JPS6373626U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6373626U JPS6373626U JP16765186U JP16765186U JPS6373626U JP S6373626 U JPS6373626 U JP S6373626U JP 16765186 U JP16765186 U JP 16765186U JP 16765186 U JP16765186 U JP 16765186U JP S6373626 U JPS6373626 U JP S6373626U
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- JP
- Japan
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- pass filter
- low
- frequency
- demodulating
- output
- Prior art date
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- Granted
Links
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 4
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
第1図は本考案の1実施例を示すブロツク図、
第2図は第1図における実施例の各部の波形を示
す波形図、第3図は従来の電磁流量計の構成を示
すブロツク図、第4図は第3図における各部の波
形を示す波形図である。 10…導管、12…励磁コイル、13…励磁回
路、14…前置増幅器、15…結合点、16,1
9…復調器、18…加算点、17,24…ローパ
スフイルタ、20,25…ハイパスフイルタ、2
3…電源検出器。
第2図は第1図における実施例の各部の波形を示
す波形図、第3図は従来の電磁流量計の構成を示
すブロツク図、第4図は第3図における各部の波
形を示す波形図である。 10…導管、12…励磁コイル、13…励磁回
路、14…前置増幅器、15…結合点、16,1
9…復調器、18…加算点、17,24…ローパ
スフイルタ、20,25…ハイパスフイルタ、2
3…電源検出器。
Claims (1)
- 第1周波数とこれより低い第2周波数の2つの
異なつた周波数を有する磁場を供給する励磁手段
と、この励磁手段により励磁され流量に対応して
発生する信号電圧を前記第1周波数に基づいて弁
別して出力する第1復調手段と、この第1復調手
段の出力を高域濾波するハイパスフイルタと、前
記信号電圧を前記第2周波数に基づいて弁別して
復調する第2復調手段と、この第2復調手段の出
力を低域濾波するローパスフイルタと、前記ハイ
パスフイルタと前記ローパスフイルタとの各出力
を加算的に合成する加算手段と、前記ローパスフ
イルタと前記ハイパスフイルタの時定数を各々小
さくする時定数低減手段と、電源が投入された時
点を検知して所定の短い時間のあいだ前記時定数
低減手段を作動させる動作信号を出力する電源検
知手段とを具備することを特徴とする電磁流量計
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16765186U JPH0537217Y2 (ja) | 1986-10-31 | 1986-10-31 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16765186U JPH0537217Y2 (ja) | 1986-10-31 | 1986-10-31 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6373626U true JPS6373626U (ja) | 1988-05-17 |
JPH0537217Y2 JPH0537217Y2 (ja) | 1993-09-21 |
Family
ID=31099780
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16765186U Expired - Lifetime JPH0537217Y2 (ja) | 1986-10-31 | 1986-10-31 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0537217Y2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8899248B2 (en) | 2005-04-01 | 2014-12-02 | Tel Fsi, Inc. | Barrier structure and nozzle device for use in tools used to process microelectronic workpieces with one or more treatment fluids |
US8967167B2 (en) | 2006-07-07 | 2015-03-03 | Tel Fsi, Inc. | Barrier structure and nozzle device for use in tools used to process microelectronic workpieces with one or more treatment fluids |
-
1986
- 1986-10-31 JP JP16765186U patent/JPH0537217Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8899248B2 (en) | 2005-04-01 | 2014-12-02 | Tel Fsi, Inc. | Barrier structure and nozzle device for use in tools used to process microelectronic workpieces with one or more treatment fluids |
US8967167B2 (en) | 2006-07-07 | 2015-03-03 | Tel Fsi, Inc. | Barrier structure and nozzle device for use in tools used to process microelectronic workpieces with one or more treatment fluids |
US8978675B2 (en) | 2006-07-07 | 2015-03-17 | Tel Fsi, Inc. | Method and apparatus for treating a workpiece with arrays of nozzles |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0537217Y2 (ja) | 1993-09-21 |