。丁なわち駆動歯車(6)のボス
部と作用環(12)との間に相対的回転を生ゼしめる。
対的回転を生ゼしぬる。丁なわち駆動歯車(6)のボス
部と作用環(12)との間に相対的回転を生ゼしめる。
次にこの相対的回転で駆動機構そのものを停止させる停
止信号を発生せしめるようになした点について以下に説
明する。(13)は圧縮バネ、(14)は検知ピン、(
15)は鋼球、(16)は近接センサー、(17)はア
ンプ、(20)はネジ筒、(21)はナラ)、(2))
は近接センサー取付具、(23)は駆動歯車(6)のボ
ス部に設けられたVみぞ、(27)はネジ孔である。
止信号を発生せしめるようになした点について以下に説
明する。(13)は圧縮バネ、(14)は検知ピン、(
15)は鋼球、(16)は近接センサー、(17)はア
ンプ、(20)はネジ筒、(21)はナラ)、(2))
は近接センサー取付具、(23)は駆動歯車(6)のボ
ス部に設けられたVみぞ、(27)はネジ孔である。
作用環(12]には駆動歯車(6)のVみぞ(23ンに
対応する位置に半径方向のネジ孔(27)が設けらnて
おり、このネジ孔(27)に順次鋼球(15)、検知ピ
ン(14)、圧縮バネ(13)を挿入し、その後、こn
ら部材な包むようにネジ筒(20)を螺入する。そして
ナツト(21)でネジ筒(20)を作用環(12)に締
付固定する。検知ピン(14)は圧縮バネ(13)によ
り鋼球(15)をVみぞ(23)に押圧し、反対の端は
ネジ筒(20)より外へ突き出ている。なお、こnに近
接して近接センサー(16)が取付具(2))に設けら
nている。近接センサー(16)はアンプ(17)に接
続さnていて、そこから更にコントロールボックス(F
A示せず)に接続されている。
対応する位置に半径方向のネジ孔(27)が設けらnて
おり、このネジ孔(27)に順次鋼球(15)、検知ピ
ン(14)、圧縮バネ(13)を挿入し、その後、こn
ら部材な包むようにネジ筒(20)を螺入する。そして
ナツト(21)でネジ筒(20)を作用環(12)に締
付固定する。検知ピン(14)は圧縮バネ(13)によ
り鋼球(15)をVみぞ(23)に押圧し、反対の端は
ネジ筒(20)より外へ突き出ている。なお、こnに近
接して近接センサー(16)が取付具(2))に設けら
nている。近接センサー(16)はアンプ(17)に接
続さnていて、そこから更にコントロールボックス(F
A示せず)に接続されている。
半導体装置の製造装置においてトラブルが発生し、半導
体部品(3ンがひっかかったりして、従動軸(2)に異
常な負荷がかかると、前述した如く駆動軸(1]は駆動
歯車(6)に対して空転する。駆動歯車(6)に対して
駆動軸(1)が回転することにより、駆動歯車(6)の
ボス部のVみぞ(23ンに対して作用環(12)の位置
がずnて、鋼球(15)は圧縮バネ(13)の力に抗し
てVみぞ(23)を乗り上げる。かくして検知ピン(1
4)はネジ筒(20)より更に突出する。この突出が停
止信号を惹起せしめることになるのである。丁なわち検
知ピンが突出した状態で、検知ピン(14)が駆動軸(
1)と共に回転して近接センサー(18)に接近すると
、近接センサーはこnB感知して停止信号を発生せしめ
る。この信号はアンプ(17)で増幅されてコントロー
ルボックスに送らnる。こnによりコントロールボック
スは装置全体をストップさせる。かくして1回での送り
トラブルで3〜4枚の半導体部品 1(3)の破損と送
りチェン(4ンの破損が防止できるのである。トラブル
ご解ン肖した?麦、Vみぞ(23ンへ鋼球(15))H
−入れる(同時にボール(11)もVみぞ(24)に入
る)とトルクリミッタは復帰完了して再スタート可能に
なる。本発明のかかるトルクリミッタはその部材をステ
ンレスで作り水圧によるパリ取り工程でテストされて良
好であった。ステンレス製であるのでこのトルクリミッ
タは酸性の蒸気雰囲気内でも使用出来る。
体部品(3ンがひっかかったりして、従動軸(2)に異
常な負荷がかかると、前述した如く駆動軸(1]は駆動
歯車(6)に対して空転する。駆動歯車(6)に対して
駆動軸(1)が回転することにより、駆動歯車(6)の
ボス部のVみぞ(23ンに対して作用環(12)の位置
がずnて、鋼球(15)は圧縮バネ(13)の力に抗し
てVみぞ(23)を乗り上げる。かくして検知ピン(1
4)はネジ筒(20)より更に突出する。この突出が停
止信号を惹起せしめることになるのである。丁なわち検
知ピンが突出した状態で、検知ピン(14)が駆動軸(
1)と共に回転して近接センサー(18)に接近すると
、近接センサーはこnB感知して停止信号を発生せしめ
る。この信号はアンプ(17)で増幅されてコントロー
ルボックスに送らnる。こnによりコントロールボック
スは装置全体をストップさせる。かくして1回での送り
トラブルで3〜4枚の半導体部品 1(3)の破損と送
りチェン(4ンの破損が防止できるのである。トラブル
ご解ン肖した?麦、Vみぞ(23ンへ鋼球(15))H
−入れる(同時にボール(11)もVみぞ(24)に入
る)とトルクリミッタは復帰完了して再スタート可能に
なる。本発明のかかるトルクリミッタはその部材をステ
ンレスで作り水圧によるパリ取り工程でテストされて良
好であった。ステンレス製であるのでこのトルクリミッ
タは酸性の蒸気雰囲気内でも使用出来る。
なおかかるトルクリミッタは従動輪(2)の従動歯車(
7)に設けても同様の効果を発揮することは明白である
。
7)に設けても同様の効果を発揮することは明白である
。
この発明は以上説明したとおり、二本の軸を駆動連結す
る一対の歯車のうちの一つに、停止信号を惹起せしめる
ことの出来る非常に筒型なトルクリミッタを極めて容易
に設けつるという効果がある。
る一対の歯車のうちの一つに、停止信号を惹起せしめる
ことの出来る非常に筒型なトルクリミッタを極めて容易
に設けつるという効果がある。
第1図は本発明の一実施例の組み立て図、第2図fま半
導体装置の製造装置において本発明のトルクリミッタな
備えた駆動伝達機構の断面図、第3図は半導体装置の製
造装置における従来の駆動伝達機構を示す概略図である
。 図において、(1)は駆動軸、(2)は従動軸、(6)
。 (7)は歯車、(2)は止め輪、(9)はボールプラン
ジャ、(11)はボール、(12)は作用ヤ、(24)
はVみぞ、(26)はねじ孔である。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分な示す。 代理人 弁理士 大 岩 増 Z[第1図 第2図
導体装置の製造装置において本発明のトルクリミッタな
備えた駆動伝達機構の断面図、第3図は半導体装置の製
造装置における従来の駆動伝達機構を示す概略図である
。 図において、(1)は駆動軸、(2)は従動軸、(6)
。 (7)は歯車、(2)は止め輪、(9)はボールプラン
ジャ、(11)はボール、(12)は作用ヤ、(24)
はVみぞ、(26)はねじ孔である。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分な示す。 代理人 弁理士 大 岩 増 Z[第1図 第2図
Claims (2)
- (1)駆動軸と従動軸とを駆動連結する一対の歯車のう
ちのいずれか一方をその軸に回転自在に装着し、かつこ
の歯車を軸方向に移動させないように止め輪と作用環と
で摺動可能に挾み、作用環と歯車とが摺動係合する面に
関してバネバイアスされた変位要素を備えたプランジャ
を歯車に複数個設けかつこれらプランジャの変位要素を
乗り上げ可能に収容するみぞを作用環に設け歯車のボス
部にみぞを設け、作用環に貫通孔を設け、この貫通孔に
バネバイアスされた検知ピンを配置し、検知ピンの一端
が歯車のみぞに乗り上げ可能に通常は収容され他端が少
なくとも作用環から外方に突出しているようになされた
ことを特徴とするトルクリミツタ。 - (2)作用環の貫通孔および検知ピンは半径方向に設け
られており、プランジャは軸方向に平行に設けられてい
る特許請求の範囲第1項記載のトルクリミツタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23642986A JPS6392824A (ja) | 1986-10-02 | 1986-10-02 | トルクリミツタ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP23642986A JPS6392824A (ja) | 1986-10-02 | 1986-10-02 | トルクリミツタ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6392824A true JPS6392824A (ja) | 1988-04-23 |
Family
ID=17000621
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP23642986A Pending JPS6392824A (ja) | 1986-10-02 | 1986-10-02 | トルクリミツタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6392824A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4944377A (en) * | 1987-12-16 | 1990-07-31 | J. M. Voith Gmbh | Safety coupling |
JP2017504202A (ja) * | 2013-12-27 | 2017-02-02 | シャンハイ マイクロ エレクトロニクス イクイプメント カンパニー リミティド | 衝突防止機能付きシリコンウエハエッジ保護装置 |
-
1986
- 1986-10-02 JP JP23642986A patent/JPS6392824A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4944377A (en) * | 1987-12-16 | 1990-07-31 | J. M. Voith Gmbh | Safety coupling |
JP2017504202A (ja) * | 2013-12-27 | 2017-02-02 | シャンハイ マイクロ エレクトロニクス イクイプメント カンパニー リミティド | 衝突防止機能付きシリコンウエハエッジ保護装置 |
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