JPS6378498A - 回転軸における通電装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は例えばウェハをテーブル上に載置して処理を行
う半導体製造装置において、ウェハに帯電した静電気を
逃がすために使用される回転軸における通電装置に関す
るものである。

〔従来の技術〕

例えば、半導体装置の製造工程において、高速回転する
テーブル上にウェハを載置して処理を行う場合、ウェハ
に静電気が帯電し、この静電気によってウェハが破壊す
ることがあった。

そのため、従来第３図あるいは第４図に示す回転軸にお
ける通電装置によって、半導体製造装置に帯電した静電
気を回転軸１を介して逃がすようにしている。すなわち
、前者は、ホルダ２と、このホルダ２の先端部に回転自
在に支持された回転体３とからなり、この回転体３を回
転軸Ｉの側面に接触させながら回転させることにより、
回転軸１の静電気を回転体３側に逃がすように構成され
ている。また後者は、ホルダ５と、これに保持された導
電ブラシ６と、この導電ブラシ６とホルダ５との間に介
装されたスプリング７とからなり、このスプリング７の
弾撥力によって導電ブラシ６を回転軸１の側面に押し付
けて摺接させることによって、回転軸１の静電気を導電
ブラシ６側に逃がすように構成されている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

しかしながら、前者においては、回転軸１と回転体３と
が点接触であるため、静電気の通電が不安定になる不具
合があった。すなわち、回転軸１と回転体３との間に塵
埃が侵入すると、回転軸１と回転体３とが離間し、通電
が遮断されるからである。

また、後者においては、導電ブラシ６の摩耗によって、
摩耗粉などきわめて微細な塵埃が発生する不具合があっ
た。そして、これらの塵埃によってクリーンルーム内の
清浄度を下げるおそれがあった。

本発明はこのような事情に鑑みなされたもので、その目
的は、安定した通電が行え、しかも塵埃が発生すること
がない回転軸における通電装置を提供するものである。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明に係る回転軸におけるｉｍ電装置は、回転軸の側
方に支持された支持軸と、この支持軸上に軸装されたプ
ーリと、これらの間に掛け渡されたベルトとを、導電性
材料から形成する共に、支持軸の端部に水銀スリップリ
ングを設けたものである。

〔作用〕

本発明においては、回転軸の静電気は側面からベルトを
介して支持軸に逃がされ、支持軸から水銀スリップリン
グを介してアースに逃がされる。

〔実施例〕

以下、本発明の一実施例を図により詳細に説明する。第
１図は本発明に係る回転軸における通電装置を示す斜視
図で、同図において符号１１で示すものは、ウェハを高
速回転するテーブル上るこ載置して処理する半導体製造
装置に備えられ、前記テーブルを支持して高速回転させ
るための金属製の回転軸を示す、１２はこの回転軸１１
に備えられた通電装置であり、回転軸１１の側方に平行
に配設され図示しない軸受によって回転自在に支持され
た支持軸１３と、この支持軸Ｉ３上に軸装されたプーリ
１４と、このプーリ１４と前記回転軸１１との間に掛け
渡された平ヘルド１５などから構成されている。そして
、これら支持軸１３、プーリ１４、平ベルト１５はいず
れも導電性材料から形成されている。詳述すれば、支持
軸１３の材料としては回転軸１１と同様に鉄などの金属
材が用いられている。また、プーリ１４は」二連した金
属材や４電製樹脂材などから、外周面に前記平ベルト１
５が係入する断面矩形のベルト？Ａ１４ａを有する円板
状に形成されている。平ベルト１５の材料としては、加
数ゴム中に特殊のカーボンブランクを配合することによ
って導電性を付与した導電性ゴムを使用することができ
る。

１６は支持軸１３の一端に設けられた既製品の水銀スリ
ップリングで、回転している支持軸１３の端面から電気
を導き出すものである。すなわち、この水銀スリップリ
ング１６は第２図に示すように、支持軸１３の端面に設
けられた軸孔１７に圧入されて支持軸１３と一体的に回
転する通電用回転軸１８と、この通電用回転軸１８を軸
受１９゜１９を介して回転自在に支持するハウジング２
０などから構成されている。ハウジング２０には前記通
電用回転軸１８が貫ｉｆｉ　シ側方に向かって開口され
た水銀封入孔２Ｉが設けられている。そして、この水銀
封入孔２１に水銀２２が前記開口を閉塞するねしキャン
プ２３によって封入されている。

２５は水銀封入孔２１内に臨み水銀２２をアースに接続
するための端子である。

このように構成された回転軸における通電装置において
は、平ベルト１５は弾撥力によって回転軸１１の側面お
よびプーリＩ４のベルＢ４１４ａに圧接するので、これ
ら部材に広い面で接触することができる。一方、平ベル
ト１５は回転軸１１が回転されるとこの回転に伴って移
動するので、回転軸１１の回転が支持軸１３へと伝達さ
れ、支持軸１３は回転駆動される。したがって、回転軸
１１に帯電された静電気は回転軸１１の側面から平ベル
ト１５およびプーリ１４を介して支持軸１３へと逃がさ
れる。そして、支持軸１３に逃がされた静電気は通電用
回転軸１８で水銀スリップリング１６へと逃がされ、水
銀２２を介して端子２５からアースに逃がされる。

ここで、平ヘルド１５は回転軸１１との接触面積を大き
くすることができ、たとえ塵埃が平ベルト１５と回転軸
１１との間に侵入するようなことがあっても、接触が保
たれ通電が遮断されることがないので、回転軸１１と通
電装置１２との通電を安定させることができる。また、
平ベルト１５は、回転軸１１の回転に伴って移動し摺動
することがないので、摩耗量が小さく抑えられている。

その結果、平ベルト１５の摩耗によって塵埃が発生する
ようなこともない。

なお、通電装置１２とアースとの間は、水銀ス。

リソプリング１６において液状の水銀２２を介して通電
用回転軸１８と端子２５とを接続しているので、上述し
た平ベルト１５と同様に安定した通電がなされ、しかも
、塵埃が発生するようなこともない。

上記実施例においては、ウェハを高速回転するテーブル
上に載置して処理する半導体製造装置に備えた例につい
て説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく
、清浄な工場内に配設された同等の構造に有する半導体
製造装置においても実施することができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば、回転軸の側方に支
持された支持軸と、この支持軸上に軸装されたプーリと
、これらの間に掛け渡されたベルトとを、導電性材料か
ら形成する共に、支持軸の端部に水銀スリップリングを
設けたから、回転軸に帯電した静電気を側面からベルト
を介して支持軸に逃がし、支持軸から水銀スリップリン
グを介してアースに逃がすことができる。

したがって、回転軸と支持軸との間をこれら部材に常時
接触すると共に、これら部材の回転に伴って移動するベ
ルトを介して電気的に接続しているので、回転軸の安定
した通電が行えるだけでなく、塵埃が発生するのを抑え
ることができる。その結果、クリーンムーム内で使用で
きる利点がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明に係る回転軸における通電装置を示す斜
視図、第２図は水銀スリップリングを示す断面図、第３
図および第４図は従来の回転軸における通電装置を示す
断面図である。 １１・・・・回転軸、１３・・・・支持軸、１４・・・
・プーリ、１５・・・・平ベルト、１６・・・・水銀ス
リップリング。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 回転軸の側方に回転自在に支持された支持軸と、この支
   持軸上に軸装されたプーリと、このプーリと前記回転軸
   との間に掛け渡されたベルトとからなり、これら部材を
   導電性材料から形成すると共に、前記支持軸の端部にア
   ースに接続された水銀スリップリングを設けたことを特
   徴とする回転軸における通電装置。