JPS638005Y2 - - Google Patents

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JPS638005Y2
JPS638005Y2 JP6619482U JP6619482U JPS638005Y2 JP S638005 Y2 JPS638005 Y2 JP S638005Y2 JP 6619482 U JP6619482 U JP 6619482U JP 6619482 U JP6619482 U JP 6619482U JP S638005 Y2 JPS638005 Y2 JP S638005Y2
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JP
Japan
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lens
microwave
housing
microwave cavity
source device
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JP6619482U
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JPS58169654U (ja
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Description

【考案の詳細な説明】 この考案は光学系にレンズを使用したマイクロ
波放電光源装置に関する。
第1図は従来のこの種マイクロ波放電光源装置
を示す断面図である。同図において、1はマグネ
トロンの如きマイクロ波発振器、2はマイクロ波
発振器1のアンテナ、3はマイクロ波発振器より
発振されたマイクロ波を導くための導波管、5は
開口部の周縁にフランジ部6を有した回転対称形
状でわん形を呈しており、かつそのフランジ部6
に開口部を覆う網体11を固定リング9を介して
固定したマイクロ波空胴、またこのマイクロ波空
胴は給電口7を通じて導波管3に接続されてい
る。8は図示されていない手段により、上記マイ
クロ波空胴4内に装着された無電極放電ランプ、
4は上記マイクロ波発振器1、導波管3およびマ
イクロ波空胴等を収容する凾体、16はこの凾体
4と導波管3を固定する取付具、12は上記凾体
4の開口部の外面側にレンズ支持具15によつて
位置決めされたレンズ、レンズ支持具15は上記
レンズ12の周縁を保持する枠部13と、この枠
部13に形成された取付ねじ挿通孔13aに挿通
される取付ねじ14とで構成されており、取付ね
じ14を凾体15のねじ孔4bに螺着させること
によつて、レンズ12を凾体4上に固定するよう
に成つている。10は網体取付ねじ、17は光軸
である。
かかる構成のものにおいては、ランプ8を備え
たマイクロ波空胴の位置は、取付具16によつて
決定され、一方、レンズ12の位置は凾体4に設
けられたねじ孔4bによつて決定される。つま
り、光を発するランプ8および反射板としての機
能を有するマイクロ波空胴と、レンズ系とが全く
の別体で構成されていた。したがつて、この構造
では、製造上のバラツキによつてレンズ中心と光
軸17のズレが生じやすく、レンズ系での十分な
光制御ができないばかりか、製造上のバラツキに
合わせて装置一台ごとに個別の調整が必要である
などの欠点があつた。
この考案は上記の欠点を除去するためになされ
たものである。
以下、この考案の一実施例を第2図に従つて説
明する。第2図において第1図と同一符号は第1
図と同一もしくは相当する部分を表わしている。
18はフランジ6の外側にフランジ6と一体的に
複数個設けられたボス、19はこのボス18に光
軸17と平行に設けられたねじ孔で、雌ネジが形
成されている。また14はレンズ支持具15の枠
部13の取付ねじ挿通孔13aに挿通され、上記
ねじ孔19に螺合して、レンズ12を固定する取
付ねじで、周壁に雄ネジが形成されている。
この場合、凾体4の開口部4aはレンズ支持具
15を通す大きさに形成しているため、レンズ1
2を網体11上に密着態様で固定できる。なお、
レンズ12を網体11に密着させる必要のない場
合は、凾体4に取付ねじ14を遊嵌する挿通孔
(図示せず)を設けておけば凾体4面上にレンズ
12を密着させて固定できる。また、取付ねじ挿
通孔13aにもねじを螺設しておけば、レンズ1
2を任意の位置に位置決め可能なものにできる。
このようにこの考案によれば、レンズがマイク
ロ波空胴に直接的に固定されるので、レンズ中心
と光軸を一致させることが容易で、量産に適して
いるばかりか、光制御上からも十分な制御機能を
有したマイクロ波放電光源装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来のマイクロ波放電光源装置を示す
断面図、第2図はこの考案のマイクロ波放電光源
装置の一実施例を示す断面図。 図中、4は凾体、5はマイクロ波空胴、8はラ
ンプ、11は網体、12はレンズ、15はレンズ
支持具。なお、各図中同一符号は同一または相当
部分を示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 凾体、この凾体内に収容され少なくとも一面に
    網体を取着したマイクロ波空胴、このマイクロ波
    空胴内に配設された放電ランプ、上記網体を通過
    した上記放電ランプからの光を制御するレンズ、
    上記マイクロ波空胴に取着され上記レンズを所定
    位置に固定するレンズ支持具を具備したことを特
    徴とするマイクロ波放電光源装置。
JP6619482U 1982-05-07 1982-05-07 マイクロ波放電光源装置 Granted JPS58169654U (ja)

Priority Applications (1)

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JP6619482U JPS58169654U (ja) 1982-05-07 1982-05-07 マイクロ波放電光源装置

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JP6619482U JPS58169654U (ja) 1982-05-07 1982-05-07 マイクロ波放電光源装置

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Publication Number Publication Date
JPS58169654U JPS58169654U (ja) 1983-11-12
JPS638005Y2 true JPS638005Y2 (ja) 1988-03-09

Family

ID=30076084

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JP6619482U Granted JPS58169654U (ja) 1982-05-07 1982-05-07 マイクロ波放電光源装置

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JPS58169654U (ja) 1983-11-12

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